JPS6272575A - セラミツクス−金属接合体の製造方法 - Google Patents
セラミツクス−金属接合体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6272575A JPS6272575A JP21105585A JP21105585A JPS6272575A JP S6272575 A JPS6272575 A JP S6272575A JP 21105585 A JP21105585 A JP 21105585A JP 21105585 A JP21105585 A JP 21105585A JP S6272575 A JPS6272575 A JP S6272575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- ceramic
- metal
- bonded body
- heat sink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は製造工程の簡略化されたヒートシンク付セラミ
ックス−金属接合体の製造方法に関する。
ックス−金属接合体の製造方法に関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
従来からセラミックス基板上に銅板およびヒートシンク
用金属板を接合させてなるヒートシンク付セラミックス
−金属接合体は、セラミックス基板の表面にモリブデン
ペースト等を塗布し、焼結してメタライズし、その上に
銅板およびヒートシンク用金属板をろう付けして接合す
るという方法により行なわれていた。また近年になって
セラミックス基板上に銅回路板を直接接合した、いわゆ
るDBC基板が開発されたが、このDBC基板にヒート
シンク用金属板を半田付は等によって接合するというこ
とも行なわれている。
用金属板を接合させてなるヒートシンク付セラミックス
−金属接合体は、セラミックス基板の表面にモリブデン
ペースト等を塗布し、焼結してメタライズし、その上に
銅板およびヒートシンク用金属板をろう付けして接合す
るという方法により行なわれていた。また近年になって
セラミックス基板上に銅回路板を直接接合した、いわゆ
るDBC基板が開発されたが、このDBC基板にヒート
シンク用金属板を半田付は等によって接合するというこ
とも行なわれている。
しかしながらこれらの方法ではヒートシンク付セラミッ
クス−金属接合体とするまでに数工程を要するので作業
性が悪いと共に、メタライズ、はんだ付は等が不十分で
あることに原因する不良品が多く発生するという問題点
があった。
クス−金属接合体とするまでに数工程を要するので作業
性が悪いと共に、メタライズ、はんだ付は等が不十分で
あることに原因する不良品が多く発生するという問題点
があった。
[発明の目的]
本発明者らは、例えばタングステンの焼結体に銅を含浸
させた焼結合金体がセラミックス基板と熱膨張係数がほ
ぼ等しく、かつ熱伝導度が良好であるとともに、焼結合
金体中に含浸している銅によって焼結合金体と銅板との
接合がセラミックス基板と銅板との接合と同時に行なわ
れ得ることを見い出した。
させた焼結合金体がセラミックス基板と熱膨張係数がほ
ぼ等しく、かつ熱伝導度が良好であるとともに、焼結合
金体中に含浸している銅によって焼結合金体と銅板との
接合がセラミックス基板と銅板との接合と同時に行なわ
れ得ることを見い出した。
本発明は以上のような知見に基づいてなされたもので、
製造工程が簡略化され、かつ一定以上の品質の製品が安
定して得られるヒートシンク付セラミックス−金属接合
体の製造方法を提供することを目的とする。
製造工程が簡略化され、かつ一定以上の品質の製品が安
定して得られるヒートシンク付セラミックス−金属接合
体の製造方法を提供することを目的とする。
[発明の概要]
すなわち本発明のヒートシンク付セラミックス−金属接
合体の製造方法は、表面に付着銅が形成された焼結合金
体、銅板、セラミックス基板および銅板を順に接触配置
し、加熱して接合させることを特徴とする。
合体の製造方法は、表面に付着銅が形成された焼結合金
体、銅板、セラミックス基板および銅板を順に接触配置
し、加熱して接合させることを特徴とする。
本発明においてヒートシンク用材料として用いられる表
面に付着銅が形成された焼結合金体はタングステンの多
孔質焼結体に銅を10〜60wt%含浸させたものが好
ましい。また表面の付着銅は銅板との接合に必要なもの
で厚さは約0.1〜2.01が好ましい。
面に付着銅が形成された焼結合金体はタングステンの多
孔質焼結体に銅を10〜60wt%含浸させたものが好
ましい。また表面の付着銅は銅板との接合に必要なもの
で厚さは約0.1〜2.01が好ましい。
本発明に使用するセラミックス基板としては、アルミナ
、酸化ケイ素等の酸化物系セラミック、あるいは窒化ア
ルミニウム、窒化ケイ素、窒化チタン等の非酸化物系セ
ラミック等があげられる。
、酸化ケイ素等の酸化物系セラミック、あるいは窒化ア
ルミニウム、窒化ケイ素、窒化チタン等の非酸化物系セ
ラミック等があげられる。
後者の非酸化物系セラミックを使用する場合に−は、あ
らかじめ表面に酸化処理を施してから使用するのが好ま
しい。
らかじめ表面に酸化処理を施してから使用するのが好ま
しい。
本発明に使用する銅板としては、酸素を100〜300
(1)pm含有する、たとえばタフピッチ電解鋼等の使
用が好ましく、必要に応じて無酸素銅を予め酸化処理し
て使用することもできる。
(1)pm含有する、たとえばタフピッチ電解鋼等の使
用が好ましく、必要に応じて無酸素銅を予め酸化処理し
て使用することもできる。
本発明においては、このような銅板をセラミックス基板
上に接触配置し、さらに焼結合金体を付着銅層を介して
銅板の一方に接触配置し、銅の融点(1083℃)以下
で銅−酸素の共晶温度(1065℃)以上の温度に加熱
し接合させる。
上に接触配置し、さらに焼結合金体を付着銅層を介して
銅板の一方に接触配置し、銅の融点(1083℃)以下
で銅−酸素の共晶温度(1065℃)以上の温度に加熱
し接合させる。
加熱雰囲気は酸素を含有する銅板を使用する場合には非
酸化性雰囲気とし、酸素を含有しない銅板の場合には微
量の酸化性雰囲気とするのが好ましい。
酸化性雰囲気とし、酸素を含有しない銅板の場合には微
量の酸化性雰囲気とするのが好ましい。
[発明の実施例]
次に本発明の実施例について説明する。
実施例
タングステンの多孔質焼結体に銅を約30wt%含浸さ
せて表面に厚さ約0.5mmの付着銅層が形成された厚
さ5mmの焼結合金体である板を作成した。
せて表面に厚さ約0.5mmの付着銅層が形成された厚
さ5mmの焼結合金体である板を作成した。
次いでアルミナを主成分とする厚さ0.6mmのセラミ
ックス基板に、タフピッチ電解銅からなる厚さ0.3m
mの銅板を接触配置した。ざらに前記焼結合金体を付着
銅層が銅板に接触するように配置し、窒素雰囲気中、約
1075℃の温度で3分間加熱して接合させた後、急冷
してヒートシンク付セラミックス−金属接合体を製造し
た。
ックス基板に、タフピッチ電解銅からなる厚さ0.3m
mの銅板を接触配置した。ざらに前記焼結合金体を付着
銅層が銅板に接触するように配置し、窒素雰囲気中、約
1075℃の温度で3分間加熱して接合させた後、急冷
してヒートシンク付セラミックス−金属接合体を製造し
た。
図面はこうして得られたヒートシンク付セラミックス−
金属接合体の横断面図である。図において符号1はアル
ミナを主成分とするセラミックス基板、2は銅板、3は
付着銅層、4は焼結合金体を示す。
金属接合体の横断面図である。図において符号1はアル
ミナを主成分とするセラミックス基板、2は銅板、3は
付着銅層、4は焼結合金体を示す。
このヒートシンク付セラミックス−金属接合体の部品組
立工数、接着強度および信頼性を従来例[発明の効果] 以上説明したように本発明のヒートシンク付セラミック
ス−金属接合体の製造方法によればセラミックス基板へ
のヒートシンク基材の接合が銅板とセラミックス基板と
の接合と同時に行なわれるので、製造工程が簡略化され
る。またメタライズやはんだ付は等の工程を要しないの
で得られる製品の品質が安定し、製造歩留りが向上する
。
立工数、接着強度および信頼性を従来例[発明の効果] 以上説明したように本発明のヒートシンク付セラミック
ス−金属接合体の製造方法によればセラミックス基板へ
のヒートシンク基材の接合が銅板とセラミックス基板と
の接合と同時に行なわれるので、製造工程が簡略化され
る。またメタライズやはんだ付は等の工程を要しないの
で得られる製品の品質が安定し、製造歩留りが向上する
。
図面は本発明の一実施例によるヒートシンク付セラミッ
クス−金属接合体の横断面図を示す。 1・・・・・・・・・セラミックス基板2・・・・・・
・・・銅板 3・・・・・・・・・付着銅層 4・・・・・・・・・焼結合金体 代理人弁理士 則 近 憲 告 同 湯山幸夫
クス−金属接合体の横断面図を示す。 1・・・・・・・・・セラミックス基板2・・・・・・
・・・銅板 3・・・・・・・・・付着銅層 4・・・・・・・・・焼結合金体 代理人弁理士 則 近 憲 告 同 湯山幸夫
Claims (3)
- (1)表面に付着銅が形成された焼結合金体、銅板、セ
ラミックス基板および銅板を順に接触配置し、加熱して
接合させることを特徴とする セラミックス−金属接合体の製造方法。 - (2)焼結合金体中の銅の含有量は10〜60wt%で
ある特許請求の範囲第1項記載の セラミックス−金属接合体の製造方法。 - (3)付着銅の厚さは0.1〜2.0mmである特許請
求の範囲第1項記載のセラミック ス−金属接合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21105585A JPS6272575A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | セラミツクス−金属接合体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21105585A JPS6272575A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | セラミツクス−金属接合体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6272575A true JPS6272575A (ja) | 1987-04-03 |
JPH0367987B2 JPH0367987B2 (ja) | 1991-10-24 |
Family
ID=16599641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21105585A Granted JPS6272575A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | セラミツクス−金属接合体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6272575A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0234577A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-05 | Mitsubishi Electric Corp | セラミック−金属複合基板 |
JP2010093001A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Curamik Electronics Gmbh | 金属−セラミック基板または銅−セラミック基板の製造方法および該方法で使用するための支持体 |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP21105585A patent/JPS6272575A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0234577A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-05 | Mitsubishi Electric Corp | セラミック−金属複合基板 |
JP2010093001A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Curamik Electronics Gmbh | 金属−セラミック基板または銅−セラミック基板の製造方法および該方法で使用するための支持体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0367987B2 (ja) | 1991-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH07202063A (ja) | セラミックス回路基板 | |
JPS60173900A (ja) | セラミツクス回路基板 | |
JPS615596A (ja) | 回路基板の製造方法およびこれに使用する回路パタ−ンフレ−ム | |
JPS6272575A (ja) | セラミツクス−金属接合体の製造方法 | |
JPH0359036B2 (ja) | ||
JPS593077A (ja) | セラミツク部材と金属との接合方法 | |
JPH05191038A (ja) | 金属層を備えたセラミックス基板とその製造方法 | |
JPS61121489A (ja) | 基板製造用Cu配線シ−ト | |
JPH05319946A (ja) | 金属板接合セラミック基板 | |
JPS5935074A (ja) | セラミツク板 | |
JP2652014B2 (ja) | 複合セラミック基板 | |
JPS62182172A (ja) | セラミツクスと金属との接合方法 | |
JP3387655B2 (ja) | セラミックスとシリコンの接合方法 | |
JPS60107845A (ja) | 半導体用回路基板 | |
JPH0264081A (ja) | 窒化アルミニュームのメタライズ法 | |
JP4191860B2 (ja) | セラミック回路基板 | |
JPH0328392B2 (ja) | ||
JPS61193473A (ja) | 積層回路基板のピンリ−ド | |
JPS60117792A (ja) | セラミックス回路基板 | |
JPS59102876A (ja) | セラミツクスと金属との接合方法 | |
JPH06344131A (ja) | 半導体放熱基板への部品接合方法 | |
JPS60145980A (ja) | 金属被膜を有するセラミツクス焼結体およびその製造方法 | |
JPS60145972A (ja) | セラミックス−金属接合体 | |
JPS6016877A (ja) | セラミツクス焼結体と金属部材の接合体およびその製造方法 | |
JPH0787222B2 (ja) | 熱伝導性基板 |