JPS63106530A - 半導体光検出器 - Google Patents
半導体光検出器Info
- Publication number
- JPS63106530A JPS63106530A JP24970686A JP24970686A JPS63106530A JP S63106530 A JPS63106530 A JP S63106530A JP 24970686 A JP24970686 A JP 24970686A JP 24970686 A JP24970686 A JP 24970686A JP S63106530 A JPS63106530 A JP S63106530A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- wavelength
- filter
- filters
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000005375 photometry Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
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- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
分光光度計、医用自動分析装置の光検出器として好適な
アレイ型半導体光検出器に関するものである。
アレイ型半導体光検出器に関するものである。
従来例は、特開昭５８−１０５０２４号に記載のように
、多数のガラスフィルタをホトダイオードの分散方向に
沿って配列、接合して、各受光素子に入射する単色光中
への迷光の混入を防止するようにしであるが、各ガラス
フィルタの接合部における光の散乱２反射、屈折等の影
響に対する配慮はなされていなかった。
、多数のガラスフィルタをホトダイオードの分散方向に
沿って配列、接合して、各受光素子に入射する単色光中
への迷光の混入を防止するようにしであるが、各ガラス
フィルタの接合部における光の散乱２反射、屈折等の影
響に対する配慮はなされていなかった。
上記従来技術は、多数のガラスフィルタをホトダイオー
ドの単色光の分散方向に配列、接合する構成をとってお
り、各ガラスフィルタの接合部に対する配慮がなされて
おらず、接合部に入射した光の散乱９反射、屈折等によ
り迷光の問題があった。
ドの単色光の分散方向に配列、接合する構成をとってお
り、各ガラスフィルタの接合部に対する配慮がなされて
おらず、接合部に入射した光の散乱９反射、屈折等によ
り迷光の問題があった。
本発明の目的は、上記の影響を除去した迷光の混入を防
止して、測定精度の向上を計ることにある。
止して、測定精度の向上を計ることにある。
ｃ問題点を解決するための手段〕
上記目的は、各ホトダイオードの受光波長と相対するフ
ィルタの透過波長を一致させた単一基板の連続可変干渉
フィルタをホトダイオード列の受光面の前に配置するこ
とにより達成される。
ィルタの透過波長を一致させた単一基板の連続可変干渉
フィルタをホトダイオード列の受光面の前に配置するこ
とにより達成される。
アレイ状に配列されたホトダイオード列と相対して設け
られた連続可変干渉フィルタとがそれぞれ同じ波長光に
対して、感度および透過を有しているため、他の波長光
により妨害を受けることはない、又、一枚の基板に連続
してフィルタが構成されているためフィルタ同志の接合
面による影響を受けることなく広い波長範囲にわたって
迷光の少ない高精度の測定を可能とするものである。
られた連続可変干渉フィルタとがそれぞれ同じ波長光に
対して、感度および透過を有しているため、他の波長光
により妨害を受けることはない、又、一枚の基板に連続
してフィルタが構成されているためフィルタ同志の接合
面による影響を受けることなく広い波長範囲にわたって
迷光の少ない高精度の測定を可能とするものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図において、１はアレイ型光検出器のパッケージ、
２〜４は可変干渉フィルタ、５は受光素子、６は入出力
端子である。また、Ａ部の詳細を第２図により説明する
１図において、２はフィルタ基板、３は干渉フィルタ部
の反射膜、４は干渉膜でフィルタの透過波長を決める部
分である。５は受光素子、１はパッケージである。受光
素子と可変干渉フィルタとの関係は、受光素子を５ｚ
、 ５ｘ 。
２〜４は可変干渉フィルタ、５は受光素子、６は入出力
端子である。また、Ａ部の詳細を第２図により説明する
１図において、２はフィルタ基板、３は干渉フィルタ部
の反射膜、４は干渉膜でフィルタの透過波長を決める部
分である。５は受光素子、１はパッケージである。受光
素子と可変干渉フィルタとの関係は、受光素子を５ｚ
、 ５ｘ 。
〜５ｎ１ｇ５ｎとアレイ状に配列しておき、受光素子と
対向して配置した可変干渉フィルタは、干渉波長を受光
素子が受光する波長と一致する如く構成しておく、第３
図は、上記の様に受光素子と可変干渉フィルタを組合せ
て構成した場合に得られるフィルタの透過特性であり、
透過特性の波長幅はフィルタの特性および受光素子の受
光面幅によって、その値が決定されるものである。従っ
て、同一可変干渉フィルタを使用しても受光素子の受光
面幅がより小さくなれば、フィルタの波長幅もより小さ
な値を示すことになる。
対向して配置した可変干渉フィルタは、干渉波長を受光
素子が受光する波長と一致する如く構成しておく、第３
図は、上記の様に受光素子と可変干渉フィルタを組合せ
て構成した場合に得られるフィルタの透過特性であり、
透過特性の波長幅はフィルタの特性および受光素子の受
光面幅によって、その値が決定されるものである。従っ
て、同一可変干渉フィルタを使用しても受光素子の受光
面幅がより小さくなれば、フィルタの波長幅もより小さ
な値を示すことになる。
上述の如く、受光素子列と可変干渉フィルタとを対向さ
せて設置し、受光波長とフィルタの透過波長とを一致す
る様に構成することにより、各受光素子には受光素子と
フィルタによって決定した単色光が入射することになり
、迷光、二次光に影響されることなく、高精度の測光を
広い波長範囲にわたって行うことが可能となる。
せて設置し、受光波長とフィルタの透過波長とを一致す
る様に構成することにより、各受光素子には受光素子と
フィルタによって決定した単色光が入射することになり
、迷光、二次光に影響されることなく、高精度の測光を
広い波長範囲にわたって行うことが可能となる。
本発明によれば、アレイ状に配列した各受光素子にそれ
ぞれ単色光が入射することとなり、迷光除去に極めて有
効である。また、フィルタは検出器の波長範囲を一枚で
カバーするため接続面がなく、接続面に入射する光の散
乱による影響も無く、高精度の測光を可能としている。
ぞれ単色光が入射することとなり、迷光除去に極めて有
効である。また、フィルタは検出器の波長範囲を一枚で
カバーするため接続面がなく、接続面に入射する光の散
乱による影響も無く、高精度の測光を可能としている。
第１図は本発明の実施例の全体構成図、第２図は第１図
のＡ部の詳細断面図、第３図は受光素子に対向するフィ
ルタの透過特性を示した図である。 １・・・検出器のパッケージ、２・・・フィルタ基板、
３・・・反射膜、４・・・干渉膜、５ｚ 、５ｚ・・・
５ ｎ−１？５ｆｌ受光素子、６・・・入出力ｍ子、Ｔ
ｌ 、Ｔ２・・・ＴｎｌＨＴｎ フィルタの透過特性。
のＡ部の詳細断面図、第３図は受光素子に対向するフィ
ルタの透過特性を示した図である。 １・・・検出器のパッケージ、２・・・フィルタ基板、
３・・・反射膜、４・・・干渉膜、５ｚ 、５ｚ・・・
５ ｎ−１？５ｆｌ受光素子、６・・・入出力ｍ子、Ｔ
ｌ 、Ｔ２・・・ＴｎｌＨＴｎ フィルタの透過特性。
Claims (1)
- １、受光素子を測定波長に従つて格子状に配列したアレ
イ型半導体光検出器において、該光検出器の受光窓に受
光素子の配列方向に平行に透過光波長が距離に対して連
続的に変えるごとく配列したフィルタを設けたことを特
徴とする半導体光検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24970686A JPS63106530A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 半導体光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24970686A JPS63106530A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 半導体光検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106530A true JPS63106530A (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=17196989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24970686A Pending JPS63106530A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | 半導体光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63106530A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0442738A2 (en) * | 1990-02-14 | 1991-08-21 | Hewlett-Packard Company | Variable wavelength light filter and sensor system |
| DE19706050A1 (de) * | 1997-02-07 | 1998-08-27 | Inst Chemo Biosensorik | Verfahren und Vorrichtung zur Spektralmessung von schnell bewegten Objekten |
| US5962853A (en) * | 1995-02-24 | 1999-10-05 | Institut Fuer Chemo- Und Biosensorik Muenster E.V. | Process for determining the surface state of highways in particular, and device for carrying out this process |
| GB2492120A (en) * | 2011-06-22 | 2012-12-26 | Melexis Tessenderlo Nv | Spectrum analyzing sensor with filter glued in cavity of sensing package |
-
1986
- 1986-10-22 JP JP24970686A patent/JPS63106530A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0442738A2 (en) * | 1990-02-14 | 1991-08-21 | Hewlett-Packard Company | Variable wavelength light filter and sensor system |
| US5962853A (en) * | 1995-02-24 | 1999-10-05 | Institut Fuer Chemo- Und Biosensorik Muenster E.V. | Process for determining the surface state of highways in particular, and device for carrying out this process |
| DE19706050A1 (de) * | 1997-02-07 | 1998-08-27 | Inst Chemo Biosensorik | Verfahren und Vorrichtung zur Spektralmessung von schnell bewegten Objekten |
| GB2492120A (en) * | 2011-06-22 | 2012-12-26 | Melexis Tessenderlo Nv | Spectrum analyzing sensor with filter glued in cavity of sensing package |
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