JPS63125913A - Spot shape variable optical system - Google Patents

Spot shape variable optical system

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Publication number
JPS63125913A
JPS63125913A JP27207386A JP27207386A JPS63125913A JP S63125913 A JPS63125913 A JP S63125913A JP 27207386 A JP27207386 A JP 27207386A JP 27207386 A JP27207386 A JP 27207386A JP S63125913 A JPS63125913 A JP S63125913A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical system
lens
laser beam
spot
cylindrical lenses
Prior art date
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Pending
Application number
JP27207386A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuji Ito
勇二 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP27207386A priority Critical patent/JPS63125913A/en
Publication of JPS63125913A publication Critical patent/JPS63125913A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To vary the size of a spot continuously by providing a zoom lens optical system in front of a laser beam image formation optical system consisting of plural cylindrical lenses. CONSTITUTION:A convex lens 10, a concave lens 11, and a convex lens 12 form an afocal lens optical system, and cylindrical lenses 13 and 14 form an optical system for obtaining an elliptic focus. When an incident laser beam L has a Gaussian intensity distribution symmetrically about the center, the ratio of the minor and major axes of the elliptic shape of the laser beam spot is determined by the cylindrical lenses 13 and 14, so the spot size (d) can be varied by varying the diameter D of the beam incident on the cylindrical lens system by the zoom function of the concave lens 11 which becomes a variator and the convex lens 10 which becomes a compensator associatively. Namely, while the ratio of the minor axis and major axis of the elliptic shape of the laser beam spot is held constant, the size of the laser beam spot can be varied continuously.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、レーザービームを結像したときのビームサイ
ズを楕円形状にして、その短径、長径比を一定にしてサ
イズを連続的に可変することが可能なスポット形状可変
光学系に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention focuses on forming a laser beam into an elliptical beam size, and continuously changing the size while keeping the short axis and long axis ratio constant. The present invention relates to a spot shape variable optical system that allows the spot shape to be changed.

[従来の技術] 従来から、レーザービームを結像して楕円形状のビーム
スポットを形成することは、2個のシリンドリカルレン
ズの軸を直交に配置することにより行っている。このた
め、様々なビームスポットを得るためには、各種のシリ
ンドリカルレンズを用意しターレット式に交換して組み
合わせる必要がある。従って、楕円形状のビームスポッ
トの短径、長径方向の大きさを種々変えるためには、相
当数のレンズ系を用意しなければならない。
[Prior Art] Conventionally, a laser beam is imaged to form an elliptical beam spot by arranging the axes of two cylindrical lenses perpendicular to each other. Therefore, in order to obtain various beam spots, it is necessary to prepare various cylindrical lenses and to exchange and combine them in a turret style. Therefore, in order to vary the sizes of the elliptical beam spot in the minor axis and major axis directions, a considerable number of lens systems must be prepared.

通常のガスレーザー等によるビームはTEMa。The beam from a normal gas laser etc. is TEMa.

モードであり、その強度分布はガウス強度分布を呈して
おり、一般に強度分布が中心強度の1/e2となる径を
もってビームの大きさとしている。レンズの口径が入射
ビームの径りの2倍以上あると仮定すると、このときの
ビーム径dは、d=(4/π) ・FNo*入    
 ・(1)で表される。ここで、入は入射レーザービー
ムの波長、FNaはレンズのF値であり、fをレンズの
焦点距離とすると、FNoはf/Dで表される。
mode, and its intensity distribution exhibits a Gaussian intensity distribution, and the beam size is generally defined as a diameter where the intensity distribution is 1/e2 of the central intensity. Assuming that the aperture of the lens is more than twice the diameter of the incident beam, the beam diameter d in this case is d=(4/π) ・FNo*Input
・Represented by (1). Here, input is the wavelength of the incident laser beam, FNa is the F value of the lens, and when f is the focal length of the lens, FNo is expressed as f/D.

楕円形状の焦点を得るためのレーザービーム結像光学系
は、第5図(a)の平面図及びこの平面図と直交する方
向から見た(b)の側面図に示すように、2枚の焦点距
離の異なる第1、第2のシリンドリカルレンズ1.2を
その柱状の軸同志が直交するように配置する構成となっ
ている。つまり、第1のシリンドリカルレンズ1は平面
内においてのみ屈折力を有し、第2のシリンドリカルレ
ンズ2は側面内においてのみ屈折力を有している。第5
図(a)の平面内においては、平行光束の入射レーザー
ビームLは、第1のシリンドリカルレンズ1により第2
のシリンドリカルレンズ2に無関係に結像面に像を結ぶ
ことになる。同様に(b)の側面内においては、入射レ
ーザービームLは第1のシリンドリカルレンズ1に無関
係に、第2のシリンドリカルレンズ2により結像面に結
像される。ここで、当然のことながら第1のシリンドリ
カルレンズ1の焦点距離は第2のシリンドリカルレンズ
2の焦点距離よりも長いので、第1のシリンドリカルレ
ンズ1の結@FNaは第2のシリンドリカルレンズ2の
結像FNoよりも大きい、従って、第5図の場合は入射
レーザービームLが中心対称なガウス強度分布を持つも
のとすると、平面内に長く側面内に短かい楕円スポット
が得られる。
The laser beam imaging optical system for obtaining an elliptical focal point consists of two sheets, as shown in the plan view of FIG. 5(a) and the side view of FIG. First and second cylindrical lenses 1.2 having different focal lengths are arranged so that their columnar axes are perpendicular to each other. That is, the first cylindrical lens 1 has refractive power only within the plane, and the second cylindrical lens 2 has refractive power only within the side surface. Fifth
In the plane shown in FIG.
An image is focused on the imaging plane regardless of the cylindrical lens 2. Similarly, within the side surface of (b), the incident laser beam L is imaged on the imaging plane by the second cylindrical lens 2, regardless of the first cylindrical lens 1. Here, as a matter of course, the focal length of the first cylindrical lens 1 is longer than the focal length of the second cylindrical lens 2, so the focal length @FNa of the first cylindrical lens 1 is the focal length of the second cylindrical lens 2. If it is assumed that the incident laser beam L has a center-symmetric Gaussian intensity distribution, which is larger than the image FNo in the case of FIG. 5, an elliptical spot that is long in the plane and short in the side is obtained.

第6図は一般のズームレンズの光学系であり、凸レンズ
3.凹レンズ4、凸レンズ5は、アフォーカルズームレ
ンズ光学系を構成しており、凸レンズ3はコンペンセー
タの役割りを、凹レンズ4はバリエータの役割りを果し
ている。凹レンズ4は主に変倍レンズとして働き、この
凹レンズ4による焦点移動を凸レンズ3を移動させるこ
とによって、凸レンズ5の焦点位置と凹レンズ4からの
出射光束の発散点とを一致させることによって補正して
いる。凸レンズ5からの出射光束は平行ビームであり、
これを結像レンズ6で結像する。第6図(a) 、 (
b) 、 (c)を見ると、凸レンズ3と凹レンズ4の
位置によってFNoが変化していることが判る。また、
式(1)から明らかなように、第6図(a) 、 (b
) 、 (c)の順にスポットサイズdは大きくなる。
FIG. 6 shows the optical system of a general zoom lens, showing the convex lens 3. The concave lens 4 and the convex lens 5 constitute an afocal zoom lens optical system, with the convex lens 3 serving as a compensator and the concave lens 4 serving as a variator. The concave lens 4 mainly functions as a variable magnification lens, and the focal shift caused by the concave lens 4 is corrected by moving the convex lens 3 to match the focal position of the convex lens 5 with the divergence point of the light beam emitted from the concave lens 4. There is. The light beam emitted from the convex lens 5 is a parallel beam,
This is imaged by an imaging lens 6. Figure 6(a), (
Looking at b) and (c), it can be seen that the FNo changes depending on the positions of the convex lens 3 and the concave lens 4. Also,
As is clear from equation (1), Fig. 6(a) and (b
), the spot size d increases in the order of (c).

[発明の目的] 本発明の目的は、シリンドリカルレンズ光学系にズーム
レンズ光学系を加えることにより、レーザービームの結
像形状を相似的に変化させることが可能なスポット形状
可変光学系を提供することにある。
[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a variable spot shape optical system that can change the imaging shape of a laser beam in a similar manner by adding a zoom lens optical system to a cylindrical lens optical system. It is in.

[発明の概要] 上述の目的を達成するための本発明の要旨は。[Summary of the invention] The gist of the present invention is to achieve the above objects.

ズームレンズ光学系と、母線が交叉する2個のシリンド
リカルレンズとを順次に配置し、前記2個のシリンドリ
カルレンズのそれぞれの母船方向の結像位置を一致させ
たことを特徴とするスポット形状可変光学系である。
A variable spot shape optical system, characterized in that a zoom lens optical system and two cylindrical lenses whose generating lines intersect are sequentially arranged, and the imaging positions of the two cylindrical lenses in the direction of the mother ship are made to coincide with each other. It is a system.

[発明の実施例] 本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。[Embodiments of the invention] The present invention will be explained in detail based on illustrated embodiments.

第1図(a)は本発明によるスポット形状可変光学系の
平面図であり、(b)は側面図である。この実施例は第
5図に示す楕円形状の焦点を得るためのレーザービーム
結像光学系の前に、第6図に示すアフォーカルズームレ
ンズ光学系を配置した光学系とされている。即ち、凸レ
ンズ10、凹レンズl 1. 凸レンズ12がアフォー
カルズームレンズ光学系を形成し、シリンドリカルレン
ズ13.14で楕円形状焦点を得るための光学系を構成
している。
FIG. 1(a) is a plan view of a variable spot shape optical system according to the present invention, and FIG. 1(b) is a side view. This embodiment is an optical system in which an afocal zoom lens optical system shown in FIG. 6 is placed in front of a laser beam imaging optical system for obtaining an elliptical focus shown in FIG. That is, a convex lens 10, a concave lens l1. The convex lens 12 forms an afocal zoom lens optical system, and the cylindrical lenses 13 and 14 form an optical system for obtaining an elliptical focal point.

入射レーザービームLが中心対称なガウス強度分布を持
つとき、レーザービームスポットの楕円形状の短軸と長
袖の比は、シリンドリカルレンズ13.14によって決
定されるので、バリエータとなる凹レンズ11とこれに
連動しフンペンセータとなる凸レンズ10によるズーム
機能によって、シリンドリカルレンズ系に入射するビー
ム径りを変化させると、式(1)から明らかなようにス
ポットサイズdを変化させることができる。即ち、レー
ザービームスポットの楕円形状の短軸と長袖の比を一定
にしたまま、レーザービームスポットの大きさを連続的
に変化させることができることになる。
When the incident laser beam L has a center-symmetric Gaussian intensity distribution, the ratio of the short axis to the long sleeve of the elliptical shape of the laser beam spot is determined by the cylindrical lens 13. If the diameter of the beam incident on the cylindrical lens system is changed by the zoom function of the convex lens 10, which acts as a sensor, the spot size d can be changed as is clear from equation (1). That is, the size of the laser beam spot can be continuously changed while keeping the ratio of the short axis of the elliptical shape of the laser beam spot to the long sleeve constant.

第2図〜第4図は本発明に係るスポット形状可変光学系
をフローサイトメータに応用した実施例を示し、第2図
はフローサイトメータの構成図である、レーザー光源2
0から出射されたレーザービームLは、本発明に係るス
ポット形状可変光学系21によりフローセル22の中央
部に楕円形状のスポットを結像し、フローセル22の中
央部を流れる被検粒子Aに照射される。被検粒子Aによ
る前方散乱光は集光レンズ23によって光検出器24に
入射し、側方散乱光は集光レンズ25により光検出器2
6へ入射される。
2 to 4 show an embodiment in which the variable spot shape optical system according to the present invention is applied to a flow cytometer, and FIG. 2 is a configuration diagram of the flow cytometer, with a laser light source 2
The laser beam L emitted from the laser beam L is focused on an elliptical spot at the center of the flow cell 22 by the variable spot shape optical system 21 according to the present invention, and is irradiated onto the test particles A flowing through the center of the flow cell 22. Ru. The forward scattered light by the test particle A is incident on the photodetector 24 through the condensing lens 23, and the side scattered light is incident on the photodetector 24 through the condensing lens 25.
6.

第3図はフローセル22の断面図を示し、第2図に示す
ように構成されたフローサイトメータにおいて、サンプ
ル流Bは無限に細くすることはできないので、被検粒子
AがレーザービームスポットCの中心を常に通過すると
は限らない、レーザービームスポットCはガウス状の強
度分布りを持つため、被検粒子Aが同じ大きさ或いは同
じ蛍光分子を持っていても、その散乱光或いは蛍光の強
度は、被検粒子AがレーザービームスポットCを通過す
る際の位置によって異なり測定誤差の原因となる。
FIG. 3 shows a cross-sectional view of the flow cell 22. In the flow cytometer configured as shown in FIG. Since the laser beam spot C does not always pass through the center and has a Gaussian intensity distribution, even if the sample particles A have the same size or the same fluorescent molecules, the intensity of the scattered light or fluorescence will vary. , which differs depending on the position of the test particle A when it passes through the laser beam spot C, causing measurement errors.

そこで、第4図に示すようにレーザービームスポットC
の楕円形状を変えてサンプル流B全体に一様な強度分布
を持つようにしたり、被検粒子Aか弱い蛍光粒子であれ
ばレーザービームスポットCの照射面積を小さくして、
強度密度を大きくしたりする必要がある。第4図(a)
はサンプル流B中の被検粒子Aを分解度良く検出する際
のレーザービームスボッ)Cの照射方法を示し、(b)
は被検粒子Aが比較的大きな粒子である場合のレーザー
ビームスボッ)Cの照射方法を示し、(C)は変動係数
が大きくなるが、被検粒子Aか弱い蛍光粒子である場合
に有効な照射方法を示している。
Therefore, as shown in Fig. 4, the laser beam spot C
By changing the elliptical shape of the sample flow B to have a uniform intensity distribution throughout the sample flow B, or by reducing the irradiation area of the laser beam spot C if the sample particle A is a weak fluorescent particle,
It is necessary to increase the strength density. Figure 4(a)
(b) shows the method of irradiating the laser beam (B) C when detecting the test particles A in the sample flow B with good resolution;
(C) shows an irradiation method using a laser beam (C) when the test particle A is a relatively large particle, and (C) shows a method of irradiation that is effective when the test particle A is a weak fluorescent particle, although the coefficient of variation becomes large. Shows how.

このようにフローサイトメータにおいて、測定対象物に
合わせてレーザービームスポットCの形状を連続的に縦
、横に変化させることにより、被検粒子Aに対する最適
な測定条件下で測定を行うことができる。また、微量蛍
光染色しかされない被検眼粒子Aの蛍光を検出する場合
には、被検粒子Aに効率的にレーザービームLが照射さ
れるコうにレーザービームスポットCの形状を選択する
ことにより、最適な測光条件が得られる。更に、サンプ
ル流Bの中での被検粒子Aの位置による変動係数を小さ
くする場合には、レーザービームスポットCを長くすよ
うに選択すると最適な測光条件が得られる。
In this way, in the flow cytometer, by continuously changing the shape of the laser beam spot C vertically and horizontally according to the object to be measured, measurement can be performed under the optimal measurement conditions for the particle A to be measured. . In addition, when detecting the fluorescence of the eye particle A to be examined, which has only a small amount of fluorescent staining, the shape of the laser beam spot C can be optimally selected so that the laser beam L can be efficiently irradiated to the particle A to be examined. photometric conditions can be obtained. Further, in order to reduce the coefficient of variation depending on the position of the test particle A in the sample flow B, optimal photometric conditions can be obtained by selecting a longer laser beam spot C.

[発明の効果] 以上説明したように本発明に係るスポット形状可変光学
系は、複数個のシリンドリカルレンズから構成されるレ
ーザービーム結像光学系の前方にズームレンズ光学系を
設けることにより、そのスポットサイズを連続的に変化
させることができる。
[Effects of the Invention] As explained above, the variable spot shape optical system according to the present invention can change the spot shape by providing a zoom lens optical system in front of a laser beam imaging optical system composed of a plurality of cylindrical lenses. The size can be changed continuously.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面第1図〜第4図は本発明に係るスポット形状可変光
学系の実施例を示すものであり、第1図(a)は平面図
、(b)は側面図、第2図はスポット形状可変光学系を
応用したフローサイトメータの構成図、第3図はフロー
セルの断面図、第4図はサンプル流とレーザービームス
ポットの関係の説明図であり、第5図(a)はレーザー
ビーム結像光学系の平面図、(b)は側面図、第6図(
a)、(b) 、 (C)はズームレンズ光学系の説明
図である。 符号10.12は凸レンズ、11は凹レンズ、13.1
4は凸シリンドリカルレンズ、20はレーザー光源、2
1はスポット形状可変光学系、22はフローセルである
。 特許出願人   キャノン株式会社 第3囚 IK5図 菖6図
1 to 4 show an embodiment of the variable spot shape optical system according to the present invention, in which FIG. 1(a) is a plan view, FIG. 2(b) is a side view, and FIG. 2 is a spot shape variable optical system. Fig. 3 is a cross-sectional view of a flow cell, Fig. 4 is an explanatory diagram of the relationship between the sample flow and the laser beam spot, and Fig. 5 (a) is a diagram of the configuration of a flow cytometer that applies a variable optical system. A plan view of the image optical system, (b) a side view, and Fig. 6 (
a), (b), and (C) are explanatory diagrams of a zoom lens optical system. 10.12 is a convex lens, 11 is a concave lens, 13.1
4 is a convex cylindrical lens, 20 is a laser light source, 2
1 is a spot shape variable optical system, and 22 is a flow cell. Patent applicant Canon Co., Ltd. 3rd Prisoner IK5 Iris 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、ズームレンズ光学系と、母線が交叉する2個のシリ
ンドリカルレンズとを順次に配置し、前記2個のシリン
ドリカルレンズのそれぞれの母船方向の結像位置を一致
させたことを特徴とするスポット形状可変光学系。
1. A spot shape characterized in that a zoom lens optical system and two cylindrical lenses whose generating lines intersect are sequentially arranged, and the imaging positions of the two cylindrical lenses in the direction of the mother ship are aligned. Variable optics.
JP27207386A 1986-11-15 1986-11-15 Spot shape variable optical system Pending JPS63125913A (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27207386A JPS63125913A (en) 1986-11-15 1986-11-15 Spot shape variable optical system

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JP27207386A JPS63125913A (en) 1986-11-15 1986-11-15 Spot shape variable optical system

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JPS63125913A true JPS63125913A (en) 1988-05-30

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ID=17508716

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JP (1) JPS63125913A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6082372A (en) * 1998-06-19 2000-07-04 Katsushika Co., Ltd. Dispenser container for rod-like cosmetic

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6082372A (en) * 1998-06-19 2000-07-04 Katsushika Co., Ltd. Dispenser container for rod-like cosmetic

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