JPS6299039A - Vacuum chuck - Google Patents
Vacuum chuckInfo
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- JPS6299039A JPS6299039A JP23683485A JP23683485A JPS6299039A JP S6299039 A JPS6299039 A JP S6299039A JP 23683485 A JP23683485 A JP 23683485A JP 23683485 A JP23683485 A JP 23683485A JP S6299039 A JPS6299039 A JP S6299039A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
−の１
この発明は、例えばウェーハ等の薄円板を真空吸着して
保持するバキュームチャックに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION -1 The present invention relates to a vacuum chuck that holds a thin circular plate, such as a wafer, by vacuum suction.
苅」ｋＱＭｉ社
本出願人はこの発明に先立って薄円板の直径寸法が変更
になってもチャックベースを取り替える必要のないバキ
ュームチャックを出願している。以下このバキュームチ
ャックの構造を第５図乃至第７図について説明する。Prior to the present invention, the present applicant, kQMi Co., Ltd., had applied for a vacuum chuck that does not require replacing the chuck base even if the diameter of the thin disk changes. The structure of this vacuum chuck will be explained below with reference to FIGS. 5 to 7.
同図に於いて、（１０）はテーブル、（２０）はチャッ
クベース、（３０）は切替えバルブ、（４０）は抜は止
め、（５０）はチャックテーブル、（６０）は薄円板を
示す。In the figure, (10) is the table, (20) is the chuck base, (30) is the switching valve, (40) is the removal stop, (50) is the chuck table, and (60) is the thin disk. .
テーブル（１０）は水平に保持され、所定の位置に外部
の真空ポンプ（図示せず）と連結された吸気孔（１））
を設けている。The table (10) is held horizontally and the intake hole (1) is connected to an external vacuum pump (not shown) in place.
has been established.
チャックベース（２０）は前記テーブル（１０）上に取
着され、該テーブル（１０）の吸気孔（１））と連通ず
る吸気孔（２１）及び円形状の第１ポケッｌ−（２２）
と第１ポケット（２２）の外周に３重に配された第２及
び第３のポケット（２３） （２４）を設けている。The chuck base (20) is mounted on the table (10) and has an intake hole (21) communicating with the intake hole (1) of the table (10) and a circular first pocket (22).
Second and third pockets (23) and (24) arranged in three layers are provided around the outer periphery of the first pocket (22).
また、チャックベース（２０）はバルブ嵌挿孔（２５）
を設け、この嵌挿孔（２５）に前記第１、第２及び第３
のポケッ） （２２）（２３） （２４）と夫々連通
する第１）第２及び第３の流通孔（２６） （２７）
（２Ｂ）を開口すると共に、抜は止め嵌挿孔（２９
）を開口している。In addition, the chuck base (20) has a valve insertion hole (25).
is provided, and the first, second and third holes are provided in this insertion hole (25).
(1) second and third communication holes (26) (27) communicating with (22) (23) (24), respectively
(2B) and the insertion hole (29
) is open.
切替えバルブ（３０）は前記チャックベース（２０）の
バルブ嵌挿孔（２５）に嵌挿され、前記第１流通孔（２
６）と連通ずる第１通気孔（３１）を設け、この第１通
気孔（３１）の前記第２連通孔（２７）と対向する位置
に、第６図に示すように、２個の第２通気孔（３２ａ）
（３２ｂ）を開口すると共に、前記第３流通孔（２８）
と対向する位置に、前記第２通気孔（３２ａ）（３２ｂ
）の一方（図面で示す実施例では（３２ａ））と位相が
同じ第３通気孔（３３）を開口している。また、切替え
バルブ（３０）は頭部（３４）をスパナ等で容易に回動
し得るように、第７図に示すように四角形状に形成し、
かつ、前記チャックベース（２０）の抜は止め嵌挿孔（
２９）と対向する位置に環状溝（３５）を設けている。The switching valve (30) is fitted into the valve fitting hole (25) of the chuck base (20), and is inserted into the first communication hole (25).
As shown in FIG. 6, a first ventilation hole (31) is provided which communicates with 2 ventilation holes (32a)
(32b) and the third communication hole (28).
The second ventilation holes (32a) (32b)
) (in the embodiment shown in the drawings, (32a)) has a third ventilation hole (33) that has the same phase as that of the other (32a) in the embodiment shown in the drawings. In addition, the switching valve (30) has a head (34) formed in a rectangular shape as shown in FIG. 7 so that it can be easily rotated with a spanner or the like.
In addition, the chuck base (20) is inserted into the insertion hole (
An annular groove (35) is provided at a position opposite to the groove (29).
陵は止め（４０）は前記チャックベース（２０）の抜は
止め嵌挿孔（２９）に嵌挿され、その先端小径部（４１
）を前記チャックベース（２０）のバルブ嵌挿孔（２５
）内に嵌挿した前記切替えバルブ（３０）の環状溝（３
５）に嵌入して切替えバルブ（３０）がその軸方向に抜
は出るを阻止している。The rib stopper (40) is inserted into the removable stopper insertion hole (29) of the chuck base (20), and its small diameter portion (41)
) into the valve insertion hole (25) of the chuck base (20).
) of the switching valve (30) inserted into the annular groove (3
5) to prevent the switching valve (30) from being pulled out in the axial direction.
チャックテーブル（５０）は前記チャックベース（２０
）上に取着され、最大径（Ｄｌ）の薄円板（６０）の載
置面積より若干大きい面積内に多数の吸着孔（５１）
（５１）−を設けている。The chuck table (50) is connected to the chuck base (20).
), and has a large number of suction holes (51) in an area slightly larger than the mounting area of the thin disk (60) with the maximum diameter (Dl).
(51)- is provided.
次に、上記構造からなるバキュームチャックの作用を説
明する。Next, the operation of the vacuum chuck having the above structure will be explained.
第５図は最大径（Ｄｌ）の１円Ｆｉ（６０）を真空吸着
して保持する状態を示し、この時、切替えバルブ（３０
）の第２通気孔（３２ａ）と第３通気孔（３３）はチャ
ックベース（２０）の第２流通孔（２７）と第３流通孔
（２８）に連通されており、真空ポンプの吸引は第１ポ
ケット（２２） 、第２ポケット（２３）及び第３ポケ
ット（２４）に夫々作用し、チャックテーブル（５０）
に設けた全ての吸着孔（５１） （５１）・・・が吸
気する。従って、最大径（Ｄりの薄円板（６０）がチャ
ックテーブル（５０）上に載置されると、薄円板（６０
）はチャフクチ−プル（５０）上に所定の吸着力で真空
吸着される。次に、中間径（Ｄ２）のウェーハ（６０）
を真空吸着して保持する場合は、切替えバルブ（３０）
を第６図中時計方向に９０°回動すると、第２通気孔＜
３２２）と第３通気孔（３３）がバルブ嵌挿孔（２５）
の内径面によって遮断され、替わって第２通気孔（３２
ｂ ）がチャックベース（２０）の第２流通孔（２７）
と連通し、真空ポンプの吸引は第１ポケット（２２）及
び第２ポケット（２３）に作用し、チャックテーブル（
５０）に設けた中間径（Ｄ２）の薄円板（６０）の載置
面積より若干大きい面積内の吸着孔（５１）（５１）−
・のみが吸気する。従って、中間径（Ｄ２の１円ｉ （
６０）がチャックテーブル（５０）上に載置されると、
薄円板（６０）はチャックテーブル（５０ン上に所定の
吸着力で真空吸着される。Figure 5 shows a state in which 1 yen Fi (60) with the maximum diameter (Dl) is held by vacuum suction, and at this time, the switching valve (30
) The second ventilation hole (32a) and the third ventilation hole (33) of the chuck base (20) are communicated with the second ventilation hole (27) and the third ventilation hole (28) of the chuck base (20), and the suction of the vacuum pump is The chuck table (50) acts on the first pocket (22), the second pocket (23) and the third pocket (24), respectively.
All the suction holes (51), (51), etc. provided in the air take in air. Therefore, when the thin disk (60) with the maximum diameter (D) is placed on the chuck table (50), the thin disk (60)
) is vacuum-adsorbed onto the chafuku chip (50) with a predetermined adsorption force. Next, a wafer (60) with an intermediate diameter (D2)
When holding by vacuum suction, use the switching valve (30)
When rotated 90 degrees clockwise in Figure 6, the second ventilation hole <
322) and the third ventilation hole (33) are the valve insertion hole (25)
The second ventilation hole (32
b) is the second communication hole (27) of the chuck base (20)
The suction of the vacuum pump acts on the first pocket (22) and the second pocket (23), and the chuck table (
The suction holes (51) (51)- have an area slightly larger than the mounting area of the thin disk (60) with an intermediate diameter (D2) provided in 50).
・Only inhale. Therefore, the intermediate diameter (1 circle i of D2 (
60) is placed on the chuck table (50),
The thin disk (60) is vacuum suctioned onto a chuck table (50 mm) with a predetermined suction force.
そして、最小径（Ｄ３）の薄円板（６０）を真空吸着し
て保持する場合は、切替えバルブ（３０）を更に第６図
中時計方向に９０°回動すると、第２吸気孔（３２ｂ
）がバルブ嵌挿孔（２５）の内径面によって遮断され、
これによって、真空ポンプの吸引は第１ボケツ） （２
２）のみに作用し、チャックテーブル（５０）に設けた
最小径（Ｄ３）の薄円板（６０）の載置面積より若干大
きい面積内の吸着孔（５１） （５］）−のみが吸気
する。従って、最小径（Ｄ３）の薄円板（６０）′がチ
ャックテーブル（５０）上に載置されると、薄円板（６
０）はチャックテーブル（５０）上の所定の吸着力で真
空吸着される。When holding the thin disk (60) with the minimum diameter (D3) by vacuum suction, if the switching valve (30) is further rotated 90 degrees clockwise in FIG.
) is blocked by the inner diameter surface of the valve insertion hole (25),
As a result, the suction of the vacuum pump becomes the first hole) (2
2), and only the suction holes (51) (5])- in an area slightly larger than the mounting area of the thin disk (60) with the minimum diameter (D3) provided on the chuck table (50) are inhaled. do. Therefore, when the thin disk (60)' with the minimum diameter (D3) is placed on the chuck table (50), the thin disk (60)'
0) is vacuum suctioned with a predetermined suction force on the chuck table (50).
以上のように切替えバルブ（３０）を回動操作するだけ
で、３ｔ！類の直径が異なる薄円板（６０）をチャック
テーブル（５０）を取り替えることな； く所定の吸着
力で真空吸着できる。Just by rotating the switching valve (30) as described above, you can get 3t! Thin disks (60) of different diameters can be vacuum-chucking with a predetermined suction force without replacing the chuck table (50).
尚、上記説明では薄円板（６０）の直径が３種類のｌｆ
ｉ 合について述べたが、このバキュームチャックはこ
れに限定されるものではなく、３種類以上も可能である
。In addition, in the above explanation, the diameter of the thin disk (60) is lf
Although the vacuum chuck is not limited to this, three or more types are possible.
■（５占
ところで、上記バキュームチャックに於いて、薄円板（
６０）をチャックテーブル（５０）上から搬出する時、
チャックテーブル（５０）上に作用する表面張力に対処
する為、吸気が解放されると水を逆噴射して薄円板（６
０）を水圧浮上させる必要がある。■(By the way, in the vacuum chuck mentioned above, there is a thin disc (
60) from the chuck table (50),
To counter the surface tension acting on the chuck table (50), when the intake air is released, water is injected back to the thin disk (6).
0) must be hydraulically levitated.
ところが、吸気と同じ経路で水の逆噴射を行なうと、薄
円板（６０）から露出した吸気孔（５１）（５１）−・
から先ず水が噴射する為、薄円板（６０）のはがれ易い
部分から片浮きして該薄円板（６０）が反ってしまい、
半導体ウェーハの如き薄円板（６０）では割れる恐れが
多分にあった。However, when water is injected backward through the same route as the intake air, the intake holes (51) (51) exposed from the thin disk (60)
Since water is first jetted from the top, one side of the thin disk (60) is lifted from the part that is likely to peel off, causing the thin disk (60) to warp.
A thin disk (60) such as a semiconductor wafer was likely to break.
口 １° るための−
この発明は上記問題点に鑑み水平に保持されたテーブル
上にチャックベースを取着し、該チャックベース上に多
数の吸着孔を設けたチャックテーブルを取着してなり、
前記チャックベースの上面に外部の吸引装置と連通ずる
第１ポケットを設けると共に該第１ポケットの外周に複
数重に環状のポケットを設け、かつ、チャックベースに
第１ポケットと各ポケットを適宜に連通・遮断する虚数
の切替えバルブを設け、各切替バルブ内に夫々逆止め弁
を設けたものである。In view of the above-mentioned problems, the present invention has a chuck base mounted on a horizontally held table, and a chuck table provided with a large number of suction holes mounted on the chuck base. ,
A first pocket communicating with an external suction device is provided on the upper surface of the chuck base, and a plurality of annular pockets are provided on the outer periphery of the first pocket, and the first pocket and each pocket are appropriately communicated with the chuck base.・An imaginary switching valve is provided to shut off, and a check valve is provided inside each switching valve.
作■
水を逆噴射すると、薄円板を中央部から均等に水圧によ
り持ち上げてチャックテーブルより浮上させることがで
きる。■ By spraying water backwards, the thin disk can be evenly lifted from the center by water pressure and floated above the chuck table.
実施■
第１図乃至第４図はこの発明を第５図乃至第７図に示す
バキュームチャックに適用した一実施例で、第５図乃至
第７図と同一符号は同−或いは類似内容のものを示し、
相違するこの発明の特徴はチャックベース（２０）に複
数例えば２個の切換バルブ（７０） （８０）を設け
たことにある。Implementation ■ Figures 1 to 4 show an embodiment in which this invention is applied to the vacuum chuck shown in Figures 5 to 7, and the same reference numerals as in Figures 5 to 7 have the same or similar contents. shows,
A different feature of the present invention is that a plurality of, for example, two, switching valves (70) (80) are provided on the chuck base (20).
第１切換バルブ（７０）はチャックベース（２０）の第
・ｌバルブ嵌挿孔（２５）に嵌挿され、チャックベース
（２０）の第１流通孔（２６）と連通ずる第１通気孔（
７１）を設け、この第１通気孔（７１）のチャックベー
ス（２０）の第３連通孔（２７）と対向する位置に第２
通気孔（７２）を開口すると共に、チャックベース（２
０）の第３連通孔（２８）と対向する位置に第３通気孔
（７３）を開口し、かつ、前記第１通気孔（７１）内の
第２通気孔（７２）と第３通気孔（７３）との間に逆止
め弁（７４）を板状のスペーサ（７５） （７６）を
介して配設している。The first switching valve (70) is fitted into the L-th valve fitting hole (25) of the chuck base (20), and the first ventilation hole (25) communicates with the first communication hole (26) of the chuck base (20).
71), and a second ventilation hole (71) is provided at a position facing the third communication hole (27) of the chuck base (20) of the first ventilation hole (71).
While opening the ventilation hole (72), open the chuck base (2).
A third ventilation hole (73) is opened at a position facing the third communication hole (28) of 0), and a second ventilation hole (72) and a third ventilation hole in the first ventilation hole (71) are opened. (73), a check valve (74) is arranged through plate-shaped spacers (75) and (76).
第２切替バルブ（８０）はチャックベース（２０）の第
２バルブ嵌挿孔（２５″）に嵌挿され、チャックベース
（２０）の第１流通孔（２６）と連通ずる第１通気孔（
８１）を設け、この第１通気孔（８１）のチャック−・
−ス（２０）の第３連通孔（２７）と対向する位置に第
２通気孔（８２）を開口し、かつ、前記第１通気孔（８
１）内の第２通気孔（８２）と開日端との間に逆止め弁
（８３）を板状のスペーサ（８４） （８５）を介し
て配設している。The second switching valve (80) is fitted into the second valve insertion hole (25'') of the chuck base (20), and the first ventilation hole (25'') communicates with the first communication hole (26) of the chuck base (20).
81), and the first ventilation hole (81) has a chuck.
- A second ventilation hole (82) is opened at a position facing the third communication hole (27) of the space (20), and the first ventilation hole (82) is opened at a position facing the third communication hole (27).
A check valve (83) is disposed between the second ventilation hole (82) in the air conditioner 1) and the day-opening end via plate-shaped spacers (84) and (85).
また、両切替バルブ（７０） （８０）は夫々頭部（
７７） （８６）をスパナ等で容易に回動し得るよう
に四角形状に形成し、かつ、チャックベース（２０）の
抜は止め嵌挿孔（２９） （２９’）と対向する位置
に環状ｔＩ（７８） （８７）を設けている。In addition, both switching valves (70) and (80) have respective heads (
77) (86) is formed into a rectangular shape so that it can be easily rotated with a spanner, etc., and an annular shape is formed at a position opposite to the insertion hole (29) (29') to prevent removal of the chuck base (20). tI(78) (87) is provided.
上記構造からなるこの発明の作用を以下説明する。The operation of the present invention having the above structure will be explained below.
第１図は最大径（Ｄｌ）の薄円板（６０）を真空吸着し
て保持する状態を示し、この時、第１切替バルブ（７０
）の第２通気孔（７２）と第３通気孔（７３）はチャッ
クベース（２０）の第２流通孔（２７）と第３流通孔（
２８）に連通されており、また、第２切替バルブ（８０
）の第２通気孔（８２）はチャックベース（２０）の第
２バルブ嵌挿孔（２５°）の内径面に遮断されており、
真空ポンプの吸引は第１ポケット（２２） 、第２ポケ
ット（２３）及び第３ポケット（２４）に夫々作用し、
チャックテーブル（５０）に設けた全ての吸着孔（５１
） （５１）−が吸気する。従って、最大径（Ｄりの
１円ｉ （６０）がチャックテーブル（５０）上に載置
されると、薄円板（６０）はチャックテーブル（５０）
上に所定の吸着力で真空吸着される。この後、最大径の
薄円板（６０）をチャックテーブル（５０）上から搬出
する場合に水を逆噴射させると、第１切替バルブ（７０
）の第１通気孔（７１）内の逆止め弁（７４）が働いて
逆噴射の水は第１ポケット（２２）及び第２ポケット（
２３）に流入し、第１ポケット（２２）及び第２ポケッ
ト（２３）の範囲内に設けたチャックテーブル（５０）
の吸着孔（５１） （５１）−から水が噴射する。従
ってチャックテーブル（５０）上の薄日ｉ （６０）は
中央部から均等に水圧により持ち上げられてチャックテ
ーブル（５０）より浮上する。FIG. 1 shows a state in which a thin disk (60) with the maximum diameter (Dl) is held by vacuum suction, and at this time, the first switching valve (70)
) The second ventilation hole (72) and third ventilation hole (73) of the chuck base (20) are connected to the second ventilation hole (27) and the third ventilation hole (
28), and also communicates with the second switching valve (80).
) is blocked by the inner diameter surface of the second valve insertion hole (25°) of the chuck base (20),
The suction of the vacuum pump acts on the first pocket (22), the second pocket (23) and the third pocket (24), respectively,
All suction holes (51) provided in the chuck table (50)
) (51)- inhales. Therefore, when the maximum diameter (D) of 1 circle i (60) is placed on the chuck table (50), the thin disk (60)
It is vacuum-adsorbed onto the top with a predetermined adsorption force. After this, when the thin disk (60) with the largest diameter is carried out from the chuck table (50), water is injected backwards, and the first switching valve (70)
) is activated by the check valve (74) in the first vent hole (71), and the reverse jet of water flows into the first pocket (22) and the second pocket (
23) and is provided within the range of the first pocket (22) and the second pocket (23).
Water is sprayed from the suction holes (51) (51)-. Therefore, the light beam i (60) on the chuck table (50) is evenly lifted from the center by the water pressure and floats above the chuck table (50).
次に、中間径（Ｄ２）の薄円板（６０）を真空吸着して
保持する場合は、第１切替バルブ（７０）を回動して第
２通気孔（７２）及び第３通気孔（７３）を遮断すると
共に、第２切替バルブ（８０）を回動して第２通気孔（
８２）をチャックベース（２０）の第３流通孔（２８）
に連通ずればよい。Next, when holding the thin disk (60) with the intermediate diameter (D2) by vacuum suction, rotate the first switching valve (70) to open the second ventilation hole (72) and the third ventilation hole ( 73), and rotate the second switching valve (80) to open the second ventilation hole (
82) into the third flow hole (28) of the chuck base (20).
All you have to do is communicate with it.
以上のように第１及び第２切替バルブ（７０）（８０）
を回動操作するだけで、直径の異なる薄円板（６０）を
所定の吸着力で真空吸着させると共に中央部より均等に
水圧浮上させることができる。As described above, the first and second switching valves (70) (80)
By simply rotating the thin disks (60), thin disks (60) with different diameters can be vacuum-adsorbed with a predetermined suction force, and can be evenly hydraulically levitated from the center.
光皿亘立来
以上説明したように、この発明によれば、薄円板を真空
吸着する時は、該薄円板の全面で吸着させることができ
て吸着が安定すると共に、水圧浮上する時は中央部より
均等に持ち上げることができて片浮きによる反りがなく
なるから、半導体ウェーハの研摩工程等に用いれば顕著
な効果を発揮し得ることができる。As explained above, according to the present invention, when vacuum suctioning a thin disk, suction can be made over the entire surface of the thin disk, stabilizing the suction, and when hydraulically floating. Since it can be lifted evenly from the center and warpage due to one-sided lifting is eliminated, it can exhibit remarkable effects when used in the polishing process of semiconductor wafers, etc.
ｒＦＳ１図はこの発明のバキュームチャックの一実施例
を示す要部縦断面図、第２図は第１切替バルブの要部断
面図、第３図は第２図のト１線に於ける断面図、第４図
は第２切替バルブの要部断面図、第５図乃至第７図は本
出願人が先に出願したバキュームチャックを示す図面で
ある。
（７０） −・第１切替バルブ、（７１） −第１通気
孔、（７２）−第２通気孔、（７３）−・・・第３通気
孔、（７４）・−・逆止め弁、（８０）・−第２切替バ
ルブ、（８１）・−系１通気孔、（８２） −・・第２
通気孔、（８３） −逆止め弁。
特 許 出 願 人 日清工業株式会社代 理
人 江 原 省 吾□
第２図
第４図
第６図
第７図rFS1 is a vertical cross-sectional view of a main part showing an embodiment of the vacuum chuck of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the first switching valve, and FIG. , FIG. 4 is a cross-sectional view of the main part of the second switching valve, and FIGS. 5 to 7 are drawings showing a vacuum chuck that was previously filed by the present applicant. (70) - First switching valve, (71) - First ventilation hole, (72) - Second ventilation hole, (73) - Third ventilation hole, (74) - Check valve, (80) - Second switching valve, (81) - System 1 vent, (82) - Second
Vent, (83) - Check valve. Patent applicant: Agent of Nissin Kogyo Co., Ltd.
Figure 2 Figure 4 Figure 6 Figure 7
Claims (1)
取着し、該チャックベース上に多数の吸着孔を設けたチ
ャックテーブルを取着してなり、前記チャックベースの
上面に外部の吸引装置と連通する第１ポケットを設ける
と共に該第１ポケットの外周に複数重に環状のポケット
を設け、かつ、チャックベースに第１ポケットと各ポケ
ットを適宜に連通・遮断する複数の切替えバルブを設け
、各切替バルブ内に夫々逆止め弁を設けたことを特徴と
するバキュームチャック。(1) A chuck base is mounted on a horizontally held table, a chuck table with a large number of suction holes is mounted on the chuck base, and an external suction device is attached to the upper surface of the chuck base. A communicating first pocket is provided, and a plurality of annular pockets are provided on the outer periphery of the first pocket, and a plurality of switching valves are provided on the chuck base to appropriately communicate and cut off the communication between the first pocket and each pocket. A vacuum chuck characterized by having a check valve inside each switching valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23683485A JPS6299039A (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Vacuum chuck |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23683485A JPS6299039A (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Vacuum chuck |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299039A true JPS6299039A (en) | 1987-05-08 |
| JPH0436817B2 JPH0436817B2 (en) | 1992-06-17 |
Family
ID=17006472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23683485A Granted JPS6299039A (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Vacuum chuck |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299039A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH081464A (en) * | 1992-06-17 | 1996-01-09 | Shibayama Kikai Kk | Automatic change-over device for universal chuck mechanism |
| JP2015103682A (en) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | コマツＮｔｃ株式会社 | Universal chuck device |
| CN111745433A (en) * | 2020-07-13 | 2020-10-09 | 广州百士臣科技有限公司 | Stable clamping device for vertical drilling machine |
-
1985
- 1985-10-23 JP JP23683485A patent/JPS6299039A/en active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH081464A (en) * | 1992-06-17 | 1996-01-09 | Shibayama Kikai Kk | Automatic change-over device for universal chuck mechanism |
| JP2015103682A (en) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | コマツＮｔｃ株式会社 | Universal chuck device |
| CN111745433A (en) * | 2020-07-13 | 2020-10-09 | 广州百士臣科技有限公司 | Stable clamping device for vertical drilling machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0436817B2 (en) | 1992-06-17 |
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