JPS6263083A - Multi-pad vacuum sucker - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【発明の属する技術分野】[Technical field to which the invention pertains]

この発明は、多数の吸引パッドを備えた真空吸着装置、
とくに表面状態が凹凸１段差、隙間などを有し単一平面
でない壁面を歩行したり、前記表面状態の物品を吸着保
持したりするロボットに適用されるものに関する。This invention includes a vacuum suction device equipped with a large number of suction pads,
In particular, it relates to a robot that walks on a wall surface that is not a single plane and has an uneven surface such as one level difference in level or a gap, or that is applied to a robot that suctions and holds an article with the above-mentioned surface condition.

【従来技術とその問題点】[Prior art and its problems]

従来、壁面歩行ロボットや物品把持ロボットなどに用い
られる真空吸着手段がある。これは、真空吸着パッドの
周縁部を歩行表面や物品表面に密着させパッド内部を負
圧にひいて大気圧によって両者を押しつけ固定するもの
である。この方法は歩行壁面や物品の材質を問わず、吸
着すべき表面積だけあればよいので、非常に便利なもの
である。 しかし、歩行壁面や物品表面が凹凸１段差、隙間などを
もつ場合には、■　吸着パッド周縁部と前記表面との間
の気密がわるくなり、吸着力が著しく阻害される、■　
また、吸着力が得られたとしても、空気漏れを補償する
必要があるため、大容量の真空ポンプないしは吸着用送
風機を要し、機器の大きさが大型になると同時に電力消
費も大きくなり、■　さらに、どうしてもその箇所では
吸着力が得られない時には、他の条件の良い箇所を探索
するための探索移動手段が別に必要となる□などの欠点
がある。 また、磁気吸着の方式によってではあるが、表面状態が
かなり凹凸や段差、隙間などをもったものであっても、
柔軟に対処しろる先行技術がある。 すなわち、特開昭５２−１１２９６２によるもので、そ
の要旨を第７図によって説明する。電磁石２１の磁極部
に柔軟な袋２２を取り付け、この袋２２の中に磁性粉体
２３を収容して変形自在に構成する。この袋２２の表面
を対象物２４の吸着面に押しつければ、袋２２の可撓性
とその内容物である磁性粉体２３の流動性により、この
袋２２は対象物２４の表面にそって変形し、両者の面は
広い範囲にわたって密着する。この状態において、電磁
コイル２５に通電すると、点線矢印を磁路とする磁束を
生じ、磁性粉体２３が固形化するとともに対象物２４が
磁気吸着保持される。 また、前記と同じ思想に基づき、吸着力を著しく増すた
めの工夫をしたものとして特開昭５４−６４３５３があ
る。第８図がその要旨を示すもので、磁極３１が断面Ｅ
字状の鉄心で構成され、流動性磁性粉体３２を封入した
袋３３．３４は中央磁極３５と外周磁極３６とに各所に
取り付けるようにしである。 上述した磁気吸着手段によるものは、当然ながら歩行壁
や物品の材質が磁性材料でなければならず、適用面に制
約があるという欠点がある。Conventionally, there are vacuum suction means used in wall-walking robots, object-grasping robots, and the like. In this method, the peripheral edge of the vacuum suction pad is brought into close contact with the walking surface or the surface of the article, the inside of the pad is brought under negative pressure, and the atmospheric pressure presses and fixes the two. This method is very convenient because it only requires a surface area to be adsorbed, regardless of the walking wall surface or the material of the article. However, if the walking wall surface or the surface of the article has unevenness, such as a step difference or a gap, the airtightness between the periphery of the suction pad and the surface deteriorates, and the suction force is significantly impaired.
In addition, even if suction power is obtained, it is necessary to compensate for air leakage, which requires a large-capacity vacuum pump or suction blower, which increases the size of the equipment and increases power consumption. Furthermore, if the adsorption force cannot be obtained at that location, a separate means for searching and moving is required to search for another location with better conditions. Also, depending on the magnetic adsorption method, even if the surface condition is quite uneven, steps, gaps, etc.
There is prior art that can be dealt with flexibly. That is, it is based on Japanese Patent Application Laid-Open No. 52-112962, and its gist will be explained with reference to FIG. A flexible bag 22 is attached to the magnetic pole part of the electromagnet 21, and magnetic powder 23 is housed in the bag 22 to make it deformable. When the surface of this bag 22 is pressed against the suction surface of the object 24, the bag 22 will be moved along the surface of the object 24 due to the flexibility of the bag 22 and the fluidity of the magnetic powder 23 that is its contents. It deforms and the two surfaces come into close contact over a wide range. In this state, when the electromagnetic coil 25 is energized, a magnetic flux having a magnetic path indicated by the dotted line arrow is generated, and the magnetic powder 23 is solidified and the object 24 is held by magnetic attraction. Furthermore, based on the same idea as above, there is Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-64353, which is devised to significantly increase the suction force. FIG. 8 shows the gist, and the magnetic pole 31 has a cross section E.
Bags 33 and 34, which are composed of a letter-shaped iron core and contain fluid magnetic powder 32, are attached to the central magnetic pole 35 and the outer magnetic pole 36 at various locations. The above-mentioned magnetic adsorption means has the disadvantage that the walking wall and the article must be made of magnetic material, which limits its applicability.

【発明の目的】[Purpose of the invention]

この発明の目的は、従来のものがもつ以上の問題点を解
消し、歩行壁面や物品表面が凹凸２段差。 隙間などをもつ場合であっても、■　確実な吸着動作を
し、■　吸着の際の空気漏れが少なく、■もし、どうし
ても吸着に適さない箇所であれば、他の箇所を探索する
ための位置修正信号、ないしは情報を上位装置に出力す
る−ようにした多パッド真空吸着装置を提供することに
ある。The purpose of this invention is to solve the problems more than those of the conventional ones, and to prevent the walking wall surface and article surface from having unevenness. Even if there are gaps, ■ It performs a reliable suction operation, ■ There is little air leakage during suction, and ■ If there is a place that is not suitable for suction, it can be used to find other places. It is an object of the present invention to provide a multi-pad vacuum suction device that outputs a correction signal or information to a host device.

【発明の要点】[Key points of the invention]

上述の目的を達成するための本発明の要点は、つぎのよ
うに構成したところにある。 対象物に、または対象物を吸着すべき小形のパッドを多
数設け、この各パッドを、該各パッドの吸着面の位置、
方向をそれぞれ自由に変化して支持できるようにした可
撓性支持部で支持する。そして、各パッドと吸引用真空
ポンプないしは送風機との間を連結する各管路の途中に
、この管路の圧力を検出する圧力センサと、この管路を
電磁的に開閉するよう制御される２ボート切換弁とを前
記パッドに近い側から順に設ける。そして、前記圧力セ
ンサからの管路圧力信号に基づいて、２ボート切換弁に
よる開路または閉路を選択的に指令するとともに、この
吸着装置の上位制御装置に対して、次にとるべき動作に
関する信号ないしは情報を提供するための制御部を備え
る。 以上のような構成であるから、本発明装置の作用は次の
通りである。 吸引用真空ポンプないしは送風機を動作し、２ボート切
換弁により開路した状態で、パッド全体を対象物表面に
接面して後、あらかじめ設定されたある時間経過して、
各パッドと吸引用真空ポンプないしは送風機との間を連
結する各管路の圧力が、少なくとも所定の箇所だけ、所
定の負圧値以下に達すると、制御部により、所定の負圧
値に達しないパッドに対応する連通路を対応する２ボー
ト切換弁により閉路するとともに、確実な吸着可能状態
との判断のもとに、次の動作、例えば持ち上げ動作に移
る。所定の負圧値以下に達したパッドが所定の箇所未満
であれば、同様に制御部により確実な吸着状態ではない
との判断に基づいて、吸着に適する他の箇所の探索行動
をおこすための信号ないしは情報を上位制御装置に提供
する。The main point of the present invention for achieving the above-mentioned object is that it is configured as follows. A large number of small pads are provided on the object or on which the object should be attracted, and each pad is adjusted according to the position of the attraction surface of each pad,
It is supported by a flexible support part that can freely change the direction of support. In the middle of each conduit connecting each pad and the suction vacuum pump or blower, there is a pressure sensor that detects the pressure in this conduit, and a pressure sensor that is controlled to electromagnetically open and close this conduit. boat switching valves are provided in order from the side closest to the pad. Then, based on the pipe pressure signal from the pressure sensor, it selectively commands the two-boat switching valve to open or close the circuit, and also sends a signal to the upper control device of the adsorption device regarding the next action to be taken. A control unit is provided for providing information. With the above configuration, the operation of the device of the present invention is as follows. After the suction vacuum pump or blower is operated and the two-boat switching valve is opened, the entire pad is brought into contact with the surface of the object, and after a preset period of time has elapsed,
If the pressure in each pipe connecting each pad and the suction vacuum pump or blower reaches a predetermined negative pressure value or less at least in a predetermined location, the control unit will prevent the pressure from reaching the predetermined negative pressure value. The communicating path corresponding to the pad is closed by the corresponding two-boat switching valve, and upon determining that the adsorption is possible, the next operation, for example, the lifting operation, is started. If the number of pads that have reached a predetermined negative pressure value or less is less than the predetermined location, the control unit similarly determines that the suction state is not reliable and searches for other locations suitable for suction. Provides signals or information to a higher-level control device.

【発明の実施例】[Embodiments of the invention]

この発明の第１実施例を、第１図〜第４図を参照しなが
ら説明する。 第１図はこの実施例のほぼ全体構成を示す側面図である
。１は対象物に、または、対象物を吸着するパッド、２
はこのパッドを可撓性をもって支持するベローズで、こ
の部分の詳細については後に説明する。３は装置全体の
機械的基礎となるべき台盤である。４は切換弁部で各パ
ッドに対応した管路の開閉をそれぞれ担当する開閉用の
切換弁を一箇所にまとめたものである。５はヘッダで、
前記管路をすべて一箇所にまとめ、次に述べる負圧発生
源としての真空ポンプ６の吸引側と連結する圧力容器で
ある。７はカバー、９は空気配管の一部を示している。 １０は制御部で、後述するよう°に装置の動作を制御す
るものである。 第２図は前記パッドの関連部分の詳細図で、パッド１の
裏側にはベローズ２とストッパ軸２Ａが取り付けられ、
ベローズ２の他の端部は台盤３に固定されている。また
、台盤３の反対側にはガスケツｌ−８Ａを介して配管用
口金８が取り付けられ、この口金８に空気配管９が嵌め
込まれる。なお、２０は吸着すべき対象物である。 第３図は主に制御動作に関する要素を示したもので、１
１は電磁式の２ボート切換弁で、制御部１０の指令信号
に基づいてパッド１とヘッダ５との連通路を開閉するも
のである。１２は圧力センサで、前記連通路の圧力を検
出し、その信号を制御部１０に伝送するものである。パ
ッド１．切換弁１１．圧力センサ１２は一つの組をなし
、パッド１の個数だけの組数をもつものである。なお、
２０ａ、　２０ｂは、パッド１の周縁部が接触している
状態の対象物表面と、パッド１の周縁部との間に凹凸２
段差などにより隙間を生じている状態の対象物表面とを
それぞれ示している。 次に、この実施例の作用について、第４図および前記第
２．３図を参照しながら説明する。 第４図は対象物表面の４つの状態の場合を示したもので
ある。第４図（ａ）は対象物表面が波状の凹凸を、同（
ｂ）は表面の所どころに比較的狭い隙間を、同（ｃ）は
大きい段差を、同（ｄ）は比較的狭い隙間の多数をもつ
場合をそれぞれ示している。また、１ａは吸着可能状態
にあるパッドを、１ｂは表面状態により吸着不可能状態
にあるパッドをそれぞれ示す。 第４図（ａ）の場合は、凹凸部が比較的なだらかである
から、両端部に近いパッド１ｂを除いて、中央部にある
６個のパッド１ａによって十分吸着し持ち上げることが
できる。動作の順序として、まず切換弁１１は開路した
状態にあり、との状態でパッド１が、ある程度まで対象
物表面に押しつけられる。 この押しっけの程度は、第２図に示したストッパ軸２へ
の自由端部と、配管用口金８の当接面８ａとが当たるこ
とによって制限される。つまり、両者が当たるまでパッ
ドｌは対象物表面に押しつけられることになる。また、
ストッパ軸２Ａの外径は配管用口金８の内径より相当小
さく選んであるので、ベローズ２の湾曲余裕は十分であ
る。それから、ある設定された時間の後、両端のそれぞ
れ２個のパッド１ｂは、開口した状態であるから、これ
につながる管路の圧力は、真空ポンプ６により吸引され
るにもかかわらず、あらかじめ設定された負圧以下には
下がらない、したがって、圧力センサ１２からの圧力信
号により、制御部１０は圧力値とその継続時間とから判
断して、切換弁１１を開路側に切換えた状態のままに維
持する。同様に制御部１０の判断に基づいて、パッド１
ｂの切換弁は閉路側に切換えられる。このようにして、
吸着できない箇所のパッド１の切換弁１１の働きによっ
て無駄な吸気が阻止される。そして、制御部１０は次の
動作、例えば持ち上げ動作を上位装置、例えば持ち上げ
装置にたいして、直接にまたは上位制御装置を介して間
接に指令する。なお、制御部１０の持ち上げ動作指令は
、前記の吸着可能なパッドｌａの個数とその分布状態と
から対象物の重量を勘案して発せられるものである。換
言すれば持ち上げ動作指令を出すための意志決定公式が
セットされているわけである。 第４図（ｂ）の場合は、対象物の表面がほぼ平面状で、
所々に比較的狭い隙間がある。このときには、隙間の上
にかかるパッド１ｂだけが吸着できないだけで、全体と
して吸着可能なパッド１ａが多いため、吸着は成立する
。 第４図（ｃ）の場合は、大きい面積の段差があるが、段
差そのものは浅いため、吸着不可能のパッドは、ちょう
ど段差にかかったパッドｉｂだけである。もちろん、全
体としての吸着は成立する。 第４図（ｄ）の場合は、隙間が多く存在する箇所である
。この場合には、全体としての吸着は困難である。 以上の説明で、「全体としての吸着が成立する」とか「
全体としての吸着は困難」とかの表現を用いた。この意
味は、対象物の重量を勘案しながら、吸着装置に属する
個々のパッドで、対象物表面と密着して吸着可能状態に
あるものの個数とその分布状態とによって、あらかじめ
定められた判定基準が出した結論のことである。この判
定基準のアルゴリズムは制御部１０に記憶されてあり、
個々のパッド１に対応する圧力センサからの信号に基づ
いて、制御部１０が吸着の可否を判断する。なお、この
吸着可否の判断は、制御部１０でおこなわずに更に上位
の制御装置でおこなうこともできる。 そして、吸着可能との判断なら、制御部１０が出す直接
指令、または上位制御装置を介しての指令に基づいて、
例えば次の持ち上げ動作や壁面の歩行に移る。また、吸
着が不可能との判断なら、その近傍の吸着に適する別の
箇所の探索動作に移るわけである。この場合、上記の持
ち上げ動作や別の箇所の探索動作は本発明に係る真空吸
着装置の上位装置が担当し、この上位装置用の制御装置
（制御部１０から見れば上位の制御装置）の制御指令に
よるのがシステム構成上は自然であろう。 上述した「全体としての吸着が成立する」または「全体
としての吸着は困難」との結論を出す判定基準の１つの
実施例を具体的に説明する。 この判定基準は２つの要素から成っている０例えば「全
体としての吸着が成立する」との結論を出す場合を考え
ると、第１は吸着可能状態にあるパッドの総数に関する
ことで、この総数がある基準個数以上であるという基準
である。第２は吸着可能状態にあるパッドの分布状態に
関することで、例えばこのパッドの分布の重心位置が基
準の中心位置からどれだけ偏っているか、換言すれば基
準の中心位置との距離がある基準値以内であるという基
準である。 制御部１０をマイクロコンピュータで構成する。 各パッドないしは連通路内の圧力は圧力センサ。 Ａ／Ｄコンバータを介して入力ボートに入力される。 この圧力信号は、ＣＰＵからの選択信号によって順次Ｃ
Ｐｕに取り込まれ上述したような２つの条件に基づいて
演算がおこなわれる。そして、演算結果は出力ポートか
ら出力され、上位の制御装置に入力される。既に述べた
ように、上記の演算を制御部１０で担当しないで上位の
制御装置に委譲してもよい。 なお、上述の制御部１０のマイクロコンピュータ動作は
本発明とは直接関係しないのでフローチャートを用いて
詳細に説明することは省略するが、基本方針は上述の通
りであるからプログラムの作成は容易におこない得る。 第５図、第６図はパッド１の配列状態を示す平面図であ
る。第５図はパッドＩＡの平面図が円形のもので、対象
物に吸着したときの変形があらゆる方向に対して均等で
、吸着力も周縁部について均等になる点が優れている。 しかし、パッド吸着面のスペース・ファクタがやや悪い
欠点がある。 これに対して、図示してないが、パッド１の平面図が正
方形の場合は、スペース・ファクタがほぼ１００％でよ
いが、パッド周縁部位置によって吸着力にむらを生じる
欠点がある。その折衷案として正六角形がよい。第６図
のパッドＩＢ、基枠７Ｂはこの例を示すものである。A first embodiment of this invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is a side view showing almost the entire configuration of this embodiment. 1 is a pad that adsorbs to or onto an object, 2
is a bellows that flexibly supports this pad, and the details of this part will be explained later. Reference numeral 3 denotes a base plate which should serve as the mechanical foundation of the entire device. Reference numeral 4 denotes a switching valve section in which switching valves for opening and closing, which are in charge of opening and closing the pipe lines corresponding to each pad, are gathered in one place. 5 is the header,
This is a pressure vessel which brings together all of the above-mentioned pipe lines in one place and is connected to the suction side of a vacuum pump 6 as a negative pressure generation source, which will be described next. 7 shows a cover, and 9 shows a part of air piping. Reference numeral 10 denotes a control section, which controls the operation of the apparatus as described later. FIG. 2 is a detailed view of the related parts of the pad, in which a bellows 2 and a stopper shaft 2A are attached to the back side of the pad 1.
The other end of the bellows 2 is fixed to the base plate 3. Further, on the opposite side of the base plate 3, a piping cap 8 is attached via a gasket 1-8A, and an air pipe 9 is fitted into the cap 8. Note that 20 is an object to be attracted. Figure 3 mainly shows elements related to control operations.
Reference numeral 1 denotes an electromagnetic two-boat switching valve that opens and closes a communication path between the pad 1 and the header 5 based on a command signal from a control section 10. A pressure sensor 12 detects the pressure in the communication path and transmits the signal to the control section 10. Pad 1. Switching valve 11. The pressure sensors 12 form one set, and there are as many sets as there are pads 1. In addition,
20a and 20b have unevenness 2 between the peripheral edge of the pad 1 and the surface of the object in contact with the peripheral edge of the pad 1.
The surface of the object is shown with a gap created by a step or the like. Next, the operation of this embodiment will be explained with reference to FIG. 4 and the above-mentioned FIG. 2.3. FIG. 4 shows four states of the object surface. Figure 4(a) shows the surface of the object with wavy irregularities.
(b) shows a case where there are relatively narrow gaps here and there on the surface, (c) shows a case where there are large steps, and (d) shows a case where there are many relatively narrow gaps. Further, 1a indicates a pad that is in a suction-enabled state, and 1b indicates a pad that is in a non-suctionable state due to the surface condition. In the case of FIG. 4(a), since the uneven portion is relatively smooth, the six pads 1a in the center can sufficiently attract and lift the object, except for the pads 1b near both ends. As for the sequence of operations, first, the switching valve 11 is in an open state, and in this state, the pad 1 is pressed to a certain extent against the surface of the object. The degree of this push is limited by the contact between the free end of the stopper shaft 2 shown in FIG. 2 and the contact surface 8a of the piping mouthpiece 8. In other words, the pad 1 is pressed against the surface of the object until both touch. Also,
Since the outer diameter of the stopper shaft 2A is selected to be considerably smaller than the inner diameter of the piping cap 8, the bellows 2 has sufficient bending margin. Then, after a certain set time, the two pads 1b at both ends are in an open state, so the pressure in the conduit connected to them is set in advance even though it is sucked by the vacuum pump 6. Therefore, based on the pressure signal from the pressure sensor 12, the control unit 10 keeps the switching valve 11 in the open state, judging from the pressure value and its duration. maintain. Similarly, based on the judgment of the control unit 10, the pad 1
The switching valve b is switched to the closed circuit side. In this way,
The function of the switching valve 11 of the pad 1 in the area where suction cannot be performed prevents unnecessary suction. Then, the control unit 10 instructs the next operation, for example, a lifting operation, to a higher-level device, for example, a lifting device, either directly or indirectly via the higher-level control device. Note that the lifting operation command from the control unit 10 is issued by taking into account the weight of the object based on the number of suctionable pads la and their distribution state. In other words, a decision-making formula for issuing a lifting operation command is set. In the case of FIG. 4(b), the surface of the object is almost flat,
There are relatively narrow gaps in places. At this time, only the pad 1b over the gap cannot be attracted, and since there are many pads 1a that can be attracted as a whole, suction is successful. In the case of FIG. 4(c), there is a step with a large area, but since the step itself is shallow, the only pad that cannot be attracted is pad ib, which is just over the step. Of course, overall adsorption is achieved. In the case of FIG. 4(d), there are many gaps. In this case, overall adsorption is difficult. With the above explanation, we can say that ``adsorption as a whole is established'' or ``
It is difficult to adsorb it as a whole.'' This means that, while taking into account the weight of the object, predetermined criteria are determined based on the number and distribution of individual pads belonging to the suction device that are in close contact with the surface of the object and capable of adsorption. It is the conclusion reached. The algorithm of this criterion is stored in the control unit 10,
Based on the signal from the pressure sensor corresponding to each pad 1, the control unit 10 determines whether or not suction is possible. Note that this determination of whether or not suction is possible may be performed not by the control unit 10 but by a higher-level control device. If it is determined that suction is possible, based on a direct command issued by the control unit 10 or a command via a higher-level control device,
For example, move on to the next lifting motion or walking on a wall. Furthermore, if it is determined that suction is not possible, the operation moves on to a search operation for another location suitable for suction in the vicinity. In this case, the above-mentioned lifting operation and search operation for another location are taken care of by the higher-level device of the vacuum suction device according to the present invention, and the control device for this higher-level device (the higher-level control device when viewed from the control unit 10) controls the It would be natural for the system to be based on instructions. One example of the criteria for determining the above-mentioned conclusion that "adsorption as a whole is established" or "adsorption as a whole is difficult" will be specifically described. This judgment criterion consists of two elements.For example, when we come to the conclusion that ``the overall suction is valid'', the first is related to the total number of pads that are in a suction-capable state, and this total number is The criterion is that the number is greater than or equal to a certain reference number. The second is related to the distribution state of the pads that are in a state where they can be sucked.For example, how much the center of gravity of the pad distribution is offset from the reference center position, in other words, is the reference value that is the distance from the reference center position. The standard is that it is within the range. The control unit 10 is composed of a microcomputer. The pressure inside each pad or communication path is measured by a pressure sensor. It is input to the input port via the A/D converter. This pressure signal is sequentially changed to C by a selection signal from the CPU.
The data is taken into Pu and calculations are performed based on the two conditions described above. Then, the calculation result is output from the output port and input to the upper control device. As already mentioned, the above calculation may not be performed by the control unit 10, but may be delegated to a higher-level control device. Note that the microcomputer operation of the control unit 10 described above is not directly related to the present invention, so a detailed explanation using a flowchart will be omitted, but since the basic policy is as described above, the program can be easily created. obtain. 5 and 6 are plan views showing the arrangement of pads 1. FIG. The pad IA shown in FIG. 5 has a circular plan view, which is advantageous in that the deformation when adsorbed to an object is uniform in all directions, and the adsorption force is also uniform around the periphery. However, the disadvantage is that the space factor of the pad suction surface is rather poor. On the other hand, although not shown, if the pad 1 has a square plan view, the space factor may be approximately 100%, but there is a drawback that the suction force may be uneven depending on the position of the peripheral edge of the pad. A regular hexagon is a good compromise. Pad IB and base frame 7B in FIG. 6 illustrate this example.

【発明の効果】【Effect of the invention】

以上のような構成と作用とによって、この発明には、次
のようなすぐれた効果がある。 （１１対象物表面に部分的に凹凸２段差、隙間などがあ
っても、多数の吸着用パッドを備えているので、全体と
して確実な吸着作用を発揮することができる。 （２）部分的な、吸着不可能なパッドに対しては、圧力
センサの信号により切換弁を作動させて吸気を阻止する
ため、真空ポンプないしは吸引用送風機の省エネルギー
化になる。換言すれば、小容量化になる。 （３）個々のパッドの箇所における吸着可否に関する情
報が圧力センナからの信号として得られるので、これを
上位の制御装置に伝送することにより、全体としての吸
着可否判断が的確になされ、それに基づいた次の行動が
確実におこなわれる０例えば、すぐ吸着動作に移るとか
、その近傍のより条件のよい箇所を探索する動作に移る
とかするわけである。With the configuration and operation described above, the present invention has the following excellent effects. (11) Even if there is a partial unevenness or gap on the surface of the object, it is equipped with a large number of suction pads, so it can exert a reliable suction effect as a whole. (2) Partial For pads that cannot be suctioned, the switching valve is actuated by the signal from the pressure sensor to block suction, which saves energy in the vacuum pump or suction blower.In other words, the capacity can be reduced. (3) Since information regarding whether or not suction is possible at each pad location is obtained as a signal from the pressure sensor, by transmitting this to the upper control device, it is possible to accurately determine whether or not suction is possible as a whole. For example, the next action may be performed immediately, such as by immediately moving to a suction action, or by moving to an action to search for a location with better conditions in the vicinity.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図はほぼ全体の構成を示す側面図、第２図はパッド
とその周辺部の詳細な縦断面図、第３図はパッド吸着動
作に関連する部材の系統図、第４図は対象物表面状態と
吸着動作との説明図、第５図、第６図はパッド配列の平
面図、第７図、第８図は従来例の縦断面図である。 符号説明 １：パッド、２：ベローズ、２Ａ：ストツバ軸、３：台
盤、５：ヘッダ、６：真空ポンプ、８：配管用口金、８
ａ：当接面、１０：制御部、１１：切換弁、１２：圧力
センサ。 亮　　１　　聞 篤　　２　　図 ％　　３　　図 第　　４　　口 ｖｌ　　５　　図 ′Ｎ！、Ｇ　　　圀Figure 1 is a side view showing almost the entire configuration, Figure 2 is a detailed vertical cross-sectional view of the pad and its surroundings, Figure 3 is a system diagram of parts related to pad suction operation, and Figure 4 is the object. 5 and 6 are plan views of the pad arrangement, and FIGS. 7 and 8 are longitudinal sectional views of the conventional example. Symbol explanation 1: Pad, 2: Bellows, 2A: Stop collar shaft, 3: Base plate, 5: Header, 6: Vacuum pump, 8: Piping cap, 8
a: contact surface, 10: control section, 11: switching valve, 12: pressure sensor. Ryo 1 Mon Atsushi 2 Figure % 3 Figure 4 Mouth vl 5 Figure 'N! , G.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １）負圧発生手段により発生した負圧によって、対象物
にたいして真空吸着するものにおいて、（ａ）対象物を
該対象物表面において真空吸着する複数個の真空パッド
と、 （ｂ）該各パッドを先端に取り付け、内部には一方は該
各パッドの内側に開口し他方は負圧発生手段の吸気口に
つながる各連通路を密封的に設ける、伸縮、湾曲可能な
可撓性支持部材と、 （ｃ）前記各パッドと負圧発生手段との各連通路の中間
に挿入設置され、該連通路を開路するか閉路するかを択
一的に制御可能な切換弁と、 （ｄ）該各切換弁と各パッドとの中間の各連通路に挿入
設置され該連通路内圧力を検出する圧力センサと、 （ｅ）該各圧力センサからの圧力信号に基づいて、少な
くとも前記各切換弁に切換信号を送出する制御部と、 を備えたことを特徴とする多パッド真空吸着装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、可撓性
支持部が、その伸縮、湾曲の程度を制限されるよう構成
されたものであることを特徴とする多パッド真空吸着装
置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項記載のものにお
いて、制御部が、真空パッドが対象物表面に接触してか
らあらかじめ設定された時間の後、前記パッドに対応す
る圧力センサからの圧力信号が所定値に達しないときに
は、前記パッドに対応する連通路を閉じるよう動作する
ものであることを特徴とする多パッド真空吸着装置。 ４）特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかの項
に記載のものにおいて、真空パッドが、正六角形の周縁
部形状を有するものであることを特徴とする多パッド真
空吸着装置。[Scope of Claims] 1) A vacuum suction device for an object using negative pressure generated by a negative pressure generating means, which includes (a) a plurality of vacuum pads for vacuum suctioning the object on the surface of the object; b) A flexible device that can be expanded, contracted, and curved, with each pad attached to the tip and each communicating path being sealed inside, with one opening inside each pad and the other connecting to the inlet of the negative pressure generating means. (c) a switching valve that is inserted between each communication path between each of the pads and the negative pressure generating means and can selectively control whether the communication path is opened or closed; (d) a pressure sensor inserted into each communication passage between each of the switching valves and each pad to detect the pressure within the communication passage; (e) based on the pressure signal from each of the pressure sensors, at least one of the A multi-pad vacuum suction device comprising: a control unit that sends a switching signal to each switching valve; 2) A multi-pad vacuum suction device according to claim 1, characterized in that the flexible support section is configured to limit the degree of expansion/contraction and curvature thereof. 3) In the device according to claim 1 or 2, the control unit controls the pressure sensor corresponding to the pad after a preset time after the vacuum pad comes into contact with the surface of the object. A multi-pad vacuum suction device, characterized in that it operates to close a communication path corresponding to the pad when the pressure signal does not reach a predetermined value. 4) A multi-pad vacuum suction device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the vacuum pad has a regular hexagonal peripheral edge shape.