JPS62889Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は極薄の外周刃形ダイヤモンドブレード
（以下単にブレードという）を高周波モータ内蔵
式のエアスピンドルにより高速回転させ、脆性材
料、例えば半導体ウエハー、セラミツクス、ガラ
ス等の被加工物に単に溝入れ加工を行なつたり、
あるいは切断・分離するために切断・溝入れ加工
（以下単にダイシング加工という）を行なうダイ
シングマシンにおいて、ブレードと被加工物を載
置するテーブルとの相互の間隔を正確に設定する
装置に関するものである。

ダイシングマシンによつて被加工物にダイシン
グ加工を行なう場合の概略について第１図により
説明する。

エアスピンドル１はエアベアリング（図示せ
ず）によつてケーシング２と一定の間隔をもつて
保持されており、該エアスピンドル１の先端にブ
レード３がモータ４によつて高速回転可能に取付
けられている。テーブル５には被加工物６が載置
されており、高速回転するブレード３によりダイ
シング加工が行なわれる。

このようにしてダイシング加工を行う場合に、
加工された後の被加工物の切り残し厚さを一定に
するためにテーブル５の上面を基準面として、そ
こからある所定値分だけブレード３を離して状態
でダイシング加工することが行われているが、ブ
レード３は極薄のため使用によつて摩耗し易く、
常に被加工物の切り残し厚さを一定に保つことが
難しい。そこで、しばしばブレード３とテーブル
５の上面との相互の間隔を一定に保つように修正
しなければならない。

従来そのために第１図に示すような装置が採用
されている。その第１の方法はエアベアリングで
絶縁されているエアスピンドル１の側面に、ハウ
ジング２に対して絶縁体７を介して挿入されたカ
ーボンブラシ８がスプリング９によつて常時接触
するように構成されている。スプリング９には電
極１０が接続されている。このような構造によつ
てテーブル５が上昇し、ブレード３と接触した瞬
間に電極１０とテーブル５とは導通状態となり、
その導通信号によつてブレード３とテーブル５の
基準位置が設定される。次いでテーブル５はその
位置から所定値分だけ下降してから被加工物６の
ダイシング加工が行われる。

また、従来の第２の方法としては、ハウジング
２の後端にばね板１１をねじ止めしておき、その
先端を常時エアスピンドル１の後端面に接触させ
るように構成されている。ばね板１１には電極１
２が接続されている。このような構造によつて上
記第１の方法と同様にして被加工物６のダイシン
グ加工が行われる。

しかしこれ等従来装置においては次のような欠
点があつた。エアスピンドル１は１分間に数万回
転という高速で回転するため、エアスピンドル１
とカーボンブラシ８あるいはばね板１１との間に
接触不良が生じ、そのため基準位置を設定すると
きの誤動作の原因となつていた。そこで接触不良
を極力少なくするために、カーボンブラシ８ある
いは、ばね板１１を強くエアスピンドル１に圧接
するとエアスピンドル１の回転バランスが崩れ、
精度のよいダイシング加工を期待することができ
なかつた。

本考案は、これ等従来装置の欠点を解決した装
置を提供するものである。以下第２図に従つて本
考案を説明する。

第２図においてブレード３はエアスピンドル１
の左端面に取付けられ、ブレード３がテーブル５
に接触したとき通電状態となつて、これを零点と
してエアスピンドル１の高さが調整されることは
従来通りである。エアスピンドルは空気軸受をも
つてケーシング２の中に支持されており、ケーシ
ング２の右末端には空気シリンダー１５を取付け
その左向きのピストンロツド１６の先端（左端）
にプランジヤ１７を取付けて、これにデテクタ１
８をエアスピンドル１の右端面に相対して取付け
る。そしてプランジヤ１７には導線１９を接続
し、プランジヤ１７およびデテクタ１８を伝導性
のよう物質で作る。ここで空気シリンダ１５の右
室に加圧空気を送り込むことによつてデテクタ１
８がエアスピンドル１の右端面に軽く接触し、加
圧空気の送り込み停止して、これを大気に解放す
るとプランジヤ１７はスプリング２０によつて後
退しエアスピンドル１の右端面とデテクタ１８と
が離れて通電状態が切れる。そしてブレード３の
高さ検出の必要な時だけシリンダ１５に送気し
て、通電状態とし、零点検出が終れば送気を中止
してエアスピンドル１とデテクタ１８の関係を断
つようになつている。

以上説明したように本考案においてはエアスピ
ンドル１とケーシング２との間にデテクタ１８を
設け、ブレード３とテーブル５の上面との相対位
置を設定するときにのみデテクタ１８をエアスピ
ンドル１に接触せしめるようにしたため、従来装
置のようにデテクタの摩耗損傷を起したり、接触
不良を生ずることがなく、また被加工物にダイシ
ング加工を行つているときにはエアスピンドル１
には何ら接触抵抗が加わることがないから、エア
スピンドル１の回転バランスが崩れるようなこと
がなく、従つて精度のよい加工を行うことが可能
となつた。

なお、上記実施例においては空気シリンダ１５
をケーシング２の右端面に設け、その駆動によつ
てデテクタ１８をエアスピンドル１の右端面に接
触せしめるように構成したが、勿論これに限られ
るものではなく、例えば空気シリンダ１５をケー
シング２の側面に設け、デテクタ１８をエアスピ
ンドル１の円筒側面に接触せしめるように構成し
てもよい。またデテクタ１８は伝導性のよい材質
のものであればカーボンブラシあるいはばね板で
もよい。さらにまた、デテクタ１８をエアスピン
ドル１に接触せしめる駆動装置は空気シリンダに
限らず、その他の駆動装置例えばカム機構あるい
はソレノイド等を適宜使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の側断面、第２図は本考案の
側断面図。 １……エアスピンドル、２……ケーシング、３
……ブレード、４……モータ、１５……駆動装
置、１７……プランジヤ、１８……デテクタ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. エアベアリングにより支持されて回転するスピ
   ンドルの先端に取り付けられたブレードにより、
   テーブル上に載置された被加工物にダイシング加
   工を行なうダイシングマシンにおいて、前記スピ
   ンドルに相対して設けられたデテクタと、前記ブ
   レードと前記テーブルとの基準位置を設定すると
   きにのみ前記デテクタを前記スピンドルに接触せ
   しめるよう駆動する駆動装置とを備えたことを特
   徴とする切断位置検出装置。