JPS626254A - 感光性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、有機カラーフィルターの耐染色性層等として
良好に使用し得る感光性組成物に関する。

〔従来の技術〕

カラーフィルターの搭載方法には大別して次の１つがあ
げられる。

■　例、ｔば、シリコンウェーハー等の上に光検知部等
を設けてなる固体撮像素子上に直接色分解有機カラーフ
ィルターを製造するもの（以下「直付型」と云う）。

■　固体撮像素子と色分解有機カラーフィルターを夫々
個別に製造しておき、両者を位置合わせしつつ、適轟な
接着剤等で貼合わせるもの（以下「貼合わせ型」と云う
）。

本発明の感光性組成物は量産性に優れていると考えられ
る直付型カラーフィルターに適用するのが特に有用であ
る。

直付型カラーフィルターを製造する場合、通常、固体撮
９累子の表面を平担化し、ひずみのないカラーフィルタ
ーを得るためにポリマ一層（以後「平担化」層と呼ぶ）
を塗布する。その後その上に被染色層を形成するための
感光性物質層をもうけ、しかる後に、 ■　被染色層上にパターニングしたレジストを設け、露
出している被染色層の部分を染色して染色層を形成後レ
ジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形成
する。（単一の被染色層を複数の染色部分に染め分ける
方法。） ■　被染色層を所定のパターンに露光し、現像した後染
色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色性絶縁層
を核種後、その上に同様にして次の染色層を形成する。

上記■の方法は、各染色部分の境界における色のにじみ
等の問題があり、一般には■の方法が広く行われている
。

上記■の方法で得られるカラーフィルターにおいては、
耐染色性絶縁層の選択が重要である。

耐染色性絶縁層は、第２色目以降の染色の際に、既に染
色された第１色目の染色層の耐染色層としての役割と、
出来上ったカラーフィルターの染色層間の経時的な色の
にじみを防止するという重要な役割を持っている。また
、耐染色性絶縁層は、基本的に、耐染色性、基板及び染
色層との接着性、無色透明性、耐現像性、塗膜性が良好
であることが必要とされる。

しかしながら、これらの性質のいずれをも満足するよう
なものの選択は難しい。すなわち、例えば、被染色層と
しては、通常、ゼラチン、カゼイン、グリユー、ポリビ
ニルアルコール等と重り−ム酸塩の混合物といった水溶
性の感光性物質が使用され、また、染色は水溶性染料が
使用される。従って、耐染色性絶縁層としては、耐染色
性の観点からは親油性の高いものが要求されるが、染色
層との接着性の観点からは親水性の高いものが要求され
るといった相矛盾した性質が要求されるからである。

本発明者等はこのような矛盾を解決した感光性ポリマー
として下記式（Ｉ）および（１１）で表わされる繰返し
単位を有するポリマーと増感剤を含む感光性組成物を見
出し、先に提案した（特願昭６０−一／θＩＩ＜ｚ）。

（１）　　　　　　　　　　Ｃ−Ｒ” （ＩＩ） （式中、Ｒ１およびＲ２は水素原子又はメチル基を表わ
し、Ｒａは水素原子又はフェニル基を表わし　１４は水
素原子、フェニル基又はシアノ基を表わし、Ｒ′および
Ｒ＠は水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ
基を表わす。）〔発明が解決しようとする問題点〕 前述のようなポリマーは、下記式（１）で表わされる化
合物、即ち、アクリル酸のグリシジルエステル又はメタ
クリル酸のグリシジルエステルと下記式（ＩＴ）で表わ
される化合物、即ち、下記式（Ｖｌ）で表わされるコー
ヒドロキシエチルアクリレート又は−一ヒドロキシエチ
ルメタクリレートと下記式（■）で表わされる桂皮酸ク
ロライド又はその誘導体との反応物をアゾビスイソブチ
ロニトリル、過酸化ベンゾイル等のラジカル開始剤を使
用し、公知の方法に従いラジカル共重合することによっ
て得た化合物とからなる。

−Ｏ ■ （１）　　　　　　Ｃ−１３（Ｖｌ）　　　　　　（■
）１： （式中、Ｒ１〜Ｒ６は前記と同義を表わし、Ｘはハロゲ
ン原子を表わす。） しかしながら、式（■）で表わされる化合物はきわめて
加水分解をうけやすいために保存中に空気中に含まれる
水分によシ加水分解をうけたす、或いは、コーヒドロキ
シエチルアクリレート又はコーヒドロキシエチルメタク
リレートと反応させる際に系中に含まれる微量の水分に
よシ加水分解をうけるため、生成した式（ｍＶ）で表わ
される化合物中には通常若干兼の式（Ｖ）、くけその誘
導体が不純物として含まれている。

この不純物は、式（ＩＴ）で表わされる化合物の性質と
類似しているため、アルカリ水で洗浄するなどの通常の
操作では充分には除けないのが実状であった。

このように七ツマー中に酸を含んだままの状態で重合反
応を行わせると、はなはだしい時は反応中に酸の触媒作
用により式（１）で表わされる化合物のグリシジル基が
架橋反応をおこしてゲル化し、そうでない場合でも当該
酸は通常の条件ではポリマーとの分離も困難であるため
生成したポリマー中にとりこまれる。

このようにして得られた樹脂は保存安定性にとぼしく数
日から数週間の間にわずかながらゲル化が進行し、たと
えば感光液組成物に詞液後Ｏｏ−μ程度のフィルターを
用いて濾過するに際して目すまりをおこして頻繁Ｋｐ紙
の交換を行わねばならないなどの問題点が存在した。

〔問題を解決するための手段〕

本発明者等は上述したような欠点を解決すべく種々検討
の結果、式（１）および（ＩＶ）で表わされる化合物を
反応させる際、反応系内の酸の濃度が／Ｘ／（７″″”
　ｍｏｌ／Ａ以下の条件で重合を行わせることＫより保
存安定性が著しく改善された感光性樹脂を製造出来るこ
とを見出し本発明を完成し念。

すなわち本発明の要旨は、少くとも、下記式％式％（） （式中、Ｒ１及びＶは水素原子又はメチル基を表わし、
Ｒ３は水素原子又はフェニル基を表わし、Ｒ４は水素原
子、フェニル基又はシアノ基を表わし、Ｒ寥およびＲ６
は水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ基を
表わす６）で表わされる繰返し単位を有するポリマーと
増感剤を含む感光性組成物であって、該ポリマーが下記
式（ＩＮ）および下記式（ＩＶ）で表わされる化合物を
反応系内の酸濃度が／　Ｘ　／　０−”　ｍｏｌ／Ｚ以
下の条件下に重合して得られるものであることを特徴と
する感光性組成物。

Ｃ電０ （式中、Ｒ１〜Ｂ６は前記と同義を表わす。）に存する
。

本発明をさらに詳しく説明する。

式（１）で表わされる化合物は、アクリル酸のグリシジ
ルエステルおよびメタクリル酸のグリシジルエステルで
あり、市販されているものが便利に使用出来る。

次に、式（ＩＶ）で表わされる化合物は、下式に従って
合成することによって得られる。

（Ｖｌ）　　　　　　　　　（Ｖｌｌ）（ＩＶ） 即ち、ヒドロキシエチルアクリレート又はヒドロキシエ
チルメタクリレート（■）とケイ皮酸ハライドもしくは
その誘導体（ＶＩＡ）　を塩基の存在下で溶媒中で反応
させる。塩基は反応の進行に従って発生してくる塩酸を
捕獲するためのものでどのような塩基でも使用出来るが
通常トリエチルアミンなどの＠３級有機アミン、ピリジ
ンなどの複素環塩基性化合物、テトラメチルアンモニウ
ムハイドロオキサイドなどの第り級アンモニウムヒドロ
オキシド、ジアザビシクロウンデセンなどの有機強塩基
、水酸化ナトリウム、炭酸ソーダなどの無機塩基が好適
に使用される。

これらの塩基はかならずしも溶液状態で存在する必要は
なくけん濁状態で存在していても良い。

溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ　
）、ジオキサン、ジエチルエーテルなどのエーテル系溶
媒、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサンな
どのケトン系溶媒、ペンタン、ヘキサンなどの炭化水素
ヘンセン、トルエンなどの芳香族炭化水素、ジクロルエ
タンなどのハロゲン化炭化水素もしくはピリジンなどの
求核性の小さい塩基性溶媒を塩基の働きもかねて使用す
ることも出来る。

反応は一り０℃〜十ざＯＣ１好ましくは−ｊ℃〜＋ｒｏ
Ｃの間で行われる。この反応は著しい発熱反応であるの
で通常全体を一度に混合せず（■）もしくは塩基をあと
から滴下して滴下速度により反応をコントロールする手
法がとられる。滴下時間は除熱とのかね合いて反応温度
が上記にコントロール出来るようにすれば良い。

滴下が終了してからｌ〜Ｓ時間反応させて反応を完了す
る。反応後生酸した塩酸塩をＦ別除去しさらに蒸留もし
くは水溶性の溶媒を用いた場合は水を加えて生成物と相
分離させるととＫより目的物を取り出すことが出来便利
である。

この粗生成物は通常原料の酸ハライド（Ｖｌｌ）の不純
物として存在していた相当する酸もしくは溶媒中に微量
存在していた水による（■）の加水分解により生成した
相当する酸を微量（約７１）含んでおりアルカリ水での
洗浄をくり返しても相当する酸を完全に除くことはむず
かしく、そのまま重合にもち込めば生成したポリマーの
保存安定性の低下を招く原因となる。酸を完全に除く方
法の１つとして粗生成物をシリカゲル、アルミナ等の多
孔質無機担体のカラムを通す方法がとられる。展開溶媒
としては酸の展開速度が充分遅いものであれば何でもよ
いがヘキサンなどの炭化水素、トルエン、ベンゼンなど
の芳香族炭化水素、クロロホルム、メチレンクロライド
などのハロゲン化炭化水素もしくはこれらの混合溶媒な
どが好適に用いられる。

このようにして得られた（ＩＶ）と（Ｉ）、さらに必要
ならば他の七ツマ−を混合して溶媒中に溶解しラジカル
開始剤を用いて重合を行う。

溶媒としてはラジカル連鎖移動定数が充分小さくかつ中
性のものであれば特に制限はないがベンゼン、トルエン
などの芳香族炭化水素、テトラヒドロフラン、ジオキサ
ンなどのエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケト
ンなどのケトン系溶媒。メタノール、エタノールなどの
アルコール系溶媒などが好適に用いられる。

ラジカル開始剤としては過酸化ベンゾイル、ｔ−ブチル
パーオキシドなどの過酸化物、アゾビスイソブチロニト
リルなどのアゾ系の開始剤が好適に用いられる。

反応系内に存在する酸又は塩基の濃度はＩ×１０−”ｍ
ｏｌμ以下、好ましくはｔ　Ｘ　／　０−’　ｍｏｌ／
を以下となるようにする。（ＩＶ）を前述のような方法
で合成、精製すればこの条件は容易に達成出来る。

反応温度、反応時間は使用する開始剤、溶媒によって異
なるが通常ＪＯ℃〜ｉｒｏ℃、好ましくはＩＩＯ℃〜／
ＪＯ℃で１時間〜３０時間、好ましくは３時間〜１０時
間反応を行う。

反応終了後は反応液にｍ−へキサン、ｎ−ペンタンなど
の貧溶媒を加えポリマーを析出させるか又は蒸留により
溶媒を除くことによりポリマーを単離することが出来る
。必要ならばさらに再沈法などによりポリマーを精製し
ても良い。

本発明のポリマーは、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ　）
中、３０Ｃでの固有粘度が通常、０．０．１〜．７　ｄ
ｔ／　Ｐ、好ましくは、０．／−１，ｏｃｉｔ／？、特
に好ましくは、０．コ〜ｔ、ｓ；　ｄｌ　／　９−の範
囲のものが好適である。増感剤としては、公知の種々の
ものが使用できる。例えば、アントロン、ベンゾフェノ
ン、フェナントレン、ミヒラ−ヶ）ン、コーニトロフル
オレン、Ｓ−ニトロアセナフテン、クリセン、ｐ−ニト
ロアニリン、コーペンソイルメチレンー３−メチルナフ
トチアゾリン、コーラベンゾイルメチレン−３−メチル
ナフトチアゾリン、ベンジル、Ｎ−アセチル−亭−二ト
ローｌ−ナフチルアミン、アントラキノンなどのいわゆ
る三重項増感剤が好適に用いられる。増感剤の量として
は、ポリマーに対して０．１−一〇重量係、好ましくは
、０．５〜ノθ重量％が用いられる。

通常は上記ポリマー及び増感剤双方を溶かすような溶媒
、例えば、エチルセロノルプ、メチルセロソルブ等のセ
ロソルブ系溶媒、ブチルアセテートなどのエステル系溶
媒、もしくは、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ　）、ジ
メチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、Ｎ−メチルピロリド
ンなどの溶媒に溶解して感光液として供せられる。

感光液そのものは、通常台Ｍされる増感剤のために黄色
を呈していることが多いが、スピンコーティング、キャ
スティング、ディップ法などで基板上に薄膜を作り、可
視光・近紫外光等で露光後。現像すれば、増感剤は容易
に洗い出されて無色透明のポリマ一層を得ることが出来
る。

以下本発明の感光性組成物を用いたカラーフィルターの
一例につき図面を用いて更に詳細に説明する。

第１図（＆）〜（ｊ）は直付型カラーフィルターの製造
工程の一例を示す説明図である。

図中ｌはシリコンウェハー、−は光検知部、Ｊは保護膜
、ダは平担化層、Ｓは被染色層、６はマスク、りは耐染
色性絶縁層、Ｓはボンディング・パッド、９は被染色層
、ｉｏは表面層、をそれぞれ示す。

直付型カラーフィルターの場合は固体撮像素子面上に直
接カラーフィルターが設けられるものであシ、その基体
となる固体撮像素子は例えば第１図（、）に示すような
シリコンウェハーｌに光検知部コが設けられ、その上面
にリンガラス、石英等の保護膜３が設けられた構造とさ
れている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜等
が設けられているが、図面には省略し九。

本発明のカラーフィルターは上述のような固体撮像素子
の上面に形成するものでありその工程順に説明する。

塘ず固体撮像素子の保睡膜Ｊの上にＯ，コ〜コ、θμ程
度の厚さに平担化層ダを被覆する。この平担化層は後述
する耐染色性絶縁層りと同じものを使用するのが良い。

この層によって光検知部の表面が平担化され、被染色層
！、耐染色性絶縁層り等の形成が容易となり、また被染
色層５の厚みむら等に基づく色のヒズミ等が軽減される
。次いでこの平担化層ダ上に所定のポンディングパッド
を等を加工する（第１図（ｂ））。

この平担化層ダの材質、ポンディングパッドざの加工方
法については後に耐染色性絶縁層りの説明と合わせて詳
細に述べる。

次いで平担化層ダ上にゼラチン、カゼイン、グリユー、
アルブミン等、或いは、ポリビニルアルコール等の合成
ポリマー等の水溶性ポリマーと重クロム酸アンモニウム
等の重クロム酸塩との混合物を塗布して被染色層５を構
成するための感光性物質層を形成する（第１図（Ｃ））
。

被染色層Ｓを構成するための感光性物質層は、通常、Ｑ
、／〜コμとなるように設ける。

次いで、被染色層ｊを構成するための感光性物質層上に
所定のパターンを有するマスク６を通して露光する（第
１図（ｄ））。被染色層Ｓを構成するための感光性物質
には、通常、’１１４０〜Ｊ　ｔ　Ｏａｍ　　に感光性
をもたせるようにするので、かかる領域の波長を有する
高圧水釧燈等を光源として露光する。

次いで、水で現像して所定のパターンの被染色層ｊを構
成する部分を形成しく第１図（・））、所定の分光特性
を有する第１色目の染料で公知の方法は従い染色して被
染色層５を形成する。

次いで、耐染色性絶縁層りを形成するための感光性樹脂
組成物を被覆する（第１図（ｆ））。本発明においては
、耐染色性絶縁Ｗ１７の形成には、本発明においては前
記式（１）、（Ｉｔ）及び（Ｉ）で表わされる単位を有
する共重合体と増感剤との組成物を被染色層Ｓを形成し
た上に塗布しく第１図（ｆ）　）　、所定のパターン、
すなわち、ボンディング・パッド部を形成する部分等が
光年透明性とされたパターン等を有するマスク６を用い
て霧光する（第１図（ｇ））。霧光に当っては増感剤が
吸収を持つ波長の高圧水銀燈等を用いれば良い。露光さ
れた上記組成物中では増感剤により吸収されたエネルギ
ーはポリマー中のシンナモイル基に移動され、励起状態
となったシンナモイル基がコ分子でシクロブタン環を形
成して架橋が進行し不溶化される。

次いで、エチルセロソルブやメチルエチルヶ３種を用い
ることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の３株を用い
ることもある。その際、例えば、第１のシアンの被染色
層に、第一の黄の被染色層を一部重なるように形成して
、その重なり部分で第３色目の緑色を得るようＫしても
よい。

通常、最上部の被染色層上に、表面の平滑化、或いは染
色層の保護のために表面積ｌＯを設ける。

表面層１０としては、強度、透明性、中間層及び染色層
との密着性及びボンディング・パッド部などの加工性が
要求され、その要求を満たしたものならなんでもよいが
、前述の感光性組成物を使用しても良い。

表面層ＩＯは通常ｏ、ｉ−コμの膜厚となるように設け
さらに露光現像して所定のボンディング・パッドなどの
加工を行なう（第１図（ｊ））。

以上のよう圧して、本発明のカラーフィルターを得るこ
とが出来るが、本発明のカラーフィルターの平担化層も
しくは耐染色性絶縁層は耐染色性が完全であり、基板或
いは染色層との接着性が良好であり従って鮮明な画像を
得ることが出来るのである。

本発明においては平担化層および／または耐染色性絶縁
層として上記した特殊の感光性組成物を用いるものであ
るが、本発明においては上記感光性組成物からなる層を
少なくとも一層設け、他は他の樹脂層等とすることもで
き、用途に応じ適宜選択決定すれば良い。但し上記感光
性組成物の物性上、平担化層よりも耐染色性絶縁層とし
て用いるのが好ましい。他の感光性樹脂としてはポリグ
リシジルメタクリレート、ポリメチルメタクリレート、
ポリメチルイソプロペニルケトン、メチルメタクリルア
ミド、ポリへキサフロロブチルメタクリレート、ポリブ
テン−１−スルホン管種々のものが用い得る。

〔実施例〕

以下実施例により本発明を更に具体的に説明する。

実施例１ 〔モノマーの合成〕 ヒドロキシエチルメタクリレート３Ｊ？とピリジンコダ
？をテトラヒドロフランざ１ｍに溶解する。ケイヒ酸ク
ロライドＳＯ？のテトラヒドロフランｇｏ−溶液を上記
溶液にかくはんしながら３０分で滴下する。

このときの反応温度を５〜ＩＱ℃の間に制御する。滴下
が終了してから上記温度で参時間反応させて反応を完了
する。

反応後生成したピリジン塩酸塩を濾過し除去する。つい
で戸別した反応液に脱塩水３００−を加えて生成物と相
分離させる。

ついで、テトラメチルアンモニウムハイドロオキシドｔ
％水溶液３００−で洗浄を３回くり返し、更に脱塩水３
００−で洗浄ｔ−３回くシ返して粗生成物を取り出すこ
とができる。

この時の収量はＪ　４．Ｏｆ　（収率ｚｓｑｂ）である
。

上述の粗生成物−０１をシリカゲル（！ｒ００？）カラ
ムにかけクロロホルム／！−へキサン（−ダ／　／　ｗ
ｔ）混合溶媒で展開し精製する。流出物を薄層クロマト
グラフィーで分析しケイ皮酸の全く認められないフラク
ションを集め展開溶媒を減圧蒸留だより除き目的物を得
る。

収量　ｔｔ、ｒＰｃ！り、Ｓ憾） 〔ポリマーの合成〕 グリシジルメタクリレート／　？、、ｔ　ｆ、前述のミ
ンナモイルオキシエチルメタクリレート７０．７ｔをｐ
−ジオキサンＩ！ｒＯｍｌＫ溶解し３０分窒素テパブリ
ングする。ついで雪累雰囲気を保ったままＡＯＣに加熱
し、アゾビスイソブチロニトリルθ３７？を加えｂｏｃ
で６時間反応させる。反応系内の酸及び塩基の濃度は１
Ｘｔｏ−’ｍｏｌμ以下であった。

反応終了後反応混合物をＩＩ！Ｏｍｔのｎ−ヘキサンに
滴下しポリマーを析出させ、析出し之ポリマーをＦ別後
９Ｓ―のアセトンに溶解しＪＯＯ−のメタノール中に滴
下して再沈し、戸別後減圧下に乾燥する。

収ｆｘｒ、４Ｌｙ（ｇｌＩ、１％）　　ＷＳＰ／ｃ−０
，！ｒｅ（ＴＨＦ中３０ＣＣ−０，コＬｆ／１ｆｊ）〔
感光剤の調液〕 合成例１で合成したポリマーへダ？に増感剤としてコー
ジペンゾイルメチレンー３−メチルナフトチアゾリンダ
コダを加えシクロヘキサノンに溶解して全体を１０ｆと
し、０．１μのミリピアフィルターで濾過して感光液を
得た。この感光液を２インチφ酸化膜（ＳＩＯ，！ｒ０
００ム）付シリコンウェーハー上にスピンコーテング法
（コ！ｒ　００　ｒｐｍ　）で八〇μの厚さだ塗布し、
感度、解像力、接着性についてそれぞれ以下にのべるよ
うな方法で評価を行った。なお耐染色性。

透明性についてはシリコンウニーノ・−のかわりに０．
５ＬＩＩＩｌ厚テンパツクス製ガラス基板上にシリコン
ウェーハーの場合と同様に塗布したもので評価を行った
。

（１）感度・・・・・・イーストマン・コダック■製Ａ
コステップタブレットを用い、ミカサ■製マスクアライ
ナ−ＭＡ−１０を用いて露光後メチルイソブチルケトン
とイソプロピルアルコールの７　：　／　（ｖｏｌ／ｖ
ｏｌ　）混合溶媒で７分間スプレー現像を行い、さらに
メチルイソブチルケトンで１分間リンスを行った。得ら
れ之各ステップの膜厚をテンコール■製膜厚計α−ステ
ップで測定し感度曲線を作Ｍ［７、残膜率ｔｏｅｓを与
える照射エネルギー量をもって感度とした。

（２）解像力・・・・・・トラパン■製解像カテストチ
ャートを用いミカサ■展マスクアライナ−ＭＡ−ｉｏを
用いて感度評価の場合と同じように露光現像後得られた
像を光学顕微鏡（Ｘｓｏｏ）で観察し、解像している最
小のラインアンドスペースの巾をもって解像力とした。

（３）透明性・・・・・・ミカサ■製マスクアライナ−
ＭＡ−１０を用いて全面露光、現像後日立■製分光光度
計−−ｇを用いて３１０〜７ｒＯｎｍ　　の分光透過率
を求めた。

（４）　　耐染色性・・・・・・透明性を評価したと同
様の基板を後にのべるカラーフィルターの染色条件と同
じ条件で黄色又はシアンに染色しリンス後透明性を評価
したと同じように分光透過率を求めた。

（５）密着性・・・・・・粘着テープ（セロハンテープ
）を指圧によりよく接着し、これを剥離することにより
ガラスとの接着性を評価した。また平担化層の上面に実
施例と同様にしてゼラチンの被染色層を形成し、上記と
同様粘着テープで接着強度を評価した。評価基準は欠配
の通りである。

○：全く剥離しないも、の ×ニ一部でも剥離の見られるもの （６）　　保存安定性・・・・・・ゲル化の進行度をみ
るために再度Ｏ０−μの一過を行いゲルにより目づまり
のため濾過不能となる日数を求めた。結果を表／Ｋまと
める。

比較例 実施例１と同様にしてシンナモイルオキシエチルメタク
リレートの粗生成物を得た。このものの酸塩基滴定を行
った結果約２重量％のケイ皮酸を含んでいることが判、
明した。このものを精製せずにそのまま実施例１と同様
にグリシジルメタクリレートと共重合した。反応系内の
酸の濃度はｇ　Ｘ　／　０−”　ｍｏｌ／Ｌ、塩基の濃
度はｌｏ−４ｄ／ｌ　　であった。生じたポリマーを用
いて感光液に調液し実施例と同様に評価した。結果を表
１にまとめる。

表　　ｌ 実施例コ 多数の光検知部とこれらを駆動する駆動回路とからなる
固体撮像素子基板上に、実施例１と同様に作成した感光
性組成物を膜厚が２μとなるようにスピンヨーティング
塗布して、平担゛化層を形成するための樹脂層を形成し
た。塗布した樹脂層は黄色みを帯びていた。この平担化
層を形成する樹脂層にボンディング・パッド等の所定の
パターンを有するマスクを通して、高圧水銀燈が装備さ
れたマスクアライナ−ＭＡ／（７型（ミカサ■製）を用
い３００ミリジュール／−のエネルギー量で露光した後
ＳＯＣのメチルイソブチルケトンとイソプロピルアルコ
ールのり：ｌ（マｏｌ　／型Ｏ１）混合溶媒で１分間ス
プレー現像した。さらにメチルイソブチルケトンで１分
間リンスを行った。得られたボンディング・パッド部な
どの加工がなされた平担化層は、黄色みが消え透明な層
であった。

ついで１５０℃でｌＳ分間ボストベークを行い熱キユア
した。

次いでこの平担化層上にゼラチン−重クロム酸アンモニ
ウム（ｔ（ｙ：ｔ１重量比）の水浴液を膜厚がｌμとな
るようにスピンコーティングにより塗布して被染色層を
形成する感光性物質層を形成した。この被染色層を形成
する感光性物質層に、所定のパターンを有するマスクを
通して前記と同じ装置を用い２００ミリジユール／ｄの
エネルギー量で露光した後、１１．ｔＵの水で１分間現
像した。次いでｌコθＣで７５分加熱してゼラチン膜を
硬化させた。

酢酸でｐＨをダに調整した１力ヤノールイエローｗｒａ
ｐ　（日本化薬■ｆｆ）（カヤノールは日本化薬■の商
品名）の約Ｏ，ｔＳ水溶液中Ｋｔｓ℃、１分間浸漬し染
色処理して被染色層を形成した。

次いで平担化層と同じ組成の感光性組成物を膜厚がＯ，
Ｓμとなるようにスピンコーティング塗布し、平担化層
の場合と同様に露光、現像、熱キュ了して透明でかつボ
ンディング−パッド部などの加工がなされた耐染色性絶
縁層を形成した。

次いで、この耐染色性絶縁層上に、前述と同様にしてゼ
ラチン−重クロム酸アンモニウム層を形成し、前述と同
様に露光、現像した後、酢酸でｐＨをダに調整した亀ダ
イアクロンターキスブルーＧＦ＃　（三菱化成工業■製
）（グイアクロンは三菱化成工業■の登録商標）の約０
．３係水溶液でｔＳＣ１１分間染色処理して被染色層を
形成した。

次いで、保護膜として平担化層と同じ感光性組成物を膜
厚０．ｊμとなるようにスピンコーチインクによシ塗布
して前記と同様の条件にて露光、現像してボンディング
・パッド部等の加工のなされた透明な表面層を形成しカ
ラーフィルターが直付された固体カラー撮像素子を得た
。

〔発明の効果〕

このように本発明の組成物によれば耐染色性に優れ、基
板及び染色層との接着性、可視、近紫外線に対する無色
透明性等が良好で、しかも可視光線、近紫外光線を用い
て加工可能な耐染色性絶縁層を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第７図（畠）〒（ｊ）は直付型カラーフィルターの製造
工程の一例を示す説明図である。 図中ｌはシリコンウェハー、コは光検知部、３は保護膜
、４！−は平担化層、ｊは被染色層、６はマスク、７は
耐染色性絶縁層、ｔはボンディング・パッド、ｔは被染
色層、ｉｏは表面層を表わす。 第　１　図 第　１　図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）少くとも、下記式（ I ）及び（II） ▲数式、化学式、表等があります▼（ I ）▲数式、化
   学式、表等があります▼（II） （式中、Ｒ＾１及びＲ＾２は水素原子又はメチル基を表
   わし、Ｒ＾３は水素原子又はフェニル基を表わし、Ｒ＾
   ４は水素原子、フェニル基又はシアノ基を表わし、Ｒ＾
   ５およびＲ＾６は水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基又
   はメトキシ基を表わす。）で表わされる繰返し単位を有
   するポリマーと増感剤を含む感光性組成物であつて、該
   ポリマーが下記式（III）および下記式（IV）で表わさ
   れる化合物を反応系内の酸濃度が１×１０＾−＾３ｍｏ
   ｌ／ｌ以下の条件下に重合して得られるものであること
   を特徴とする感光性組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼（III）▲数式、化
   学式、表等があります▼（IV） （式中、Ｒ＾１〜Ｒ＾８は前記と同義を表わす。）
2. （２）酸が、下記式（Ｖ）で表わされるものである特許
   請求の範囲第１項記載の感光性組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼（Ｖ） （式中、Ｒ＾３〜Ｒ＾６は前記と同義を表わす。）
3. （３）式（IV）で表わされる化合物が、下記式（VI）お
   よび下記式（VII）で表わされる化合物を反応させ、次
   いで、多孔質無機担体により精製処理することによつて
   得られたものである特許請求の範囲第１項記載の感光性
   組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼（VI）▲数式、化学
   式、表等があります▼（VII） （式中、Ｒ＾２〜Ｒ＾６は前記と同義を表わし、Ｘはハ
   ロゲン原子を表わす。）