JPS6268515A - 超微細水滴の製造方法 - Google Patents
超微細水滴の製造方法Info
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- JPS6268515A JPS6268515A JP60207767A JP20776785A JPS6268515A JP S6268515 A JPS6268515 A JP S6268515A JP 60207767 A JP60207767 A JP 60207767A JP 20776785 A JP20776785 A JP 20776785A JP S6268515 A JPS6268515 A JP S6268515A
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- water
- water droplets
- ultrafine
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
- F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
- F24F6/14—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
- B08B9/093—Cleaning containers, e.g. tanks by the force of jets or sprays
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
- Glanulating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、空気1立方フィート当り200万個以上、好
ましくは500万個以上、より好ましくは1000万個
以上含有させる超微細水滴の製造方法に関するものであ
る。
ましくは500万個以上、より好ましくは1000万個
以上含有させる超微細水滴の製造方法に関するものであ
る。
病院、薬品製造工場、食品製造工場1食品冷蔵室、研究
所、実験室等では塵埃や微生物を含まない清浄気体が必
要であり、そのためにはエアーフィルターを用いて清浄
化した空気を送気したり、出入口部にエアーカーテンを
設置したりする方策が採られている。しかしながらこの
ような方法では充分に清浄化された気体を得ることはで
きないし、エアーシャワールームを利用しても充分に目
的を達成することはできない。
所、実験室等では塵埃や微生物を含まない清浄気体が必
要であり、そのためにはエアーフィルターを用いて清浄
化した空気を送気したり、出入口部にエアーカーテンを
設置したりする方策が採られている。しかしながらこの
ような方法では充分に清浄化された気体を得ることはで
きないし、エアーシャワールームを利用しても充分に目
的を達成することはできない。
ましてや、LS1.超LSI製造工場、生物製剤製造工
場、手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場、
冷蔵室等のように、細菌やウィルスの混入はおろか0.
5μ以下の塵埃の混入も許されない厳格な条件のもとで
、超クリーンな清浄気体を工業的規模で送入することは
、現在では不可能とされている。
場、手術室、精密機械の洗滌工場、無菌食品製造工場、
冷蔵室等のように、細菌やウィルスの混入はおろか0.
5μ以下の塵埃の混入も許されない厳格な条件のもとで
、超クリーンな清浄気体を工業的規模で送入することは
、現在では不可能とされている。
しかしながら、このように高度に清浄化された冷蔵室や
、室や工場を得ることは各種の業界において広く切望さ
れており1本発明はこのような時代の要請に応えるべく
なされたものである。。
、室や工場を得ることは各種の業界において広く切望さ
れており1本発明はこのような時代の要請に応えるべく
なされたものである。。
そこで鋭意研究を行ったところ、空気に混入した水滴が
空気中に混在する塵埃を吸着して空気を清浄化するとい
う現象に着目し、更に水滴の粒子を小さくして実質的に
0.5ミクロン以下の超微細水滴にして空気1立方フィ
ート当り200万個以上、好ましくは500万個以上、
より好ましくは1000万個以上含有さぜで送りづれは
空り中の微細な元蝮はもちろんのこと細菌、糸状菌、胞
子類はおろかウィルスまでもごか、らを付着して清浄化
、除菌することができることが判明した。そして、この
ような超微細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰
囲気を清浄化できるのみでなく、全く子筋せざることに
、超微細水滴の場名は水滴が存在するにもかがわらず物
体が濡おるという現象が生じないという顕著な効果が奏
されることをつきとめた、そして更に検討した結果、微
細水滴浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通したところ、
該通常気体が超クリーンな状態にまで高度に清浄化され
、このように高度に清浄化された気体を子れぞれの部屋
、部署、その他関係個所に直接適用できることも見出し
た。
空気中に混在する塵埃を吸着して空気を清浄化するとい
う現象に着目し、更に水滴の粒子を小さくして実質的に
0.5ミクロン以下の超微細水滴にして空気1立方フィ
ート当り200万個以上、好ましくは500万個以上、
より好ましくは1000万個以上含有さぜで送りづれは
空り中の微細な元蝮はもちろんのこと細菌、糸状菌、胞
子類はおろかウィルスまでもごか、らを付着して清浄化
、除菌することができることが判明した。そして、この
ような超微細水滴を浮遊せしめた気体雰囲気では、該雰
囲気を清浄化できるのみでなく、全く子筋せざることに
、超微細水滴の場名は水滴が存在するにもかがわらず物
体が濡おるという現象が生じないという顕著な効果が奏
されることをつきとめた、そして更に検討した結果、微
細水滴浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通したところ、
該通常気体が超クリーンな状態にまで高度に清浄化され
、このように高度に清浄化された気体を子れぞれの部屋
、部署、その他関係個所に直接適用できることも見出し
た。
本発明は水噴射装置内の噴射管に多数設置Jられた直径
0.2〜8nn、好ましくは0.5〜3mのノズルから
ゲージ圧0.3〜5.5)g/aJ、対ましくは0.5
〜2.5kg1ciで水を噴射さ七、ノズルから10〜
150anはなれた側部に衝突さゼできわめて多数超微
細水滴を発生さセここに空気を送り、粒径0.5ミクロ
ン以下の超微細水滴を空気1立方フィート当り200万
個以上、好ましくは500万個以上、より好ましくは1
000万個以上含′有する空気を擾ることを特徴とする
超微細水滴の製造方法である。
0.2〜8nn、好ましくは0.5〜3mのノズルから
ゲージ圧0.3〜5.5)g/aJ、対ましくは0.5
〜2.5kg1ciで水を噴射さ七、ノズルから10〜
150anはなれた側部に衝突さゼできわめて多数超微
細水滴を発生さセここに空気を送り、粒径0.5ミクロ
ン以下の超微細水滴を空気1立方フィート当り200万
個以上、好ましくは500万個以上、より好ましくは1
000万個以上含′有する空気を擾ることを特徴とする
超微細水滴の製造方法である。
すなわち、本発明においては、水噴射装置内の噴射管に
は多数の1例えば30ケ〜1500ケの直径0゜2〜8
cm、好ましくは0.5〜3圃のノズルが設けられる。
は多数の1例えば30ケ〜1500ケの直径0゜2〜8
cm、好ましくは0.5〜3圃のノズルが設けられる。
水は高い圧力でポンプによって送られ、ゲージ圧0.3
〜5.5−/d、好ましくは0.5〜2.5眩/dで水
を各ノズルから噴射させるが水の量は1ケのノズル当り
1〜3Q1分もの大量の水が噴射される。水はノズルか
ら10〜150anはなれた側壁に衝突させてぎわめで
多数の超微細水滴を発生させるが、ここに空気を風速1
5〜50m/、、c程度で風量3〜3000rn’/、
i。の目安で送り込み、粒径0,5ミクロン以下の超微
細水滴を1立方フィート当り200万個以上、好ましく
は500万個以上、より好ましくは1000万個以上含
有する空気を得るものである。
〜5.5−/d、好ましくは0.5〜2.5眩/dで水
を各ノズルから噴射させるが水の量は1ケのノズル当り
1〜3Q1分もの大量の水が噴射される。水はノズルか
ら10〜150anはなれた側壁に衝突させてぎわめで
多数の超微細水滴を発生させるが、ここに空気を風速1
5〜50m/、、c程度で風量3〜3000rn’/、
i。の目安で送り込み、粒径0,5ミクロン以下の超微
細水滴を1立方フィート当り200万個以上、好ましく
は500万個以上、より好ましくは1000万個以上含
有する空気を得るものである。
次に、本発明方法を実施するための装置の数例を図示し
た図面を参照しながら1本発明方法を詳述する。
た図面を参照しながら1本発明方法を詳述する。
先ず第1図を参照されたい。この装置は1本発明を実施
するための最も基礎的なものであって、水噴射装置1の
壁近くに噴射管2を設け、これには多数の水噴射ノズル
3を設ける。これらのノズル3は、対向する側面に設け
たノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対す
るノズルを直線上に配置しないようにするのがよい。ノ
ズルは30ケ〜1500ケ設けられ、直径は0.2〜8
a、好ましくは0 、5〜3 mで、水はゲージ圧0.
3〜5.5kg/cm2、好ましくはO,S〜2.5k
g/a#で10〜150個はなれた向うの壁に噴射され
る。
するための最も基礎的なものであって、水噴射装置1の
壁近くに噴射管2を設け、これには多数の水噴射ノズル
3を設ける。これらのノズル3は、対向する側面に設け
たノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対す
るノズルを直線上に配置しないようにするのがよい。ノ
ズルは30ケ〜1500ケ設けられ、直径は0.2〜8
a、好ましくは0 、5〜3 mで、水はゲージ圧0.
3〜5.5kg/cm2、好ましくはO,S〜2.5k
g/a#で10〜150個はなれた向うの壁に噴射され
る。
噴射された水は、対向する側面に衝突して超微細水滴と
なり、水噴射装置1内はこの超微細水滴で充満される。
なり、水噴射装置1内はこの超微細水滴で充満される。
水噴射装置1内には送入口4から空気を風速15〜50
m / s a a 8度、II’、量 3〜300
0m’/、□。程度で送り込み、粒径0.5ミクロン以
下の超微細水滴をJ立方フィート当り200万個以上、
好ましくは500万個以上、より好ましくは1000万
個以上含有する空気とし、これを送出口5から取出す。
m / s a a 8度、II’、量 3〜300
0m’/、□。程度で送り込み、粒径0.5ミクロン以
下の超微細水滴をJ立方フィート当り200万個以上、
好ましくは500万個以上、より好ましくは1000万
個以上含有する空気とし、これを送出口5から取出す。
送出口5を出た超微細水滴を含む空気は大きな水滴を含
むことがあるので、サイクロン6の接線方向大ロアから
サイクロン6に送入し、大ぎな水滴を除去して送気管8
から取り出ずものである。
むことがあるので、サイクロン6の接線方向大ロアから
サイクロン6に送入し、大ぎな水滴を除去して送気管8
から取り出ずものである。
取り出された超微細水滴を含む空気はそれぞれの室に送
って、水噴射装置に帰し、循環さゼるものである。
って、水噴射装置に帰し、循環さゼるものである。
第4図乃至第9図は、更に効率よく、しかも温度コント
ロールした超微細水滴浮遊気体を製造するための装置で
ある。
ロールした超微細水滴浮遊気体を製造するための装置で
ある。
水噴射装置40の円筒部41内には、冷凍装置の蒸発管
47が配置されている。蒸発管47とノズル45との位
置関係は、相互に完全にずらしてもよいし。
47が配置されている。蒸発管47とノズル45との位
置関係は、相互に完全にずらしてもよいし。
また少しずらしてもよく、また噴射ノズル45からの水
が蒸発管47に対して垂直に噴射状態で吹き付けられる
ように配置されている。ノズルは30ヶ〜1500ケ程
度設けられ、直径は0.2〜8mm、好ましくは0.5
〜3aiで、水はゲージ圧0.3〜5.5kg/cm2
、好ましくは0.5〜2.5kg/cdで、水の量は1
ケのノズル当り1〜3Q/分の量で噴射される。ノズル
から側壁までは10〜150cmはなして設けられる。
が蒸発管47に対して垂直に噴射状態で吹き付けられる
ように配置されている。ノズルは30ヶ〜1500ケ程
度設けられ、直径は0.2〜8mm、好ましくは0.5
〜3aiで、水はゲージ圧0.3〜5.5kg/cm2
、好ましくは0.5〜2.5kg/cdで、水の量は1
ケのノズル当り1〜3Q/分の量で噴射される。ノズル
から側壁までは10〜150cmはなして設けられる。
水噴射装置の円錐部51の下端部には、濾過装置48、
水タンク49、ポンプ50が順次設けられている6従っ
て、冷水は矢印Bの方向、すなわちポンプ50、循環管
46、噴射管44、水噴射器の円筒部41、円錐部51
、濾過装置48.水タンク49、ポンプ50、の順序で
循環させられる。冷媒、特に高温冷媒(1℃〜−5℃)
は、矢印Cの方向に蒸発管47内を循環する。
水タンク49、ポンプ50が順次設けられている6従っ
て、冷水は矢印Bの方向、すなわちポンプ50、循環管
46、噴射管44、水噴射器の円筒部41、円錐部51
、濾過装置48.水タンク49、ポンプ50、の順序で
循環させられる。冷媒、特に高温冷媒(1℃〜−5℃)
は、矢印Cの方向に蒸発管47内を循環する。
空気は、矢印Aの方向にしたがって入口42を通って水
噴射装置内に送り込まれ、水噴射装置内で微細水滴を含
有すると同時に冷却されて目的とする空気となり出口管
43を通ってそれぞれの目的に使用される。噴射管44
に設けたノズル45からゲージ圧0.3〜5.5kg/
cJ、好ましくは0.5〜2.5kg1dで水を噴射さ
せ、ノズルから10〜150C!1はなれた冷凍装置の
蒸発管47及び/又は円筒部41の側壁に衝突せしめる
と([E)、超微細水滴が発生しくそれとともに、蒸発
管47と衝突した水流はこの管47内を通る冷媒と熱交
換を行い、冷却される)、且つ水滴は冷却される。この
ような雰囲気中空気を風速15〜50m/sac程度で
風量3〜3000 rr[’ /、i 、の目安で矢印
Aにしたがって通過せしめると、この空気は超微細水滴
を含有するとともに冷却された水滴と熱交換を行ってそ
れ自体は冷却され、0.5ミクロン以下の超微細水滴を
1立方フィート当り200万個以上、好ましくは500
万個以上、より好ましく−は1ooo万個以上含有する
空気とするものである。この際。
噴射装置内に送り込まれ、水噴射装置内で微細水滴を含
有すると同時に冷却されて目的とする空気となり出口管
43を通ってそれぞれの目的に使用される。噴射管44
に設けたノズル45からゲージ圧0.3〜5.5kg/
cJ、好ましくは0.5〜2.5kg1dで水を噴射さ
せ、ノズルから10〜150C!1はなれた冷凍装置の
蒸発管47及び/又は円筒部41の側壁に衝突せしめる
と([E)、超微細水滴が発生しくそれとともに、蒸発
管47と衝突した水流はこの管47内を通る冷媒と熱交
換を行い、冷却される)、且つ水滴は冷却される。この
ような雰囲気中空気を風速15〜50m/sac程度で
風量3〜3000 rr[’ /、i 、の目安で矢印
Aにしたがって通過せしめると、この空気は超微細水滴
を含有するとともに冷却された水滴と熱交換を行ってそ
れ自体は冷却され、0.5ミクロン以下の超微細水滴を
1立方フィート当り200万個以上、好ましくは500
万個以上、より好ましく−は1ooo万個以上含有する
空気とするものである。この際。
空気の循環による遠心作用により実質的に0.5ミクロ
ンより大きいものは分離されている。必要によっては、
サイクロンで除水滴することもできる。
ンより大きいものは分離されている。必要によっては、
サイクロンで除水滴することもできる。
第7図は、本発明方法を64キロビットRAM量産工場
に対して実際に適用するためのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがって、水噴射
装置側で製造された超微細水1滴浮遊空気は、矢印Aに
したがって除滴サイクロン利に送り込まれる。すなわち
並から出てきた気体は、除滴サイクロン閃の側壁に切線
方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中を
循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して0
85μ以下の超微細水滴を90%以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン並の中央部に設けた出口管から
これを取り出す。
に対して実際に適用するためのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがって、水噴射
装置側で製造された超微細水1滴浮遊空気は、矢印Aに
したがって除滴サイクロン利に送り込まれる。すなわち
並から出てきた気体は、除滴サイクロン閃の側壁に切線
方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中を
循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して0
85μ以下の超微細水滴を90%以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン並の中央部に設けた出口管から
これを取り出す。
このようにして取り出された超微細水滴浮遊空気は、実
質的に0.5ミクロンより大きいものを除くためにフィ
ルターFを有するパイプPを通ってエアーシャワールー
ム並に送られて、更には隣接する超りリーンルーム放で
作業をする人々の洗滌を行う。また上記超微細水滴浮遊
空気の一部は。
質的に0.5ミクロンより大きいものを除くためにフィ
ルターFを有するパイプPを通ってエアーシャワールー
ム並に送られて、更には隣接する超りリーンルーム放で
作業をする人々の洗滌を行う。また上記超微細水滴浮遊
空気の一部は。
直接超クリーンルームUに送られて、室内に塵埃を含ま
ない清浄化した空気を送入するとともにLSIに用いる
シリコン板の洗滌にもこれを使用する。超クリーンルー
ムUで使用された空気は、そこから取り出し、パイプP
、ファンFを介して水噴射装置内、へ戻し、このサイク
ルをくり返すのである。この方法によれば、超クリーン
ルーム内には1立方フイートの空間に0.5μ以上の塵
はわずか1個未満しかないという超クリーンな状態に保
たれていること−が判明した。ちなみに、通常の工場で
は数万個の塵埃が浮遊しており、このことからも1本発
明による方法がいかにすぐれているかが判るはずである
。
ない清浄化した空気を送入するとともにLSIに用いる
シリコン板の洗滌にもこれを使用する。超クリーンルー
ムUで使用された空気は、そこから取り出し、パイプP
、ファンFを介して水噴射装置内、へ戻し、このサイク
ルをくり返すのである。この方法によれば、超クリーン
ルーム内には1立方フイートの空間に0.5μ以上の塵
はわずか1個未満しかないという超クリーンな状態に保
たれていること−が判明した。ちなみに、通常の工場で
は数万個の塵埃が浮遊しており、このことからも1本発
明による方法がいかにすぐれているかが判るはずである
。
また、第8図及び第9図に示されるように、除滴サイク
ロン並の次に熱交換器100を設け、これに超微細水滴
浮遊気体を通すことによって、空気を最適温度に上昇さ
せることができるものである。
ロン並の次に熱交換器100を設け、これに超微細水滴
浮遊気体を通すことによって、空気を最適温度に上昇さ
せることができるものである。
熱交換器100は次に説明される。即ち、缶体101の
中心部には空気排出管亜を上下方向に設けてあり、管体
遅」外に設けた空気導管1四ヒーと連通する。
中心部には空気排出管亜を上下方向に設けてあり、管体
遅」外に設けた空気導管1四ヒーと連通する。
従って、空気取入管104よりの空気は缶体101内を
旋回しながら下方に達し空気排出管105の下部より上
昇して矢印方向に移動することになる。又管体遅1の内
部には外側配管里及び内側配管107を設けてあり、各
配管106.1Cμの下端は缶体遅猛外に設けたポンプ
108と連通し、温水又は冷水を流通させ上部排水口1
09.110より排水せられる。管内101の上部及び
下部には洗滌水管υユの水噴出口旦り、旦比・・・を多
数設けてあり、配管里及び配向けて洗滌水を噴出できる
ようにしである。又コーン部102の下方には、排水管
↓12’−が設けられており1缶内の洗滌水又は気体冷
却によるドレイン等が排水できるようにしである。従っ
て空気取入口104よりの空気は缶−ハリ、内でサイク
ロン効果によりごみ等を分離し、配管106.107に
より適温に加熱又は冷却され、適温となった空気は空気
排出管105より送出される。又分離したごみ等は洗滌
水管υユに通水し、ノズル1lla、 1llb−・・
・より噴水させることにより洗い去ることができるもの
である。
旋回しながら下方に達し空気排出管105の下部より上
昇して矢印方向に移動することになる。又管体遅1の内
部には外側配管里及び内側配管107を設けてあり、各
配管106.1Cμの下端は缶体遅猛外に設けたポンプ
108と連通し、温水又は冷水を流通させ上部排水口1
09.110より排水せられる。管内101の上部及び
下部には洗滌水管υユの水噴出口旦り、旦比・・・を多
数設けてあり、配管里及び配向けて洗滌水を噴出できる
ようにしである。又コーン部102の下方には、排水管
↓12’−が設けられており1缶内の洗滌水又は気体冷
却によるドレイン等が排水できるようにしである。従っ
て空気取入口104よりの空気は缶−ハリ、内でサイク
ロン効果によりごみ等を分離し、配管106.107に
より適温に加熱又は冷却され、適温となった空気は空気
排出管105より送出される。又分離したごみ等は洗滌
水管υユに通水し、ノズル1lla、 1llb−・・
・より噴水させることにより洗い去ることができるもの
である。
このように処理された空気はほぼ完全に0.5ミクロン
以下の超微細水滴を多量浮遊した状態となっているので
、これを用いて室内を処理することによってあらゆる物
を清浄化することができるのである。
以下の超微細水滴を多量浮遊した状態となっているので
、これを用いて室内を処理することによってあらゆる物
を清浄化することができるのである。
本発明方法において使用する0、5ミクロン以下の超微
細水滴は表面張力がきわめて低く、物体に耐着したり、
空中に浮遊している塵埃に超微細水滴が容易に付着し、
更にこの超微細水滴が互いに集合し、大きくなり顕著に
重量がふえ送風とともに塵埃は除去される。特に、本漬
によれば超微細水滴を使用するために、非常に微細な塵
埃のみではなく、細菌やウィルスまでも除去することが
でき、物理的にも生物的にも室内は清浄化されるという
著効が奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等で
除去していたのであるが、ウィルスはわずか0.5μ〜
0.O1μの大きさしかないため、エアーフィルタでは
充分除去することが不可能であった。したがって1本発
明で室内を清浄化すれば現実に風邪をひくといったこと
も非常に少なくなり、病院、薬局、研究室、産院等に使
用するのに極めて好適である。
細水滴は表面張力がきわめて低く、物体に耐着したり、
空中に浮遊している塵埃に超微細水滴が容易に付着し、
更にこの超微細水滴が互いに集合し、大きくなり顕著に
重量がふえ送風とともに塵埃は除去される。特に、本漬
によれば超微細水滴を使用するために、非常に微細な塵
埃のみではなく、細菌やウィルスまでも除去することが
でき、物理的にも生物的にも室内は清浄化されるという
著効が奏される。ウィルスは、従来エアーフィルタ等で
除去していたのであるが、ウィルスはわずか0.5μ〜
0.O1μの大きさしかないため、エアーフィルタでは
充分除去することが不可能であった。したがって1本発
明で室内を清浄化すれば現実に風邪をひくといったこと
も非常に少なくなり、病院、薬局、研究室、産院等に使
用するのに極めて好適である。
また、本発明方法は雑菌を含まなくすることができる特
色の故に、食品製造工場において、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料品店、スーパーマー
ケットその他で使用するものにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生ハムも自由に製造することができる。
色の故に、食品製造工場において、食品の洗滌、装置の
洗滌に使用することができ、例えば冷凍肉の解凍、サラ
ダや野菜、鮮魚、精肉の保存等食料品店、スーパーマー
ケットその他で使用するものにも極めて好適であるし、
特に雑菌混入の危険性があるためにその製造に制約があ
った生ハムも自由に製造することができる。
第1図は、超微細水滴の製造装置の1実施例を図示した
ものであり、第2図は第1図の装置の中央部を切断した
ときの断面図であり、第3図は、除水滴のサイクロンで
あり、第4図は、超微細水滴製造装置の別の装置を図示
したものであり、第5図は第4図の装置の上部横断面図
であり、第6図は第4図の装置の中央部を切断したとき
の断面図であり、そして第7図は、実際の半導体製造工
場において適用した場合のトータルシステムを模式的に
図示したものである。また、第8図は超微細水滴製造装
置のあとにつけることのできる熱交換器を示す図で、第
9図はその上部横断面図である。 ■、40・・・水噴射装置 3.45・・・ノズル 43・・−超微細水滴浮遊気体出口管 50・・・除滴サイクロン 60・・・エアーシャワールーム 70・・・超クリーンルーム 100・・・熱交換器 代理人 弁理士 戸 1)親 男 第 1 図 第2図 ↑ 第 4 図 48’ 49’ 50’ 第 5c!! 第 6
図1フ 第 7 3
ものであり、第2図は第1図の装置の中央部を切断した
ときの断面図であり、第3図は、除水滴のサイクロンで
あり、第4図は、超微細水滴製造装置の別の装置を図示
したものであり、第5図は第4図の装置の上部横断面図
であり、第6図は第4図の装置の中央部を切断したとき
の断面図であり、そして第7図は、実際の半導体製造工
場において適用した場合のトータルシステムを模式的に
図示したものである。また、第8図は超微細水滴製造装
置のあとにつけることのできる熱交換器を示す図で、第
9図はその上部横断面図である。 ■、40・・・水噴射装置 3.45・・・ノズル 43・・−超微細水滴浮遊気体出口管 50・・・除滴サイクロン 60・・・エアーシャワールーム 70・・・超クリーンルーム 100・・・熱交換器 代理人 弁理士 戸 1)親 男 第 1 図 第2図 ↑ 第 4 図 48’ 49’ 50’ 第 5c!! 第 6
図1フ 第 7 3
Claims (1)
- (1)水噴射装置内の噴射管に多数設けられた直径0.
2〜8mm、好ましくは0.5〜3mmのノズルからゲ
ージ圧0.3〜5.5kg/cm^2、好ましくは0.
5〜2.5kg/cm^2で水を噴射させ、ノズルから
10〜150cmはなれた側部に衝突させてきわめて多
数の超微細水滴を発生させ、ここに空気を送り、粒径0
.5ミクロン以下の超微細水滴を1立方フィート当り2
00万個以上、好ましくは500万個以上、より好まし
くは1000万個以上含有する空気を得ることを特徴と
する超微細水滴の製造方法。
Priority Applications (16)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60207767A JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
SE8603728A SE8603728L (sv) | 1985-09-21 | 1986-09-05 | Sett for framstellning av en suspension i luft av ultrafina dimpartiklar |
DK426086A DK426086A (da) | 1985-09-21 | 1986-09-05 | Fremgangsmaade til at holde ultrafine taagepartikler svaevende i luft |
AU62505/86A AU577203B2 (en) | 1985-09-21 | 1986-09-09 | Producing suspension of ultra-fine mist particles |
IN723/MAS/86A IN168582B (ja) | 1985-09-21 | 1986-09-09 | |
CA000517874A CA1265435A (en) | 1985-09-21 | 1986-09-10 | Method for producing suspension in air of ultra-fine mist particles |
IT48442/86A IT1196617B (it) | 1985-09-21 | 1986-09-11 | Metodo per produrre una sospensione in aria di particelle ultrafini di nebbia,in particolare per pulire un ambiente |
FR868612689A FR2587628B1 (fr) | 1985-09-21 | 1986-09-11 | Procede pour la production d'une suspension de particules d'eau ultrafines dans l'air |
NL8602323A NL8602323A (nl) | 1985-09-21 | 1986-09-15 | Werkwijze voor het bereiden van een suspensie van ultra-fijne, waterige microdruppels in lucht en werkwijze voor het reinigen van het inwendige van een ruimte. |
BR8604462A BR8604462A (pt) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | Processos para produzir uma suspensao em ar de micro-goticulas ultra-finas de agua e para limpar o interior de um recinto |
KR1019860007837A KR910005982B1 (ko) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | 초미세소적 부유공기의 제조방법 및 실내 청정방법 |
GB8622410A GB2180776B (en) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | Method for producing suspension in air of ultra-fine mist particles |
ES8602023A ES2002360A6 (es) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | Procedimiento para producir la suspension en el aire de particulas ultra-finas de micro-gotitas de agua y metodo de limpieza del interior de una habitacion utilizando dicho procedimiento |
CH3764/86A CH669834A5 (ja) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | |
DE19863631926 DE3631926A1 (de) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | Verfahren zum herstellen eines nebels von sehr feinen feuchtigkeitsteilchen in luft |
CN86106342.2A CN1004860B (zh) | 1985-09-21 | 1986-09-20 | 悬浮在空气中的超细雾的生成方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60207767A JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6268515A true JPS6268515A (ja) | 1987-03-28 |
JPH0577466B2 JPH0577466B2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=16545195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60207767A Granted JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
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---|---|
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KR (1) | KR910005982B1 (ja) |
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BR (1) | BR8604462A (ja) |
CA (1) | CA1265435A (ja) |
CH (1) | CH669834A5 (ja) |
DE (1) | DE3631926A1 (ja) |
DK (1) | DK426086A (ja) |
FR (1) | FR2587628B1 (ja) |
GB (1) | GB2180776B (ja) |
IN (1) | IN168582B (ja) |
IT (1) | IT1196617B (ja) |
NL (1) | NL8602323A (ja) |
SE (1) | SE8603728L (ja) |
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CN104368465A (zh) * | 2013-08-13 | 2015-02-25 | 宁夏嘉翔自控技术有限公司 | 一种沥青熔化文丘里喷雾除尘喷嘴 |
CN107314449A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-03 | 广东美的制冷设备有限公司 | 空气处理模块和空调器 |
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IT1303661B1 (it) * | 1998-12-24 | 2001-02-21 | Tecmeco S R L | Lavatore d'aria a nebulizzazione d'acqua |
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-
1986
- 1986-09-05 SE SE8603728A patent/SE8603728L/xx not_active Application Discontinuation
- 1986-09-05 DK DK426086A patent/DK426086A/da not_active Application Discontinuation
- 1986-09-09 IN IN723/MAS/86A patent/IN168582B/en unknown
- 1986-09-09 AU AU62505/86A patent/AU577203B2/en not_active Ceased
- 1986-09-10 CA CA000517874A patent/CA1265435A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-09-11 IT IT48442/86A patent/IT1196617B/it active
- 1986-09-11 FR FR868612689A patent/FR2587628B1/fr not_active Expired
- 1986-09-15 NL NL8602323A patent/NL8602323A/nl not_active Application Discontinuation
- 1986-09-17 GB GB8622410A patent/GB2180776B/en not_active Expired
- 1986-09-17 KR KR1019860007837A patent/KR910005982B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-09-17 BR BR8604462A patent/BR8604462A/pt unknown
- 1986-09-19 CH CH3764/86A patent/CH669834A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1986-09-19 DE DE19863631926 patent/DE3631926A1/de not_active Withdrawn
- 1986-09-20 CN CN86106342.2A patent/CN1004860B/zh not_active Expired
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IT1196617B (it) | 1988-11-16 |
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CN86106342A (zh) | 1987-04-08 |
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