JPS6252930A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、ＬＳｌ、ＶＬＳＩ等の半導体デバイスをｙｊ
造する装置に関し、特に、装置の動作に関するコマンド
やパラメータを音声により入力して、ニー１１が装置を
容易に操作できるようにした半導体製造装置に関する。

［発明の背景］ 半導体集積回路の集積度の向上に伴い、半導体製造装置
の高機能化や高性能化が計られている。

これらの高機能化や高性能化に伴ってこの種の装置を動
作させる際のコマンドおよびパラメータも非常に増加し
てきた。これら数多くのコマンドおよびパラメータはそ
れぞれ半導体製造装置の動作を制御する上で重要な役割
を果たすものであり、装置の機能を最大限利用する場合
に欠くことができないものである。

ところが、その数が多いことから装置を操作するエンジ
ニアやオペレータ等がそれらすべてのコマンド等を記憶
することは全く不可能である。特に、オペレータは半導
体製造装置について主に日常の動作開始および停止の操
作を行なうために配置されている者であり、すべてのコ
マンド等を記憶することは不必要といえる。すなわち、
すべてのコマンドおよびパラメータにより装置を操作す
るのは、元来、熟練者であるエンジニアの仕事であり、
オペレータが日常、操作するパラメータはごく一部のも
ののみで充分である。以上のような事情から、例えば、
オペレータが日常使用するコマンド以外のコマンドを使
用するような場合には、電気な記憶に頼るため、所望の
ものとは異なるコマンドを入力してしまうという誤操作
がかなりあった。

通常、これらの誤操作を防止するためには、オペレータ
等のユーザは熟練者に聞いたりマニュアル等に頼らざる
を得ない状況にある。これは、装置の操作上非常に不便
である。例えば、装置を操作する際にコンソールの前で
オペレータがマニュアルを調べながらコマンドを入力す
るような場面がまま見られる。そのような場合、オペレ
ータの入力速度は極めて遅くなり、結果として、装置の
スループットを落としたりオペレータがコンソールでの
操作に集中できずに入力間違いも多くなる。

特に、コマンドやパラメータは１〜３文字程度の略称と
なっていたりコード化されている場合が多く、そのよう
な場合は、さらに誤操作が多くなるという欠点があった
。

［発明の目的］ 本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、オペレータ等が
装置のコマンドや動作パラメータを入力する際の誤操作
を防止し、所望の操作を確実に行なうことのできる半導
体製造装置を提供することを目的とする。

〔実施例の説明〕

以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
を示す。同図において、１は集積回路パターンを備えた
マスクで、弛にマスクアライメントマークやマスク・ウ
ェハ・アライメントマークを備えている。２はマスクス
テージで、マスク１を保持してマスク１を平面内（ＸＹ
方向）及び回転方向（θ方向）に移動させる。３は縮小
投影レンズ、４は感光層を備えるウェハで、マスク・ウ
ェハ・アライメントマークとテレビ・ウェハアライメン
トマークを備えている。５はウェハステージである。ウ
ェハステージ５はウェハ４を保持してそれを平面内及び
回転方向に移動させるものであり、またウェハ焼付位置
（投影野内）とテレビ・ウェハアライメント位置間を移
動する。６はテレビ・ウェハアライメント用検知装置の
対物レンズ、７は撮像管または固体影像素子、８は装置
にオペレータの音声により指令を与えるためのマイク等
の音声入力装置、９は双眼ユニットで、投影レンズ３を
介してウェハ４の表面を観察するために役立つ。１０は
照明光学系およびマスク・ウェハ・アライメント用の検
知装置を収容する上部ユニットである。１１は投影露光
装置本体に指令を与えるコンソールのモニタ受像機（コ
ンソールＣＲＴ）、１２は装置に指令を与えたりパラメ
ータを入力するキーボードである。

第２図は、第１図の投影露光装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、２１は装置全体の制
御を司る本体ＣＰＵで、マイクロコンピュータまたはミ
ニコンピユータ等の中央演算処理装置、音声認識装置等
からなる。２２はウェハステージ駆動装置、２３はアラ
イメント検出系、２４はレチクルステージ駆動装置、２
５は照明系、２６はシャッタ駆動装置、２７はフォーカ
ス検出系、２８はＺ駆動装置で、これらは、本体ｃ　ｐ
　Ｕ　２１により制御される。２９は搬送系である。

３０はコンソールユニットで、本体ＣＰ　Ｕ　２１にこ
の露光装置の動作に関する各種の指令やパラメータを与
えるためのものである。３１はコンソールＣＰＵ、３２
はパラメータ等を記憶する外部メモリである。なお、Ｃ
ＲＴｌｌおよびキーボード１２は第１図のものと同一で
ある。

第３図は、コマンドをグループ化した様子を示す階層図
である。同図において、最下層は実行コマンドである。

コマンド入力待ち状態においてこれらのコマンドを入力
すると、装置はそのコマンドに従った動作を行なう。実
行コマンドはいくつかまとめてグループ化し、中段に示
すようなグループ名を付している。１つの実行コマンド
が複数のグループに含まれることとしてもよい。

次に、第４図のフローチャートおよび第５ａ〜５ｅ図の
表示画面例を参照しながら、第１図および第２図に示す
装置においてコマンドのグループを定義する際の動作を
説明する。

この装置においては、電源投入後の初期化を終了したと
き等にコマンド待ち状態となる。つまり、］ンソールＣ
Ｐ　Ｕ　３１は音声入力装置８またはキーボード１２に
おける入力操作を侍曙し、本体ＣＰＵ２１はコンソール
ｃ　ｐ　Ｕ　３１からの通信持ち状態となる。そして、
この状態でコマンドのグループ定義のためのコマンド（
例えばＧＤ）が入力されると、コンソールＣＰ　Ｕ　３
１の制御のもとに以下のグループ定義処理を開始する。

なお、ここでは予め定義しであるグループに新たな実行
コマンドをメンバとして登録する場合について説明する
。グループを新たに定義するのか、または、予め存在す
るグループの定義を変更するのかについての区別はグル
ープ定義コマンドを入力するときに行なう。例えば、上
記のコマンドＧＤをグループ名のパラメータ例えばＡＡ
を付与してｒＧＤ　　ＡＡＪと音声入力したとぎ、その
グループＡＡの定義の変更とし、パラメータ無しで音声
入力したとき、新たなグループの定義とすればよい。

グループ定義処理においては、まず、処理するグループ
の名称、パスワード等をＣＲＴｌｌに表示する（ステッ
プＳｌ）。このときの画面表示は第５ａ図に示すような
ものである。また、これらのデータは外部メモリ３２に
記憶されている。ここでは、グループ名がｒＡＡＪ　、
パスワードが［ＣａｎｏｎＪ　、　］メントが「ＭＯＳ
」、メンバがｒＯｃＪ、ｒＷＡＪおよびｒＲＣＪである
。各メンバにはそれぞれコメントが付与されている。下
段の［３ｅｌｅｃｔ　　Ｎｏ、　　ｏｒ　　Ｅｎｄｊは
プロンプトメツセージであり、どの項目を変更するか、
あるいはグループ定義処理を終了するかについての入力
を促している（ステップ８２）。ここで、それぞれの項
目に付されているナンバを音声入力することでそれらを
変更することができる。例えば、「１」を音声入力する
とステップＳ３およびＳ４においてグループ名の変更が
可能である。パスワードおよびコメントについても同様
にステップ８５〜＄８で変更できる。第５ａ図の画面で
はメンバについて処理するため「４」を音声入力してい
る（ステップ８９）。すると、画面は第５ｂ図に示すよ
うなものとなる。この画面では、グループに関する定義
情報は第５ａ図と同一だが、下段のプロンプトメツセー
ジが異なる。このメツセージ［５ｅｌｅｃｔ（０：ＡＤ
Ｄ、１　：ＤＥＬＥＴＥ、Ｅ：ＥＮＤ）Ｊはメンバを新
たに追加するのか、削除するのかまた１、１メンバの変
更処理を終了するのかについての人力を促している（ス
テップ３１０）。この入力後は追加、削除または終了の
別を判別し、追加のときはステップ３１１およびＳ１２
、削除のときはステップ８１３およびＳ１４でそれぞれ
の処理を行なう。

第５ｂ図の画面ではメンバの追加を示す「○」を音声入
力している（ステップ５１１）。この入力により画面は
第５Ｃ図に示すようなものとなる。下段にはｒＡＤＤ（
４）Ｊとメツセージが表示され、４番目のメンバの追加
処理を行なっている旨を示している。ここで同図のよう
に、ｒ　ＲＡ　：　ＣｏｍｍｅｎｔＤＪを新たなメンバ
として音声入力すると、両面は第５ｄ図のようになり、
新規メンバが追加登録される（ステップ５１２）。その
後、シーケンスはステップＳ１０に戻り、再びメンバの
変更処理を続行することができる。メンバ変更処理を終
了する場合は、ステップ８１０の入力において、すなわ
ち第５ｄ図の画面においてｒＥＪを音声入力しくステッ
プ５１５）、ステップＳ２に戻る。グループの定義処理
を終了する場合は、ステップＳ２において、第５ｅ図の
ようにｒＥＪを音声入力する（ステップ８１６）。これ
により、グループの各種定義データは外部メモリ３２に
記憶される。

次に、第６図のフローチャートおよび第７図の表示画面
例を参照しながら、第１図および第２図に示す装置にお
けるコマンド入力の動作を説明する。

まず、コマンド入力待ち状態からコマンドがマイク８に
より音声入力されると（ステップ５２１）、実行レベル
のコマンドかどうかを判別する（ステップ５２２）。も
し、・実行レベルのコマンドのときは、その入力された
実行コマンドに応じた処理を実行する。実行レベルのコ
マンドでない場合は、グループ名かどうかを判別しくス
テップ５２３）、グループ名でもないときはエラーを表
示しくステップ５２４）、再びコマンド入力持ちの状態
に戻る（ステップ５２１）。ステップ８２３でグループ
名の場合は、グループを構成する実行レベルコマンド等
のグループのデータを外部メモリ３２から読み出しＣＲ
Ｔｌｌに一覧表示する（ステップ５２５）。このときの
画面は第７図のようなものである。同図において、画面
の上段にはコマンド入カニリアがあり、グループ名とし
てｒＡＡＪが入力されている。中段には、それに対応し
てグループ名ＡＡを構成するすべてのコマンドがコメン
トとともに表示されている。このコメントによりコマン
ドの動作の概要を知ることができる。その後は、画面を
見て実行コマンドをマイク８により音声入力すればよい
（ステップ５２６）。例えば、ｒＡＡＪは「ニー」、「
ニー」と発声すればよい。

なお、ここでは実行コマンドの入力を略称で行なうよう
にしているが、第７図に示す一覧表示においてコマンド
にナンバを付しておき、そのナンバを音声入力すること
により実行コマンドと同様な機能を実行するようにもで
きる。

前述したように、本実施例の投影露光装置においては、
実行レベルのコマンドのグループをユーザが自由に定義
できる。また、１つの実行コマンドが複数のグループの
構成要素となることもできるし、グループの名称も自由
に付与できる。従って、例えば実行コマンドの機能別、
名称別、使用者別等のさまざまな分は方でグループ化を
行なっておけば、不明瞭なコマンドを検索する上で非常
に効果がある。すなわち、ユーザが装置の操作途中で入
力したい所望のコマンドが不明になったときには、いろ
いろなグループ名でコマンドの確認が行なえるため、装
置の誤操作を防止することができる。また、これらのコ
マンドの確認はユーザがコンソールをそのまま使用して
行なえ、かつ音声入力装置も併用するので、ユーザはコ
ンソールに対する一連の操作の流れをマニュアルを参照
する等でときらせることなく、コンソールに集中したま
ま操作を続行することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、半導体製造装置
において、コマンドを音声入力して実行するようにして
いるので、オペレータ等がコマンドやパラメータを入力
する際の誤操作を防止し、所望の操作を確実に行なうこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
図、 第２図は、上記実施例の投影露光装置の制御回路を示す
ブロック図、 第３図は、コマンドをグループ化した様子を示す階層図
、 第４図は、上記実施例においてコマンドのグループを定
義する際の動作および作用を説明するためのフローチャ
ート、 第５図は、上記実施例においてコマンドのグループを定
義する際の表示画面例、 第６図は、上記実施例においてコマンド入力する際の動
作および作用を説明するためのフローチャート、 第７図は、上記実施例においてコマンド入力する際の表
示画面例である。 ８・・・音声入力装置、　１１・・・モニタ用ＣＲＴ、
１２・・・キーボード、　　２１・・・本体ＣＰＵ、３
０・・・コンソール、　　３１・・・コンソールＣＰＵ
、３２・・・外部メモリ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、多数のコマンドに従つて動作する半導体製造装置で
   あって、該コマンドを音声入力手段から入力して実行す
   る手段を有することを特徴とする半導体製造装置。 ２、前記動作が露光動作である特許請求の範囲第１項記
   載の半導体製造装置。