JPS624540A - テ−ブル機構 - Google Patents
テ−ブル機構Info
- Publication number
- JPS624540A JPS624540A JP60145113A JP14511385A JPS624540A JP S624540 A JPS624540 A JP S624540A JP 60145113 A JP60145113 A JP 60145113A JP 14511385 A JP14511385 A JP 14511385A JP S624540 A JPS624540 A JP S624540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- bed
- guide surface
- fluid
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S409/00—Gear cutting, milling, or planing
- Y10S409/904—Gear cutting, milling, or planing with hydrostatic bearing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
- Y10T409/30—Milling
- Y10T409/30868—Work support
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
°〔産業上の利用分野〕
本発明は、超精密な工作機械や半導体関連製造装置等、
特に半導体ウェハ基板の表面研削仕上げ磁気ヘッドの研
削加工、レンズ加工機に用い、位置決め制御を必要とす
るテーブル機構に関するものである。
特に半導体ウェハ基板の表面研削仕上げ磁気ヘッドの研
削加工、レンズ加工機に用い、位置決め制御を必要とす
るテーブル機構に関するものである。
一般的に直線移動するテーブル機構には下記のような方
式がある。■支持台に軸架した送りねじの回転で・テー
ブルに固着したナツトを介してテーブルを移動する方式
、■支持台に具設したビニオンと、テーブル側に敷設し
たランクを噛合し、ビニオンを駆動してテーブルを移動
する方式、■支持台上処摺動したテーブルを、支持台に
連設したワイヤーに張力を与えてテーブルを移動する方
式。
式がある。■支持台に軸架した送りねじの回転で・テー
ブルに固着したナツトを介してテーブルを移動する方式
、■支持台に具設したビニオンと、テーブル側に敷設し
たランクを噛合し、ビニオンを駆動してテーブルを移動
する方式、■支持台上処摺動したテーブルを、支持台に
連設したワイヤーに張力を与えてテーブルを移動する方
式。
■の送りねじ(普通ねじ、ボールねじ)機構はテーブル
案内面と送りねじとの取付誤差、ねじの自重によるたわ
み、ねじの振れ回りによる外乱がナンドを介してテーブ
ルに作用するが、特に前記の半導体ウェハ、磁気ヘッド
、レツズのような硬7脆材の被加工物ではテーブルに振
動などが発生すると、例えば微振動でチッピングを生じ
たりして加工精度に悪影響を与える。■のラック&ビ=
オ 1ン方式は、ラックとビニオンの噛み合いによって
移動方向と直角な方向に力が発生するために加工精度に
悪影響を与える。■のワイヤ一方式は、前記三方式のよ
うな外乱を生じないが、ワイヤーに伸びを生じるため、
駆動系剛性が低(なる。
案内面と送りねじとの取付誤差、ねじの自重によるたわ
み、ねじの振れ回りによる外乱がナンドを介してテーブ
ルに作用するが、特に前記の半導体ウェハ、磁気ヘッド
、レツズのような硬7脆材の被加工物ではテーブルに振
動などが発生すると、例えば微振動でチッピングを生じ
たりして加工精度に悪影響を与える。■のラック&ビ=
オ 1ン方式は、ラックとビニオンの噛み合いによって
移動方向と直角な方向に力が発生するために加工精度に
悪影響を与える。■のワイヤ一方式は、前記三方式のよ
うな外乱を生じないが、ワイヤーに伸びを生じるため、
駆動系剛性が低(なる。
本発明の目的は、上記の点を考慮して、送りねじ系の誤
差の影響を受けず、高精度に位置決めを行なうと共に、
テーブルの摺動方向の駆動力伝達に静圧流体を用いて、
非接触にテーブルを駆動しその上、テーブル剛性を高め
得るように構成したテーブル機構を提供することにある
。
差の影響を受けず、高精度に位置決めを行なうと共に、
テーブルの摺動方向の駆動力伝達に静圧流体を用いて、
非接触にテーブルを駆動しその上、テーブル剛性を高め
得るように構成したテーブル機構を提供することにある
。
本発明の構成は、送りねじと螺合するナツトを固着し、
ベッドと該ベッド上に形成された案内板に係合案内され
て摺動可能に載置された第1テーブルと、該第1テーブ
ルの案内面に係合案内されて摺動可能に載置された第2
テーブルから成る。
ベッドと該ベッド上に形成された案内板に係合案内され
て摺動可能に載置された第1テーブルと、該第1テーブ
ルの案内面に係合案内されて摺動可能に載置された第2
テーブルから成る。
前記第1テーブルと第2テーブルには、摺動方向に直交
する各々下面張出部と水平面張出部の対向面に複数個の
静圧パッドから成る静圧支持部を有し前記水平面張出部
の対向する静圧支持部のうち、ベッド側の静圧支持力を
除去することで案内板側の静圧支持力により、第1テー
ブルと第2テーブルを各々単独にベッドに圧接させて固
定する第゛1テーブルは駆動モータに連動する前記送り
ねじに螺合するナツトを介して直進し、第2テーブルは
第1テーブルとの対向面に設けた円環形状の静圧パッド
から成る静圧支持部によりて摺動方向に駆動する。併せ
て第゛1テーブルの水平面張出部のベッド側の静圧支持
力を除去し、案内板側の静圧支持力により第1テーブル
をベッドに圧接させて固定し、第2テーブルの水平面張
出部のベッド側の静圧支持力は第2テーブルとベッドの
間に静摩擦力を発生しない最小油膜が確保できる程度で
案内板側の静圧支持力が作用して、低い静圧力で第2テ
ーブルを支持し、第2テーブルは第1テーブルとの静圧
支持部の隙間を検出する検出手段からの検出信号によっ
て該静圧支持部に差圧を供給して、第2テーブルを微少
位置決めするように構成したものである。
する各々下面張出部と水平面張出部の対向面に複数個の
静圧パッドから成る静圧支持部を有し前記水平面張出部
の対向する静圧支持部のうち、ベッド側の静圧支持力を
除去することで案内板側の静圧支持力により、第1テー
ブルと第2テーブルを各々単独にベッドに圧接させて固
定する第゛1テーブルは駆動モータに連動する前記送り
ねじに螺合するナツトを介して直進し、第2テーブルは
第1テーブルとの対向面に設けた円環形状の静圧パッド
から成る静圧支持部によりて摺動方向に駆動する。併せ
て第゛1テーブルの水平面張出部のベッド側の静圧支持
力を除去し、案内板側の静圧支持力により第1テーブル
をベッドに圧接させて固定し、第2テーブルの水平面張
出部のベッド側の静圧支持力は第2テーブルとベッドの
間に静摩擦力を発生しない最小油膜が確保できる程度で
案内板側の静圧支持力が作用して、低い静圧力で第2テ
ーブルを支持し、第2テーブルは第1テーブルとの静圧
支持部の隙間を検出する検出手段からの検出信号によっ
て該静圧支持部に差圧を供給して、第2テーブルを微少
位置決めするように構成したものである。
以下本発明の実施例を図面に基づいて記述する。
第1図は本発明に係るベッドと該ベッド上に設置された
案内板から成る案内部を含むテーブル機構の斜視図であ
る。1はベッド、2.3は静圧案内部、4は第2テーブ
ル、5はモータ、6および7は支持台、8は送りねじ、
10は案内板である。
案内板から成る案内部を含むテーブル機構の斜視図であ
る。1はベッド、2.3は静圧案内部、4は第2テーブ
ル、5はモータ、6および7は支持台、8は送りねじ、
10は案内板である。
第2図は第1図のベッド1および該ベッド1上に設置さ
れた案内板10を除いたテーブル機構の斜視図である。
れた案内板10を除いたテーブル機構の斜視図である。
第2テーブル4は水平面張出部4a、4b、4C14d
および下面張出部4e、4fを形成し、これらの両面に
は、各複数の静圧パッド4g、4hが配設されている。
および下面張出部4e、4fを形成し、これらの両面に
は、各複数の静圧パッド4g、4hが配設されている。
さらに前記第2テーブル4の下面は第1テーブル9を遊
嵌するための断面路コ字型の切欠部41が形成されてい
る。(詳細は後述する)。第2テーブル4は前記第1図
記載のベッド1と該ベッド1上に設置された案内板10
から成る静圧案内部2と該ベッド1上に形成された静圧
案内部乙に該第2テーブルの水平面張出部4e、4fと
係合して、矢印A方向に直進運動する。
嵌するための断面路コ字型の切欠部41が形成されてい
る。(詳細は後述する)。第2テーブル4は前記第1図
記載のベッド1と該ベッド1上に設置された案内板10
から成る静圧案内部2と該ベッド1上に形成された静圧
案内部乙に該第2テーブルの水平面張出部4e、4fと
係合して、矢印A方向に直進運動する。
第3図は第1テーブルの斜視図である。9は第1テーブ
ルで、前述の静圧案内部2および6に案内される水平面
張出部9a、9bおよび下面張出部9Cを形成し、該下
面張出部9Cの摺動方向に平行な両面にそれぞれに対応
して複数の静圧パッド9d、9eが配設されて−いる。
ルで、前述の静圧案内部2および6に案内される水平面
張出部9a、9bおよび下面張出部9Cを形成し、該下
面張出部9Cの摺動方向に平行な両面にそれぞれに対応
して複数の静圧パッド9d、9eが配設されて−いる。
該下面張出部9Cはナツト1)を固着し、該ナツト1)
は送りねじ8と螺合している。9fは摺動方向に直交す
る円環形状の静圧パッドで、裏面にも同様の静圧パッド
が設けられている。
は送りねじ8と螺合している。9fは摺動方向に直交す
る円環形状の静圧パッドで、裏面にも同様の静圧パッド
が設けられている。
以下、断面図によって本発明の実施例をさらに詳述する
。第4図は第1テーブルの摺動方向と直交する断面図で
ある。油圧ユニット12から圧送された流体が流路91
より分岐され、それぞれ絞り9hを経て静圧パッド9d
、9eへ供給される。
。第4図は第1テーブルの摺動方向と直交する断面図で
ある。油圧ユニット12から圧送された流体が流路91
より分岐され、それぞれ絞り9hを経て静圧パッド9d
、9eへ供給される。
また前記油圧ユニット12から減圧弁16を経て供給圧
力を加減可能な流体は流路9jから分岐され、絞り9h
を経て静圧パッド9gへ供給される。
力を加減可能な流体は流路9jから分岐され、絞り9h
を経て静圧パッド9gへ供給される。
ベッド1と該ベッド上に設置された案内板10より形成
された静圧案内部2および該ベッド上に形成された静圧
案内部乙には、第1テーブルの水平面張出部9a、9b
とベッド1との間に微少隙間16、該水平面張出部9a
、9bと案内板10との間に微少隙間17が設けられ、
第1テーブルの下面張出部9Cとベッド1との間に微少
隙間18が設けられて、第1テーブルは上下および左右
方向に静圧支持される。
された静圧案内部2および該ベッド上に形成された静圧
案内部乙には、第1テーブルの水平面張出部9a、9b
とベッド1との間に微少隙間16、該水平面張出部9a
、9bと案内板10との間に微少隙間17が設けられ、
第1テーブルの下面張出部9Cとベッド1との間に微少
隙間18が設けられて、第1テーブルは上下および左右
方向に静圧支持される。
第5図は第2テーブルの摺動方向と直交する断面図であ
る。第4図に前記した油圧ユニット12から圧送された
流体が流路41Iより分岐され、それぞれ絞り4nを経
て静圧パッド4g、4hK供給される。また油圧ユニッ
ト12より流体が減圧弁14を経て供給圧力を加減可能
な流体は流路4mから分岐され、絞り4nを経て静圧パ
ッド4pへ供給される。ベッド1と該ベッド1上に設置
された案内板10より形成された静圧案内部2とベッド
1上に形成された静圧案内部3には、第2テーブルの水
平面張出部4a、4b、4C14dとベッド1との間に
微少隙間19、該水平面張出部4a、4b、4C14d
と案内板10との間に微少隙間20が設けられ、第2テ
ーブルの下面張出部4eとベッド1との間に微少隙間2
1が設置られて、第2テーブルは上下および左右方向に
静圧支持される。
る。第4図に前記した油圧ユニット12から圧送された
流体が流路41Iより分岐され、それぞれ絞り4nを経
て静圧パッド4g、4hK供給される。また油圧ユニッ
ト12より流体が減圧弁14を経て供給圧力を加減可能
な流体は流路4mから分岐され、絞り4nを経て静圧パ
ッド4pへ供給される。ベッド1と該ベッド1上に設置
された案内板10より形成された静圧案内部2とベッド
1上に形成された静圧案内部3には、第2テーブルの水
平面張出部4a、4b、4C14dとベッド1との間に
微少隙間19、該水平面張出部4a、4b、4C14d
と案内板10との間に微少隙間20が設けられ、第2テ
ーブルの下面張出部4eとベッド1との間に微少隙間2
1が設置られて、第2テーブルは上下および左右方向に
静圧支持される。
第6図は軸方向の断面図である。第2テーブル4の下面
は第1テーブル9を微少隙間を設けて静圧支持で挾持す
るための下面張出部4e、4fが形成されている。4j
、4には貫通穴で、送りねじ8を遊挿する。該送りねじ
8は静圧送りねじで、ナツト1)は該送りねじ8軸上に
互いに対向させ、上記第1テーブルの端部に固着し送り
ねじ8と螺合している。該ナツト1)の静圧流体は第4
図に前記した油圧ユニット12から圧送され、管路91
より分岐し、複数個の絞り1)aを経て該送りねじ面に
供給している。なお、ねじは静圧ねじとしたが、ポール
ねじ等の他のねじを用いてもよい。
は第1テーブル9を微少隙間を設けて静圧支持で挾持す
るための下面張出部4e、4fが形成されている。4j
、4には貫通穴で、送りねじ8を遊挿する。該送りねじ
8は静圧送りねじで、ナツト1)は該送りねじ8軸上に
互いに対向させ、上記第1テーブルの端部に固着し送り
ねじ8と螺合している。該ナツト1)の静圧流体は第4
図に前記した油圧ユニット12から圧送され、管路91
より分岐し、複数個の絞り1)aを経て該送りねじ面に
供給している。なお、ねじは静圧ねじとしたが、ポール
ねじ等の他のねじを用いてもよい。
第7図は軸方向の他の断面図で、第2テーブル4と第1
テーブル9の各下面張出部4e、4f4および9Cとの
対向面に設けである静圧支持部を示す。22.23は該
対向面の微少隙間である。
テーブル9の各下面張出部4e、4f4および9Cとの
対向面に設けである静圧支持部を示す。22.23は該
対向面の微少隙間である。
第1テーブルの下面張出部9Cには摺動方向に直交した
、第2テーブルとの対向面に前記送りねじ8を同心円の
中心とする円環形状の静圧パッド9fが形成されている
。また、24.25は変位検出器、26.27は差動増
幅器、28は補償回路、29はサーボ増幅器、60はサ
ーボ弁である。
、第2テーブルとの対向面に前記送りねじ8を同心円の
中心とする円環形状の静圧パッド9fが形成されている
。また、24.25は変位検出器、26.27は差動増
幅器、28は補償回路、29はサーボ増幅器、60はサ
ーボ弁である。
該変位検出器24.25の電気信号は差動増幅器260
入力信号とし、該差動増幅器26の出力信号と制御信号
Hは差動増幅器270入力信号とし、該差動増幅器27
の出力信号は補償回路28を通り、サーボ増幅器29を
介して°サーボ弁30への制御信号として導かれる。サ
ーボ弁30は制御信号に従って差圧的に相対向する静圧
パッド9fに流体圧を与え、前述の隙間22.23を変
化させ第2テーブル4を摺動方向へ微少移動する。この
際に第4図に前述した流路9jへの供給圧をOにし、静
圧パッド9gの静圧保持力を除去すると、対向する静圧
パッド9dの静圧支持力によって第1テーブル9はベッ
ド1に圧着固定するため高い保持剛性力を有し、該第1
テーブルを基準として前述したようにサーボ弁30が制
御信号に従い相対向する静圧パッド9fに差圧的に流体
圧を加えて微少隙間22.23を変化させ、第2テープ
ルを微少移動させるのをより高剛性で高精度にできる。
入力信号とし、該差動増幅器26の出力信号と制御信号
Hは差動増幅器270入力信号とし、該差動増幅器27
の出力信号は補償回路28を通り、サーボ増幅器29を
介して°サーボ弁30への制御信号として導かれる。サ
ーボ弁30は制御信号に従って差圧的に相対向する静圧
パッド9fに流体圧を与え、前述の隙間22.23を変
化させ第2テーブル4を摺動方向へ微少移動する。この
際に第4図に前述した流路9jへの供給圧をOにし、静
圧パッド9gの静圧保持力を除去すると、対向する静圧
パッド9dの静圧支持力によって第1テーブル9はベッ
ド1に圧着固定するため高い保持剛性力を有し、該第1
テーブルを基準として前述したようにサーボ弁30が制
御信号に従い相対向する静圧パッド9fに差圧的に流体
圧を加えて微少隙間22.23を変化させ、第2テープ
ルを微少移動させるのをより高剛性で高精度にできる。
併せて第5図に前記した静圧パ・ソド4pの静圧支持力
を第2テーブル4とベッド10間に静摩擦力を発生しな
い最小油膜が確保できる程度にして、対向する静圧パッ
ド4gの静圧支持力が作用して、低い静圧力で第2テー
ブル4を支持して、第2テーブル9自体の位置決め精度
と剛性を高めることによって、さらに高精度、高剛性の
テーブル機構となる。なお、変位検出器は電気的非接触
検出器としたが、前記微少隙間を圧力で検出する圧力検
出器を用いてもよい。また、静流体は油を想定して前述
したが、静圧パッド形状を変更すれば空気の使用ももち
ろん可能である。
を第2テーブル4とベッド10間に静摩擦力を発生しな
い最小油膜が確保できる程度にして、対向する静圧パッ
ド4gの静圧支持力が作用して、低い静圧力で第2テー
ブル4を支持して、第2テーブル9自体の位置決め精度
と剛性を高めることによって、さらに高精度、高剛性の
テーブル機構となる。なお、変位検出器は電気的非接触
検出器としたが、前記微少隙間を圧力で検出する圧力検
出器を用いてもよい。また、静流体は油を想定して前述
したが、静圧パッド形状を変更すれば空気の使用ももち
ろん可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば制御装
置(図示せず)により、第2テーブルに所要の送り指令
されると、まず粗送りとしてモータ、送りねじの回動が
行なわれ、第1テーブルをナツトを介して軸方向に移動
させ、該第1テーブルと第2テーブルの間の静圧支持力
による結合によって、第2テーブルは軸方向の推力のみ
を受けて、テーブル案内面と送りねじの加工、組立等の
誤差、送りねじの回動による振れ回りによる外乱が第2
テーブルに伝達されることはなく直線性の高いテーブル
機構となる。該第1テーブルと第2テーブル間の静圧支
持力による結合を円環形状の静圧パッドで構成すれば、
複数の分割された静圧パッドに比べてモーメント力に対
する復元力が弱いために外乱を第2テーブルに伝達しな
い効果がある。粗位置決め終了後、該第1テーブルの水
平面張出部の相対向する静圧支持力のうち一方の静圧支
持力を除去し、他方の静圧支持力により第1テーブルを
ベッドに圧接させて固定し、大きな保持剛性力を有する
。次に該第1テーブルを位置基準として、第1テーブル
と第2テーブル間の静圧支持力による結合の相対向する
静圧パッドに制御信号に従いサーボ弁が差圧を供給し、
第2テーブルを微少移動をさせ、高い位置決め精度を補
償すると共K、高剛性を維持する。又送りねじと螺合す
るナツトと係合する第1テーブルと、該第1テーブルに
よって駆動する第2テーブルは、ベッドと該ベッド上に
形成された同一の案内面に係合案内されるため、構造が
簡単となる。従って超精密工作機械や測定器、その他生
塵システム等、多くの分野で極めて高い有効性を発揮す
るなどの効果がある。
置(図示せず)により、第2テーブルに所要の送り指令
されると、まず粗送りとしてモータ、送りねじの回動が
行なわれ、第1テーブルをナツトを介して軸方向に移動
させ、該第1テーブルと第2テーブルの間の静圧支持力
による結合によって、第2テーブルは軸方向の推力のみ
を受けて、テーブル案内面と送りねじの加工、組立等の
誤差、送りねじの回動による振れ回りによる外乱が第2
テーブルに伝達されることはなく直線性の高いテーブル
機構となる。該第1テーブルと第2テーブル間の静圧支
持力による結合を円環形状の静圧パッドで構成すれば、
複数の分割された静圧パッドに比べてモーメント力に対
する復元力が弱いために外乱を第2テーブルに伝達しな
い効果がある。粗位置決め終了後、該第1テーブルの水
平面張出部の相対向する静圧支持力のうち一方の静圧支
持力を除去し、他方の静圧支持力により第1テーブルを
ベッドに圧接させて固定し、大きな保持剛性力を有する
。次に該第1テーブルを位置基準として、第1テーブル
と第2テーブル間の静圧支持力による結合の相対向する
静圧パッドに制御信号に従いサーボ弁が差圧を供給し、
第2テーブルを微少移動をさせ、高い位置決め精度を補
償すると共K、高剛性を維持する。又送りねじと螺合す
るナツトと係合する第1テーブルと、該第1テーブルに
よって駆動する第2テーブルは、ベッドと該ベッド上に
形成された同一の案内面に係合案内されるため、構造が
簡単となる。従って超精密工作機械や測定器、その他生
塵システム等、多くの分野で極めて高い有効性を発揮す
るなどの効果がある。
第1図は本発明のテーブル機構の斜視図、第2図は第1
図の案内部を除いたチー゛プル機構の斜視図、第3図は
第1テーブルの斜視図、第4図は第1テーブルの断面図
、第5図は第2テーブルの断面図、第6図は軸方向の断
面図、第7図は軸方向の他の断面図を示す。 1・・・・・・ベッド、2.3・・・・・・静圧案内部
、4・・・・・・第2テーブル、8・・・・・・送りね
じ、9・・・・・・第1テーブル。
図の案内部を除いたチー゛プル機構の斜視図、第3図は
第1テーブルの斜視図、第4図は第1テーブルの断面図
、第5図は第2テーブルの断面図、第6図は軸方向の断
面図、第7図は軸方向の他の断面図を示す。 1・・・・・・ベッド、2.3・・・・・・静圧案内部
、4・・・・・・第2テーブル、8・・・・・・送りね
じ、9・・・・・・第1テーブル。
Claims (2)
- (1)ベッドと該ベッド上に形成されて案内面に係合案
内されて摺動可能に載置された摺動テーブルを有し、送
りねじとナットによって駆動されるテーブル機構におい
て、送りねじと螺合するナットを固着し、ベッド上の案
内面に摺動可能に載置され、水平面張出部の相対向する
静圧パッドで静圧支持されている第1テーブルと、該第
1テーブルの案内面と同一の案内面に係合案内されて摺
動可能に載置される第2テーブルから成り、前記第1テ
ーブルと第2テーブル間の前後端面を静圧支持した静圧
結合部を形成し、該静圧結合部の隙間を検出する検出手
段を設け、前記第1テーブルを駆動モータに連動する前
記送りねじに螺合するナットを介して直進した後に、第
1テーブルの水平方向の相対向する静圧支持力のうち一
方の静圧支持力を除去することにより第1テーブルをベ
ッドに圧接させて固定し、第2テーブルは第1テーブル
との対向面に設けた静圧支持によって摺動方向に駆動さ
れ、かつ第2テーブルは第1テーブルとの隙間を検出す
る検出手段からの検出信号によって、前記静圧結合部の
静圧パッドに差圧を供給して、微少位置を補正すること
を特徴とするテーブル機構。 - (2)静圧結合部は円環形状の静圧パッドが形成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のテー
ブル機構。
Priority Applications (3)
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP60145113A JPS624540A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | テ−ブル機構 |
Publications (1)
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JPS624540A true JPS624540A (ja) | 1987-01-10 |
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ID=15377687
Family Applications (1)
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