JPS62889Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62889Y2 JPS62889Y2 JP16939480U JP16939480U JPS62889Y2 JP S62889 Y2 JPS62889 Y2 JP S62889Y2 JP 16939480 U JP16939480 U JP 16939480U JP 16939480 U JP16939480 U JP 16939480U JP S62889 Y2 JPS62889 Y2 JP S62889Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- air
- blade
- air spindle
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
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- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は極薄の外周刃形ダイヤモンドブレード
(以下単にブレードという)を高周波モータ内蔵
式のエアスピンドルにより高速回転させ、脆性材
料、例えば半導体ウエハー、セラミツクス、ガラ
ス等の被加工物に単に溝入れ加工を行なつたり、
あるいは切断・分離するために切断・溝入れ加工
(以下単にダイシング加工という)を行なうダイ
シングマシンにおいて、ブレードと被加工物を載
置するテーブルとの相互の間隔を正確に設定する
装置に関するものである。
(以下単にブレードという)を高周波モータ内蔵
式のエアスピンドルにより高速回転させ、脆性材
料、例えば半導体ウエハー、セラミツクス、ガラ
ス等の被加工物に単に溝入れ加工を行なつたり、
あるいは切断・分離するために切断・溝入れ加工
(以下単にダイシング加工という)を行なうダイ
シングマシンにおいて、ブレードと被加工物を載
置するテーブルとの相互の間隔を正確に設定する
装置に関するものである。
ダイシングマシンによつて被加工物にダイシン
グ加工を行なう場合の概略について第1図により
説明する。
グ加工を行なう場合の概略について第1図により
説明する。
エアスピンドル1はエアベアリング(図示せ
ず)によつてケーシング2と一定の間隔をもつて
保持されており、該エアスピンドル1の先端にブ
レード3がモータ4によつて高速回転可能に取付
けられている。テーブル5には被加工物6が載置
されており、高速回転するブレード3によりダイ
シング加工が行なわれる。
ず)によつてケーシング2と一定の間隔をもつて
保持されており、該エアスピンドル1の先端にブ
レード3がモータ4によつて高速回転可能に取付
けられている。テーブル5には被加工物6が載置
されており、高速回転するブレード3によりダイ
シング加工が行なわれる。
このようにしてダイシング加工を行う場合に、
加工された後の被加工物の切り残し厚さを一定に
するためにテーブル5の上面を基準面として、そ
こからある所定値分だけブレード3を離して状態
でダイシング加工することが行われているが、ブ
レード3は極薄のため使用によつて摩耗し易く、
常に被加工物の切り残し厚さを一定に保つことが
難しい。そこで、しばしばブレード3とテーブル
5の上面との相互の間隔を一定に保つように修正
しなければならない。
加工された後の被加工物の切り残し厚さを一定に
するためにテーブル5の上面を基準面として、そ
こからある所定値分だけブレード3を離して状態
でダイシング加工することが行われているが、ブ
レード3は極薄のため使用によつて摩耗し易く、
常に被加工物の切り残し厚さを一定に保つことが
難しい。そこで、しばしばブレード3とテーブル
5の上面との相互の間隔を一定に保つように修正
しなければならない。
従来そのために第1図に示すような装置が採用
されている。その第1の方法はエアベアリングで
絶縁されているエアスピンドル1の側面に、ハウ
ジング2に対して絶縁体7を介して挿入されたカ
ーボンブラシ8がスプリング9によつて常時接触
するように構成されている。スプリング9には電
極10が接続されている。このような構造によつ
てテーブル5が上昇し、ブレード3と接触した瞬
間に電極10とテーブル5とは導通状態となり、
その導通信号によつてブレード3とテーブル5の
基準位置が設定される。次いでテーブル5はその
位置から所定値分だけ下降してから被加工物6の
ダイシング加工が行われる。
されている。その第1の方法はエアベアリングで
絶縁されているエアスピンドル1の側面に、ハウ
ジング2に対して絶縁体7を介して挿入されたカ
ーボンブラシ8がスプリング9によつて常時接触
するように構成されている。スプリング9には電
極10が接続されている。このような構造によつ
てテーブル5が上昇し、ブレード3と接触した瞬
間に電極10とテーブル5とは導通状態となり、
その導通信号によつてブレード3とテーブル5の
基準位置が設定される。次いでテーブル5はその
位置から所定値分だけ下降してから被加工物6の
ダイシング加工が行われる。
また、従来の第2の方法としては、ハウジング
2の後端にばね板11をねじ止めしておき、その
先端を常時エアスピンドル1の後端面に接触させ
るように構成されている。ばね板11には電極1
2が接続されている。このような構造によつて上
記第1の方法と同様にして被加工物6のダイシン
グ加工が行われる。
2の後端にばね板11をねじ止めしておき、その
先端を常時エアスピンドル1の後端面に接触させ
るように構成されている。ばね板11には電極1
2が接続されている。このような構造によつて上
記第1の方法と同様にして被加工物6のダイシン
グ加工が行われる。
しかしこれ等従来装置においては次のような欠
点があつた。エアスピンドル1は1分間に数万回
転という高速で回転するため、エアスピンドル1
とカーボンブラシ8あるいはばね板11との間に
接触不良が生じ、そのため基準位置を設定すると
きの誤動作の原因となつていた。そこで接触不良
を極力少なくするために、カーボンブラシ8ある
いは、ばね板11を強くエアスピンドル1に圧接
するとエアスピンドル1の回転バランスが崩れ、
精度のよいダイシング加工を期待することができ
なかつた。
点があつた。エアスピンドル1は1分間に数万回
転という高速で回転するため、エアスピンドル1
とカーボンブラシ8あるいはばね板11との間に
接触不良が生じ、そのため基準位置を設定すると
きの誤動作の原因となつていた。そこで接触不良
を極力少なくするために、カーボンブラシ8ある
いは、ばね板11を強くエアスピンドル1に圧接
するとエアスピンドル1の回転バランスが崩れ、
精度のよいダイシング加工を期待することができ
なかつた。
本考案は、これ等従来装置の欠点を解決した装
置を提供するものである。以下第2図に従つて本
考案を説明する。
置を提供するものである。以下第2図に従つて本
考案を説明する。
第2図においてブレード3はエアスピンドル1
の左端面に取付けられ、ブレード3がテーブル5
に接触したとき通電状態となつて、これを零点と
してエアスピンドル1の高さが調整されることは
従来通りである。エアスピンドルは空気軸受をも
つてケーシング2の中に支持されており、ケーシ
ング2の右末端には空気シリンダー15を取付け
その左向きのピストンロツド16の先端(左端)
にプランジヤ17を取付けて、これにデテクタ1
8をエアスピンドル1の右端面に相対して取付け
る。そしてプランジヤ17には導線19を接続
し、プランジヤ17およびデテクタ18を伝導性
のよう物質で作る。ここで空気シリンダ15の右
室に加圧空気を送り込むことによつてデテクタ1
8がエアスピンドル1の右端面に軽く接触し、加
圧空気の送り込み停止して、これを大気に解放す
るとプランジヤ17はスプリング20によつて後
退しエアスピンドル1の右端面とデテクタ18と
が離れて通電状態が切れる。そしてブレード3の
高さ検出の必要な時だけシリンダ15に送気し
て、通電状態とし、零点検出が終れば送気を中止
してエアスピンドル1とデテクタ18の関係を断
つようになつている。
の左端面に取付けられ、ブレード3がテーブル5
に接触したとき通電状態となつて、これを零点と
してエアスピンドル1の高さが調整されることは
従来通りである。エアスピンドルは空気軸受をも
つてケーシング2の中に支持されており、ケーシ
ング2の右末端には空気シリンダー15を取付け
その左向きのピストンロツド16の先端(左端)
にプランジヤ17を取付けて、これにデテクタ1
8をエアスピンドル1の右端面に相対して取付け
る。そしてプランジヤ17には導線19を接続
し、プランジヤ17およびデテクタ18を伝導性
のよう物質で作る。ここで空気シリンダ15の右
室に加圧空気を送り込むことによつてデテクタ1
8がエアスピンドル1の右端面に軽く接触し、加
圧空気の送り込み停止して、これを大気に解放す
るとプランジヤ17はスプリング20によつて後
退しエアスピンドル1の右端面とデテクタ18と
が離れて通電状態が切れる。そしてブレード3の
高さ検出の必要な時だけシリンダ15に送気し
て、通電状態とし、零点検出が終れば送気を中止
してエアスピンドル1とデテクタ18の関係を断
つようになつている。
以上説明したように本考案においてはエアスピ
ンドル1とケーシング2との間にデテクタ18を
設け、ブレード3とテーブル5の上面との相対位
置を設定するときにのみデテクタ18をエアスピ
ンドル1に接触せしめるようにしたため、従来装
置のようにデテクタの摩耗損傷を起したり、接触
不良を生ずることがなく、また被加工物にダイシ
ング加工を行つているときにはエアスピンドル1
には何ら接触抵抗が加わることがないから、エア
スピンドル1の回転バランスが崩れるようなこと
がなく、従つて精度のよい加工を行うことが可能
となつた。
ンドル1とケーシング2との間にデテクタ18を
設け、ブレード3とテーブル5の上面との相対位
置を設定するときにのみデテクタ18をエアスピ
ンドル1に接触せしめるようにしたため、従来装
置のようにデテクタの摩耗損傷を起したり、接触
不良を生ずることがなく、また被加工物にダイシ
ング加工を行つているときにはエアスピンドル1
には何ら接触抵抗が加わることがないから、エア
スピンドル1の回転バランスが崩れるようなこと
がなく、従つて精度のよい加工を行うことが可能
となつた。
なお、上記実施例においては空気シリンダ15
をケーシング2の右端面に設け、その駆動によつ
てデテクタ18をエアスピンドル1の右端面に接
触せしめるように構成したが、勿論これに限られ
るものではなく、例えば空気シリンダ15をケー
シング2の側面に設け、デテクタ18をエアスピ
ンドル1の円筒側面に接触せしめるように構成し
てもよい。またデテクタ18は伝導性のよい材質
のものであればカーボンブラシあるいはばね板で
もよい。さらにまた、デテクタ18をエアスピン
ドル1に接触せしめる駆動装置は空気シリンダに
限らず、その他の駆動装置例えばカム機構あるい
はソレノイド等を適宜使用することができる。
をケーシング2の右端面に設け、その駆動によつ
てデテクタ18をエアスピンドル1の右端面に接
触せしめるように構成したが、勿論これに限られ
るものではなく、例えば空気シリンダ15をケー
シング2の側面に設け、デテクタ18をエアスピ
ンドル1の円筒側面に接触せしめるように構成し
てもよい。またデテクタ18は伝導性のよい材質
のものであればカーボンブラシあるいはばね板で
もよい。さらにまた、デテクタ18をエアスピン
ドル1に接触せしめる駆動装置は空気シリンダに
限らず、その他の駆動装置例えばカム機構あるい
はソレノイド等を適宜使用することができる。
第1図は従来装置の側断面、第2図は本考案の
側断面図。 1……エアスピンドル、2……ケーシング、3
……ブレード、4……モータ、15……駆動装
置、17……プランジヤ、18……デテクタ。
側断面図。 1……エアスピンドル、2……ケーシング、3
……ブレード、4……モータ、15……駆動装
置、17……プランジヤ、18……デテクタ。
Claims (1)
- エアベアリングにより支持されて回転するスピ
ンドルの先端に取り付けられたブレードにより、
テーブル上に載置された被加工物にダイシング加
工を行なうダイシングマシンにおいて、前記スピ
ンドルに相対して設けられたデテクタと、前記ブ
レードと前記テーブルとの基準位置を設定すると
きにのみ前記デテクタを前記スピンドルに接触せ
しめるよう駆動する駆動装置とを備えたことを特
徴とする切断位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16939480U JPS62889Y2 (ja) | 1980-11-26 | 1980-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16939480U JPS62889Y2 (ja) | 1980-11-26 | 1980-11-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5791249U JPS5791249U (ja) | 1982-06-04 |
JPS62889Y2 true JPS62889Y2 (ja) | 1987-01-10 |
Family
ID=29527907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16939480U Expired JPS62889Y2 (ja) | 1980-11-26 | 1980-11-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62889Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62218889A (ja) * | 1986-03-20 | 1987-09-26 | 日本精工株式会社 | 真空吸着機構付き静圧気体軸受スピンドル |
JP5512946B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2014-06-04 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5906134B2 (ja) * | 2012-05-16 | 2016-04-20 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
-
1980
- 1980-11-26 JP JP16939480U patent/JPS62889Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5791249U (ja) | 1982-06-04 |
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