JPS6270811A - 空気・磁気軸受型光偏向器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 この発明は、レーザプリンタやディジタル複写機、ファ
クシミリ、その他各種のレーザ偏向器を備えた光学的情
報処理装置で使用するのに好適な、コアレス扁平ＤＣブ
ラシレスモータ方式を採用した超小形の光偏向器に係る
。

さらに具体的にいえば、ラジアル軸受として動圧空気軸
受、スラスト軸受として磁気軸受を使用して光偏向器を
構成することにより、起動時や停止時における軸受部の
摩擦を少なくして、光偏向器の長寿命化を計るととも番
；、偏平型の簡単な構造にすることにより１部品点数の
減少、加工性。

組立性の容易化を可能にして、光偏向器の小型化と、イ
ナーシャを大きくしてジッター特性の改善とを実現し、
さらに、ヒステリシス・シンクロナスモータの原理を応
用することによって、簡単な制御回路で正確な速度制御
が行えるようにした光偏向器に関する。

史來伎肯 従来から、レーザプリンタのレーザ偏向器や、ディジタ
ル複写機のレーザ偏向器、ファクシミリのレーザ偏向器
、あるいはＰＯ８端末器のバーコードリーダ等の各種光
学的情報処理装置では、読取り用や書込み用のレーザ光
を偏向するために、ポリゴンミラー（多面鏡）を使用し
た光偏向器が用いられている。

このポリゴンミラーを使用した光偏向器は、偏向速度が
速く、しかも連続的な光偏向が可能なため、高速度かつ
高精度の情報の記録、あるいは読取りを行うことができ
る。

第５図は、従来の回転多面鏡型光偏向器の光学系の原理
を説明するための図である。図面において、４１は回転
多面鏡体で、４１ａはその回転軸、４２はレーザユニッ
ト、４３はレンズ系、４４は感光ドラムで、４４ａはそ
の回転軸を示す。

この第５図に示すように、レーザ走査光学系は、ディジ
タル信号によって発光、停止を行うレーザユニット４２
と、外周に感光体が層持される感光ドラム４４と、この
レーザ光を感光ドラム４４の回転軸４４ａの軸方向に偏
向、走査する回転多面鏡体４１と、レンズ系４３とから
構成されている。

このようなレーザ光偏向器を使用した画像出力装置、例
えばレーザプリンタでは、特に、ポリゴンミラーの回転
ムラに起因する画像ジッターが問題になっている。

ところで、この種の光偏向器としては、従来から、マグ
ネット界磁ＤＣブラシレスモータ方式のものが知られて
いる。

すなわち、このＤＣブラシレスモータのロータを円筒状
磁石とし、回転多面鏡を取付けた中空軸（いわゆる回転
多面体）をロータ磁石の内径に固着する。そして、この
回転多面体の内径部に固定軸を設け、回転多面体の内径
部表面と、固定軸の外径部表面とで動圧空気軸受を構成
するようにしている。

第６図（１）〜（３）は、従来の動圧空気軸受による回
転多面鏡型光偏向器について、その要部構成の一例を示
す構造図で、図（１）は縦断面図、図（２）は図（１）
のＡ−Ａ線断面図、図（３）は図（１）のＢ−Ｂ線断面
図である。図面において、５１は金属製の回転多面鏡体
で、５１ａはその複数の鏡面部、５１ｂは内部嵌合部、
５２はスラスト止めで、５２ａはその球面部、５２ｂは
貫通孔、５３はバランスリング、５４は４極のロータマ
グネット、６１は固定軸で、６１．　ａはその外径部、
６１ｂは上端部、６２はステータ、６３はステータ６２
用の取付はネジ、６４は位置検出用の素子で、６４ａと
６４ｂはその１対のホール素子、６５はプリント板、６
６は回転速度検出用のホールＩＣ素子、６７は引出し線
、７１は筐体、７２はエンドブラケットで、７２ａはそ
の内径部、７３は上蓋で、７３ａはそのビーム入射用窓
部、７４は偏向ビーム結像用レンズ、７５は回転子の軸
方向上向きの動きを制限する部材、７６は下カバー、７
７はエンドブラケット７２用の取付はネジを示す。

この従来の動圧空気軸受による回転多面鏡型光偏向器の
構成は、次のとおりである。

まず、回転子は、回転多面鏡体５１と、スラスト止め５
２と、バランスリング５３、および４極のロータマグネ
ット５４とから構成される。

次に、固定軸６１は、その外径部６１ａで、回転多面鏡
体５１の内部嵌合部５１ｂに対して微少な隙間を有して
嵌合し、上端部６１ｂは、スラスト止め５２の球面部５
２ａを介して、回転多面鏡体５１等からなる回転子を支
承している。

この固定軸６１は、第６図（１）に示すように、その外
径部６１ａの上部と下部にヘディングボーン溝が、中間
部にはスパイラル溝が形成されている。

そして、回転多面鏡体５１等からなる回転子が第６図（
２）の矢印方向に回転すると、動圧空気軸受の機能によ
り、回転子は、ラジアル方向に適当な剛性をもって支承
されるとともに、固定軸６１の上端部６１ｂによる支承
が解除されて軸方向上向きに浮上する。なお、スラスト
止め５２に設けられた貫通孔５２ｂは、空気の流通路で
、所定の回転数に対する浮上量を調節する機能を有して
いる。

エンドブラケット７２は、その内径部７２ａで固定軸６
１の下部を圧スして強固に支持するとともに、筐体７１
を取付はネジ７７により同心的に固着している。

ステータ６２は、ロータマグネット５４の外径部に対向
して、取付はネジ６３により筐体７１へ固定された周知
の電機子である。

また、回転多面鏡体５１等からなる回転子の位置、具体
的にはそのロータマグネット５４の位置を検出するため
に、第６図（３）に示すように、１対のホール素子６４
ａ、６４ｂからなる位置検出用の素子６４が配列され、
その回転制御のために、回転速度検出用のホールＩＣ素
子６６が配列されている。

これらの位置検出用の素子６４と、回転速度検出用のホ
ールＩＣ素子６６は、それぞれエンドブラケット７２に
固定されるとともに、プリント板６５を介して引出し線
６７に接続されている。

上蓋７３と下カバー７６は、動圧空気軸受による回転多
面鏡型光偏向器を外部から密閉するための部材であり、
第６図（２）に示すように、上蓋７３には、ビーム入射
用の窓部７３ａと、偏向ビーム結像用のレンズ７４とが
配置されている。なお、部材７５は、回転子の軸方向上
向きの動きを制限するように機能する。

この第６図（１）〜（３）に示した動圧空気軸受による
回転多面鏡型光偏向器では、マグネット界磁ＤＣモータ
は１巻線用鉄芯と４組の界磁巻線から構成されるステー
タ６２へ電流を流し、４極のロータマグネット５４との
間にトルクを発生させて、ロータマグネット５４を回転
駆動させる。すなわち、第６図（３）に示すように、ロ
ータマグネット５４の外周部の、空間的に１３５°の位
置に、位置検出用の素子６４として１対のホール素子６
４ａ、６４ｂを配置し、ロータマグネット５４の磁極を
検知してトルク角が常にπ／２となるようにステータ６
２の励磁タイミングを制御する。

また、ロータマグネット５４の外周部に配置された回転
速度検出用のホールＩＣ素子６６は、同様にロータマグ
ネット５４の磁極を検知し、この回転信号と図示されな
い駆動回路の水晶振動子からの基準周波数の回転位相を
比較して、１対のホール素子６４ａ、６４ｂに流す電流
を制御することにより、ロータマグネット５４の回転速
度を制御する。

この第６図（１）〜（３）の動圧空気軸受による回転多
面鏡型光偏向器の動作は、次のとおりである。

第６図（１）を参照して説明すれば、電源がオンになる
と、回転多面鏡体５１等からなる回転子は、固定軸６１
の上端部６１ｂで支承されながら回転を開始する。

そして、その数秒後に、予め設定されたスラスト空気軸
受が充分にその機能を発揮して１回転子の軸方向負荷を
保持しながら浮上し得る一定回転速度に達する。

この際、回転多面鏡体５１の内部嵌合部５１ｂの内径と
、固定軸６１の外径部６１ａとの間に形成された隙間の
下部から空気が流入し、流入した空気は、下部と上部ジ
ャーナルのへディングボーン溝のポンプ作用によって、
回転子をラジアル方向に強固に支持する。

流入空気は、回転子をラジアル方向に支持するとともに
、スパイラル溝の効果によって、上部の方向に流れスラ
スト止め５２部分に上向きの圧力を発生しながら、その
貫通孔５２ｂを通って動圧空気軸受の上方へ流れ出る。

このような動作によって、回転多面鏡体５１等からなる
回転子が回転される。

ところが、この第６図（１）〜（３）に示した従来の動
圧空気軸受による光偏向器では、第１点として、動圧空
気軸受部（すなわち固定軸の外径部表面）に複雑な溝加
工を必要とし、また、長尺の回転多面体の内径部表面に
も、超精密な表面加工を必要とする、等の理由で、加工
が困粱で、コストアップになる。

また、第２点として、動圧空気軸受の場合、軸受部は接
触状態にあるから、起動時に空気軸受効果がなく、空気
軸受が最大の特徴としている長寿命化に限界がある。す
なわち、起動・停止時に軸受部の接触摩擦により、軸受
部が摩耗する。

この第２点に関連する第３点として、モータ方式がマグ
ネット界磁型であるため、停止状態でロータは鉄心型ス
テータのある方向へ吸引されており、軸受部の摩擦力が
大きいことも、摩耗を早める原因となる。

さらに、先の第１点に関連する第４点として、回転子の
構成が複雑で、部品点数も多いので、バランス修正が難
かしいことも、コストアップの要因である。

その上、第５点として、インナーロータ型であることに
より、本質的にイナーシャが小さくなり、画像ジッター
の特性が悪くなる。という不利があり、同時に、回転軸
が長くなるので、光偏向器が大型化する、という難点が
ある。

最後に、第６点として、マグネット界磁ＤＣブラシレス
モータを使用しているので、ロータ位置検出器、速度検
出器が必要であり、固定子側の構成も複雑で、部品点数
が多くなる。その結果、信頼性が低下するとともに、コ
ストアンプの一因となる。

このように、従来の動圧空気軸受による光偏向器では、
種々の難点があり、空気軸受による本来の効果が充分に
得られない、という不都合があった。

目　　　　　的 そこで、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器では、従
来の空気軸受型光偏向器におけるこのような多くの不都
合を解決することを目的とする。

具体的にいえば、ラジアル軸受として動圧空気軸受を使
用し、スラスト軸受として磁気軸受けを使用することに
より、起動・停止時に回転子が軸受部に接触しないよう
にして、動作の安定化と長寿命化とを可能にするととも
に、回転子や固定子の構成を簡略化して、回転子の軽量
化による光偏向器の小型化と低コスト化とを実現し、さ
らに、ヒステリシス・シンクロナスモータの原理を応用
することによって回転ムラの発生を防止して、画像ジッ
ター特性が良好な光偏向器を提供することを目的とする
。

盈−一双 そのために、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器では
、ミラーを有する中空状の回転子と、この回転子の内部
に配置され、その外周にラジアル方向の動圧空気軸受を
構成するヘディングボーン溝を有する固定軸と、この固
定軸を支持するとともに、固定軸および回転子を収納し
、かつミラーへの光路を形成する窓部を有する筐体部と
からなる光偏向器において、中空状の回転子は、その上
端に固定された磁石と、同じく回転子の下方に固定され
、円周方向に異なる極性に着磁されたロータ磁石とを具
備し、固定軸は、その上端に回転子に固定された磁石と
同極性で対向するように固定された磁石を具備し、回転
子の磁石と固定軸の磁石との間で発生される反発力によ
り永久磁石反発式スラスト磁気軸受が構成されており、
かつ、回転子の下方に固定されたロータ磁石に対向して
、複数個のコイルが筐体部の内部に設けられ、ロータ磁
石とコイルとにより、面対向型モータが構成されるよう
にしている。

次に、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器について、
図面を参照しながら、その一実施例を詳細に説明する。

第１図は、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器の一実
施例について、その要部構成を示す縦断面図である。図
面において、１１は中空の回転軸で、１１ａはそのフラ
ンジ部、ｌｌｂは段部、１１ｃはネジ部、１２はミラー
、１３はミラー固定用リング、１３Ａは固定用ネジ、１
４〜１６は磁石ロータ組立体で、１６はロータマグネッ
ト、−１７は非磁性体のホルダーケースで、１７ａはそ
の通気孔、１７ｂはネジ部、１８はスラスト磁気軸受用
の上部マグネット、１９はホルダーケース１７の固定用
リング、２１は固定軸で、２１ａは固定用の凸部、２１
ｂと２１ｃは、それぞれ固定軸２１の外周の上部と下部
に設けられたヘディングボーン溝、２１ｄは段部、２１
ｅは気圧調整用連絡孔、２２は非磁性体のホルダーケー
ス、２３はスラスト磁気軸受用の下部マグネット、３１
はハウジングで、３１ａは固定軸２１の固定用の凸部２
１ａが嵌合される孔部、３１ｂは気圧調整用溝部、３２
は上部ケースで、３２ａは窓部、３３はコイル基板、３
４はコイル、３５は磁性体のヨークを示し、また、ｇは
上部マグネット１８と下部マグネット２３とのギャップ
を示す。

まず、回転子について述べる。この第１図では、回転子
を構成する部材に、１１〜１９の１０番台の符号を付け
ている。

回転子は、中空の回転軸１１と、ミラー１２、ロータ組
立体１４〜１６、および、スラスト磁気軸受用の上部マ
グネット１８とから構成される。

そのために、中空の回転軸１１は、ミラー１２とロータ
組立体１４〜１６を取付けるためのフランジ部１１ａを
有しており、ミラー１２は、この中空の回転軸１１のフ
ランジ部１１ａに、図の上方から装着された後、その上
面をミラー固定用リング１３により押圧された状態で、
固定用ネジ１３Ａによって締め付けられ、所定の位置に
固定される。

また、この中空の回転軸１１のフランジ部１１ａの下方
には、モータ部を構成するロータ組立体１４〜１６が取
付けられる。

さらに、この中空の回転軸】１の上方には、非磁性体の
ホルダーケース１７が、固定用リング１９によって固定
される。このホルダーケース１７は、リング状のスラス
ト磁気軸受用の上部マグネット１８を支持するように機
能し、そのネジ部１７ｂが、中空の回転軸１１に設けら
れたネジ部１１ｃに係合する。

次に、固定軸の構成について述べる。この第１図では、
固定軸を構成する部材に、２１〜２３の２０番台の符号
を付けている。

固定軸２１の胴部表面には、その上部と下部にそれぞれ
、ラジアル方向の動圧空気軸受を構成するヘディングボ
ーン溝２１ｂ、２１ｃが設けられている。

また、この固定軸２１の上方には、例えばその上端の凹
部に、非磁性体のホルダーケース２２の凸部が嵌合され
ることで、ホルダーケース２２が固定されて、リング状
のスラスト磁気軸受用の下部マグネット２３を支持する
。

この固定軸２１の下部には、固定用の凸部２１ａが形成
されていて、ハウジング３１に設けられた孔部３１ａと
嵌合することにより、所定位置に固定される。

なお、固定軸２１の段部２１ｄは、中空の回転軸１１の
段部１１ｂと共に、環状の空隙部を形成する。また、固
定軸２１の下面には、気圧調整用連絡孔２１ｅの開口が
設けられており、この下面でハウジング３１の気圧調整
用溝部３１ｂを覆うことによって、同様に環状の空隙部
を形成する。

そして、これらの環状の空隙部を接続するために、固定
軸２１には、気圧調整用連絡孔２１ｅが設けられている
。

この気圧調整用連絡孔２１ｅは、ラジアル方向に貫通さ
れた開口と、気圧調整用溝部３１ｂで形成される環状の
空隙部とが通気されるような連絡路であり、固定軸２１
の段部２１ｄと、中空の回転軸１１の段部１１ｂとによ
って、固定軸２１の中央部に形成された環状の空隙部、
すなわち空気軸受部の空気の逃げ部の空気圧と、筐体部
の内部空気圧とを等しくするように作用する。

筐体部は、ハウジング３１と、上部ケース３２とから構
成される。この筐体部には、コイル基板３３が固定され
ており、モータ駆動部の固定子を構成するコイル３４と
、ヨーク３５とが、支持されている。

ハウジング３１には、固定軸２１の固定用の凸部２１ａ
が嵌合される孔部３１ａが設けられており、また、気圧
調整用溝部３１ｂが、孔部３１ａの上部に形成されてい
る。

上部ケース３２は、風損と風切音とを低く抑えるために
、ミラー１２との空隙が小さくされており、また、実装
性や搬送時の便等を考慮して、上部が細径の凸状に形成
されている。

ここで、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器で用いら
れる永久磁石反発式スラスト磁気軸受について説明すれ
ば、中空の回転軸１１に設けられた上部マグネット１８
と、固定軸２１に設けられた下部マグネット２３とは、
反発力が得られるように、同極性同士が対向するように
配置される。

この場合に、ギャップｇは、固定用リング１９を回転し
て、ホルダーケース１７を移動させることによって、適
当に調整される。

次に、モータ駆動部は、中空の回転軸１１に固定された
磁石ロータ組立体１４〜１６と、コイル基板３３上に配
列された複数個のコイル３４、およびヨーク３５とから
構成される。

次の第２図は、第１図に示したこの発明の空気・磁気軸
受型光偏向器について、そのスラスト軸受部の動作原理
を説明するための要部構成図である。図面における符号
は、第１図と同様である。

この第２図に示すように、この発明の空気・磁気軸受型
光偏向器では、スラスト軸受部は、リング状の上部マグ
ネット１８と下部マグネット２３、およびモータ駆動部
のロータマグネット１６と。

ヨーク３５とから構成される。

まず、浮力は、上部マグネット１８と下部マグネット２
３との間の反発力によって発生され、回転子が上方へ浮
上される。他方、下方への引下刃は、ロータマグネット
１６とヨーク３５との間の吸引力によって発生され、回
転子は下方へ引張られる。

この場合に、上部マグネット１８と下部マグネット２３
との間の浮力の方を、ロータマグネット１６とヨーク３
５との間の吸引力よりも、大きくすることにより、中空
の回転子を浮上させることができる。

この浮力は、固定用リング１９を回転し、上部マグネッ
ト１８を支持するホルダーケース１７を移動させること
によって、ギャップｇを調整すれば、吸引力とバランス
した所望の大きさとなる。

第３図は、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器で使用
するのに好適なロータマグネット１６の一例を示す平面
図である。

次の第４図は、同じくこの発明の空気・磁気軸受型光偏
向器で使用するのに好適なコイル３４の配置例を示す図
である。

次に、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器について、
モータの回転制御を説明する。

この実施例では、第３図と第４図に示すように、光偏向
器のモータ駆動部の構成が、８極３相６コイルの場合に
ついて述べる。

第１図のモータ駆動部において、特に図示されていない
ロータ位置検出器の出力信号により励磁相を切換え、順
次６つのコイルを励磁すると、フレミング左手の法則（
いわゆるＢｌｉ則）に従って、ロータは、モータの供給
電圧に比較した回転数で回転される。

なお、Ｂｌｉ則で説明する場合に、Ｆ＝Ｂｌｉの力（こ
こで、Ｆは発生力、Ｂは磁束密度、ｉは励磁電流）は、
コイルに働く力である。しかし。

この発明の空気・磁気軸受型光偏向器では、コイルが固
定で、ロータ磁石が回転する方式のブラシレスモータの
原理を応用しているので、ロータマグネットすなわち、
回転子に作用する回転力の方向は、このＢｌｉ則の逆方
向となる。

このように、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器では
、ロータマグネット１６は偏平型リング磁石であるから
、回転子を軸方向に短かくすることが可能となる。この
ように、モータ駆動部の構成は簡単であり、低コストと
なる。

以上に詳細に説明したとおり、この発明の空気・磁気軸
受型光偏向器では、ミラーを有する中空状の回転子と、
この回転子の内部に配置され、その外周にラジアル方向
の動圧空気軸受を構成するヘディングボーン溝を有する
固定軸と、この固定軸を支持するとともに、固定軸およ
び回転子を収納し、かつ、ミラーへの光路を形成する患
部を有する筐体部とからなる光偏向器において、中空状
の回転子は、その上端に固定された磁石と、同じく回転
子の下方に固定され、円周方向に異なる極性に着磁され
たロータ磁石とを具備し、固定軸は、その上端に回転子
に固定された磁石と同極性で対向するように固定された
磁石を具備し１回転子の磁石と固定軸の磁石との間で発
生される反発力により永久磁石反発式スラスト磁気軸受
が構成されており、かつ、回転子の下方に固定されたロ
ータ磁石に対向して、複数個のコイルが筐体部の内部に
設けられ、ロータ磁石とコイルとにより、面対向型モー
タが構成されるようにしている。

夏−一果 したがって、この発明の空気・磁気軸受型光偏向器によ
れば、ラジアル軸受として動圧空気軸受を使用し、スラ
スト軸受として磁気軸受けを使用しているので、起動・
停止時に回転子が軸受部に接触しなくなり、動作の安定
化と長寿命化とが可能となる。

また、回転子や固定子の構成も簡略化され、部品点数の
減少、および加工性２組立性が向上され、回転子の軽量
化も可能となるので、光偏向器の小型化と低コスト化と
が実現される。

さらに、ヒステリシス・シンクロナスモータの原理を応
用しているので、回転ムラの発生が防止され、画像ジッ
ター特性の良好な光偏向器が得られる、等の多くの優れ
た効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１１−はこの発明の空気・磁気軸受型光偏向器の一実
施例について、その要部構成を示す縦断面図、ＩＪ−は
第１図に示したこの発明の空気・磁気軸受型光偏向器に
ついて、そのスラスト軸受部の動作原理を説明するため
の要部構成図、１主皿はこの発明の空気・磁気軸受型光
偏向器で使用するのに好適なロータマグネット１６の一
例を示す平面図、１工凰は同じくこの発明の空気・磁気
軸受型光偏向器で使用するのに好適なコイル３４の配置
例を示す図、ｔ＋は従来の回転多面鏡型光偏向器の光学
系の原理を説明するための図、１１１ｕ辷」ｕは従来の
動圧空気軸受による回転多面鏡型光偏向器について、そ
の要部構成の一例を示す構造図で、図（１）は縦断面図
、図（２）は図（１）のＡ−Ａ線断面図、図（３）は図
（１）のＢ−Ｂ線断面図である。 図面において、１１は中空の回転軸で、ｌｌａはそのフ
ランジ部、ｌｌｂは段部、ｌｌｃはネジ部、１２はミラ
ー、１３はミラー固定用リング、１３Ａは固定用ネジ、
１４〜１６は磁石ロータ組立体で、１６はロータマグネ
ット、１７はホルダーケースで、１７ａはその通気孔、
１７ｂはネジ部、１８は上部マグネット、１９はホルダ
ーケース１７の固定用リング、２１は固定軸で、２１ａ
は固定用の凸部、２１ｂと２１ｃはへディングボーン溝
、２１ｄは段部、２１ｅは気圧調整用連絡孔、２２はホ
ルダーケース、２３は下部マグネット、３１はハウジン
グで、３１ａは孔部、３１ｂは気圧調整用溝部、３２は
上部ケースで、３２ａは窓部、３３はコイル基板、３４
はコイル、３５はヨークを示す。 オ　６　　図 ロ１　　　　　　　　　　　　　．０ 手続補正帯（自発） 昭和６１年２月１５日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ミラーを有する中空状の回転子と、該回転子の内部に配
   置され、その外周に動圧空気軸受を構成するヘディング
   ボーン溝を有する固定軸と、該固定軸を支持するととも
   に、前記固定軸および回転子を収納し、かつ前記ミラー
   への光路を形成する窓部を有する筐体部とからなる光偏
   向器において、前記中空状の回転子は、その上端に固定
   された磁石と、該回転子の下方に固定され、円周方向に
   異なる極性に着磁されたロータ磁石とを具備し、前記固
   定軸は、その上端に前記回転子に固定された磁石と同極
   性で対向するように固定された磁石を具備し、前記回転
   子の磁石と前記固定軸の磁石との間で発生される反発力
   によりスラスト磁気軸受が構成されており、かつ、前記
   回転子の下方に固定されたロータ磁石に対向して、複数
   個のコイルが前記筐体部の内部に設けられ、前記ロータ
   磁石と前記コイルとにより、面対向型モータが構成され
   ていることを特徴とする空気・磁気軸受型光偏向器。