JPS624540A - テ−ブル機構 - Google Patents
テ−ブル機構Info
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- JPS624540A JPS624540A JP60145113A JP14511385A JPS624540A JP S624540 A JPS624540 A JP S624540A JP 60145113 A JP60145113 A JP 60145113A JP 14511385 A JP14511385 A JP 14511385A JP S624540 A JPS624540 A JP S624540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- bed
- guide surface
- fluid
- supported
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
- B23Q1/385—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports in which the thickness of the fluid-layer is adjustable
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S409/00—Gear cutting, milling, or planing
- Y10S409/904—Gear cutting, milling, or planing with hydrostatic bearing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
- Y10T409/30—Milling
- Y10T409/30868—Work support
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
°〔産業上の利用分野〕
本発明は、超精密な工作機械や半導体関連製造装置等、
特に半導体ウェハ基板の表面研削仕上げ磁気ヘッドの研
削加工、レンズ加工機に用い、位置決め制御を必要とす
るテーブル機構に関するものである。
特に半導体ウェハ基板の表面研削仕上げ磁気ヘッドの研
削加工、レンズ加工機に用い、位置決め制御を必要とす
るテーブル機構に関するものである。
一般的に直線移動するテーブル機構には下記のような方
式がある。■支持台に軸架した送りねじの回転で・テー
ブルに固着したナツトを介してテーブルを移動する方式
、■支持台に具設したビニオンと、テーブル側に敷設し
たランクを噛合し、ビニオンを駆動してテーブルを移動
する方式、■支持台上処摺動したテーブルを、支持台に
連設したワイヤーに張力を与えてテーブルを移動する方
式。
式がある。■支持台に軸架した送りねじの回転で・テー
ブルに固着したナツトを介してテーブルを移動する方式
、■支持台に具設したビニオンと、テーブル側に敷設し
たランクを噛合し、ビニオンを駆動してテーブルを移動
する方式、■支持台上処摺動したテーブルを、支持台に
連設したワイヤーに張力を与えてテーブルを移動する方
式。
■の送りねじ（普通ねじ、ボールねじ）機構はテーブル
案内面と送りねじとの取付誤差、ねじの自重によるたわ
み、ねじの振れ回りによる外乱がナンドを介してテーブ
ルに作用するが、特に前記の半導体ウェハ、磁気ヘッド
、レツズのような硬７脆材の被加工物ではテーブルに振
動などが発生すると、例えば微振動でチッピングを生じ
たりして加工精度に悪影響を与える。■のラック＆ビ＝
オ １ン方式は、ラックとビニオンの噛み合いによって
移動方向と直角な方向に力が発生するために加工精度に
悪影響を与える。■のワイヤ一方式は、前記三方式のよ
うな外乱を生じないが、ワイヤーに伸びを生じるため、
駆動系剛性が低（なる。
案内面と送りねじとの取付誤差、ねじの自重によるたわ
み、ねじの振れ回りによる外乱がナンドを介してテーブ
ルに作用するが、特に前記の半導体ウェハ、磁気ヘッド
、レツズのような硬７脆材の被加工物ではテーブルに振
動などが発生すると、例えば微振動でチッピングを生じ
たりして加工精度に悪影響を与える。■のラック＆ビ＝
オ １ン方式は、ラックとビニオンの噛み合いによって
移動方向と直角な方向に力が発生するために加工精度に
悪影響を与える。■のワイヤ一方式は、前記三方式のよ
うな外乱を生じないが、ワイヤーに伸びを生じるため、
駆動系剛性が低（なる。
本発明の目的は、上記の点を考慮して、送りねじ系の誤
差の影響を受けず、高精度に位置決めを行なうと共に、
テーブルの摺動方向の駆動力伝達に静圧流体を用いて、
非接触にテーブルを駆動しその上、テーブル剛性を高め
得るように構成したテーブル機構を提供することにある
。
差の影響を受けず、高精度に位置決めを行なうと共に、
テーブルの摺動方向の駆動力伝達に静圧流体を用いて、
非接触にテーブルを駆動しその上、テーブル剛性を高め
得るように構成したテーブル機構を提供することにある
。
本発明の構成は、送りねじと螺合するナツトを固着し、
ベッドと該ベッド上に形成された案内板に係合案内され
て摺動可能に載置された第１テーブルと、該第１テーブ
ルの案内面に係合案内されて摺動可能に載置された第２
テーブルから成る。
ベッドと該ベッド上に形成された案内板に係合案内され
て摺動可能に載置された第１テーブルと、該第１テーブ
ルの案内面に係合案内されて摺動可能に載置された第２
テーブルから成る。
前記第１テーブルと第２テーブルには、摺動方向に直交
する各々下面張出部と水平面張出部の対向面に複数個の
静圧パッドから成る静圧支持部を有し前記水平面張出部
の対向する静圧支持部のうち、ベッド側の静圧支持力を
除去することで案内板側の静圧支持力により、第１テー
ブルと第２テーブルを各々単独にベッドに圧接させて固
定する第゛１テーブルは駆動モータに連動する前記送り
ねじに螺合するナツトを介して直進し、第２テーブルは
第１テーブルとの対向面に設けた円環形状の静圧パッド
から成る静圧支持部によりて摺動方向に駆動する。併せ
て第゛１テーブルの水平面張出部のベッド側の静圧支持
力を除去し、案内板側の静圧支持力により第１テーブル
をベッドに圧接させて固定し、第２テーブルの水平面張
出部のベッド側の静圧支持力は第２テーブルとベッドの
間に静摩擦力を発生しない最小油膜が確保できる程度で
案内板側の静圧支持力が作用して、低い静圧力で第２テ
ーブルを支持し、第２テーブルは第１テーブルとの静圧
支持部の隙間を検出する検出手段からの検出信号によっ
て該静圧支持部に差圧を供給して、第２テーブルを微少
位置決めするように構成したものである。
する各々下面張出部と水平面張出部の対向面に複数個の
静圧パッドから成る静圧支持部を有し前記水平面張出部
の対向する静圧支持部のうち、ベッド側の静圧支持力を
除去することで案内板側の静圧支持力により、第１テー
ブルと第２テーブルを各々単独にベッドに圧接させて固
定する第゛１テーブルは駆動モータに連動する前記送り
ねじに螺合するナツトを介して直進し、第２テーブルは
第１テーブルとの対向面に設けた円環形状の静圧パッド
から成る静圧支持部によりて摺動方向に駆動する。併せ
て第゛１テーブルの水平面張出部のベッド側の静圧支持
力を除去し、案内板側の静圧支持力により第１テーブル
をベッドに圧接させて固定し、第２テーブルの水平面張
出部のベッド側の静圧支持力は第２テーブルとベッドの
間に静摩擦力を発生しない最小油膜が確保できる程度で
案内板側の静圧支持力が作用して、低い静圧力で第２テ
ーブルを支持し、第２テーブルは第１テーブルとの静圧
支持部の隙間を検出する検出手段からの検出信号によっ
て該静圧支持部に差圧を供給して、第２テーブルを微少
位置決めするように構成したものである。
以下本発明の実施例を図面に基づいて記述する。
第１図は本発明に係るベッドと該ベッド上に設置された
案内板から成る案内部を含むテーブル機構の斜視図であ
る。１はベッド、２．３は静圧案内部、４は第２テーブ
ル、５はモータ、６および７は支持台、８は送りねじ、
１０は案内板である。
案内板から成る案内部を含むテーブル機構の斜視図であ
る。１はベッド、２．３は静圧案内部、４は第２テーブ
ル、５はモータ、６および７は支持台、８は送りねじ、
１０は案内板である。
第２図は第１図のベッド１および該ベッド１上に設置さ
れた案内板１０を除いたテーブル機構の斜視図である。
れた案内板１０を除いたテーブル機構の斜視図である。
第２テーブル４は水平面張出部４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄ
および下面張出部４ｅ、４ｆを形成し、これらの両面に
は、各複数の静圧パッド４ｇ、４ｈが配設されている。
および下面張出部４ｅ、４ｆを形成し、これらの両面に
は、各複数の静圧パッド４ｇ、４ｈが配設されている。
さらに前記第２テーブル４の下面は第１テーブル９を遊
嵌するための断面路コ字型の切欠部４１が形成されてい
る。（詳細は後述する）。第２テーブル４は前記第１図
記載のベッド１と該ベッド１上に設置された案内板１０
から成る静圧案内部２と該ベッド１上に形成された静圧
案内部乙に該第２テーブルの水平面張出部４ｅ、４ｆと
係合して、矢印Ａ方向に直進運動する。
嵌するための断面路コ字型の切欠部４１が形成されてい
る。（詳細は後述する）。第２テーブル４は前記第１図
記載のベッド１と該ベッド１上に設置された案内板１０
から成る静圧案内部２と該ベッド１上に形成された静圧
案内部乙に該第２テーブルの水平面張出部４ｅ、４ｆと
係合して、矢印Ａ方向に直進運動する。
第３図は第１テーブルの斜視図である。９は第１テーブ
ルで、前述の静圧案内部２および６に案内される水平面
張出部９ａ、９ｂおよび下面張出部９Ｃを形成し、該下
面張出部９Ｃの摺動方向に平行な両面にそれぞれに対応
して複数の静圧パッド９ｄ、９ｅが配設されて−いる。
ルで、前述の静圧案内部２および６に案内される水平面
張出部９ａ、９ｂおよび下面張出部９Ｃを形成し、該下
面張出部９Ｃの摺動方向に平行な両面にそれぞれに対応
して複数の静圧パッド９ｄ、９ｅが配設されて−いる。
該下面張出部９Ｃはナツト１）を固着し、該ナツト１）
は送りねじ８と螺合している。９ｆは摺動方向に直交す
る円環形状の静圧パッドで、裏面にも同様の静圧パッド
が設けられている。
は送りねじ８と螺合している。９ｆは摺動方向に直交す
る円環形状の静圧パッドで、裏面にも同様の静圧パッド
が設けられている。
以下、断面図によって本発明の実施例をさらに詳述する
。第４図は第１テーブルの摺動方向と直交する断面図で
ある。油圧ユニット１２から圧送された流体が流路９１
より分岐され、それぞれ絞り９ｈを経て静圧パッド９ｄ
、９ｅへ供給される。
。第４図は第１テーブルの摺動方向と直交する断面図で
ある。油圧ユニット１２から圧送された流体が流路９１
より分岐され、それぞれ絞り９ｈを経て静圧パッド９ｄ
、９ｅへ供給される。
また前記油圧ユニット１２から減圧弁１６を経て供給圧
力を加減可能な流体は流路９ｊから分岐され、絞り９ｈ
を経て静圧パッド９ｇへ供給される。
力を加減可能な流体は流路９ｊから分岐され、絞り９ｈ
を経て静圧パッド９ｇへ供給される。
ベッド１と該ベッド上に設置された案内板１０より形成
された静圧案内部２および該ベッド上に形成された静圧
案内部乙には、第１テーブルの水平面張出部９ａ、９ｂ
とベッド１との間に微少隙間１６、該水平面張出部９ａ
、９ｂと案内板１０との間に微少隙間１７が設けられ、
第１テーブルの下面張出部９Ｃとベッド１との間に微少
隙間１８が設けられて、第１テーブルは上下および左右
方向に静圧支持される。
された静圧案内部２および該ベッド上に形成された静圧
案内部乙には、第１テーブルの水平面張出部９ａ、９ｂ
とベッド１との間に微少隙間１６、該水平面張出部９ａ
、９ｂと案内板１０との間に微少隙間１７が設けられ、
第１テーブルの下面張出部９Ｃとベッド１との間に微少
隙間１８が設けられて、第１テーブルは上下および左右
方向に静圧支持される。
第５図は第２テーブルの摺動方向と直交する断面図であ
る。第４図に前記した油圧ユニット１２から圧送された
流体が流路４１Ｉより分岐され、それぞれ絞り４ｎを経
て静圧パッド４ｇ、４ｈＫ供給される。また油圧ユニッ
ト１２より流体が減圧弁１４を経て供給圧力を加減可能
な流体は流路４ｍから分岐され、絞り４ｎを経て静圧パ
ッド４ｐへ供給される。ベッド１と該ベッド１上に設置
された案内板１０より形成された静圧案内部２とベッド
１上に形成された静圧案内部３には、第２テーブルの水
平面張出部４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄとベッド１との間に
微少隙間１９、該水平面張出部４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄ
と案内板１０との間に微少隙間２０が設けられ、第２テ
ーブルの下面張出部４ｅとベッド１との間に微少隙間２
１が設置られて、第２テーブルは上下および左右方向に
静圧支持される。
る。第４図に前記した油圧ユニット１２から圧送された
流体が流路４１Ｉより分岐され、それぞれ絞り４ｎを経
て静圧パッド４ｇ、４ｈＫ供給される。また油圧ユニッ
ト１２より流体が減圧弁１４を経て供給圧力を加減可能
な流体は流路４ｍから分岐され、絞り４ｎを経て静圧パ
ッド４ｐへ供給される。ベッド１と該ベッド１上に設置
された案内板１０より形成された静圧案内部２とベッド
１上に形成された静圧案内部３には、第２テーブルの水
平面張出部４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄとベッド１との間に
微少隙間１９、該水平面張出部４ａ、４ｂ、４Ｃ１４ｄ
と案内板１０との間に微少隙間２０が設けられ、第２テ
ーブルの下面張出部４ｅとベッド１との間に微少隙間２
１が設置られて、第２テーブルは上下および左右方向に
静圧支持される。
第６図は軸方向の断面図である。第２テーブル４の下面
は第１テーブル９を微少隙間を設けて静圧支持で挾持す
るための下面張出部４ｅ、４ｆが形成されている。４ｊ
、４には貫通穴で、送りねじ８を遊挿する。該送りねじ
８は静圧送りねじで、ナツト１）は該送りねじ８軸上に
互いに対向させ、上記第１テーブルの端部に固着し送り
ねじ８と螺合している。該ナツト１）の静圧流体は第４
図に前記した油圧ユニット１２から圧送され、管路９１
より分岐し、複数個の絞り１）ａを経て該送りねじ面に
供給している。なお、ねじは静圧ねじとしたが、ポール
ねじ等の他のねじを用いてもよい。
は第１テーブル９を微少隙間を設けて静圧支持で挾持す
るための下面張出部４ｅ、４ｆが形成されている。４ｊ
、４には貫通穴で、送りねじ８を遊挿する。該送りねじ
８は静圧送りねじで、ナツト１）は該送りねじ８軸上に
互いに対向させ、上記第１テーブルの端部に固着し送り
ねじ８と螺合している。該ナツト１）の静圧流体は第４
図に前記した油圧ユニット１２から圧送され、管路９１
より分岐し、複数個の絞り１）ａを経て該送りねじ面に
供給している。なお、ねじは静圧ねじとしたが、ポール
ねじ等の他のねじを用いてもよい。
第７図は軸方向の他の断面図で、第２テーブル４と第１
テーブル９の各下面張出部４ｅ、４ｆ４および９Ｃとの
対向面に設けである静圧支持部を示す。２２．２３は該
対向面の微少隙間である。
テーブル９の各下面張出部４ｅ、４ｆ４および９Ｃとの
対向面に設けである静圧支持部を示す。２２．２３は該
対向面の微少隙間である。
第１テーブルの下面張出部９Ｃには摺動方向に直交した
、第２テーブルとの対向面に前記送りねじ８を同心円の
中心とする円環形状の静圧パッド９ｆが形成されている
。また、２４．２５は変位検出器、２６．２７は差動増
幅器、２８は補償回路、２９はサーボ増幅器、６０はサ
ーボ弁である。
、第２テーブルとの対向面に前記送りねじ８を同心円の
中心とする円環形状の静圧パッド９ｆが形成されている
。また、２４．２５は変位検出器、２６．２７は差動増
幅器、２８は補償回路、２９はサーボ増幅器、６０はサ
ーボ弁である。
該変位検出器２４．２５の電気信号は差動増幅器２６０
入力信号とし、該差動増幅器２６の出力信号と制御信号
Ｈは差動増幅器２７０入力信号とし、該差動増幅器２７
の出力信号は補償回路２８を通り、サーボ増幅器２９を
介して°サーボ弁３０への制御信号として導かれる。サ
ーボ弁３０は制御信号に従って差圧的に相対向する静圧
パッド９ｆに流体圧を与え、前述の隙間２２．２３を変
化させ第２テーブル４を摺動方向へ微少移動する。この
際に第４図に前述した流路９ｊへの供給圧をＯにし、静
圧パッド９ｇの静圧保持力を除去すると、対向する静圧
パッド９ｄの静圧支持力によって第１テーブル９はベッ
ド１に圧着固定するため高い保持剛性力を有し、該第１
テーブルを基準として前述したようにサーボ弁３０が制
御信号に従い相対向する静圧パッド９ｆに差圧的に流体
圧を加えて微少隙間２２．２３を変化させ、第２テープ
ルを微少移動させるのをより高剛性で高精度にできる。
入力信号とし、該差動増幅器２６の出力信号と制御信号
Ｈは差動増幅器２７０入力信号とし、該差動増幅器２７
の出力信号は補償回路２８を通り、サーボ増幅器２９を
介して°サーボ弁３０への制御信号として導かれる。サ
ーボ弁３０は制御信号に従って差圧的に相対向する静圧
パッド９ｆに流体圧を与え、前述の隙間２２．２３を変
化させ第２テーブル４を摺動方向へ微少移動する。この
際に第４図に前述した流路９ｊへの供給圧をＯにし、静
圧パッド９ｇの静圧保持力を除去すると、対向する静圧
パッド９ｄの静圧支持力によって第１テーブル９はベッ
ド１に圧着固定するため高い保持剛性力を有し、該第１
テーブルを基準として前述したようにサーボ弁３０が制
御信号に従い相対向する静圧パッド９ｆに差圧的に流体
圧を加えて微少隙間２２．２３を変化させ、第２テープ
ルを微少移動させるのをより高剛性で高精度にできる。
併せて第５図に前記した静圧パ・ソド４ｐの静圧支持力
を第２テーブル４とベッド１０間に静摩擦力を発生しな
い最小油膜が確保できる程度にして、対向する静圧パッ
ド４ｇの静圧支持力が作用して、低い静圧力で第２テー
ブル４を支持して、第２テーブル９自体の位置決め精度
と剛性を高めることによって、さらに高精度、高剛性の
テーブル機構となる。なお、変位検出器は電気的非接触
検出器としたが、前記微少隙間を圧力で検出する圧力検
出器を用いてもよい。また、静流体は油を想定して前述
したが、静圧パッド形状を変更すれば空気の使用ももち
ろん可能である。
を第２テーブル４とベッド１０間に静摩擦力を発生しな
い最小油膜が確保できる程度にして、対向する静圧パッ
ド４ｇの静圧支持力が作用して、低い静圧力で第２テー
ブル４を支持して、第２テーブル９自体の位置決め精度
と剛性を高めることによって、さらに高精度、高剛性の
テーブル機構となる。なお、変位検出器は電気的非接触
検出器としたが、前記微少隙間を圧力で検出する圧力検
出器を用いてもよい。また、静流体は油を想定して前述
したが、静圧パッド形状を変更すれば空気の使用ももち
ろん可能である。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば制御装
置（図示せず）により、第２テーブルに所要の送り指令
されると、まず粗送りとしてモータ、送りねじの回動が
行なわれ、第１テーブルをナツトを介して軸方向に移動
させ、該第１テーブルと第２テーブルの間の静圧支持力
による結合によって、第２テーブルは軸方向の推力のみ
を受けて、テーブル案内面と送りねじの加工、組立等の
誤差、送りねじの回動による振れ回りによる外乱が第２
テーブルに伝達されることはなく直線性の高いテーブル
機構となる。該第１テーブルと第２テーブル間の静圧支
持力による結合を円環形状の静圧パッドで構成すれば、
複数の分割された静圧パッドに比べてモーメント力に対
する復元力が弱いために外乱を第２テーブルに伝達しな
い効果がある。粗位置決め終了後、該第１テーブルの水
平面張出部の相対向する静圧支持力のうち一方の静圧支
持力を除去し、他方の静圧支持力により第１テーブルを
ベッドに圧接させて固定し、大きな保持剛性力を有する
。次に該第１テーブルを位置基準として、第１テーブル
と第２テーブル間の静圧支持力による結合の相対向する
静圧パッドに制御信号に従いサーボ弁が差圧を供給し、
第２テーブルを微少移動をさせ、高い位置決め精度を補
償すると共Ｋ、高剛性を維持する。又送りねじと螺合す
るナツトと係合する第１テーブルと、該第１テーブルに
よって駆動する第２テーブルは、ベッドと該ベッド上に
形成された同一の案内面に係合案内されるため、構造が
簡単となる。従って超精密工作機械や測定器、その他生
塵システム等、多くの分野で極めて高い有効性を発揮す
るなどの効果がある。
置（図示せず）により、第２テーブルに所要の送り指令
されると、まず粗送りとしてモータ、送りねじの回動が
行なわれ、第１テーブルをナツトを介して軸方向に移動
させ、該第１テーブルと第２テーブルの間の静圧支持力
による結合によって、第２テーブルは軸方向の推力のみ
を受けて、テーブル案内面と送りねじの加工、組立等の
誤差、送りねじの回動による振れ回りによる外乱が第２
テーブルに伝達されることはなく直線性の高いテーブル
機構となる。該第１テーブルと第２テーブル間の静圧支
持力による結合を円環形状の静圧パッドで構成すれば、
複数の分割された静圧パッドに比べてモーメント力に対
する復元力が弱いために外乱を第２テーブルに伝達しな
い効果がある。粗位置決め終了後、該第１テーブルの水
平面張出部の相対向する静圧支持力のうち一方の静圧支
持力を除去し、他方の静圧支持力により第１テーブルを
ベッドに圧接させて固定し、大きな保持剛性力を有する
。次に該第１テーブルを位置基準として、第１テーブル
と第２テーブル間の静圧支持力による結合の相対向する
静圧パッドに制御信号に従いサーボ弁が差圧を供給し、
第２テーブルを微少移動をさせ、高い位置決め精度を補
償すると共Ｋ、高剛性を維持する。又送りねじと螺合す
るナツトと係合する第１テーブルと、該第１テーブルに
よって駆動する第２テーブルは、ベッドと該ベッド上に
形成された同一の案内面に係合案内されるため、構造が
簡単となる。従って超精密工作機械や測定器、その他生
塵システム等、多くの分野で極めて高い有効性を発揮す
るなどの効果がある。
第１図は本発明のテーブル機構の斜視図、第２図は第１
図の案内部を除いたチー゛プル機構の斜視図、第３図は
第１テーブルの斜視図、第４図は第１テーブルの断面図
、第５図は第２テーブルの断面図、第６図は軸方向の断
面図、第７図は軸方向の他の断面図を示す。 １・・・・・・ベッド、２．３・・・・・・静圧案内部
、４・・・・・・第２テーブル、８・・・・・・送りね
じ、９・・・・・・第１テーブル。
図の案内部を除いたチー゛プル機構の斜視図、第３図は
第１テーブルの斜視図、第４図は第１テーブルの断面図
、第５図は第２テーブルの断面図、第６図は軸方向の断
面図、第７図は軸方向の他の断面図を示す。 １・・・・・・ベッド、２．３・・・・・・静圧案内部
、４・・・・・・第２テーブル、８・・・・・・送りね
じ、９・・・・・・第１テーブル。
Claims (2)
- （１）ベッドと該ベッド上に形成されて案内面に係合案
内されて摺動可能に載置された摺動テーブルを有し、送
りねじとナットによって駆動されるテーブル機構におい
て、送りねじと螺合するナットを固着し、ベッド上の案
内面に摺動可能に載置され、水平面張出部の相対向する
静圧パッドで静圧支持されている第１テーブルと、該第
１テーブルの案内面と同一の案内面に係合案内されて摺
動可能に載置される第２テーブルから成り、前記第１テ
ーブルと第２テーブル間の前後端面を静圧支持した静圧
結合部を形成し、該静圧結合部の隙間を検出する検出手
段を設け、前記第１テーブルを駆動モータに連動する前
記送りねじに螺合するナットを介して直進した後に、第
１テーブルの水平方向の相対向する静圧支持力のうち一
方の静圧支持力を除去することにより第１テーブルをベ
ッドに圧接させて固定し、第２テーブルは第１テーブル
との対向面に設けた静圧支持によって摺動方向に駆動さ
れ、かつ第２テーブルは第１テーブルとの隙間を検出す
る検出手段からの検出信号によって、前記静圧結合部の
静圧パッドに差圧を供給して、微少位置を補正すること
を特徴とするテーブル機構。 - （２）静圧結合部は円環形状の静圧パッドが形成されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のテー
ブル機構。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60145113A JPS624540A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | テ−ブル機構 |
| GB8530269A GB2177462B (en) | 1985-07-02 | 1985-12-09 | Linearly movable machine table mechanism |
| US06/807,311 US4604833A (en) | 1985-07-02 | 1985-12-10 | Table mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60145113A JPS624540A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | テ−ブル機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS624540A true JPS624540A (ja) | 1987-01-10 |
Family
ID=15377687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60145113A Pending JPS624540A (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | テ−ブル機構 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4604833A (ja) |
| JP (1) | JPS624540A (ja) |
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- 1985-12-10 US US06/807,311 patent/US4604833A/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
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| GB2177462A (en) | 1987-01-21 |
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