JPS6245109A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
- Publication number
- JPS6245109A JPS6245109A JP18414085A JP18414085A JPS6245109A JP S6245109 A JPS6245109 A JP S6245109A JP 18414085 A JP18414085 A JP 18414085A JP 18414085 A JP18414085 A JP 18414085A JP S6245109 A JPS6245109 A JP S6245109A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fork
- furnace body
- heat treatment
- cartridge
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は半導体装置等の製造における不純物拡散処理等
に使用される熱処理装置に適用して有効な技術に関する
。
に使用される熱処理装置に適用して有効な技術に関する
。
［背景技術］
イオン注入によって半導体ウェハ（以下単にウェハとい
う）に導入された不純物の活性化等を行うために、ウェ
ハを所定の流体雰囲気内で加熱する熱処理装置が知られ
ている。
う）に導入された不純物の活性化等を行うために、ウェ
ハを所定の流体雰囲気内で加熱する熱処理装置が知られ
ている。
このような熱処理装置としては、例えば一端に出入口を
備えた電気炉構造のもので、ボート状の治具にウェハを
複数枚立設した状態で炉内に搬入し、処理後に再度前記
ボートを引き戻して冶具とともにウェハを外部に搬出す
るものが広く知られている。
備えた電気炉構造のもので、ボート状の治具にウェハを
複数枚立設した状態で炉内に搬入し、処理後に再度前記
ボートを引き戻して冶具とともにウェハを外部に搬出す
るものが広く知られている。
しかし上記構造の熱処理装置では、電気炉の一方向のみ
から治具の出入を行う構造であるため、冶具内のウェハ
の収容位置によってウェハが受ける熱量が異なり、その
ために均一な処理が期待できない。また、上記の構造で
は搬入および搬出を同時に行うことができないため、処
理効率が良好でないことが本発明者によって明らかにさ
れた。
から治具の出入を行う構造であるため、冶具内のウェハ
の収容位置によってウェハが受ける熱量が異なり、その
ために均一な処理が期待できない。また、上記の構造で
は搬入および搬出を同時に行うことができないため、処
理効率が良好でないことが本発明者によって明らかにさ
れた。
そのため、特開昭５６−１１０２２８号公報、あるいは
特開昭５８−２２０４２３号公報に記載されているよう
に、炉体に対してウェハを一方向から搬入して他方向に
搬出する移送構造を存する熱処理装置が考えられる。
特開昭５８−２２０４２３号公報に記載されているよう
に、炉体に対してウェハを一方向から搬入して他方向に
搬出する移送構造を存する熱処理装置が考えられる。
ところが上記中、前者のものは炉内に延設された送りね
じのねじ溝にウェハを立設した状態で、該送りねじを回
転させることにより炉内のウェハを連続的に移動させる
構造のものであるが、ねじ部とウェハの摩擦によるウェ
ハの撰傷、あるいは発塵等を生じる場合のあることが本
発明者によって見い出された。
じのねじ溝にウェハを立設した状態で、該送りねじを回
転させることにより炉内のウェハを連続的に移動させる
構造のものであるが、ねじ部とウェハの摩擦によるウェ
ハの撰傷、あるいは発塵等を生じる場合のあることが本
発明者によって見い出された。
また、後者のものは窒素ガスなどの不活性流体の流体圧
により被処理物を搬送する構造のものであるが、搬送時
間を一定に維持管理できずに処理が不均一になるおそれ
があり、また流体とともに塵埃等の異物を炉内に巻き込
む可能性もあることが本発明者によって見い出された。
により被処理物を搬送する構造のものであるが、搬送時
間を一定に維持管理できずに処理が不均一になるおそれ
があり、また流体とともに塵埃等の異物を炉内に巻き込
む可能性もあることが本発明者によって見い出された。
このため、コンベア機構等の移送手段によって等速度で
炉内を通過させることも考えられるが、係る手段では炉
内中央の均熱領域もしくは炉内端部の非均熱領域で、と
もにウェハは等速で連続移動されるため、均熱領域での
十分な加熱を行えないことがさらに本発明者によって明
らかにされた。
炉内を通過させることも考えられるが、係る手段では炉
内中央の均熱領域もしくは炉内端部の非均熱領域で、と
もにウェハは等速で連続移動されるため、均熱領域での
十分な加熱を行えないことがさらに本発明者によって明
らかにされた。
［発明の目的］
本発明の目的は、均一な処理を行うことのできる熱処理
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
［発明の概要コ
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、炉体の一方向から他方向に被処理物を順次移
送させるとともに炉体内の均熱＄■域で被処理物を所定
時間停止させる被処理物移送機構を備えた熱処理装置構
造とすることにより、被処理物の連続的処理を可能にす
るとともに均熱領域での加熱処理を効率的に行うことが
でき、均一な処理が可能となる。
送させるとともに炉体内の均熱＄■域で被処理物を所定
時間停止させる被処理物移送機構を備えた熱処理装置構
造とすることにより、被処理物の連続的処理を可能にす
るとともに均熱領域での加熱処理を効率的に行うことが
でき、均一な処理が可能となる。
［実施例］
第１図（ａｌ〜ｆ１１は本発明の一実施例である熱処理
装置の搬送動作を順次示す説明図、第２図は熱処理装置
の全体を示す概略図、第３図は炉体の内部を示す断面図
である。
装置の搬送動作を順次示す説明図、第２図は熱処理装置
の全体を示す概略図、第３図は炉体の内部を示す断面図
である。
本実施例の熱処理装置ｌは、半導体装置の製造に用いら
れるウェハ２（第３図参照）を所定温度で加熱処理する
ためのものであり、水平方向に延設された円筒形状の炉
体３と、前記炉体３の周囲に設けられたヒータ４とを有
しており、このヒータ・１により、炉体３の内部が常に
所定の温度条件で維持されるようになっている。また、
炉体３の内部には上方に流体供給管５が配管され、該流
体供給管６には第３図に示すように複数の流体供給口５
ａが開設されており、炉体３内に窒素ガス等の流体６を
供給できるようになっている。さらに、炉体３の内側面
にはガイドレール７が軸方向と平行に延設されており、
このガイドレール７に懸架された状態で、被処理物であ
るウェハ２を複数枚収容したカートリ、ジ８が炉体３の
内部で保持される構造となっている。
れるウェハ２（第３図参照）を所定温度で加熱処理する
ためのものであり、水平方向に延設された円筒形状の炉
体３と、前記炉体３の周囲に設けられたヒータ４とを有
しており、このヒータ・１により、炉体３の内部が常に
所定の温度条件で維持されるようになっている。また、
炉体３の内部には上方に流体供給管５が配管され、該流
体供給管６には第３図に示すように複数の流体供給口５
ａが開設されており、炉体３内に窒素ガス等の流体６を
供給できるようになっている。さらに、炉体３の内側面
にはガイドレール７が軸方向と平行に延設されており、
このガイドレール７に懸架された状態で、被処理物であ
るウェハ２を複数枚収容したカートリ、ジ８が炉体３の
内部で保持される構造となっている。
上記で説明した炉体３は、たとえば石英等からなり、直
径が１５０１−程度のウェハの処理を行うものであれば
、炉体３の内径は２００龍程度のもので十分である。
径が１５０１−程度のウェハの処理を行うものであれば
、炉体３の内径は２００龍程度のもので十分である。
またカートリッジ８は石英もしくはフッ素樹脂等の耐熱
性が良好な材質のものからなり、複数枚のウェハ２を並
列に立設支持する溝（図示せず）が形成された複数本の
支持棒８ａを、図示しない結合材で結合した構造を有し
ている。
性が良好な材質のものからなり、複数枚のウェハ２を並
列に立設支持する溝（図示せず）が形成された複数本の
支持棒８ａを、図示しない結合材で結合した構造を有し
ている。
炉体３の内部には下方に移動フォーク９が取付けられて
おり、前記カートリッジ８はこの移動フォーク９に載置
された状態で炉体３の内部を移動されるようになってい
る。該フォーク９は上下動が可能であり、所定の上段位
置、中段位置または下段位置での停止が可能となってい
る。また、前記上下動とともに、水平方向には等速度で
連続移動が可能な機構となっている。なお、前記フォー
ク９の中央部位には前記カートリッジ３個分程度の長さ
にわたって凹部９ａ（第２図）が形成されており、該凹
部９ａ上では前記フォーク９が上段位置にあるときのみ
該凹部９ａ上のカートリッジ８の移動が可能な構造とな
っている。
おり、前記カートリッジ８はこの移動フォーク９に載置
された状態で炉体３の内部を移動されるようになってい
る。該フォーク９は上下動が可能であり、所定の上段位
置、中段位置または下段位置での停止が可能となってい
る。また、前記上下動とともに、水平方向には等速度で
連続移動が可能な機構となっている。なお、前記フォー
ク９の中央部位には前記カートリッジ３個分程度の長さ
にわたって凹部９ａ（第２図）が形成されており、該凹
部９ａ上では前記フォーク９が上段位置にあるときのみ
該凹部９ａ上のカートリッジ８の移動が可能な構造とな
っている。
ここで、フォークの上下方向の位置とカートリッジの位
置関係からその機能を説明すると、下段位置にフォーク
９があるときはガイドレール７に懸架されたカートリッ
ジ８はフォーク９から離脱された状態となり、この位置
でフォーク９が水平方向に移動してもカートリッジ８は
移動しない構造となっている。また中段位置にフォーク
９があるときには前記凹部９ａ上にあるカートリッジを
除いてガイドレール７に懸架されたカートリッジの水平
方向への移動がフォーク９の移動によって可能になって
いる。さらに、上段位置にフォーク９が位置していると
きには、前記凹部９ａ上にあるカートリッジも含めて、
ガイドレール７に懸架された状態の全てのカートリッジ
が、フォーク９の移動によって移動可能となっている。
置関係からその機能を説明すると、下段位置にフォーク
９があるときはガイドレール７に懸架されたカートリッ
ジ８はフォーク９から離脱された状態となり、この位置
でフォーク９が水平方向に移動してもカートリッジ８は
移動しない構造となっている。また中段位置にフォーク
９があるときには前記凹部９ａ上にあるカートリッジを
除いてガイドレール７に懸架されたカートリッジの水平
方向への移動がフォーク９の移動によって可能になって
いる。さらに、上段位置にフォーク９が位置していると
きには、前記凹部９ａ上にあるカートリッジも含めて、
ガイドレール７に懸架された状態の全てのカートリッジ
が、フォーク９の移動によって移動可能となっている。
次に、本実施例の作用を第１図に基づいて説明する。
なお、第１図ではヒータ４によって形成される炉体３内
の均熱領域Ｒは便宜上、第一ゾーンＲ１および第二ゾー
ンＲ２とに分割しである。
の均熱領域Ｒは便宜上、第一ゾーンＲ１および第二ゾー
ンＲ２とに分割しである。
まず、ヒータ４により炉体３の内部が所定の温度条件に
加熱されると、第３図に示すように、流体供給管５の流
体供給口５ａより窒素ガスあるいはアルゴン等の流体６
が炉体３の内部に供給される。
加熱されると、第３図に示すように、流体供給管５の流
体供給口５ａより窒素ガスあるいはアルゴン等の流体６
が炉体３の内部に供給される。
このようにして、炉体３の内部が所定の雰囲気になった
状態で、第１図ｆａｔに示すように被処理物であるウェ
ハ２を複数枚立設した状態のカートリッジＡがフォーク
９上に供給される。このときフォーク９は中段位置にあ
り、この中段位置の状態のまま該フォーク９は水平方向
に移動して、ｆ２置されたカートリッジＡはヒータ４に
よる均熱領域Ｒの直前位置まで移動される（第１図（ｂ
））。次に、フォーク９は上段位置まで上昇してカート
リッジＡを載置した状態でカートリッジＡを均熱領域Ｒ
の第一ゾーンＲ１まで移動する（同図（Ｃ））。その後
、フォーク９は下段まで下降して、水平方向に復動して
さらに上昇し、中段位置となり初期の位置に戻る（同図
（ｄ））。
状態で、第１図ｆａｔに示すように被処理物であるウェ
ハ２を複数枚立設した状態のカートリッジＡがフォーク
９上に供給される。このときフォーク９は中段位置にあ
り、この中段位置の状態のまま該フォーク９は水平方向
に移動して、ｆ２置されたカートリッジＡはヒータ４に
よる均熱領域Ｒの直前位置まで移動される（第１図（ｂ
））。次に、フォーク９は上段位置まで上昇してカート
リッジＡを載置した状態でカートリッジＡを均熱領域Ｒ
の第一ゾーンＲ１まで移動する（同図（Ｃ））。その後
、フォーク９は下段まで下降して、水平方向に復動して
さらに上昇し、中段位置となり初期の位置に戻る（同図
（ｄ））。
この位置で今度は新たなカートリッジＢがフォーク上に
供給されると（同図（ｅｌ）、前記と同様にフォークの
動作によりカートリッジＢはヒータによる均熱領域の直
前位置まで移動される（同図（ｆｌ）、このとき均熱領
域Ｒの第一ゾーンＲ１にあるカートリッジＡは、フォー
ク９が中段位置で水平方向に移動してもその凹部９ａ上
のガイドレール７に懸架されており、フォーク９とは非
接触の状態であるため、その位置は移動しない。
供給されると（同図（ｅｌ）、前記と同様にフォークの
動作によりカートリッジＢはヒータによる均熱領域の直
前位置まで移動される（同図（ｆｌ）、このとき均熱領
域Ｒの第一ゾーンＲ１にあるカートリッジＡは、フォー
ク９が中段位置で水平方向に移動してもその凹部９ａ上
のガイドレール７に懸架されており、フォーク９とは非
接触の状態であるため、その位置は移動しない。
次に、フォーク９が上段に上昇して、さらに水平方向に
移動し、カートリッジＡおよびＢを移υＪする（同図（
す）、このようにして、均熱領域Ｒの直前位置に載置さ
れていたカートリッジＢは第一ゾーンＲ１に移送され、
第一ゾーンＲ１のカートリッジＡは第二ゾーンＲ２に移
送される０次に、フォークは下段に下降して前記と同じ
動作により再度初期位置に戻る（同図（ｈ））。このと
き、フォークが中段位置に戻ると、均熱領域Ｒ内のカー
トリッジＡ、Ｂのうち、第二ゾーンＲ２のカートリッジ
Ａはフォーク９と接触状態となり、一方第二ゾーンＲ２
のカートリッジＢは凹部９ａ上にあるためフォーク９と
は非接触の状態となっている。
移動し、カートリッジＡおよびＢを移υＪする（同図（
す）、このようにして、均熱領域Ｒの直前位置に載置さ
れていたカートリッジＢは第一ゾーンＲ１に移送され、
第一ゾーンＲ１のカートリッジＡは第二ゾーンＲ２に移
送される０次に、フォークは下段に下降して前記と同じ
動作により再度初期位置に戻る（同図（ｈ））。このと
き、フォークが中段位置に戻ると、均熱領域Ｒ内のカー
トリッジＡ、Ｂのうち、第二ゾーンＲ２のカートリッジ
Ａはフォーク９と接触状態となり、一方第二ゾーンＲ２
のカートリッジＢは凹部９ａ上にあるためフォーク９と
は非接触の状態となっている。
したがって、この初期位置で、さらに新たなカートリッ
ジＣが供給されてフォークが水平方向に移動すると、カ
ートリッジＡのみが炉体の外部に搬出されることになる
（同図０）〜（り）。
ジＣが供給されてフォークが水平方向に移動すると、カ
ートリッジＡのみが炉体の外部に搬出されることになる
（同図０）〜（り）。
以上のようにしてカートリッジＡ−Ｃは炉体３内を順次
移動して、該カートリッジＡ−Ｃ内に収容されたウェハ
の熱処理が完了する。
移動して、該カートリッジＡ−Ｃ内に収容されたウェハ
の熱処理が完了する。
本実施例によれば、上記の如く、各カートリッジが均熱
領域Ｒ内の各ゾーンＲ１，Ｒ２で一定時間にわたって移
動が停止された状態で熱処理される構造であるため、加
熱条件内で被処理物を等速度で連続移動させる構造の熱
処理装置に比較して、処理の均一化を効率良く実現する
ことができる。
領域Ｒ内の各ゾーンＲ１，Ｒ２で一定時間にわたって移
動が停止された状態で熱処理される構造であるため、加
熱条件内で被処理物を等速度で連続移動させる構造の熱
処理装置に比較して、処理の均一化を効率良く実現する
ことができる。
［効果］
（１）、炉体の一方向から他方向に被処理物を順次移送
させるとともに炉体内の均熱領域で被処理物を所定時間
停止させる被処理物移送機構を備えた熱処理装置構造と
することにより、被処理物の連続的処理を可能にすると
ともに均熱領域での加熱処理を効率的に行うことができ
、均一な処理を行うことができる。
させるとともに炉体内の均熱領域で被処理物を所定時間
停止させる被処理物移送機構を備えた熱処理装置構造と
することにより、被処理物の連続的処理を可能にすると
ともに均熱領域での加熱処理を効率的に行うことができ
、均一な処理を行うことができる。
（２）、前記ｆｉｌにより、被処理物として半導体ウェ
ハを使用した場合には、ウェハの歩留り番向上でき、信
頼性の高い半導体装置を効率良く提供することができる
。
ハを使用した場合には、ウェハの歩留り番向上でき、信
頼性の高い半導体装置を効率良く提供することができる
。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、ヒータとしては実施例で説明したブロックヒ
ータに限られず、ハロゲンランプ等のランプヒータを用
いたものであってもよい。
ータに限られず、ハロゲンランプ等のランプヒータを用
いたものであってもよい。
また、被処理物を移送する手段についても実施例のフォ
ーク構造に限られない。
ーク構造に限られない。
また、被処理物のみを水平（または垂直）にして移送し
てもよい。
てもよい。
［利用分野］
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその利用分野である、いわゆるウェハの加熱処理に適
用した場合について説明したが、これに限定されるもの
ではなく、他の熱処理装置に適用しても有効な技術であ
る。
をその利用分野である、いわゆるウェハの加熱処理に適
用した場合について説明したが、これに限定されるもの
ではなく、他の熱処理装置に適用しても有効な技術であ
る。
第１図（ａｌ〜（１）は本発明の一実施例である熱処理
装置の搬送動作を順次説明する図、 第２図は実施例の熱処理装置の全体を示す概略図、 第３図は実施例の熱処理装置の炉体の内部を示す断面図
である。 ｌ・・・熱処理装置、２・・・ウェハ、３・・炉体、４
・・・ヒータ、５・・・流体供給管、５ａ・・・流体供
給口、６・・・流体、７・・・ガイドレール、８・・・
カートリッジ、９・・・移動フォーク（フォーク）、Ｒ
・・・均熱領域、ＲＩ・・・第一ゾーン、Ｒ２・・・第
二ゾーン。 第 １ 図 ダ □ （１） ！＋１ Ｈ−Ｃ４ 第 １ 図 ’ （ｆ） Ｉ Ｉ １ 第 １ Ｍ 第 ２ 図
装置の搬送動作を順次説明する図、 第２図は実施例の熱処理装置の全体を示す概略図、 第３図は実施例の熱処理装置の炉体の内部を示す断面図
である。 ｌ・・・熱処理装置、２・・・ウェハ、３・・炉体、４
・・・ヒータ、５・・・流体供給管、５ａ・・・流体供
給口、６・・・流体、７・・・ガイドレール、８・・・
カートリッジ、９・・・移動フォーク（フォーク）、Ｒ
・・・均熱領域、ＲＩ・・・第一ゾーン、Ｒ２・・・第
二ゾーン。 第 １ 図 ダ □ （１） ！＋１ Ｈ−Ｃ４ 第 １ 図 ’ （ｆ） Ｉ Ｉ １ 第 １ Ｍ 第 ２ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、水平方向に延設された炉体と、前記炉体の周囲に設
けられた加熱機構とからなる熱処理装置であって、前記
炉体の一方向から他方向に被処理物を順次移送させると
ともに炉体内の均熱領域で被処理物を所定時間停止させ
る被処理物移送機構を備えてなることを特徴とする熱処
理装置。 ２、被処理物が半導体ウェハであり、かつ前記半導体ウ
ェハが複数枚の単位で治具に収容された状態で炉体内を
移送されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の熱処理装置。 ３、被処理物の移送が炉体内を上下左右方向に移動自在
に設けられたフォークによって行われることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18414085A JPS6245109A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18414085A JPS6245109A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245109A true JPS6245109A (ja) | 1987-02-27 |
Family
ID=16148068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18414085A Pending JPS6245109A (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6245109A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007307805A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体パッケージ製造装置、半導体パッケージ製造方法及び半導体パッケージ |
| JP2012009638A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Koyo Thermo System Kk | 連続拡散処理装置 |
| DE102019205212A1 (de) | 2018-04-18 | 2019-10-24 | Suzuki Motor Corporation | Automatikgetriebe |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP18414085A patent/JPS6245109A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007307805A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体パッケージ製造装置、半導体パッケージ製造方法及び半導体パッケージ |
| JP2012009638A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Koyo Thermo System Kk | 連続拡散処理装置 |
| DE102019205212A1 (de) | 2018-04-18 | 2019-10-24 | Suzuki Motor Corporation | Automatikgetriebe |
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