JPS6310481Y2 - - Google Patents
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- JPS6310481Y2 JPS6310481Y2 JP1981009056U JP905681U JPS6310481Y2 JP S6310481 Y2 JPS6310481 Y2 JP S6310481Y2 JP 1981009056 U JP1981009056 U JP 1981009056U JP 905681 U JP905681 U JP 905681U JP S6310481 Y2 JPS6310481 Y2 JP S6310481Y2
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Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、被測定物の表面の粗さを触針により
測定する触針式表面粗さ測定器の改良に関する。
測定する触針式表面粗さ測定器の改良に関する。
機械部品などの被測定物の表面の凸凹状態のう
ち、波長の短い成分である表面粗さを測定する測
定器として触針式表面粗さ測定器が広く用いられ
ている。この触針式表面粗さ測定器は、触針を被
測定面に当接させながら被測定面上を移動させ、
その際の被測定面の表面粗さにより生ずる触針の
変位を電気量に変換し、その電気量を知ることに
より表面粗さを測定するものである。
ち、波長の短い成分である表面粗さを測定する測
定器として触針式表面粗さ測定器が広く用いられ
ている。この触針式表面粗さ測定器は、触針を被
測定面に当接させながら被測定面上を移動させ、
その際の被測定面の表面粗さにより生ずる触針の
変位を電気量に変換し、その電気量を知ることに
より表面粗さを測定するものである。
表面粗さの測定に際しては、被測定物の表面の
微細でない凸凹状態であるいわゆる形状を無視す
ることが望ましい。そのために、可動自在な検出
部を設け、この検出部自体を被測定物の大きな凹
凸状態であるところのいわゆる被測定物の形状に
対応するよう可動させる。そして、検出部には被
測定面に当接しながら被測定面上を移動する被測
定面案内部を設け、この案内部より突出した触針
を用いて、最大高さ、十点平均粗さ、中心線平均
粗さ等の表面粗さを測定するよう構成されてい
る。
微細でない凸凹状態であるいわゆる形状を無視す
ることが望ましい。そのために、可動自在な検出
部を設け、この検出部自体を被測定物の大きな凹
凸状態であるところのいわゆる被測定物の形状に
対応するよう可動させる。そして、検出部には被
測定面に当接しながら被測定面上を移動する被測
定面案内部を設け、この案内部より突出した触針
を用いて、最大高さ、十点平均粗さ、中心線平均
粗さ等の表面粗さを測定するよう構成されてい
る。
これら触針式表面粗さ測定器にあつては、測定
精度の向上化、測定器の小型軽量化に伴い、触針
や触針を支持する測定アームは細く構成され、電
気的検出部も極めて精巧に構成されるようになつ
ている。
精度の向上化、測定器の小型軽量化に伴い、触針
や触針を支持する測定アームは細く構成され、電
気的検出部も極めて精巧に構成されるようになつ
ている。
しかしながら、このように極めて精巧かつ繊細
に構成された検出部を有する従来の触針式表面粗
さ測定器にあつては、触針が案内部より常に突出
されているため次のような欠点を有していた。す
なわち、被測定物を所定の位置に取り付けたり、
あるいは測定器自身を運搬するときなどに、被測
定物や人体などが触針に接触しやすく、そのため
触針や測定アーム、あるいはその他の内部機構を
破損する等の危険性を有していた。
に構成された検出部を有する従来の触針式表面粗
さ測定器にあつては、触針が案内部より常に突出
されているため次のような欠点を有していた。す
なわち、被測定物を所定の位置に取り付けたり、
あるいは測定器自身を運搬するときなどに、被測
定物や人体などが触針に接触しやすく、そのため
触針や測定アーム、あるいはその他の内部機構を
破損する等の危険性を有していた。
本考案の目的は、被測定物の設置時や測定器の
運搬時等の不使用時において触針に被測定物や人
体が不用意に接触する恐れがなく、しかも、測定
器の小型軽量化に反しないよう構成された触針式
表面粗さ測定器を提供するにある。
運搬時等の不使用時において触針に被測定物や人
体が不用意に接触する恐れがなく、しかも、測定
器の小型軽量化に反しないよう構成された触針式
表面粗さ測定器を提供するにある。
本考案は、保護ケースに形成された被測定面案
内部に触針突出用開口部を穿設し、前記保護ケー
ス内に揺動自在に支持された揺動体に被測定物表
面に当接可能な触針を取付けるとともに、この触
針が前記触針突出用開口部から突出する方向へ揺
動体を付勢する測定圧加圧用ばねを保護ケース内
に設け、前記被測定面案内部を被測定物表面に当
接させながら保護ケース及び被測定物を相対移動
させるとともに保護ケースに対する触針の相対変
位量から被測定面の表面粗さを検出する触針式表
面粗さ測定器において、前記保護ケース及び揺動
体間に設けられた板ばねからなり前記測定圧加圧
用ばねの付勢力に打ち勝つ付勢力でかつ触針が保
護ケース内に収納される方向へ前記揺動体を付勢
する触針保護用ばねと、測定時の通電により前記
触針保護用ばねを引きつけて触針保護用ばねの付
勢力から揺動体を開放する電磁石とを備えること
により、測定器の不使用時に電源を切ることによ
つて電磁石による触針保護用ばねの触針開放動作
を解き、触針保護用ばねによつて触針を自動的に
保護ケース内に収納させ、前記目的を達成しよう
とするものである。
内部に触針突出用開口部を穿設し、前記保護ケー
ス内に揺動自在に支持された揺動体に被測定物表
面に当接可能な触針を取付けるとともに、この触
針が前記触針突出用開口部から突出する方向へ揺
動体を付勢する測定圧加圧用ばねを保護ケース内
に設け、前記被測定面案内部を被測定物表面に当
接させながら保護ケース及び被測定物を相対移動
させるとともに保護ケースに対する触針の相対変
位量から被測定面の表面粗さを検出する触針式表
面粗さ測定器において、前記保護ケース及び揺動
体間に設けられた板ばねからなり前記測定圧加圧
用ばねの付勢力に打ち勝つ付勢力でかつ触針が保
護ケース内に収納される方向へ前記揺動体を付勢
する触針保護用ばねと、測定時の通電により前記
触針保護用ばねを引きつけて触針保護用ばねの付
勢力から揺動体を開放する電磁石とを備えること
により、測定器の不使用時に電源を切ることによ
つて電磁石による触針保護用ばねの触針開放動作
を解き、触針保護用ばねによつて触針を自動的に
保護ケース内に収納させ、前記目的を達成しよう
とするものである。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第1図において、測定器本体1には、検出部2
が可動軸3を介して揺動自在に支持されている。
この可動軸3は、検出部2を被測定物の大きさ、
形状等に対応させる目的で、測定器本体1に対
し、回転方向及び上下方向に位置調整可能とさ
れ、検出部2の揺動支点を含む傾き角度及び回転
方向角度を任意に設定できるようになつている。
が可動軸3を介して揺動自在に支持されている。
この可動軸3は、検出部2を被測定物の大きさ、
形状等に対応させる目的で、測定器本体1に対
し、回転方向及び上下方向に位置調整可能とさ
れ、検出部2の揺動支点を含む傾き角度及び回転
方向角度を任意に設定できるようになつている。
検出部2は長方形状の支持体4を有し、この支
持体4の一端は可動軸3に、可動軸3の中心軸方
向に沿つて固定されている。また、支持体4に
は、第1の検出コイル5及び第2の検出コイル6
が埋設され、これらのコイル5,6のリード線7
は可動軸3内を通つて測定器本体1内に導入さ
れ、コイル5,6及び図示しない2個の抵抗によ
りブリツジ回路が構成されている。
持体4の一端は可動軸3に、可動軸3の中心軸方
向に沿つて固定されている。また、支持体4に
は、第1の検出コイル5及び第2の検出コイル6
が埋設され、これらのコイル5,6のリード線7
は可動軸3内を通つて測定器本体1内に導入さ
れ、コイル5,6及び図示しない2個の抵抗によ
りブリツジ回路が構成されている。
支持体4の、第1及び第2の検出コイル5及び
6間の中央には、角棒状の揺動体8が、十字ばね
9を介して揺動自在に取り付けられている。この
揺動体8には、第1の誘電体10及び第2の誘電
体11が埋設され、これら第1及び第2の誘電体
10及び11は、それぞれ第1及び第2の検出コ
イル5及び6と所定の間隙を有して対峙するよう
構成されている。
6間の中央には、角棒状の揺動体8が、十字ばね
9を介して揺動自在に取り付けられている。この
揺動体8には、第1の誘電体10及び第2の誘電
体11が埋設され、これら第1及び第2の誘電体
10及び11は、それぞれ第1及び第2の検出コ
イル5及び6と所定の間隙を有して対峙するよう
構成されている。
揺動体8の一端(図中左端)は、触針保護用ば
ね12の先端により図中下方に付勢されている。
この触針保護用ばね12は基端を支持体4にねじ
止め固定されるとともに、ばね用鋼板などの磁性
材からなる板ばねにより構成されている。触針保
護用ばね12と対峙する位置において、支持体4
には通電時にばね12を引きつける電磁石13が
設けられている。この電磁石13のリード線14
は、可動軸3内を通つて測定器本体1内に導かれ
ている。
ね12の先端により図中下方に付勢されている。
この触針保護用ばね12は基端を支持体4にねじ
止め固定されるとともに、ばね用鋼板などの磁性
材からなる板ばねにより構成されている。触針保
護用ばね12と対峙する位置において、支持体4
には通電時にばね12を引きつける電磁石13が
設けられている。この電磁石13のリード線14
は、可動軸3内を通つて測定器本体1内に導かれ
ている。
さらに、揺動体8のこの端部は、板ばねより成
る測定圧加圧用ばね15により、図中上方に付勢
されている。この加圧用ばね15は、触針保護用
ばね12に比し、そのばね力は小さく構成されて
いるとともに、調整ねじ16により、そのばね力
の大きさは調整できるよう構成されている。
る測定圧加圧用ばね15により、図中上方に付勢
されている。この加圧用ばね15は、触針保護用
ばね12に比し、そのばね力は小さく構成されて
いるとともに、調整ねじ16により、そのばね力
の大きさは調整できるよう構成されている。
揺動体8の他端(図中右端)には、棒状の測定
アーム17が揺動体8の長手方向に沿つて延びる
よう固定されており、この測定アーム17は円筒
状の保護ケース18内に揺動可能に収納されてい
る。
アーム17が揺動体8の長手方向に沿つて延びる
よう固定されており、この測定アーム17は円筒
状の保護ケース18内に揺動可能に収納されてい
る。
保護ケース18は、支持体4及び揺動体8を収
納する検出部枠体19を備え、可動軸3を介して
測定器本体1に対して支持体4と一体的に揺動で
きるよう構成されている。
納する検出部枠体19を備え、可動軸3を介して
測定器本体1に対して支持体4と一体的に揺動で
きるよう構成されている。
保護ケース18の先端部側面における図中下方
側には、半球状の被測定面案内部20が形成され
ている。この案内部20の中央には、測定アーム
17の先端部に垂直に固定された触針21が突出
することのできる触針突出用開口部22が穿設さ
れている。
側には、半球状の被測定面案内部20が形成され
ている。この案内部20の中央には、測定アーム
17の先端部に垂直に固定された触針21が突出
することのできる触針突出用開口部22が穿設さ
れている。
また、検出部枠体19の内壁には、触針21が
保護ケース18内に急激に引つ込んで保護ケース
18と激しくぶつかり破損を招くことを防止する
ためのダンパ機構としてのゴム体23が設けられ
ている。このゴム体23は、揺動体8の可動軸3
側の下側面と所定の位置で当接し、測定アーム1
7と保護ケース18との激突を防止するよう構成
されている。
保護ケース18内に急激に引つ込んで保護ケース
18と激しくぶつかり破損を招くことを防止する
ためのダンパ機構としてのゴム体23が設けられ
ている。このゴム体23は、揺動体8の可動軸3
側の下側面と所定の位置で当接し、測定アーム1
7と保護ケース18との激突を防止するよう構成
されている。
なお、符号24は被測定物であり、この被測定
物24はテーブル25上に載置され、このテーブ
ル25は第1図中矢印で示される水平方向に移動
可能にされ、このテーブル25を移動させること
により触針21と被測定物24の表面すなわち被
測定面とが相対的に移動できるようにされてい
る。
物24はテーブル25上に載置され、このテーブ
ル25は第1図中矢印で示される水平方向に移動
可能にされ、このテーブル25を移動させること
により触針21と被測定物24の表面すなわち被
測定面とが相対的に移動できるようにされてい
る。
次に、本実施例の作用につき説明する。
本実施例を用いて被測定面の粗さを測定する場
合、まず測定器本体1に対し、支持体4の向きを
被測定物24の大きさ、形状等に合せて所定の向
きに設定しておく。これにより、検出部2は測定
器本体1に設けられた支点を中心として保護ケー
ス側が上下方向のいずれにも回動でき、被測定面
案内部20が被測定物24の表面に当接した状態
となる。
合、まず測定器本体1に対し、支持体4の向きを
被測定物24の大きさ、形状等に合せて所定の向
きに設定しておく。これにより、検出部2は測定
器本体1に設けられた支点を中心として保護ケー
ス側が上下方向のいずれにも回動でき、被測定面
案内部20が被測定物24の表面に当接した状態
となる。
この状態で電源を入れると、検出コイル5,6
及び電磁石13が通電され、電磁石13は励磁さ
れる。電磁石13が励磁されると、触針保護用ば
ね12は電磁石13に引きつけられる。このた
め、保護用ばね12による揺動体8に対する付勢
は解除されることとなる。
及び電磁石13が通電され、電磁石13は励磁さ
れる。電磁石13が励磁されると、触針保護用ば
ね12は電磁石13に引きつけられる。このた
め、保護用ばね12による揺動体8に対する付勢
は解除されることとなる。
揺動体8が保護用ばね12から開放されると、
揺動体8の一端は測定圧加圧用ばね15のみによ
り付勢されることとなり、揺動体8の他端側に設
けられた触針21の先端は開口部22より突出す
る。この際、触針21には被測定表面の微細な凸
凹状態に対応するために必要な、いわゆる測定圧
が加えられることとなる。
揺動体8の一端は測定圧加圧用ばね15のみによ
り付勢されることとなり、揺動体8の他端側に設
けられた触針21の先端は開口部22より突出す
る。この際、触針21には被測定表面の微細な凸
凹状態に対応するために必要な、いわゆる測定圧
が加えられることとなる。
ついで、テーブル25を第1図中矢印方向例え
ば右方に移動させることにより、被測定面案内部
20を被測定面に当接させながら面上を移動させ
れば、開口部22から突出した触針21の、保護
ケース18内における変位は、被測定物24の形
状によるものは無く、表面粗さによるもののみと
なる。
ば右方に移動させることにより、被測定面案内部
20を被測定面に当接させながら面上を移動させ
れば、開口部22から突出した触針21の、保護
ケース18内における変位は、被測定物24の形
状によるものは無く、表面粗さによるもののみと
なる。
触針21が変位すると、その変位の大きさに応
じて第1の検出コイル5と第1の誘電体10との
間隙、第2の検出コイル6と第2の誘電体11と
の間隙がそれぞれ変化する。これら間隙の変化に
より、第1及び第2の検出コイル5及び6のそれ
ぞれのインダクタンスの変動が生ずる。これらイ
ンダクタンスの変動は、前記ブリツジ回路を介し
て表面粗さの測定値として図示しない測定値表示
装置や記録装置等に出力されることとなる。
じて第1の検出コイル5と第1の誘電体10との
間隙、第2の検出コイル6と第2の誘電体11と
の間隙がそれぞれ変化する。これら間隙の変化に
より、第1及び第2の検出コイル5及び6のそれ
ぞれのインダクタンスの変動が生ずる。これらイ
ンダクタンスの変動は、前記ブリツジ回路を介し
て表面粗さの測定値として図示しない測定値表示
装置や記録装置等に出力されることとなる。
また、非測定時すなわち不使用時にあつては、
電源を切ると電磁石13の磁気力は消失し、触針
保護用ばね12は電磁石13の磁気力から開放さ
れる。触針保護用ばね12のばね力は測定圧加圧
用ばね15のばね力よりも大きいものとして構成
されているので、揺動体8は測定圧加圧用ばね1
5に抗して図中反時計方向に回動され、触針21
は保護ケース18内に収納されることとなる。こ
の際、揺動体8の図中左端の下方には、ダンパと
してのゴム体23が設けられているので、測定ア
ーム17の先端部が保護ケース18と激突してし
まうということはない。
電源を切ると電磁石13の磁気力は消失し、触針
保護用ばね12は電磁石13の磁気力から開放さ
れる。触針保護用ばね12のばね力は測定圧加圧
用ばね15のばね力よりも大きいものとして構成
されているので、揺動体8は測定圧加圧用ばね1
5に抗して図中反時計方向に回動され、触針21
は保護ケース18内に収納されることとなる。こ
の際、揺動体8の図中左端の下方には、ダンパと
してのゴム体23が設けられているので、測定ア
ーム17の先端部が保護ケース18と激突してし
まうということはない。
このような本実施例によれば次のような効果が
ある。
ある。
電源が切られている非測定時にあつては、触針
21が保護ケース18内に自動的に収納されるの
で、被測定物24の設置時や測定器の運搬時等に
あつても触針21に被測定物24や人体等が不用
意に触れてしまうという恐れが無い。そのため、
触針21や測定アーム17、あるいはその他の機
構を破損する危険性が無い。
21が保護ケース18内に自動的に収納されるの
で、被測定物24の設置時や測定器の運搬時等に
あつても触針21に被測定物24や人体等が不用
意に触れてしまうという恐れが無い。そのため、
触針21や測定アーム17、あるいはその他の機
構を破損する危険性が無い。
しかも、触針21を保護ケース18内に収納す
るためには何ら特別の操作を必要とせず、唯単に
装置の電源を切ればよいので極めて便宜であり、
触針21を収納するのを忘れるという事もないと
いう効果がある。
るためには何ら特別の操作を必要とせず、唯単に
装置の電源を切ればよいので極めて便宜であり、
触針21を収納するのを忘れるという事もないと
いう効果がある。
また、検出部枠体19にはダンパとしてのゴム
体23が取り付けられているので、触針21の収
納の際に測定アーム17が保護ケース18に激突
して破損を招くという恐れもない。
体23が取り付けられているので、触針21の収
納の際に測定アーム17が保護ケース18に激突
して破損を招くという恐れもない。
さらに、触針21を収納する機構は、構造も簡
易であり、測定のために本来的に必要な電気を利
用する構成を採つているものであるから、装置全
体の小型化及び軽量化に反することがないという
効果がある。さらに、触針保護用ばね12を板ば
ねとした点からも装置を小型化、軽量化できる。
易であり、測定のために本来的に必要な電気を利
用する構成を採つているものであるから、装置全
体の小型化及び軽量化に反することがないという
効果がある。さらに、触針保護用ばね12を板ば
ねとした点からも装置を小型化、軽量化できる。
また、測定圧加圧用ばね15のばね力は、調整
ねじ16をドライバー等により調整するだけで容
易に調整できる。したがつて、種々の被測定物2
4の表面状態に応じた測定圧が容易に得られると
いう効果がある。
ねじ16をドライバー等により調整するだけで容
易に調整できる。したがつて、種々の被測定物2
4の表面状態に応じた測定圧が容易に得られると
いう効果がある。
なお、上述の実施例は、触針21の変位を電気
量に変換する方式として、いわゆる可動鉄片式と
いわれるものであつたが、それに限らず、例えば
差動トランス式等の他の変換方式を用いたもので
あつてもよい。ただし、差動トランス式を採れ
ば、検出部2の高さが高くなることとなろう。
量に変換する方式として、いわゆる可動鉄片式と
いわれるものであつたが、それに限らず、例えば
差動トランス式等の他の変換方式を用いたもので
あつてもよい。ただし、差動トランス式を採れ
ば、検出部2の高さが高くなることとなろう。
また、測定圧加圧用ばね15は板ばねにより構
成されているものとしたが、板ばねに限らずコイ
ルばね、竹の子ばね等の他のばねを用いたもので
あつてもよいし、ゴムチユーブ等の弾性容器に収
納された圧縮空気等による他の付勢機構であつて
もよい。
成されているものとしたが、板ばねに限らずコイ
ルばね、竹の子ばね等の他のばねを用いたもので
あつてもよいし、ゴムチユーブ等の弾性容器に収
納された圧縮空気等による他の付勢機構であつて
もよい。
さらに、測定圧加圧用ばね15の調整ねじ16
は必らずしも設ける必要はないが、ねじ16によ
り所望の測定圧が容易に得られるという効果があ
る。
は必らずしも設ける必要はないが、ねじ16によ
り所望の測定圧が容易に得られるという効果があ
る。
また、触針保護用ばね12は磁性体により構成
されているものとしたが、ばね12は銅などの非
磁性体で構成されるとともに、第2図に示される
ように、このばね12に当接可能でかつ電磁石1
3に吸着される磁性体26で開放方向に移動させ
るものでもよい。
されているものとしたが、ばね12は銅などの非
磁性体で構成されるとともに、第2図に示される
ように、このばね12に当接可能でかつ電磁石1
3に吸着される磁性体26で開放方向に移動させ
るものでもよい。
また、ダンパ機構は、揺動体8と当接する位置
に設けられたものに限らず、測定アーム17と当
接するものであつてもよいし、その構成もゴム体
に限らずダツシユポツト形式のものであつてもよ
い。あるいは、第3図に示されるように、圧縮ば
ね及びばね受けより構成されるものであつてもよ
い。さらに、ダンパ機構それ自体を有さないもの
であつてもよいが、ダンパ機構を設けることによ
り、触針21の収納の際の測定アーム17や触針
21などの他の部材への激突を確実に防止するこ
とができる。
に設けられたものに限らず、測定アーム17と当
接するものであつてもよいし、その構成もゴム体
に限らずダツシユポツト形式のものであつてもよ
い。あるいは、第3図に示されるように、圧縮ば
ね及びばね受けより構成されるものであつてもよ
い。さらに、ダンパ機構それ自体を有さないもの
であつてもよいが、ダンパ機構を設けることによ
り、触針21の収納の際の測定アーム17や触針
21などの他の部材への激突を確実に防止するこ
とができる。
さらに、触針21と被測定物24との測定の為
の相対移動は、前記実施例のようにテーブル25
を移動させるものに限らず、測定器本体1側を移
動させてもよい。しかし、前記実施例のようにテ
ーブル25側を移動させる方が駆動機構を簡略に
できる利点がある。
の相対移動は、前記実施例のようにテーブル25
を移動させるものに限らず、測定器本体1側を移
動させてもよい。しかし、前記実施例のようにテ
ーブル25側を移動させる方が駆動機構を簡略に
できる利点がある。
上述のように、本考案によれば、被測定物の設
置時や測定器の運搬時においても触針に被測定物
や人体が不用意に接触する恐れがなく、しかも、
測定器の小型軽量化に反することのない触針式表
面粗さ測定器を提供することができる。
置時や測定器の運搬時においても触針に被測定物
や人体が不用意に接触する恐れがなく、しかも、
測定器の小型軽量化に反することのない触針式表
面粗さ測定器を提供することができる。
第1図は、本考案による触針式表面粗さ測定器
の一実施を示す断面図、第2図は他の実施例を示
す説明図である。 1……測定器本体、2……検出部、3……可動
軸、5,6……検出コイル、8……揺動体、1
0,11……誘電体、12……触針保護用ばね、
13……電磁石、15……測定圧加圧用ばね、1
8……保護ケース、20……被測定面案内部、2
1……触針、22……触針突出用開口部、26…
…磁性体。
の一実施を示す断面図、第2図は他の実施例を示
す説明図である。 1……測定器本体、2……検出部、3……可動
軸、5,6……検出コイル、8……揺動体、1
0,11……誘電体、12……触針保護用ばね、
13……電磁石、15……測定圧加圧用ばね、1
8……保護ケース、20……被測定面案内部、2
1……触針、22……触針突出用開口部、26…
…磁性体。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 保護ケースに形成された被測定面案内部に触
針突出用開口部を穿設し、前記保護ケース内に
揺動自在に支持された揺動体に被測定物表面に
当接可能な触針を取付けるとともに、この触針
が前記触針突出用開口部から突出する方向へ揺
動体を付勢する測定圧加圧用ばねを保護ケース
内に設け、前記被測定面案内部を被測定物表面
に当接させながら保護ケース及び被測定物を相
対移動させるとともに保護ケースに対する触針
の相対変位量から被測定物表面の表面粗さを検
出する触針式表面粗さ測定器において、前記保
護ケース及び揺動体間に設けられた板ばねから
なり前記測定圧加圧用ばねの付勢力に打ち勝つ
付勢力でかつ触針が保護ケース内に収納される
方向へ前記揺動体を付勢する触針保護用ばね
と、測定時の通電により前記触針保護用ばねを
引きつけて触針保護用ばねの付勢力から揺動体
を開放する電磁石とを備えたことを特徴とする
触針式表面粗さ測定器。 (2) 前記実用新案登録請求の範囲第1項記載の測
定器において、前記測定圧加圧用ばねは測定圧
調整可能であることを特徴とする触針式表面粗
さ測定器。 (3) 前記実用新案登録請求の範囲第1項又は第2
項記載の測定器において、触針突出用開口部
は、半球状に形成された被測定面案内部に設け
られたことを特徴とする触針式表面粗さ測定
器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1981009056U JPS6310481Y2 (ja) | 1981-01-23 | 1981-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1981009056U JPS6310481Y2 (ja) | 1981-01-23 | 1981-01-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57122506U JPS57122506U (ja) | 1982-07-30 |
JPS6310481Y2 true JPS6310481Y2 (ja) | 1988-03-29 |
Family
ID=29807191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1981009056U Expired JPS6310481Y2 (ja) | 1981-01-23 | 1981-01-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6310481Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6296811A (ja) * | 1986-10-30 | 1987-05-06 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 載置型表面粗さ測定機 |
JP4532844B2 (ja) * | 2003-04-17 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 表面性識別装置とこれを用いた加熱装置及び画像形成装置 |
JP5000894B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2012-08-15 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5329508Y2 (ja) * | 1973-11-12 | 1978-07-24 |
-
1981
- 1981-01-23 JP JP1981009056U patent/JPS6310481Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57122506U (ja) | 1982-07-30 |
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