JPS63107834A - Apparatus for producing base material for optical fiber - Google Patents
Apparatus for producing base material for optical fiberInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は光ファイバ母材の！ＦＪ造装置、特に全合成用
スート母材を焼結して得る大口径ガラスロッドの製造装
置に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field 1] The present invention is directed to the use of optical fiber preforms! This invention relates to FJ manufacturing equipment, particularly to manufacturing equipment for large-diameter glass rods obtained by sintering soot base material for total synthesis.
［従来の技術］
気相軸付法（ＶＡＤ法）は、第２図に示すように回転し
ながら上方へ引上げられていくターゲット１にスート合
成用バーナ２からガラス原料ガス（ＳｉｃｆＬ４． Ｇ
ｅ（１４等）とＨ２，０２（Ｄ燃ｔＪｌカスを供給し、
火炎加水分解反応によってスートを堆積していく方法で
ある。このスート母材３は多聞の０１１基を含むため、
光ファイバ用のガラスロッドにするには焼結炉内でＨｅ
ガスとハロゲンガスの雰囲気で脱０１１と透明ガラス化
をする。スート合成と焼結を連続的に行なう手段として
は図示例に示すようにスート母材３の上部の焼結容器４
内で焼結をすることが考えられているが、スートと焼結
部のシールを、スート合威容器５と焼結容器４とを接続
する接続管内に挿通される外力に非常に弱いスートを介
してすることになり、焼結容器４への不純物混入は避け
られない。焼結容器４への不純物（水分、塵埃、金属粉
等）の混入はガラスロッド内に気泡が発生したり光ファ
イバの伝送特性を茗しく低下させるため、上述した方法
でスート合成とガラス化を連続的に行なうことは極めて
難しい。[Prior Art] In the vapor phase axial attachment method (VAD method), as shown in Fig. 2, glass raw material gas (SicfL4.
e (14 etc.) and H2,02 (D combustion tJl scum is supplied,
This method deposits soot through a flame hydrolysis reaction. Since this soot base material 3 contains a large number of 011 groups,
To make glass rods for optical fibers, He is heated in a sintering furnace.
De-O11 and transparent vitrification are performed in an atmosphere of gas and halogen gas. As a means for continuously performing soot synthesis and sintering, as shown in the illustrated example, a sintering container 4 above the soot base material 3 is used.
However, it is considered that the seal between the soot and the sintering part is made by using soot, which is very vulnerable to external force inserted into the connecting pipe that connects the soot sintering vessel 5 and the sintering vessel 4. Therefore, contamination of the sintering container 4 with impurities is unavoidable. If impurities (moisture, dust, metal powder, etc.) enter the sintering container 4, air bubbles will be generated in the glass rod and the transmission characteristics of the optical fiber will deteriorate, so soot synthesis and vitrification are performed using the method described above. It is extremely difficult to do this continuously.
なお、図中６はヒータ、７はスート合成排気管である。In addition, in the figure, 6 is a heater, and 7 is a soot synthetic exhaust pipe.
そこで、現在一般的に行なわれている手段は、スート合
成と焼結を別ラインにしたものであり、これによって、
気泡、異物混入のない良質なガラスロッドを得ている。Therefore, the currently common method is to separate the soot synthesis and sintering lines.
A high-quality glass rod with no bubbles or foreign matter is obtained.
しかし、この手段は別ラインにすることによる設備費用
、製造工数が増える等の問題がある。特に、今後の需要
が期待される高強度ファイバ（ブルーフ２％程度）は、
厚肉クラッド層に市販の石英管を使わないで、ＶＡＤ法
による全合成ガラス母材を製造してこれから得る必要が
ある。However, this method has problems such as an increase in equipment costs and manufacturing man-hours due to separate lines. In particular, high-strength fiber (about 2% Bruf), which is expected to be in high demand in the future,
Instead of using a commercially available quartz tube for the thick cladding layer, it is necessary to manufacture and obtain a fully synthetic glass base material by the VAD method.
ところが、全合成スート母材をコア用バーナと多数本の
クラッド用バーナによって同時に合成しようとすると、
スート外径はφ２００＃ｌｌｌ程度の大口径になり、ス
ート合成容器、焼結炉の大型化を伴うだけでなく、焼結
後のガラスロッド径もφ １００履近くになり、延伸、
線引等の次工程での問題が生じる。そのため、全合成母
材を製造するには、ガラス化後のコアロッドをφ１５〜
２５Ｍ程度に延伸した後、クラッド部スートをさらに外
付けしてガラス化することを２〜３回繰返すことになる
が、この手段では作業工数が増えてコスト高になってい
る。However, when attempting to simultaneously synthesize a fully synthetic soot base material using a core burner and multiple cladding burners,
The outer diameter of the soot becomes large, about φ200#lll, which not only necessitates an increase in the size of the soot synthesis container and sintering furnace, but also the diameter of the glass rod after sintering becomes close to φ100, which requires stretching,
Problems arise in the next process such as drawing. Therefore, in order to manufacture a fully synthetic base material, the core rod after vitrification must be
After stretching to about 25M, a cladding soot is further attached externally and vitrification is repeated two to three times, but this method increases the number of work steps and increases costs.
［発明が解決しようとする問題点］
上述したように、ガラス化後のコアロッドを延伸した後
クラッド部スートをさらに外付けして別ラインでガラス
化することを繰り返す全合成母材の製造装置では、作業
工数が増えてコスト高になるという問題があった。[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, in an apparatus for manufacturing a fully synthetic base material, which repeatedly stretches the core rod after vitrification, then attaches a cladding soot to the outside and vitrifies it on a separate line. However, there is a problem in that the number of man-hours required increases, leading to higher costs.
したがって本発明の目的は、前記した従来技術の問題点
を解消し、全合成の大口径ガラスロッドを容易かつ簡単
な構造で得られる光ファイバ母材の製造装置を提供する
ことにある。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical fiber preform manufacturing apparatus that solves the problems of the prior art described above and that allows a fully synthetic large-diameter glass rod to be obtained easily and with a simple structure.
［問題点を解決するための手段］
本発明の光ファイバ母材の製造装置は、コア用スートを
ターゲットに堆積させて形成したコア部の外周又はコア
部とクラッド部とから成るガラスロッドの外周にクラッ
ド用スートを外付けしてスート母材を形成させるスート
合成部と、該スート合成部の下方にこれと連通して設け
られ、上記スート母材を焼結してガラスロッド化する焼
結部と、上記スート母材の焼結部への下降とガラスロッ
ドのスート合成部への上界を交互に繰り返す手段とを備
えたものである。[Means for Solving the Problems] The optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention is capable of manufacturing an optical fiber preform by depositing a core soot on a target to form an outer periphery of a core portion or an outer periphery of a glass rod consisting of a core portion and a cladding portion. A soot synthesis section is provided below the soot synthesis section to form a soot base material by externally attaching soot for cladding, and a sintering section is provided below the soot synthesis section in communication with the soot composition section for sintering the soot base material to form a glass rod. and means for alternately repeating the lowering of the soot base material to the sintering part and the upper bound of the glass rod to the soot synthesis part.
［作 用］
まず、スート合成部で、コア用スートをターゲットに堆
積させてコア部を形成し、このコア部の外周に更にクラ
ッド用スートを堆積してスート母材を形成させる。[Function] First, in the soot synthesis section, core soot is deposited on a target to form a core part, and cladding soot is further deposited on the outer periphery of this core part to form a soot base material.
次に、スート母材を成長させた後、スート母材をスート
合成部から焼結部へ下降する。そして、ここでスート母
材を焼結してガラスロッド化する。Next, after growing the soot base material, the soot base material is lowered from the soot synthesis section to the sintering section. Then, the soot base material is sintered to form a glass rod.
更に、ガラスロッドを焼結部からスート合成部へ上昇す
る。そして、ここで、ガラスロッドの外周にクラッド用
スートを外付けして再びスー１〜母材を形成される。こ
の焼結とスート外付けの工程を、ガラスロッドの外径が
設定値になるまで順次反復させる。Furthermore, the glass rod is raised from the sintering section to the soot synthesis section. Then, a cladding soot is externally attached to the outer periphery of the glass rod, and the soot 1 to the base material are again formed. The steps of sintering and attaching the soot to the outside are sequentially repeated until the outer diameter of the glass rod reaches a set value.
このようにして大口径の全合成ガラスロッドが製造され
る。In this way, a large diameter fully synthetic glass rod is produced.
［実施例］
本発明の実施例を第１図に基づいて説明すれば以下の通
りである。[Example] An example of the present invention will be described below based on FIG.
第１図はＶＡＤ法に基づく本発明の光ファイバ母材の製
造装置例を示す。この製造装置はスート合成部１０及び
焼結部２０．ターゲット駆動部３０から主に構成され、
焼結部２０はスート合成部１０の下方に設けられている
。FIG. 1 shows an example of an optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention based on the VAD method. This manufacturing apparatus includes a soot synthesis section 10 and a sintering section 20. It mainly consists of a target driving section 30,
The sintering section 20 is provided below the soot synthesis section 10.
スート合成部１０は、上部にスート容器吸気孔１１を、
中部にスート合成排気管１２を有するスート合成容器１
３と、スート合成容器１３の下部側面に上・下に配設し
たスート合成用バーナ１４及び予熱バーナ１５とから成
る。スート合成用バーナ１４はクラッド用バーナ機能を
、予熱バーナ１５は予熱機能とコア用バーナ橢能を兼備
する。The soot synthesis unit 10 has a soot container intake hole 11 in the upper part,
Soot synthesis container 1 having a soot synthesis exhaust pipe 12 in the middle part
3, and a soot synthesis burner 14 and a preheating burner 15 disposed above and below the lower side surface of the soot synthesis container 13. The soot synthesis burner 14 has a cladding burner function, and the preheating burner 15 has both a preheating function and a core burner function.
両バーナ１４，１５を容器１３の底面ではなく側面に配
設したのは、後述するスート母材４１又はガラスロッド
４０の昇降移動を阻害しないためである。The reason why both burners 14 and 15 are arranged on the side surface of the container 13 instead of on the bottom surface is to avoid obstructing the vertical movement of the soot base material 41 or the glass rod 40, which will be described later.
焼結部２０はスート合成部１０の下方に連通接続され、
下部に焼結ガス供給孔２１を、上部に焼結ガス排気孔２
２を有する石英製の耐熱性焼結容器２３と、中部に容器
２３を囲繞するリングヒータ２４を内蔵した電気炉本体
２５とから成る。The sintering section 20 is connected to the lower part of the soot synthesis section 10,
Sintering gas supply hole 21 at the bottom, sintering gas exhaust hole 2 at the top
The electric furnace main body 25 includes a heat-resistant sintered container 23 made of quartz and a ring heater 24 surrounding the container 23 in the middle thereof.
上記焼結ガス排気孔２２に対向した焼結容器２３の上部
に吸気孔２６が設けられ、これより焼結ガス排気孔２２
に向けてＮ２ガス等の不活性ガスを流して、スート合成
部１０と焼結部２０との間をガスカーテンで仕切り、ス
ート合成容器１３内の雰囲気と焼結容器２３内の雰囲気
とをガスシールしている。この焼結容器２３内の圧力は
スート合成容器１３内の圧力よりも高く設定しである。An intake hole 26 is provided in the upper part of the sintering container 23 facing the sintering gas exhaust hole 22, and the sintering gas exhaust hole 22
The soot synthesis section 10 and the sintering section 20 are separated by a gas curtain, and the atmosphere inside the soot synthesis container 13 and the atmosphere inside the sintering container 23 are separated by a gas curtain. It is sealed. The pressure within this sintering vessel 23 is set higher than the pressure within the soot synthesis vessel 13.
スート合成容器１３と焼結容器２３の連通部には、連通
部内のガラスロッド４０の外径を検出する外径検出器５
０が設けられ、この外径検出器５０で検出されたガラス
ロッド外径値と設定値とが制御手段５１で比較され、そ
の差に応じてスート合成用バーナ１４から流すガス流ｍ
を調節してスート母材４１の径を制御するようになって
いる。An outer diameter detector 5 is provided in the communication section between the soot synthesis container 13 and the sintering container 23 to detect the outer diameter of the glass rod 40 in the communication section.
The glass rod outer diameter value detected by the outer diameter detector 50 and the set value are compared by the control means 51, and the gas flow m to be flowed from the soot synthesis burner 14 is adjusted according to the difference.
The diameter of the soot base material 41 is controlled by adjusting the diameter of the soot base material 41.
上記ターゲット駆動部３０はターゲット３１を回転させ
る回転機能と、ターゲット３１を反復して昇降させる昇
降機能とを備え、ターゲット３１を回転して、スート合
成部１０内で、コア用スート又はクラッド用スートをタ
ーゲット３１に均等に堆積又は外付けし、焼結部２０内
で焼結前のスート母材４２を均等に焼結させ、あるいは
往復昇降させて上記スート合成部１０で形成されるスー
ト母材４１を焼結部２０へ、焼結部２０で焼結したガラ
スロッド４０をスート合成部１０へ交互に移動させる。The target driving section 30 has a rotation function for rotating the target 31 and an elevating function for repeatedly raising and lowering the target 31. The soot base material 42 is uniformly deposited on or externally attached to the target 31, and the soot base material 42 before sintering is uniformly sintered in the sintering section 20, or the soot base material 42 is moved up and down reciprocally to be formed in the soot synthesis section 10. 41 to the sintering section 20, and the glass rod 40 sintered in the sintering section 20 to the soot synthesis section 10 alternately.
さて上記のような構成において、まず、スート合成容器
１３内で予熱バーナ１５からコア合成用の原料ガス（Ｓ
ｉＣ１ａとＧｅ（Ｊ４）を流してターゲット駆動部３０
により回転するターゲット３１の先端にコア用スートを
堆積してコア部を形成したうえで、スート合成用バーナ
１４からクラッド合成用の原料ガス（Ｓｉα４）を流し
てコア部の外周にクラッド用スートを堆積し、外在的φ
１２０＃のクラッド付コアスート母材４１をターゲッ
ト３１に堆積させる。Now, in the above configuration, first, the raw material gas for core synthesis (S
Target drive unit 30 by flowing iC1a and Ge (J4)
After depositing core soot on the tip of the rotating target 31 to form a core part, a raw material gas (Siα4) for cladding synthesis is flowed from the soot synthesis burner 14 to deposit cladding soot around the outer periphery of the core part. Deposited and extrinsic φ
A 120# clad core soot base material 41 is deposited on the target 31.
次に、このようにして１Ｇられたスート母材４１をター
ゲット駆動部３０により電気炉本体２５を通過して焼結
容器２３内の底部近くまで下降させ、スート母材４１の
上部がリングヒータ２４に臨むようにする。しかる後、
リングヒータ２４を１０００〜１５００℃に昇温し、Ｊ
Ｂ２０１１化と透明ガラス母材にするため、焼結容器２
３内に、焼結ガス供給孔２１からｌｌｅとＣ１２の混合
ガスを流す。コアスート母材４２の上部がリングヒータ
２４に臨み、ここから焼結して順次ガラスロッド化して
くるため、駆動部３０によりスート母材４２を１０〜２
０ｒｐＩＩＩに回転させながらゆっくりと上方へ一定の
速度（５０〜１００＃ＩＩＩＩ／Ｈ）で引上げていく。Next, the soot base material 41 subjected to 1G in this manner is lowered by the target drive unit 30 through the electric furnace main body 25 to near the bottom of the sintering container 23, and the upper part of the soot base material 41 is lowered to the ring heater 24. Be prepared to face the situation. After that,
Raise the temperature of the ring heater 24 to 1000 to 1500°C, and
Sintering container 2 to make B2011 and transparent glass base material
3, a mixed gas of lle and C12 is flowed from the sintering gas supply hole 21. The upper part of the core soot base material 42 faces the ring heater 24 and is sintered from here to be successively turned into a glass rod.
While rotating it to 0 rpm, slowly pull it upward at a constant speed (50 to 100 #III/H).
焼結後のガラスロッド４ｏがスート合成用バーブ１４に
臨む一時間程前からバーナ１４からクラッド用原料ガス
（ＳｉＣ１！４）と燃焼ガス（１１２，０２）を流し始
め、ガラスロッド４０が燃焼ガス（ｌ１２，０２）を流
してガラスロッド４０を予熱する予熱バーナ１５位置に
達したときに一定のガス流量になるようにする。Approximately one hour before the sintered glass rod 4o faces the soot synthesis barb 14, the cladding raw material gas (SiC1!4) and combustion gas (112,02) begin to flow from the burner 14, and the glass rod 40 receives the combustion gas. (l12,02) is made to flow to a constant gas flow rate when the preheating burner 15 position for preheating the glass rod 40 is reached.
これは、大口径になる外付スートがかさ密度の不均一、
熱歪等によってクランクを起すことを防止するためであ
る。スート合成用バーナ１４の原料ガス供給ｍは外径検
出器５０でガラスロンド４０の外径を検出しながら制御
手段５１によって調整し、外付スート外径を約φ １２
０＃に制御する。このようにして、ガラスロッド４０を
引上げて行く過程でその上部から下部に沿って均一にク
ラッド用スートを外付けしていく。その後再び外付した
スート母材４１を焼結容器２３内に下降し、同様の手順
で焼結、スート外付を繰り返すことによって大口径の全
合成母材を得る。This is due to the non-uniform bulk density of the external soot, which has a large diameter.
This is to prevent cranking due to thermal distortion or the like. The raw material gas supply m of the soot synthesis burner 14 is adjusted by the control means 51 while detecting the outer diameter of the glass iron 40 with the outer diameter detector 50, and the outer diameter of the external soot is adjusted to approximately φ12.
Control to 0#. In this way, in the process of pulling up the glass rod 40, the cladding soot is applied externally uniformly from the top to the bottom. Thereafter, the externally attached soot base material 41 is again lowered into the sintering container 23, and sintering and externally applying the soot are repeated in the same procedure to obtain a large-diameter fully synthetic base material.
この場合において、スート合成容器１３内の雰囲気ガス
と焼結容器２３内の雰囲気ガスとのシールは、連通路に
あるガラスロッド４０との隙間を２〜程度にし、Ｎ２ガ
ス３０．１＋／ｓｉｎでシールすルコとによって問題の
ないことがわかった。これは、スート合成容器１３内圧
力を−０，５〜−２ＭＩＩＡＱとし、焼結容器２３内圧
力を−０，１〜−０，４＃１ＩＡＱになるように各容器
１３．２３への吸気孔１１．２６からの吸気量を調整す
ることによって可能となった。In this case, the sealing between the atmospheric gas in the soot synthesis container 13 and the atmospheric gas in the sintering container 23 is achieved by keeping the gap between the glass rod 40 in the communication path to about 2 to 2, and using N2 gas of 30.1+/sin. A seal inspection revealed no problems. This is done by opening the intake holes to each container 13.23 so that the internal pressure of the soot synthesis container 13 is -0,5 to -2MIIAQ, and the internal pressure of the sintering container 23 is -0,1 to -0,4#1IAQ. This was made possible by adjusting the intake air volume from 11.26.
すなわち、焼結容器２３内圧力をスート合成容器１３内
よりも高くすることによって、焼結雰囲気ガスに、スー
ト合成容器１３内からの不純ガス混入を防止している。That is, by making the internal pressure of the sintering vessel 23 higher than that inside the soot synthesis vessel 13, impurity gas from inside the soot synthesis vessel 13 is prevented from being mixed into the sintering atmosphere gas.
又、圧力変動によって多少の混入があっても焼結雰囲気
ガスは５００℃以上の高温であるため焼結容器２３上部
の排気孔２２へ導かれ焼結容器２３内への影響はなかっ
た。Further, even if there was some contamination due to pressure fluctuations, the sintering atmosphere gas was guided to the exhaust hole 22 at the upper part of the sintering container 23 and did not affect the inside of the sintering container 23 because the sintering atmosphere gas was at a high temperature of 500° C. or more.
ところで、焼結容器２３をスート合成容器１３の下方で
はなく、上方に設けることも考えられるが、このように
すると、焼結容器２３内に引き上げたスート母材は下部
から順次ガラスロッド化させることになる。このガラス
ロッドを今度はスート合成容器１３内に下降してスート
を外付けすることになるが、下降させつつ外付けする場
合にせよ、一旦スート合成部よりも更に下げた後で上昇
させつつ外付けするにせよ、スート合成部の下部にスー
ト合成用バーナが位置していることには代わりはないの
で、ガラスロッドを焼結部から下降させてスート合成部
内の該バーナに臨ませるには、タイムロスが生じ連続的
な処理が不可能となる。By the way, it is possible to provide the sintering container 23 above the soot synthesis container 13 instead of below it, but if this is done, the soot base material pulled into the sintering container 23 will be turned into glass rods sequentially from the bottom. become. This glass rod will then be lowered into the soot synthesis container 13 and the soot will be attached externally, but even if it is attached externally while being lowered, it will be lowered further than the soot synthesis section and then raised and removed. However, there is no substitute for the fact that the soot synthesis burner is located at the bottom of the soot synthesis section, so in order to lower the glass rod from the sintering section to face the burner in the soot synthesis section, Time loss occurs and continuous processing becomes impossible.
しかも、上昇させつつ外付けする場合にはスート合成部
の下方に更に一旦スート母材を受は入れる管路が必要と
なり、装置高が高くなってしまう。Furthermore, when externally attaching while raising the soot material, a conduit is required below the soot synthesis section to temporarily receive the soot base material, which increases the height of the apparatus.
また、下降さ゛せつつ外付けする場合にはスート合成用
バーナの上方に専用の予熱バーナを必要としてしまうこ
とになる。In addition, if it is attached externally while descending, a dedicated preheating burner will be required above the soot synthesis burner.
ところが、上記実施例では焼結容器２３をスート合成容
器１３の下方に設けていることにより、焼結容器２３か
ら引ぎ上げると、そこにスート合成用バーナ１４がある
ため、焼結とスート外付けをタイムロスなしに連続的に
出来るのである。また、その間に予熱を可能とし、しか
も装置高はスート合成容器１３と焼結容器２３との２つ
の高さ分で済むので、低く抑えることができる。However, in the above embodiment, since the sintering container 23 is provided below the soot synthesis container 13, when the sintering container 23 is pulled up, the soot synthesis burner 14 is located there, so that the sintering and the soot synthesis burner 14 are located there. Attachment can be done continuously without any time loss. Further, preheating can be performed during this time, and the height of the apparatus can be kept low because it is only the height of the soot synthesis vessel 13 and the sintering vessel 23.
［発明の効果］
以上要するに本発明によれば、スート合成部の下方にこ
れと連通した焼結部を設け、スート合成部と焼結部間で
スート外付けと焼結とを交互に繰り返すように構成した
ことにより、大口径のガラスロッドを１つの装置で連続
的かつ全合成で製造することができるので、生産能率の
向上、設備費の低減が図れる。[Effects of the Invention] In summary, according to the present invention, a sintering section is provided below the soot synthesis section and communicated with the soot synthesis section, and soot external application and sintering are alternately repeated between the soot synthesis section and the sintering section. With this configuration, large-diameter glass rods can be manufactured continuously and by total synthesis using one device, so production efficiency can be improved and equipment costs can be reduced.
第１図は本発明の一実施例に係る光ファイバ母材の製造
装置の構成図、第２図は従来の光ファイバ母材の製造装
置例を示す構成図である。
図中、１０はスート合成部、１４はスート合成用バーナ
、２０は焼結部、２２及び２６はガスカーテンを形成す
る焼結ガス排気孔及び吸気孔、３０は繰返し手段として
のターゲット駆動部、３１はターゲット、４０はガラス
ロッド、４１はスート母材、５０は外径検出器、５１は
制御手段である。FIG. 1 is a block diagram of an optical fiber preform manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram showing an example of a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus. In the figure, 10 is a soot synthesis section, 14 is a burner for soot synthesis, 20 is a sintering section, 22 and 26 are sintering gas exhaust holes and intake holes that form a gas curtain, 30 is a target drive section as a repeating means, 31 is a target, 40 is a glass rod, 41 is a soot base material, 50 is an outer diameter detector, and 51 is a control means.
Claims (4)
コア部の外周又はコア部とクラッド部とから成るガラス
ロッドの外周にクラッド用スートを外付けしてスート母
材を形成させるスート合成部と、該スート合成部の下方
にこれと連通して設けられ、上記スート母材を焼結して
ガラスロッド化する焼結部と、上記スート母材の焼結部
への下降とガラスロッドのスート合成部への上昇を交互
に繰り返す手段とを備えた光ファイバ母材の製造装置。(1) A soot synthesis unit that forms a soot base material by externally applying cladding soot to the outer periphery of a core formed by depositing core soot on a target or to the outer periphery of a glass rod consisting of a core and cladding. , a sintering section provided below and in communication with the soot synthesis section, for sintering the soot base material to form a glass rod; An apparatus for manufacturing an optical fiber preform, comprising means for alternately repeating the ascending process to a synthesis section.
で仕切られ、スート合成部内の雰囲気と焼結部内の雰囲
気とがガスシールされていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の装置。(2) The soot synthesis section and the sintering section are separated by a gas curtain, and the atmosphere inside the soot synthesis section and the atmosphere inside the sintering section are gas-sealed. Apparatus described in section.
よりも高くしたことを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の装置。(3) The apparatus according to claim 2, wherein the pressure within the sintering section is higher than the pressure within the soot synthesis section.
定値と検出ガラスロッド外径との差に応じてスート合成
用バーナのガス流量を調節してクラッド用スートの径を
制御する制御手段を設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項ないし第３項のいずれかに記載の装置。(4) A control means in the soot synthesis section for controlling the diameter of the cladding soot by adjusting the gas flow rate of the soot synthesis burner according to the difference between the outer diameter setting value of the glass rod and the detected glass rod outer diameter. An apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is provided with:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25366686A JPS63107834A (en) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | Apparatus for producing base material for optical fiber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25366686A JPS63107834A (en) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | Apparatus for producing base material for optical fiber |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63107834A true JPS63107834A (en) | 1988-05-12 |
Family
ID=17254489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25366686A Pending JPS63107834A (en) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | Apparatus for producing base material for optical fiber |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63107834A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113277716A (en) * | 2021-05-27 | 2021-08-20 | 四川神光石英科技有限公司 | Equipment for producing high-quality synthetic quartz glass |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP25366686A patent/JPS63107834A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113277716A (en) * | 2021-05-27 | 2021-08-20 | 四川神光石英科技有限公司 | Equipment for producing high-quality synthetic quartz glass |
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