JPS63128400U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63128400U JPS63128400U JP2076887U JP2076887U JPS63128400U JP S63128400 U JPS63128400 U JP S63128400U JP 2076887 U JP2076887 U JP 2076887U JP 2076887 U JP2076887 U JP 2076887U JP S63128400 U JPS63128400 U JP S63128400U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- mass flow
- flow meter
- gas supply
- cutoff valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
Description
第１図はこの考案のガス供給保安装置の一実施
例を示す構成図である。 １……特殊ガスボンベ、２……配管、３……第
１のマスフローメーター、４……エアー駆動・ガ
ス遮断弁、６……制御回路、７……電磁三方弁、
８……ガス圧供給用ボンベ、９……配管。
例を示す構成図である。 １……特殊ガスボンベ、２……配管、３……第
１のマスフローメーター、４……エアー駆動・ガ
ス遮断弁、６……制御回路、７……電磁三方弁、
８……ガス圧供給用ボンベ、９……配管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) ガス供給源の出口に設けられたガス遮断弁
と、 (b) 前記ガス供給源からガス使用装置にガスを
供給する配管系の前記ガス供給源近くに設けられ
た第１のマスフローメーターと、 (c) 前記ガス使用装置に設けられた第２のマス
フローメーターと、 (d) この第２のマスフローメーターと前記第１
のマスフローメーターからのガス流量信号の差を
検出し、その差が所定値以上となつた時に前記ガ
ス遮断弁を閉じる制御手段とを具備してなるガス
供給保安装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076887U JPS63128400U (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2076887U JPS63128400U (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63128400U true JPS63128400U (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=30816582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2076887U Pending JPS63128400U (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63128400U (ja) |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP2076887U patent/JPS63128400U/ja active Pending
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