JPS6295B2 - - Google Patents
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- JPS6295B2 JPS6295B2 JP14782582A JP14782582A JPS6295B2 JP S6295 B2 JPS6295 B2 JP S6295B2 JP 14782582 A JP14782582 A JP 14782582A JP 14782582 A JP14782582 A JP 14782582A JP S6295 B2 JPS6295 B2 JP S6295B2
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 32
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 27
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 17
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 claims description 10
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
本発明は排ガス中の非堆積ガラス微粒子を長期
間安定に除去することによりガラス母材の製造効
率を高めた製造方法に関する。 光フアイバ用ガラス母材の製造法として気相反
応を利用した製造方法、例えば内付法、外付法お
よび気相軸付法等が知られている。これらの製造
法は例えば気体のガラス原料を酸水素炎バーナか
ら噴出させて火炎加水分解し、これによつて生成
するガラス微粒子を棒状に堆積させて多孔質の光
フアイバ用母材を保護容器内で製造する方法であ
る。該方法においては保護容器内部において次の
反応が生じている。即ち原料ガスとしてSiCl4を
用いた場合、次のように水蒸気（H2O）と塩化水
素ガス（HCl）および 2H2＋O2→2H2O (1) SiCl4＋2H2O→SiO2＋4HCl (2) SiO2微粒子が生成される。ここで通常の場合
は、(1)の反応で生成するH2Oの量が(2)の反応で必
要とされるH2Oの量を充分上回るよう、各ガスの
供給量が設定される。従つて前記保護容器内部か
ら排出される排気ガス中には、反応生成ガスとし
ての水蒸気（H2O）、塩化水素（HCl）が多量に
含まれている。 一方(2)の反応によつて生成するSiO2微粒子
は、通常その50〜90％が円柱状に堆積し多孔質の
ガラス母材を形成するが、残りは堆積せずに保護
容器外部へ排出される。尚、保護容器内面に付着
して残留するガラス微粒子もあるが、その割合は
軽微である。 以上の結果、排気ガス中に含まれる水蒸気及び
塩化水素が排気管中で冷却されて凝結し、塩酸水
溶液となつて排気管中に滞留或いは付着すると、
同じ排気ガス中に含まれているガラス微粒子がこ
れに混合してヘドロ状の堆積物と化し、排気管を
次第に閉塞させる虞れがある。 この閉塞現象を避けるには次のようにすればよ
い。第一の方法は排気管を全長にわたつて保温な
いし加熱することによつて排気ガス中の水蒸気な
いし塩化水素を凝縮させないようにする。第二の
方法は排気ガス中の水蒸気あるいは塩化水素ガス
が凝縮する前に排ガス中のガラス微粒子を除去す
ることにより閉塞を防止することができる。 本発明は上記第二の方法に基づき、更にその除
去効率を高め、長期間安定な光フアイバ用母材の
製造方法を提供するものであつて、その構成は、
保護容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させ
てガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆
積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、上
記保護容器内から排出される排ガス中に含まれる
非堆積ガラス微粒子を除去するようにした製造方
法において、該排ガスを加熱し、塩化水素ガス及
び水蒸気の露点以上の温度下で上記非堆積ガラス
微粒子を除去することを特徴とする。 以下に本発明を実施例と共に詳細に説明する。
第１図に本発明に係る製造方法の概略を示す。保
護容器１の内部にはバーナ２及び支持棒４が突出
し、バーナ２の火炎加水分解によつて生成したガ
ラス微粒子が支持棒４に堆積し、多孔質ガラス母
材３を形成する。上記支持棒４はチヤツク５によ
つて把持され回転されると共にガラス微粒子の堆
積速度に合せて上方に引き上げられる。一方、該
保護容器１には不活性ガス等の供給管６および排
ガスを導く排気管７が接続し、該排気管７には非
堆積ガラス微粒子を除去する除去装置１４が介装
され、該除去装置１４には排気管８を通して洗浄
塔９が接続する。該洗浄塔９の下部には液槽１０
が設けられる一方、該洗浄塔９の上部には噴霧用
シヤワー１１が内装されている。液槽１０には中
和液として用いる苛性ソーダをシヤワー１１に圧
送するポンプ１２が設けられており、又シヤワー
１１の側方には排気用フアン１３が設けられてい
る。 上記製造装置例において非堆積ガラス微粒子の
除去装置としては一般に邪魔板型式のものが簡便
で広く用いられている。即ち装置１４の内部には
邪魔板１５が多数枚植設されている。ここで除去
効果を高めるためには装置内部における排ガス流
の屈曲回数を多くし、邪魔板１５との衝突回数を
多くすればよいが、単にこのような構成とした場
合には装置内部での排ガスの滞留時間が長くな
り、かつ、装置内壁面ないし邪魔板１５と排ガス
との接触面積が大きくなり、装置内部で排ガス温
度が低下するため水蒸気および塩化水素の凝縮を
生ずることとなる。そこで本発明は上記除去装置
１４に内部を加熱ないし保温する機構を設ける。
即ち除去装置１４のカバー１６の内部にヒータ線
１７が内蔵され、該ヒータ線１７は外部の電源１
８に接続される。 以上の構成において、保護容器内部でバーナ２
から噴出される原料ガスの燃焼によつてガラス微
粒子が生成され、これが支持棒４に堆積される。
上記ガラス微粒子生成反応において生じた塩化水
素および余剰の水蒸気、更に非堆積ガラス微粒子
は排ガスとして排気管７を通じて除去装置１４に
導かれる。除去装置１４において排ガスは邪魔板
１５に衝突し、非堆積ガラス微粒子がこの邪魔板
１５に付着して除去される。この場合、排ガスは
ヒータ線１７によつて水蒸気、塩化水素の露点温
度以上に保温されるので凝縮を生じない。このた
め除去装置１４の内部におけるヘドロの堆積等が
確実に防止され、排ガスは長期間安定に排出され
る。排気管８を通じて洗浄塔９に導かれた排ガス
は中和処理され外部に排出される。このように本
発明の製造方法によれば非堆積ガラス微粒子を排
ガス中から除去するに際し、排ガス流路の閉塞を
確実に防止するのでガラス母材を長期間安定に製
造することができ、製造工程における信頼性を向
上することができる。 次に本発明の実施例を示す。 第１，２表に示す製造条件、除去装置の条件下
においてガラス母材を製造したところ、装置内部
の圧力損失は本発明の場合37mmAgであり稼動前
の圧力損失に比べてそれ程大きくないのに対し、
従来法の場合には90mmAgに及ぶ著しい圧力損失
を生じた。 以上のことから本発明の製造方法においては排
気管路の閉塞が確実に防止されることが判る。
間安定に除去することによりガラス母材の製造効
率を高めた製造方法に関する。 光フアイバ用ガラス母材の製造法として気相反
応を利用した製造方法、例えば内付法、外付法お
よび気相軸付法等が知られている。これらの製造
法は例えば気体のガラス原料を酸水素炎バーナか
ら噴出させて火炎加水分解し、これによつて生成
するガラス微粒子を棒状に堆積させて多孔質の光
フアイバ用母材を保護容器内で製造する方法であ
る。該方法においては保護容器内部において次の
反応が生じている。即ち原料ガスとしてSiCl4を
用いた場合、次のように水蒸気（H2O）と塩化水
素ガス（HCl）および 2H2＋O2→2H2O (1) SiCl4＋2H2O→SiO2＋4HCl (2) SiO2微粒子が生成される。ここで通常の場合
は、(1)の反応で生成するH2Oの量が(2)の反応で必
要とされるH2Oの量を充分上回るよう、各ガスの
供給量が設定される。従つて前記保護容器内部か
ら排出される排気ガス中には、反応生成ガスとし
ての水蒸気（H2O）、塩化水素（HCl）が多量に
含まれている。 一方(2)の反応によつて生成するSiO2微粒子
は、通常その50〜90％が円柱状に堆積し多孔質の
ガラス母材を形成するが、残りは堆積せずに保護
容器外部へ排出される。尚、保護容器内面に付着
して残留するガラス微粒子もあるが、その割合は
軽微である。 以上の結果、排気ガス中に含まれる水蒸気及び
塩化水素が排気管中で冷却されて凝結し、塩酸水
溶液となつて排気管中に滞留或いは付着すると、
同じ排気ガス中に含まれているガラス微粒子がこ
れに混合してヘドロ状の堆積物と化し、排気管を
次第に閉塞させる虞れがある。 この閉塞現象を避けるには次のようにすればよ
い。第一の方法は排気管を全長にわたつて保温な
いし加熱することによつて排気ガス中の水蒸気な
いし塩化水素を凝縮させないようにする。第二の
方法は排気ガス中の水蒸気あるいは塩化水素ガス
が凝縮する前に排ガス中のガラス微粒子を除去す
ることにより閉塞を防止することができる。 本発明は上記第二の方法に基づき、更にその除
去効率を高め、長期間安定な光フアイバ用母材の
製造方法を提供するものであつて、その構成は、
保護容器内で気体状のガラス原料を加熱反応させ
てガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子を堆
積させて多孔質ガラス母材を製造するに際し、上
記保護容器内から排出される排ガス中に含まれる
非堆積ガラス微粒子を除去するようにした製造方
法において、該排ガスを加熱し、塩化水素ガス及
び水蒸気の露点以上の温度下で上記非堆積ガラス
微粒子を除去することを特徴とする。 以下に本発明を実施例と共に詳細に説明する。
第１図に本発明に係る製造方法の概略を示す。保
護容器１の内部にはバーナ２及び支持棒４が突出
し、バーナ２の火炎加水分解によつて生成したガ
ラス微粒子が支持棒４に堆積し、多孔質ガラス母
材３を形成する。上記支持棒４はチヤツク５によ
つて把持され回転されると共にガラス微粒子の堆
積速度に合せて上方に引き上げられる。一方、該
保護容器１には不活性ガス等の供給管６および排
ガスを導く排気管７が接続し、該排気管７には非
堆積ガラス微粒子を除去する除去装置１４が介装
され、該除去装置１４には排気管８を通して洗浄
塔９が接続する。該洗浄塔９の下部には液槽１０
が設けられる一方、該洗浄塔９の上部には噴霧用
シヤワー１１が内装されている。液槽１０には中
和液として用いる苛性ソーダをシヤワー１１に圧
送するポンプ１２が設けられており、又シヤワー
１１の側方には排気用フアン１３が設けられてい
る。 上記製造装置例において非堆積ガラス微粒子の
除去装置としては一般に邪魔板型式のものが簡便
で広く用いられている。即ち装置１４の内部には
邪魔板１５が多数枚植設されている。ここで除去
効果を高めるためには装置内部における排ガス流
の屈曲回数を多くし、邪魔板１５との衝突回数を
多くすればよいが、単にこのような構成とした場
合には装置内部での排ガスの滞留時間が長くな
り、かつ、装置内壁面ないし邪魔板１５と排ガス
との接触面積が大きくなり、装置内部で排ガス温
度が低下するため水蒸気および塩化水素の凝縮を
生ずることとなる。そこで本発明は上記除去装置
１４に内部を加熱ないし保温する機構を設ける。
即ち除去装置１４のカバー１６の内部にヒータ線
１７が内蔵され、該ヒータ線１７は外部の電源１
８に接続される。 以上の構成において、保護容器内部でバーナ２
から噴出される原料ガスの燃焼によつてガラス微
粒子が生成され、これが支持棒４に堆積される。
上記ガラス微粒子生成反応において生じた塩化水
素および余剰の水蒸気、更に非堆積ガラス微粒子
は排ガスとして排気管７を通じて除去装置１４に
導かれる。除去装置１４において排ガスは邪魔板
１５に衝突し、非堆積ガラス微粒子がこの邪魔板
１５に付着して除去される。この場合、排ガスは
ヒータ線１７によつて水蒸気、塩化水素の露点温
度以上に保温されるので凝縮を生じない。このた
め除去装置１４の内部におけるヘドロの堆積等が
確実に防止され、排ガスは長期間安定に排出され
る。排気管８を通じて洗浄塔９に導かれた排ガス
は中和処理され外部に排出される。このように本
発明の製造方法によれば非堆積ガラス微粒子を排
ガス中から除去するに際し、排ガス流路の閉塞を
確実に防止するのでガラス母材を長期間安定に製
造することができ、製造工程における信頼性を向
上することができる。 次に本発明の実施例を示す。 第１，２表に示す製造条件、除去装置の条件下
においてガラス母材を製造したところ、装置内部
の圧力損失は本発明の場合37mmAgであり稼動前
の圧力損失に比べてそれ程大きくないのに対し、
従来法の場合には90mmAgに及ぶ著しい圧力損失
を生じた。 以上のことから本発明の製造方法においては排
気管路の閉塞が確実に防止されることが判る。
【表】
【表】
第１図は本発明の装置構成の概略図であり、１
……保護容器、２……バーナ、３……多孔質ガラ
ス母材、４……支持棒、５……チヤツク、６……
供給管、７，８……排気管、９……洗浄塔、１０
……液槽、１１……シヤワー、１２……ポンプ、
１３……フアン、１４……除去装置、１５……邪
魔板、１６……カバー、１７……ヒータ線、１８
……電源である。
……保護容器、２……バーナ、３……多孔質ガラ
ス母材、４……支持棒、５……チヤツク、６……
供給管、７，８……排気管、９……洗浄塔、１０
……液槽、１１……シヤワー、１２……ポンプ、
１３……フアン、１４……除去装置、１５……邪
魔板、１６……カバー、１７……ヒータ線、１８
……電源である。
Claims (1)
- １ 保護容器内で気体状のガラス原料を加熱反応
させてガラス微粒子を生成させ、該ガラス微粒子
を堆積させて多孔質ガラス母材を製造するに際
し、上記保護容器内から排出される排ガス中に含
まれる非堆積ガラス微粒子を除去するようにした
製造方法において、該排ガスを加熱し、塩化水素
ガス及び水蒸気の露点以上の温度下で上記非堆積
ガラス微粒子を除去することを特徴とする光フア
イバ用ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14782582A JPS5939737A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14782582A JPS5939737A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939737A JPS5939737A (ja) | 1984-03-05 |
| JPS6295B2 true JPS6295B2 (ja) | 1987-01-06 |
Family
ID=15439079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14782582A Granted JPS5939737A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939737A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006219309A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Asahi Glass Co Ltd | 多孔質石英ガラス母材の製造方法及び装置 |
| JP6835669B2 (ja) * | 2017-06-05 | 2021-02-24 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造装置および光ファイバ母材の製造方法 |
-
1982
- 1982-08-27 JP JP14782582A patent/JPS5939737A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5939737A (ja) | 1984-03-05 |
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