JPS6268515A - 超微細水滴の製造方法 - Google Patents
超微細水滴の製造方法Info
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- JPS6268515A JPS6268515A JP60207767A JP20776785A JPS6268515A JP S6268515 A JPS6268515 A JP S6268515A JP 60207767 A JP60207767 A JP 60207767A JP 20776785 A JP20776785 A JP 20776785A JP S6268515 A JPS6268515 A JP S6268515A
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- water
- water droplets
- ultrafine
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
- F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
- F24F6/14—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
- B08B9/093—Cleaning containers, e.g. tanks by the force of jets or sprays
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
- Glanulating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、空気１立方フィート当り２００万個以上、好
ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個
以上含有させる超微細水滴の製造方法に関するものであ
る。
ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個
以上含有させる超微細水滴の製造方法に関するものであ
る。
病院、薬品製造工場、食品製造工場１食品冷蔵室、研究
所、実験室等では塵埃や微生物を含まない清浄気体が必
要であり、そのためにはエアーフィルターを用いて清浄
化した空気を送気したり、出入口部にエアーカーテンを
設置したりする方策が採られている。しかしながらこの
ような方法では充分に清浄化された気体を得ることはで
きないし、エアーシャワールームを利用しても充分に目
的を達成することはできない。
所、実験室等では塵埃や微生物を含まない清浄気体が必
要であり、そのためにはエアーフィルターを用いて清浄
化した空気を送気したり、出入口部にエアーカーテンを
設置したりする方策が採られている。しかしながらこの
ような方法では充分に清浄化された気体を得ることはで
きないし、エアーシャワールームを利用しても充分に目
的を達成することはできない。
ましてや、ＬＳ１．超ＬＳＩ製造工場、生物製剤製造工
場、手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場、
冷蔵室等のように、細菌やウィルスの混入はおろか０．
５μ以下の塵埃の混入も許されない厳格な条件のもとで
、超クリーンな清浄気体を工業的規模で送入することは
、現在では不可能とされている。
場、手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場、
冷蔵室等のように、細菌やウィルスの混入はおろか０．
５μ以下の塵埃の混入も許されない厳格な条件のもとで
、超クリーンな清浄気体を工業的規模で送入することは
、現在では不可能とされている。
しかしながら、このように高度に清浄化された冷蔵室や
、室や工場を得ることは各種の業界において広く切望さ
れており１本発明はこのような時代の要請に応えるべく
なされたものである。。
、室や工場を得ることは各種の業界において広く切望さ
れており１本発明はこのような時代の要請に応えるべく
なされたものである。。
そこで鋭意研究を行ったところ、空気に混入した水滴が
空気中に混在する塵埃を吸着して空気を清浄化するとい
う現象に着目し、更に水滴の粒子を小さくして実質的に
０．５ミクロン以下の超微細水滴にして空気１立方フィ
ート当り２００万個以上、好ましくは５００万個以上、
より好ましくは１０００万個以上含有さぜで送りづれは
空り中の微細な元蝮はもちろんのこと細菌、糸状菌、胞
子類はおろかウィルスまでもごか、らを付着して清浄化
、除菌することができることが判明した。そして、この
ような超微細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰
囲気を清浄化できるのみでなく、全く子筋せざることに
、超微細水滴の場名は水滴が存在するにもかがわらず物
体が濡おるという現象が生じないという顕著な効果が奏
されることをつきとめた、そして更に検討した結果、微
細水滴浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通したところ、
該通常気体が超クリーンな状態にまで高度に清浄化され
、このように高度に清浄化された気体を子れぞれの部屋
、部署、その他関係個所に直接適用できることも見出し
た。
空気中に混在する塵埃を吸着して空気を清浄化するとい
う現象に着目し、更に水滴の粒子を小さくして実質的に
０．５ミクロン以下の超微細水滴にして空気１立方フィ
ート当り２００万個以上、好ましくは５００万個以上、
より好ましくは１０００万個以上含有さぜで送りづれは
空り中の微細な元蝮はもちろんのこと細菌、糸状菌、胞
子類はおろかウィルスまでもごか、らを付着して清浄化
、除菌することができることが判明した。そして、この
ような超微細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰
囲気を清浄化できるのみでなく、全く子筋せざることに
、超微細水滴の場名は水滴が存在するにもかがわらず物
体が濡おるという現象が生じないという顕著な効果が奏
されることをつきとめた、そして更に検討した結果、微
細水滴浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通したところ、
該通常気体が超クリーンな状態にまで高度に清浄化され
、このように高度に清浄化された気体を子れぞれの部屋
、部署、その他関係個所に直接適用できることも見出し
た。
本発明は水噴射装置内の噴射管に多数設置Ｊられた直径
０．２〜８ｎｎ、好ましくは０．５〜３ｍのノズルから
ゲージ圧０．３〜５．５）ｇ／ａＪ、対ましくは０．５
〜２．５ｋｇ１ｃｉで水を噴射さ七、ノズルから１０〜
１５０ａｎはなれた側部に衝突さゼできわめて多数超微
細水滴を発生さセここに空気を送り、粒径０．５ミクロ
ン以下の超微細水滴を空気１立方フィート当り２００万
個以上、好ましくは５００万個以上、より好ましくは１
０００万個以上含′有する空気を擾ることを特徴とする
超微細水滴の製造方法である。
０．２〜８ｎｎ、好ましくは０．５〜３ｍのノズルから
ゲージ圧０．３〜５．５）ｇ／ａＪ、対ましくは０．５
〜２．５ｋｇ１ｃｉで水を噴射さ七、ノズルから１０〜
１５０ａｎはなれた側部に衝突さゼできわめて多数超微
細水滴を発生さセここに空気を送り、粒径０．５ミクロ
ン以下の超微細水滴を空気１立方フィート当り２００万
個以上、好ましくは５００万個以上、より好ましくは１
０００万個以上含′有する空気を擾ることを特徴とする
超微細水滴の製造方法である。
すなわち、本発明においては、水噴射装置内の噴射管に
は多数の１例えば３０ケ〜１５００ケの直径０゜２〜８
ｃｍ、好ましくは０．５〜３圃のノズルが設けられる。
は多数の１例えば３０ケ〜１５００ケの直径０゜２〜８
ｃｍ、好ましくは０．５〜３圃のノズルが設けられる。
水は高い圧力でポンプによって送られ、ゲージ圧０．３
〜５．５−／ｄ、好ましくは０．５〜２．５眩／ｄで水
を各ノズルから噴射させるが水の量は１ケのノズル当り
１〜３Ｑ１分もの大量の水が噴射される。水はノズルか
ら１０〜１５０ａｎはなれた側壁に衝突させてぎわめで
多数の超微細水滴を発生させるが、ここに空気を風速１
５〜５０ｍ／、、ｃ程度で風量３〜３０００ｒｎ’／、
ｉ。の目安で送り込み、粒径０，５ミクロン以下の超微
細水滴を１立方フィート当り２００万個以上、好ましく
は５００万個以上、より好ましくは１０００万個以上含
有する空気を得るものである。
〜５．５−／ｄ、好ましくは０．５〜２．５眩／ｄで水
を各ノズルから噴射させるが水の量は１ケのノズル当り
１〜３Ｑ１分もの大量の水が噴射される。水はノズルか
ら１０〜１５０ａｎはなれた側壁に衝突させてぎわめで
多数の超微細水滴を発生させるが、ここに空気を風速１
５〜５０ｍ／、、ｃ程度で風量３〜３０００ｒｎ’／、
ｉ。の目安で送り込み、粒径０，５ミクロン以下の超微
細水滴を１立方フィート当り２００万個以上、好ましく
は５００万個以上、より好ましくは１０００万個以上含
有する空気を得るものである。
次に、本発明方法を実施するための装置の数例を図示し
た図面を参照しながら１本発明方法を詳述する。
た図面を参照しながら１本発明方法を詳述する。
先ず第１図を参照されたい。この装置は１本発明を実施
するための最も基礎的なものであって、水噴射装置１の
壁近くに噴射管２を設け、これには多数の水噴射ノズル
３を設ける。これらのノズル３は、対向する側面に設け
たノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対す
るノズルを直線上に配置しないようにするのがよい。ノ
ズルは３０ケ〜１５００ケ設けられ、直径は０．２〜８
ａ、好ましくは０ 、５〜３ ｍで、水はゲージ圧０．
３〜５．５ｋｇ／ｃｍ２、好ましくはＯ，Ｓ〜２．５ｋ
ｇ／ａ＃で１０〜１５０個はなれた向うの壁に噴射され
る。
するための最も基礎的なものであって、水噴射装置１の
壁近くに噴射管２を設け、これには多数の水噴射ノズル
３を設ける。これらのノズル３は、対向する側面に設け
たノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対す
るノズルを直線上に配置しないようにするのがよい。ノ
ズルは３０ケ〜１５００ケ設けられ、直径は０．２〜８
ａ、好ましくは０ 、５〜３ ｍで、水はゲージ圧０．
３〜５．５ｋｇ／ｃｍ２、好ましくはＯ，Ｓ〜２．５ｋ
ｇ／ａ＃で１０〜１５０個はなれた向うの壁に噴射され
る。
噴射された水は、対向する側面に衝突して超微細水滴と
なり、水噴射装置１内はこの超微細水滴で充満される。
なり、水噴射装置１内はこの超微細水滴で充満される。
水噴射装置１内には送入口４から空気を風速１５〜５０
ｍ ／ ｓ ａ ａ ８度、ＩＩ’、量 ３〜３００
０ｍ’／、□。程度で送り込み、粒径０．５ミクロン以
下の超微細水滴をＪ立方フィート当り２００万個以上、
好ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万
個以上含有する空気とし、これを送出口５から取出す。
ｍ ／ ｓ ａ ａ ８度、ＩＩ’、量 ３〜３００
０ｍ’／、□。程度で送り込み、粒径０．５ミクロン以
下の超微細水滴をＪ立方フィート当り２００万個以上、
好ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万
個以上含有する空気とし、これを送出口５から取出す。
送出口５を出た超微細水滴を含む空気は大きな水滴を含
むことがあるので、サイクロン６の接線方向大ロアから
サイクロン６に送入し、大ぎな水滴を除去して送気管８
から取り出ずものである。
むことがあるので、サイクロン６の接線方向大ロアから
サイクロン６に送入し、大ぎな水滴を除去して送気管８
から取り出ずものである。
取り出された超微細水滴を含む空気はそれぞれの室に送
って、水噴射装置に帰し、循環さゼるものである。
って、水噴射装置に帰し、循環さゼるものである。
第４図乃至第９図は、更に効率よく、しかも温度コント
ロールした超微細水滴浮遊気体を製造するための装置で
ある。
ロールした超微細水滴浮遊気体を製造するための装置で
ある。
水噴射装置４０の円筒部４１内には、冷凍装置の蒸発管
４７が配置されている。蒸発管４７とノズル４５との位
置関係は、相互に完全にずらしてもよいし。
４７が配置されている。蒸発管４７とノズル４５との位
置関係は、相互に完全にずらしてもよいし。
また少しずらしてもよく、また噴射ノズル４５からの水
が蒸発管４７に対して垂直に噴射状態で吹き付けられる
ように配置されている。ノズルは３０ヶ〜１５００ケ程
度設けられ、直径は０．２〜８ｍｍ、好ましくは０．５
〜３ａｉで、水はゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ２
、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ｃｄで、水の量は１
ケのノズル当り１〜３Ｑ／分の量で噴射される。ノズル
から側壁までは１０〜１５０ｃｍはなして設けられる。
が蒸発管４７に対して垂直に噴射状態で吹き付けられる
ように配置されている。ノズルは３０ヶ〜１５００ケ程
度設けられ、直径は０．２〜８ｍｍ、好ましくは０．５
〜３ａｉで、水はゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ２
、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ｃｄで、水の量は１
ケのノズル当り１〜３Ｑ／分の量で噴射される。ノズル
から側壁までは１０〜１５０ｃｍはなして設けられる。
水噴射装置の円錐部５１の下端部には、濾過装置４８、
水タンク４９、ポンプ５０が順次設けられている６従っ
て、冷水は矢印Ｂの方向、すなわちポンプ５０、循環管
４６、噴射管４４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５１
、濾過装置４８．水タンク４９、ポンプ５０、の順序で
循環させられる。冷媒、特に高温冷媒（１℃〜−５℃）
は、矢印Ｃの方向に蒸発管４７内を循環する。
水タンク４９、ポンプ５０が順次設けられている６従っ
て、冷水は矢印Ｂの方向、すなわちポンプ５０、循環管
４６、噴射管４４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５１
、濾過装置４８．水タンク４９、ポンプ５０、の順序で
循環させられる。冷媒、特に高温冷媒（１℃〜−５℃）
は、矢印Ｃの方向に蒸発管４７内を循環する。
空気は、矢印Ａの方向にしたがって入口４２を通って水
噴射装置内に送り込まれ、水噴射装置内で微細水滴を含
有すると同時に冷却されて目的とする空気となり出口管
４３を通ってそれぞれの目的に使用される。噴射管４４
に設けたノズル４５からゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／
ｃＪ、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ１ｄで水を噴射さ
せ、ノズルから１０〜１５０Ｃ！１はなれた冷凍装置の
蒸発管４７及び／又は円筒部４１の側壁に衝突せしめる
と（［Ｅ）、超微細水滴が発生しくそれとともに、蒸発
管４７と衝突した水流はこの管４７内を通る冷媒と熱交
換を行い、冷却される）、且つ水滴は冷却される。この
ような雰囲気中空気を風速１５〜５０ｍ／ｓａｃ程度で
風量３〜３０００ ｒｒ［’ ／、ｉ 、の目安で矢印
Ａにしたがって通過せしめると、この空気は超微細水滴
を含有するとともに冷却された水滴と熱交換を行ってそ
れ自体は冷却され、０．５ミクロン以下の超微細水滴を
１立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５００
万個以上、より好ましく−は１ｏｏｏ万個以上含有する
空気とするものである。この際。
噴射装置内に送り込まれ、水噴射装置内で微細水滴を含
有すると同時に冷却されて目的とする空気となり出口管
４３を通ってそれぞれの目的に使用される。噴射管４４
に設けたノズル４５からゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／
ｃＪ、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ１ｄで水を噴射さ
せ、ノズルから１０〜１５０Ｃ！１はなれた冷凍装置の
蒸発管４７及び／又は円筒部４１の側壁に衝突せしめる
と（［Ｅ）、超微細水滴が発生しくそれとともに、蒸発
管４７と衝突した水流はこの管４７内を通る冷媒と熱交
換を行い、冷却される）、且つ水滴は冷却される。この
ような雰囲気中空気を風速１５〜５０ｍ／ｓａｃ程度で
風量３〜３０００ ｒｒ［’ ／、ｉ 、の目安で矢印
Ａにしたがって通過せしめると、この空気は超微細水滴
を含有するとともに冷却された水滴と熱交換を行ってそ
れ自体は冷却され、０．５ミクロン以下の超微細水滴を
１立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５００
万個以上、より好ましく−は１ｏｏｏ万個以上含有する
空気とするものである。この際。
空気の循環による遠心作用により実質的に０．５ミクロ
ンより大きいものは分離されている。必要によっては、
サイクロンで除水滴することもできる。
ンより大きいものは分離されている。必要によっては、
サイクロンで除水滴することもできる。
第７図は、本発明方法を６４キロビットＲＡＭ量産工場
に対して実際に適用するためのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがって、水噴射
装置側で製造された超微細水１滴浮遊空気は、矢印Ａに
したがって除滴サイクロン利に送り込まれる。すなわち
並から出てきた気体は、除滴サイクロン閃の側壁に切線
方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中を
循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して０
８５μ以下の超微細水滴を９０％以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン並の中央部に設けた出口管から
これを取り出す。
に対して実際に適用するためのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがって、水噴射
装置側で製造された超微細水１滴浮遊空気は、矢印Ａに
したがって除滴サイクロン利に送り込まれる。すなわち
並から出てきた気体は、除滴サイクロン閃の側壁に切線
方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中を
循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して０
８５μ以下の超微細水滴を９０％以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン並の中央部に設けた出口管から
これを取り出す。
このようにして取り出された超微細水滴浮遊空気は、実
質的に０．５ミクロンより大きいものを除くためにフィ
ルターＦを有するパイプＰを通ってエアーシャワールー
ム並に送られて、更には隣接する超りリーンルーム放で
作業をする人々の洗滌を行う。また上記超微細水滴浮遊
空気の一部は。
質的に０．５ミクロンより大きいものを除くためにフィ
ルターＦを有するパイプＰを通ってエアーシャワールー
ム並に送られて、更には隣接する超りリーンルーム放で
作業をする人々の洗滌を行う。また上記超微細水滴浮遊
空気の一部は。
直接超クリーンルームＵに送られて、室内に塵埃を含ま
ない清浄化した空気を送入するとともにＬＳＩに用いる
シリコン板の洗滌にもこれを使用する。超クリーンルー
ムＵで使用された空気は、そこから取り出し、パイプＰ
、ファンＦを介して水噴射装置内、へ戻し、このサイク
ルをくり返すのである。この方法によれば、超クリーン
ルーム内には１立方フイートの空間に０．５μ以上の塵
はわずか１個未満しかないという超クリーンな状態に保
たれていること−が判明した。ちなみに、通常の工場で
は数万個の塵埃が浮遊しており、このことからも１本発
明による方法がいかにすぐれているかが判るはずである
。
ない清浄化した空気を送入するとともにＬＳＩに用いる
シリコン板の洗滌にもこれを使用する。超クリーンルー
ムＵで使用された空気は、そこから取り出し、パイプＰ
、ファンＦを介して水噴射装置内、へ戻し、このサイク
ルをくり返すのである。この方法によれば、超クリーン
ルーム内には１立方フイートの空間に０．５μ以上の塵
はわずか１個未満しかないという超クリーンな状態に保
たれていること−が判明した。ちなみに、通常の工場で
は数万個の塵埃が浮遊しており、このことからも１本発
明による方法がいかにすぐれているかが判るはずである
。
また、第８図及び第９図に示されるように、除滴サイク
ロン並の次に熱交換器１００を設け、これに超微細水滴
浮遊気体を通すことによって、空気を最適温度に上昇さ
せることができるものである。
ロン並の次に熱交換器１００を設け、これに超微細水滴
浮遊気体を通すことによって、空気を最適温度に上昇さ
せることができるものである。
熱交換器１００は次に説明される。即ち、缶体１０１の
中心部には空気排出管亜を上下方向に設けてあり、管体
遅」外に設けた空気導管１四ヒーと連通する。
中心部には空気排出管亜を上下方向に設けてあり、管体
遅」外に設けた空気導管１四ヒーと連通する。
従って、空気取入管１０４よりの空気は缶体１０１内を
旋回しながら下方に達し空気排出管１０５の下部より上
昇して矢印方向に移動することになる。又管体遅１の内
部には外側配管里及び内側配管１０７を設けてあり、各
配管１０６．１Ｃμの下端は缶体遅猛外に設けたポンプ
１０８と連通し、温水又は冷水を流通させ上部排水口１
０９．１１０より排水せられる。管内１０１の上部及び
下部には洗滌水管υユの水噴出口旦り、旦比・・・を多
数設けてあり、配管里及び配向けて洗滌水を噴出できる
ようにしである。又コーン部１０２の下方には、排水管
↓１２’−が設けられており１缶内の洗滌水又は気体冷
却によるドレイン等が排水できるようにしである。従っ
て空気取入口１０４よりの空気は缶−ハリ、内でサイク
ロン効果によりごみ等を分離し、配管１０６．１０７に
より適温に加熱又は冷却され、適温となった空気は空気
排出管１０５より送出される。又分離したごみ等は洗滌
水管υユに通水し、ノズル１ｌｌａ、 １ｌｌｂ−・・
・より噴水させることにより洗い去ることができるもの
である。
旋回しながら下方に達し空気排出管１０５の下部より上
昇して矢印方向に移動することになる。又管体遅１の内
部には外側配管里及び内側配管１０７を設けてあり、各
配管１０６．１Ｃμの下端は缶体遅猛外に設けたポンプ
１０８と連通し、温水又は冷水を流通させ上部排水口１
０９．１１０より排水せられる。管内１０１の上部及び
下部には洗滌水管υユの水噴出口旦り、旦比・・・を多
数設けてあり、配管里及び配向けて洗滌水を噴出できる
ようにしである。又コーン部１０２の下方には、排水管
↓１２’−が設けられており１缶内の洗滌水又は気体冷
却によるドレイン等が排水できるようにしである。従っ
て空気取入口１０４よりの空気は缶−ハリ、内でサイク
ロン効果によりごみ等を分離し、配管１０６．１０７に
より適温に加熱又は冷却され、適温となった空気は空気
排出管１０５より送出される。又分離したごみ等は洗滌
水管υユに通水し、ノズル１ｌｌａ、 １ｌｌｂ−・・
・より噴水させることにより洗い去ることができるもの
である。
このように処理された空気はほぼ完全に０．５ミクロン
以下の超微細水滴を多量浮遊した状態となっているので
、これを用いて室内を処理することによってあらゆる物
を清浄化することができるのである。
以下の超微細水滴を多量浮遊した状態となっているので
、これを用いて室内を処理することによってあらゆる物
を清浄化することができるのである。
本発明方法において使用する０、５ミクロン以下の超微
細水滴は表面張力がきわめて低く、物体に耐着したり、
空中に浮遊している塵埃に超微細水滴が容易に付着し、
更にこの超微細水滴が互いに集合し、大きくなり顕著に
重量がふえ送風とともに塵埃は除去される。特に、本漬
によれば超微細水滴を使用するために、非常に微細な塵
埃のみではなく、細菌やウィルスまでも除去することが
でき、物理的にも生物的にも室内は清浄化されるという
著効が奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等で
除去していたのであるが、ウィルスはわずか０．５μ〜
０．Ｏ１μの大きさしかないため、エアーフィルタでは
充分除去することが不可能であった。したがって１本発
明で室内を清浄化すれば現実に風邪をひくといったこと
も非常に少なくなり、病院、薬局、研究室、産院等に使
用するのに極めて好適である。
細水滴は表面張力がきわめて低く、物体に耐着したり、
空中に浮遊している塵埃に超微細水滴が容易に付着し、
更にこの超微細水滴が互いに集合し、大きくなり顕著に
重量がふえ送風とともに塵埃は除去される。特に、本漬
によれば超微細水滴を使用するために、非常に微細な塵
埃のみではなく、細菌やウィルスまでも除去することが
でき、物理的にも生物的にも室内は清浄化されるという
著効が奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等で
除去していたのであるが、ウィルスはわずか０．５μ〜
０．Ｏ１μの大きさしかないため、エアーフィルタでは
充分除去することが不可能であった。したがって１本発
明で室内を清浄化すれば現実に風邪をひくといったこと
も非常に少なくなり、病院、薬局、研究室、産院等に使
用するのに極めて好適である。
また、本発明方法は雑菌を含まなくすることができる特
色の故に、食品製造工場において、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料品店、スーパーマー
ケットその他で使用するものにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生ハムも自由に製造することができる。
色の故に、食品製造工場において、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料品店、スーパーマー
ケットその他で使用するものにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生ハムも自由に製造することができる。
第１図は、超微細水滴の製造装置の１実施例を図示した
ものであり、第２図は第１図の装置の中央部を切断した
ときの断面図であり、第３図は、除水滴のサイクロンで
あり、第４図は、超微細水滴製造装置の別の装置を図示
したものであり、第５図は第４図の装置の上部横断面図
であり、第６図は第４図の装置の中央部を切断したとき
の断面図であり、そして第７図は、実際の半導体製造工
場において適用した場合のトータルシステムを模式的に
図示したものである。また、第８図は超微細水滴製造装
置のあとにつけることのできる熱交換器を示す図で、第
９図はその上部横断面図である。 ■、４０・・・水噴射装置 ３．４５・・・ノズル ４３・・−超微細水滴浮遊気体出口管 ５０・・・除滴サイクロン ６０・・・エアーシャワールーム ７０・・・超クリーンルーム １００・・・熱交換器 代理人 弁理士 戸 １）親 男 第 １ 図 第２図 ↑ 第 ４ 図 ４８’ ４９’ ５０’ 第 ５ｃ！！ 第 ６
図１フ 第 ７ ３
ものであり、第２図は第１図の装置の中央部を切断した
ときの断面図であり、第３図は、除水滴のサイクロンで
あり、第４図は、超微細水滴製造装置の別の装置を図示
したものであり、第５図は第４図の装置の上部横断面図
であり、第６図は第４図の装置の中央部を切断したとき
の断面図であり、そして第７図は、実際の半導体製造工
場において適用した場合のトータルシステムを模式的に
図示したものである。また、第８図は超微細水滴製造装
置のあとにつけることのできる熱交換器を示す図で、第
９図はその上部横断面図である。 ■、４０・・・水噴射装置 ３．４５・・・ノズル ４３・・−超微細水滴浮遊気体出口管 ５０・・・除滴サイクロン ６０・・・エアーシャワールーム ７０・・・超クリーンルーム １００・・・熱交換器 代理人 弁理士 戸 １）親 男 第 １ 図 第２図 ↑ 第 ４ 図 ４８’ ４９’ ５０’ 第 ５ｃ！！ 第 ６
図１フ 第 ７ ３
Claims (1)
- （１）水噴射装置内の噴射管に多数設けられた直径０．
２〜８ｍｍ、好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルからゲ
ージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ＾２、好ましくは０．
５〜２．５ｋｇ／ｃｍ＾２で水を噴射させ、ノズルから
１０〜１５０ｃｍはなれた側部に衝突させてきわめて多
数の超微細水滴を発生させ、ここに空気を送り、粒径０
．５ミクロン以下の超微細水滴を１立方フィート当り２
００万個以上、好ましくは５００万個以上、より好まし
くは１０００万個以上含有する空気を得ることを特徴と
する超微細水滴の製造方法。
Priority Applications (16)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207767A JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
| SE8603728A SE8603728L (sv) | 1985-09-21 | 1986-09-05 | Sett for framstellning av en suspension i luft av ultrafina dimpartiklar |
| DK426086A DK426086A (da) | 1985-09-21 | 1986-09-05 | Fremgangsmaade til at holde ultrafine taagepartikler svaevende i luft |
| AU62505/86A AU577203B2 (en) | 1985-09-21 | 1986-09-09 | Producing suspension of ultra-fine mist particles |
| IN723/MAS/86A IN168582B (ja) | 1985-09-21 | 1986-09-09 | |
| CA000517874A CA1265435A (en) | 1985-09-21 | 1986-09-10 | Method for producing suspension in air of ultra-fine mist particles |
| IT48442/86A IT1196617B (it) | 1985-09-21 | 1986-09-11 | Metodo per produrre una sospensione in aria di particelle ultrafini di nebbia,in particolare per pulire un ambiente |
| FR868612689A FR2587628B1 (fr) | 1985-09-21 | 1986-09-11 | Procede pour la production d'une suspension de particules d'eau ultrafines dans l'air |
| NL8602323A NL8602323A (nl) | 1985-09-21 | 1986-09-15 | Werkwijze voor het bereiden van een suspensie van ultra-fijne, waterige microdruppels in lucht en werkwijze voor het reinigen van het inwendige van een ruimte. |
| BR8604462A BR8604462A (pt) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | Processos para produzir uma suspensao em ar de micro-goticulas ultra-finas de agua e para limpar o interior de um recinto |
| KR1019860007837A KR910005982B1 (ko) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | 초미세소적 부유공기의 제조방법 및 실내 청정방법 |
| GB8622410A GB2180776B (en) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | Method for producing suspension in air of ultra-fine mist particles |
| ES8602023A ES2002360A6 (es) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | Procedimiento para producir la suspension en el aire de particulas ultra-finas de micro-gotitas de agua y metodo de limpieza del interior de una habitacion utilizando dicho procedimiento |
| CH3764/86A CH669834A5 (ja) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | |
| DE19863631926 DE3631926A1 (de) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | Verfahren zum herstellen eines nebels von sehr feinen feuchtigkeitsteilchen in luft |
| CN86106342.2A CN1004860B (zh) | 1985-09-21 | 1986-09-20 | 悬浮在空气中的超细雾的生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207767A JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6268515A true JPS6268515A (ja) | 1987-03-28 |
| JPH0577466B2 JPH0577466B2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=16545195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60207767A Granted JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6268515A (ja) |
| KR (1) | KR910005982B1 (ja) |
| CN (1) | CN1004860B (ja) |
| AU (1) | AU577203B2 (ja) |
| BR (1) | BR8604462A (ja) |
| CA (1) | CA1265435A (ja) |
| CH (1) | CH669834A5 (ja) |
| DE (1) | DE3631926A1 (ja) |
| DK (1) | DK426086A (ja) |
| FR (1) | FR2587628B1 (ja) |
| GB (1) | GB2180776B (ja) |
| IN (1) | IN168582B (ja) |
| IT (1) | IT1196617B (ja) |
| NL (1) | NL8602323A (ja) |
| SE (1) | SE8603728L (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2004505752A (ja) * | 2000-08-04 | 2004-02-26 | シアロックス インコーポレイテッド | 廃水の酸素化装置及び方法 |
| KR100509012B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-08-19 | 조인섭 | 분무식 공기 정화기 및 공기 정화 방법 |
| CN104096432A (zh) * | 2013-04-12 | 2014-10-15 | 张灵样 | 水雾除尘器 |
| CN104368465A (zh) * | 2013-08-13 | 2015-02-25 | 宁夏嘉翔自控技术有限公司 | 一种沥青熔化文丘里喷雾除尘喷嘴 |
| CN107314449A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-03 | 广东美的制冷设备有限公司 | 空气处理模块和空调器 |
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| FR2698160B1 (fr) * | 1992-11-13 | 1994-12-23 | France Grignotage | Procédé et dispositif pour le traitement des atmosphères de travail utilisant un échangeur cyclonique. |
| DE29821687U1 (de) * | 1998-12-05 | 2000-04-06 | GEA Finnah GmbH, 48683 Ahaus | Vorrichtung zum Erzeugen eines Aerosols |
| IT1303661B1 (it) * | 1998-12-24 | 2001-02-21 | Tecmeco S R L | Lavatore d'aria a nebulizzazione d'acqua |
| DE10024889B4 (de) * | 2000-05-16 | 2008-09-04 | Gea Wtt Gmbh | Plattenwärmeübertrager mit Zerstäuber |
| DE10062630A1 (de) * | 2000-12-15 | 2002-08-29 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Beduftungsverfahren |
| KR101445703B1 (ko) * | 2012-06-18 | 2014-09-29 | 주식회사 포스코 | 가스 처리 장치 |
| KR101565761B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2015-11-04 | 오홍근 | 집진 시스템 |
| DE102016200894A1 (de) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | Olympus Winter & Ibe Gmbh | Medizinische Rauchgasreinigungsvorrichtung und Verfahren zum Reinigen medizinischer Rauchgase |
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| FR3102682B1 (fr) | 2019-11-03 | 2021-09-24 | Weber Jean Charles | Dispositif de filtration de gaz pollués par absorption |
| DE102021114987A1 (de) | 2021-06-10 | 2022-12-15 | Topas Gmbh Technologieorientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik | Einrichtung zur Erzeugung eines konditionierten Aerosols |
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1985
- 1985-09-21 JP JP60207767A patent/JPS6268515A/ja active Granted
-
1986
- 1986-09-05 SE SE8603728A patent/SE8603728L/xx not_active Application Discontinuation
- 1986-09-05 DK DK426086A patent/DK426086A/da not_active Application Discontinuation
- 1986-09-09 IN IN723/MAS/86A patent/IN168582B/en unknown
- 1986-09-09 AU AU62505/86A patent/AU577203B2/en not_active Ceased
- 1986-09-10 CA CA000517874A patent/CA1265435A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-09-11 IT IT48442/86A patent/IT1196617B/it active
- 1986-09-11 FR FR868612689A patent/FR2587628B1/fr not_active Expired
- 1986-09-15 NL NL8602323A patent/NL8602323A/nl not_active Application Discontinuation
- 1986-09-17 GB GB8622410A patent/GB2180776B/en not_active Expired
- 1986-09-17 KR KR1019860007837A patent/KR910005982B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-09-17 BR BR8604462A patent/BR8604462A/pt unknown
- 1986-09-19 CH CH3764/86A patent/CH669834A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1986-09-19 DE DE19863631926 patent/DE3631926A1/de not_active Withdrawn
- 1986-09-20 CN CN86106342.2A patent/CN1004860B/zh not_active Expired
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| CN86106342A (zh) | 1987-04-08 |
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