JPS6274048A - 永久磁石材料及びその製造方法 - Google Patents

永久磁石材料及びその製造方法

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JPS6274048A
JPS6274048A JP60216047A JP21604785A JPS6274048A JP S6274048 A JPS6274048 A JP S6274048A JP 60216047 A JP60216047 A JP 60216047A JP 21604785 A JP21604785 A JP 21604785A JP S6274048 A JPS6274048 A JP S6274048A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、焼結永久磁石表面の研削加工等に伴なう磁
石特性の劣化を防止したFθ−B−R系永久磁石に係り
、特に、厚みが1.0mm以下の高性能永久磁石材料及
びその製造方法に関する。
背景技術 現在の代表的な永久磁石材料は、アルニコ、ハードフェ
ライトおよび希土類コバルトIa5である。
この希土類コバルト磁石は、磁気特性が格段にすぐれて
いるため、多種用途に利用されているが、主成分のSm
、Coは共に資源的に不足し、かつ高価であり、今後長
期間にわたって、安定して多足に供給されることは困難
で必る。
そのため、磁気特性がすぐれ、かつ安価で、さらに資源
的に豊富で、今後の安定供給が可能な組成元素からなる
永久磁石材料が切望されてきた。
本出願人は先に、高価なSmやらを含有しない新しい高
性能永久磁石としてFe−BR系(RはYを含む希土類
元素のうち少なくとも1種)永久磁石を提案した(特開
昭59−46008号、特開昭59−64733号、特
開昭59−89401号、特開昭59−132104号
)。
この永久1a5は、Rとして陽や門を中心とする資源的
に豊富な軽希土類を用い、Feを主成分として20MG
Oe以上の極めて高いエネルギー積を示す、すぐれた永
久磁石である。
最近、磁気回路の高性能化、小形化に伴ない、Fa−B
−R系永久磁石材料が益々注目され、さらに、厚みが1
.0mm以下の小物あるいは薄物用Fa −B−R系永
久磁石材料が要望されてきた。
かかる用途の永久F!iE材料を製造するには、成形焼
結した小物あるいは極薄物の焼結磁石体を、その表面の
凹凸や歪みを除去するため、あるいは表面酸化層を除去
するため、さらには磁気回路に組込むために、磁石体の
仝而あるいは所要表面を切削加工する必要があり、加工
には外周刃切断機。
内周刃切断機2表面研削機、センタレスグラインダー、
ラッピングマシン等が使用される。
しか1ノながら、上記装置にてFa−8R系永久磁石材
料(15,5Nd 7.5877Fs )を研削加工す
ると、例えば、厚み20mmより1mm以下の製品厚み
に加工すると、第1図の曲線すに示す如く、各磁気特性
が劣化する問題があった。
発明の目的 この発明は、希土類・ボロン・鉄を主成分とする新規な
永久磁石材料において、特に小物あるいは極薄物用の焼
結磁石体の切削加工に伴なう磁気特性の劣化を防止した
永久磁石材料及びその製造方法を目的としている。
発明の構成と効果 発明者らは、Fs−B−R系永久磁石材料の保磁力につ
いて種々検討した結果、前記磁石体の保磁力の大小は、
結晶粒内よりも粒界構造の差異に基因しており、研摩さ
れた焼結磁石表面を、Kerr効果を用いた光学@微鏡
で、磁区の反転機構を詳細に調べると、磁石体表面の磁
化反転が磁石体内部の保磁力の172以下の非常に低い
磁界で起り、焼結磁石体の加工された表面第1層の結品
群の保磁力が低い理由は、高保磁力を出現するために必
要な最適の体心立方品構造を有する金屈相(以下、体心
立方相という)が存在しないためであることを知見した
発明者が始めて発見した高検磁力を出現させる体心立方
相を、hロエされた焼結磁石体表面の結晶群上に、最適
の厚みでかつ特殊な体心立方相構造を有する粒界相とし
て設けることは、通常の方法では容易ではないが、厚み
151I5n以下のm、 Pr、 Dy。
)(o、Tbのうち少なくとも1種を主成分とする薄膜
層を形成し、その後真空あるいは不活性雰囲気中で特定
の熱処理を施すことにより、該焼結体の被研削hO工面
の保磁力の低い結晶粒からなる変質層及び格子欠陥を、
前記薄膜層と変′r1層との拡散反応で改質層となし、
Fe−BR系永久磁石材料の保磁力並びに減は曲線の角
型性を、改沖向上させ得ることを知見し、この発明を完
成したものである。
すなわち、この発明は、 R(RはNd、 Pr、 Dy、 Ha、 Thのうち
少なくとも]種あるいはさらに、La、 Ce、 Sm
、 cd、 Er、 Eu、 Tm。
Yb、 Lu、 Yのうら少なくとも1種からなる)1
2%〜20原子%、 B4原子%〜20原子%、 Fe65原子%〜81原子%を主成分とし、主相が正方
晶相からなる焼結磁石体の被研削加工面に、R−fJ膜
層(R−は*、 Pr、 Nd、 Ho、 Tbのうち
少なくとも1種)を被着して、該被研削加工面に改質層
を有することを特徴とする永久磁石材料である。
さらに、前記の主相が正方晶相からなる焼結磁石体の被
研削加工面に、R−薄膜層(R−はNd。
円、 [)y、 1−1o、 Tl)のうち少なくとも
1種)を被着し、ざらに真空あるいは不活性雰囲気中で
、400 ’C〜900°C,5分〜3時間の熱処理を
施して、咳被研削加工面の加工変質層を改質層となした
ことを特徴とする永久磁石材料の製造方法である。
また、この発明の永久磁石材料は、平均結晶粒径が1〜
80左の範囲にある正方晶系の結晶構造を有する化合物
を主相とし、体積比で1%〜50%の非磁性相(酸化物
相を除く)を含むことを特徴とする。
したがって、この発明は、RとしてMあるいはざらに円
を中心とする資源的に豊富な軽希土類を主に用い、Fe
、B、R,を主成分とすることにより、20MGOe以
上の極めて高いエネルギー積並びに、高残留磁束密度、
高保磁力を有し、かつ研削加工による磁気特性の劣化を
防止したFe −B −R系永久磁石材料を安価に得る
ことができる。
すなわち、この発明により、Fe−B−R系永久磁石材
料(15゜5Nd 7.5877Fe )の研削加工に
おいて、例えば、被研削加工面に陶然着層を設けて変質
層を改質層にすることにより、厚み20mmより1個以
下の製品厚みに加工しても、第1図の曲線aに示す如く
、陶然着層を設けない比較例(曲線b)に対して、各磁
気特性が改善され、研削加工に伴なう磁石特性の劣化を
防止する効果がある。
この発明において、焼結磁石体の被研削加工表面に、R
−(R”はNd、 Pr、 Dy、 )io、 Tbの
うち少なくとも1種)を主成分とする薄膜層を被着させ
るには、真空蒸着、イオンスパッタリング、イオンブレ
ーティング、イオン蒸II膜形成法(IVD>、プラズ
マ蒸着薄膜形成法(EVD)等の薄膜形成方法が適宜選
定利用できる。また、薄膜層の厚みは、15々mを越え
ると該蒸着層の剥離あるいは機械的強度の低下を招来し
て好ましくなく、15項以下の厚みとする。
また、この発明において、厚み151ITn以下の陶。
Pr、 Dy、 Ho、 Tbのうち少なくとも1種を
主成分とする薄膜層を形成し、その後真空あるいは不活
性雰囲気中で熱処理を施すが、熱処理条件は、真空ある
いは不活性雰囲気中、 400℃〜900℃、5分〜3
時間の熱処理を、少なくとも1回施す必要があり、熱処
理により前記8.ei層と変質層との拡散反応で改質層
となる。しかし、400’C未満では、界面での拡散反
応が不十分で、上記効果が得られず、また、900’C
を越えると8104層が酸化しやすく、磁石特性改善効
果がなくなるため好ましくなく、加熱時間も5分未満で
は、界面での拡散反応が不十分で、磁石特性の改善効果
が少なく、また、3時間を越えると、薄膜層の酸化によ
り磁石特性の改善効果が得られないため好ましくない。
また、前記熱処理は、薄膜形成後に少なくとも1回施す
ことにより、所要の効果を得ることができるが、必要に
応じて多段熱処理とするのもよい。
永久wt石の成分限定理由 この発明の永久磁石に用いる希土類元素Rは、組成の1
2原子%〜20原子%を占めるが、m、 Pr。
Dy、Ho、Tbのうち少なくとも1種、あるいはさら
に、La、 Ce、 Sm、 Gd、 Er、 Eu、
Tm、 Yb、 Lu、 Yのうち少なくとも1種を含
むものが好ましい。
また、通常Rのうち1種をもって足りるが、実用上は2
種以上の混合物(ミツシュメタル、ジジム等)を入手上
の便宜等の理由により用いることができる。
なお、このRは純希土類元素でなくてもよく、工業上入
手可能な範囲で製造上不可避な不純物を含有するもので
も差支えない。
Rは、新規な上記系永久磁石材料における、必須元素で
あって、12原子%未満では、結晶構造がα−鉄と同一
構造の立方晶組織が析出するため、高磁気特性、特に高
保磁力が得られず、20原子%を越えると、Rリッチな
非磁性相が多くなり、残留磁束密度(Br)が低下して
、すぐれた特性の永久磁石が得られない。よって、希土
類元素は、12原子%〜20原子%の範囲とする。
Bは、この発明による永久磁石材料にあける、必須元素
であって、4原子%未満では、菱面体構造が主相となり
、高い保磁力(iHc)は得られず、20原子%を越え
ると、Bリッチな非磁性相が多くなり、残留磁束密度(
Br)が低下するため、すぐれた永久磁石が得られない
。よって、Bは、4原子%〜20原子%の範囲とする。
Feは、新規な上記系永久磁石において、必須元素であ
り、65原子%未満では残留磁束密度(Br)が低下し
、81原子%を越えると、高い保磁力が得られないので
、Feは65原子%〜81原子%の含有とする。
また、この発明による永久磁石材料において、Feの一
部を6で置換することは、得られる磁石の磁気特性を損
うことなく、温度特性を改善することができるが、Co
首換伍がFeの20%を越えると、逆に磁気特性が劣化
するため、好ましくない。さの原子比率がF8と6の合
計量で5%〜15%の場合は、(Br)は置換しない場
合に比較して増力口するため、高磁束密度を得るために
は好ましい。
また、この発明による永久磁石は、R,B、Faの他、
工業的生産上不可避的不純物の存在を許容できるが、B
の一部を4.0原子%以下のC13,5原子%以下のP
、2.5原子%以下のS、3.5原子%以下のC1のう
ち少なくとも1種、合計量で4.0原子%以下で置換す
ることにより、永久磁石の製造性改善、低価格化が可能
である。
また、下記添加元素のうち少なくとも1種は、RB  
Fe系永久磁石に対してその保磁力、減磁曲線の角型性
を改善あるいは製造性の改善、低価格化に効果があるた
め添加することができる。
9.5原子%以下のA1.4.5原子%以下の1i、9
.5原子%以下のV、8.5原子%以下のCr、8.0
原子%以下の)In、5.0原子%以下の81゜9.5
原子%以下のNb、9.5原子%以下の胎、9.5原子
%以下のHO19,5原子%以下の4.2.5原子%以
下のsb、1 原子%以下のGe、3.5原子%以下の
Sn、  5.5原子%以下のZr。
9.0原子%以下のN1.9.0原子%以下のSi、1
.1原子%以下のZn、  5.5原子%以下のHf。
のうち少なくとも1種を添加含有、但し、2種以上含有
する場合は、その最大含有量は当該添加元素のうち最大
値を有するものの原子%以下の含有させることにより、
永久磁石の高保磁力化が可能になる。
結晶相は主相が正方品であることが、微細で均一な合金
粉末より、すぐれた磁気特性を有する焼結永久磁石を作
製するのに不可欠である。
また、この発明の永久磁石は、磁場中プレス成型するこ
とにより磁気的異方性磁石が得られ、また、無磁界中で
プレス成型することにより、磁気的等方性!f5を得る
ことができる。
この発明による永久磁石は、 保磁力iHc≧1 kos、残留磁束密度Br> 4 
kG、を示し、最大エネルギー積(BH)maXは、好
ましい組成範囲では、(BH)max≧208GOsを
示し、最大値は25MGOsJX上に遼する。
また、この発明永久磁石用合金粉末のRの主成分がその
50%以上を動及び円を主とする軽希土類金属が占める
場合で、R12原子%〜15原子%、B66原子〜9原
子%、Fs  78原子%〜80原子%、の組成範囲の
とき、(BH)max 358GOa以上のすぐれた磁
気特性を示し、特に軽希土類金属が陶の場合には、その
最大1nが42)4GI)a以上に達する。
実施例 実施例1 出発原料として、純度99.9%の電解鉄、フェロボロ
ン合金、純度99.7%以上の陶を使用し、これらを配
合後高周波溶解し、その後水冷銅鋳型に鋳造し、15N
dHf374Faなる組成の鋳塊を17だ。
その後このインゴットを、スタンプミルにより粗粉砕し
、次にボールミルにより微粉砕し、平均粒度3.OAl
mの微粉末を得た。
この微粉末を金型に挿入し、20 kosの磁界中で配
向し、磁界に平行方向に、1.5t4の圧力で成形した
得られた成形体を、1100’C,1時間、 Ar雰囲
気中、の条件で焼結し、長ざ20mmX幅10tn+r
+X厚み1GI寸法の焼結体を得た。
そして焼結体より、磁石の配向方向に重直な方向を面内
に含むように、長さ20+rur+X幅5mmX厚み0
.15mm寸法の試験片に切出し、ざらに同方向に研摩
して、厚みを減少させて、鏡面を有する10077m厚
みの薄板試験片を得た。
真空度5 X 10−6 TOrrの真空容器に、まず
、上記薄板試験片を陰極、シャツタ板を陽極として、該
試験片面をプレスパツタで清浄化したのち、該薄板試験
片を陽極として装入配置し、Tb金属を陰極ターゲツト
材として、3時間のスパッタリングを施し、試験片両面
に約3証厚みのTb薄膜層を被着させた。
ざらに真空中で、630℃、1時間の熱処理を施して、
被研削加工面にTtJ膜層を形成したこの発明による永
久磁石(本発明1)を作製した。
また、上記の薄板試験片にTb薄膜層を設けることなく
直ちに同条件の熱処理施した比較永久Ii石(比較例2
)を作製した。
ざらに、上記の薄板試験片にTb薄膜層を設けたのち、
熱処理を施さない比較永久磁石(比較例3)を作製した
得られた各永久磁石材料のBr、  iHc及び(BH
)maX値を、振動試料型磁力計(VSH)を用いて開
回路で測定し、測定結果を第1表に示し、また、測定し
たI−Hループを第2図に示す。
大血豊2 実施例1の焼結体より、磁石の配向方向に垂直な方向を
面内に含むように、長さ20+mmX幅51TIm×厚
み0.151T1m寸法の試験片に切出し、ざらに同方
向に研摩して、厚みを減少させて、鏡面を有する100
11m厚みの薄板試験片を得た。
真空度5xl(1″e 丁orrの真空容器に、まず、
上記薄板試験片を陰極、シャツタ板を陽極として、該試
験片面をプレスパツタで清浄化したのち、該薄板試験片
を陽極として装入配置し、TbN金属陰極ターゲツト材
として、3vf間のスパッタリングを施Q、試験片両面
に約31in厚みのTb、薄膜層を被着させた。
さらに真空中で、630℃、1時間の熱処理を施して、
被研削加工面にTb薄膜層を形成したこの発明による永
久磁石(本発明4)を作製した。
また、上記の薄板試験片に1薄VA層を設けることなく
直ちに同条件の熱処理施した比較永久磁石(比較例5)
を作製した。
ざらに、上記の薄板試験片にTb@膜層を設けたのち、
熱処理を施さない比較永久磁石(比較例6)を作製した
11られた各永久磁石材料の3r、1l−(c及び(B
t−1)maX値を、振動試料型磁力計(VS)l )
を用いて開回路で測定し、測定結果を第2表に示し、ま
た、測定したI−Hループを第3図に示す。
叉厘炎ユ 実施例1の焼結体より、磁石の配向方向に平行な方向が
面と垂直になるように、長ざ20mmX幅51TllT
I×厚み0.15mm寸法の試験片に切出し、ざらに同
方向に研摩して、厚みを減少させて、鏡面を有する11
00Al厚みの薄板試験片を得た。
真空度5X10’″”TOrrの真空容器に、まず、上
記薄板試験片を陰極、シャツタ板を陽極として、該試険
片面をプレスパツタで清浄化したのち、該薄板試験片を
陽極として装入配置し、N金属を陰極ターゲツト材とし
て、3時間のスパッタリングを施し、試験片両面に約3
μm厚みのON薄膜層を被着させた。ざらに真空中で、
630’C,1時間の熱処理を施して、被研削加工面に
〜薄膜層を形成したこの発明による永久磁石を作製した
(本発明7)。
また、同様にプレスパツタしたのち、真空度5XIO−
8TOrrの真空容器に、上記薄板試験片を陽極として
装入配置し、重金属を陰極ターゲツト材として、3時間
のスパッタリングを施し、試験片両面に約311m厚み
のHo#膜層を被着させた。ざらに真空中で、630℃
、1時間の熱処理を施して、被研削加工面に)(o薄膜
層を形成したこの発明による永久磁石を作製した(本発
明8)。
また、上記の薄板試験片に薄膜層を設けることなく直ち
に同条件の熱処理施した比較永久磁石(比較例9)を作
製した。
得られた各永久磁石材料のBr、  rHc及び(3)
1 )maX値を、振動試料型磁力計(VS)I )を
用いて開回路で測定し、測定結果を第3表に示す。
以下余白
【図面の簡単な説明】
第1図は永久磁石材料試験片厚みと3r。 il」c及び(BH)maxとの関係を示すグラフであ
る。第2図と第3図は永久磁石材料の■−Hループ図で
ある。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 R(RはNd、Pr、Dy、Ho、Tbのうち少な
    くとも1種あるいはさらに、La、Ce、Sm、Cd、
    Er、Eu、Tm、Yb、Lu、Yのうち少なくとも1
    種からなる)12%〜20原子%、 B4原子%〜20原子%、 Fe65原子%〜81原子%を主成分とし、主相が正方
    晶相からなる焼結磁石体の被研削加工面に、R′薄膜層
    (R′はNd、Pr、Dy、Ho、Tb、のうち少なく
    とも1種)を被着して、該被研削加工面に改質層を有す
    ることを特徴とする永久磁石材料。 2 R(RはNd、Pr、Dy、Ho、Tbのうち少な
    くとも1種あるいはさらに、La、Ce、Sm、Gd、
    Er、Eu、Tm、Yb、Lu、Yのうち少なくとも1
    種からなる)12%〜20原子%、 B4原子%〜20原子%、 Fe65原子%〜81原子%を主成分とし、主相が正方
    晶相からなる焼結磁石体を研削加工後、該被研削加工面
    に、R′薄膜層(R′はNd、Pr、Dy、Ho、Tb
    のうち少なくとも1種)を被着し、さらに真空あるいは
    不活性雰囲気中で、400℃〜900℃、5分〜3時間
    の熱処理を施して、該被研削加工面の加工変質層を改質
    層となしたことを特徴とする永久磁石材料の製造方法。
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