JPS6232526B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は一般的に放射ビーム集束装置、更に
具体的に言えば、放射ビームを記録面の様な移動
する面上に正確に焦点を合せた状態に保つ為に集
束レンズを自動的に移動させる制御装置に関す
る。

焦点誤差を表わす、光感知検出器によつて発生
された信号に応答して、レンズを自動的に位置ぎ
めする多数の方法が知られている。例えば或る種
のビデオ再生装置では、デイスクをターンテーブ
ルにのせて回転させ、デイスク面上の情報トラツ
クを対物レンズによつて正確に集束された光ビー
ムによつて走査する。情報トラツクから戻る反射
光ビームを光電池検出器に送り、そこから焦点を
保つ為にレンズの位置を変える制御信号を取出
す。大抵の場合、同じ検出器から情報信号が取出
され、デイスク上の情報トラツクに対して半径方
向に検出器の位置を調節する制御信号も取出され
る。

典型的には、この様な装置の情報トラツクは幅
が１ミクロン程度である。従つて、ビデオ・デイ
スクの直径約１ミクロンのスポツトにビームを正
確に集束することが必要である。対物レンズとデ
イスク面との間の距離が僅かでも変動すると、記
録された情報が失われる惧れがあると共に、その
結果得られる電気信号に望ましくない周波数成分
が入り込む惧れがある。

焦点制御の問題は、ビデオ・デイスク記憶装置
では尚更重要である。或る種の装置では、デイス
クの情報トラツクは、レーザ・ビームによつてデ
イスク面に形成されたピツト又は凹部の比較的一
様な続きで構成される。再生する時、デイスク面
が、読取ビームがそこを通る時、反射率の様な異
なる光学的な特性を持ち、再生の際、デイスクか
ら循環的に変化する搬送波信号を取出すことが出
来る。或る装置では、搬送波信号がビデオ番組の
源から、又はその他の或る情報源から取出された
情報信号によつて周波数変調される。情報書込み
工程を行うレーザ・ビームが正しく集束されると
共にそのエネルギを制御して、デイスク面上の凹
みとその中間のランドは、これらの凹部及びラン
ドに関連したデユーテイ・サイクルが50％になる
様に形成される様にすることが理想的である。更
に具体的に言うと、凹部の間隔並びに寸法は、デ
イスクから再生された信号が、50％の時間の間は
平均の大きさより高く、50％の時間の間は平均よ
り低くなる様にすべきである。デユーテイ・サイ
クルがこの他の値になると、再生信号に望ましく
ない高調波歪みが入り込む。勿論、書込みビーム
の焦点の制御が、この目標を達成する上で重要で
ある。ビームがいずれかの向きに焦点外れになる
と、書込みビームの幅が広くなり、50％のデユー
テイ・サイクルを保つのに必要な程大きな凹部を
形成するのに十分な強度を持たないことがある。

全般的にこういう形式の記録装置で焦点を制御
する１つの方法は、書込みビームと同じ集束レン
ズを介して、書込みレーザ・ビームによつて形成
された情報トラツクに向けられる別個の読取レー
ザ・ビームを用いることである。形成されたばか
りの情報トラツクから得られる読取ビームを焦点
検出器に送り、そこからレンズの焦点位置の誤差
を表わす電気信号を取出す。この誤差信号をレン
ズ駆動モータに帰還して、焦点位置を補正する。
或る用途に於ては満足し得るが、こういう形式の
制御装置はあまり精度がよくない。長期間で見た
場合、特にそうである。典型的には、使われる電
気部品の特性並びにレーザのエネルギ出力のドリ
フトを補償する為に、制御装置の周期的な調節の
し直しが必要であつた。この為、この発明以前に
は、周期的な調節のし直しを必要とせず、従来の
制御装置よりも一層精密な焦点制御装置に対する
かなりの要望があつた。この発明はこの要望に応
えるものである。

この発明は、デイスク記録装置の様な光学式記
録装置で読取及び書込みビームを自動的に焦点合
せする装置を提供する。全般的に同じ形式の他の
記録装置と共通に、この発明の装置は、１本又は
更に多くのビームを集束する為に記録面に対して
可動のビーム集束手段と、書込みビームを発生す
る第１の放射エネルギ源と、読取ビームを発生す
る第２の放射エネルギとを持ち、各々のビームが
集束手段を介して送出され、更に、記録面から反
射された読取ビームを受取る読取ビーム検出手段
を有する。

簡単に且つ一般的に言うと、この発明の装置
は、更に、集束手段を振動式に動かす様に結合さ
れたデイザ発振器と、読取ビーム検出手段に結合
されていて、記録され且つ再生された信号のデユ
ーテイ・サイクルの目安を発生するデユーテイ・
サイクル検出手段と、デユーテイ・サイクル検出
手段の出力並びにデイザ発振器の出力から焦点補
正信号を発生する手段とを有する。デイザ発振器
の効果は、ビームが実質的に焦点ずれになつてい
る場合、デユーテイ・サイクルをデイザ周波数で
変えることである。更に、デユーテイ・サイクル
の変化の位相は、ビームが焦点外れになつた向き
に関係する。更に具体的に言うと、デイザ発振器
が、ビームが一方の方向に焦点外れになつた時に
は、デユーテイ・サイクルに同相の変化を生じ、
ビームが反対向きに焦点外れになつた時には、デ
ユーテイ・サイクルに位相外れの変化を生ずる。
両方のビームが実質的に焦点が合つている時、デ
イザ発振器はデイザ周波数の２倍の周波数で、デ
ユーテイ・サイクルの変化を生ずる。

更に具体的に言うと、焦点補正信号を発生する
手段が、デイザ周波数及びデイザ周波数の２倍だ
けを通す様に選ばれた帯域波器と、デユーテ
イ・サイクル検出手段からの波された出力及び
デイザ発振器からの位相補償したデイザ信号出力
を掛合せる掛算器とを含む。こうして掛算器から
得られる出力が低域波器によつて更に処理さ
れ、信号の平均値を取出す。その大きさ並びに極
性が補正信号になり、これが集束手段に印加され
る。

デユーテイ・サイクルを検出することによる集
点制御の考えは、記録信号がゼロより大きく100
％より小さい或るデユーテイ・サイクルで記録さ
れている時にしか用いることが出来ないので、デ
ユーテイ・サイクルの検出が微細調節手段として
十分作用する様に保証する為、焦点の粗調節を行
う手段も設けなければならない。粗調節手段が、
焦点誤差を表わす出力を発生する焦点検出器を含
み、この出力が集束手段に帰還される。

この発明の別の面として、デユーテイ・サイク
ル検出手段の出力が書込みビームを発生する第１
の放射エネルギ源にも結合され、１実施例ではレ
ーザである源に供給されるエネルギが、ビームが
焦点が合つた状態にある時、デユーテイ・サイク
ルが50％になる様に自動的に調節される。この様
にして、記録過程を絶えず制御して、デユーテ
イ・サイクルを変えようとする種々の因子の状態
に関係なく、デユーテイ・サイクルを50％にす
る。例えば、デイスク記録装置では、情報トラツ
クの内、デイスクの中心に一層接近している部分
は、デイスクの周縁にある部分よりも一層低い記
録速度で記録される。この為、デイスク面では、
その中心の近くで凹部を形成するのが一層容易で
ある。言い方を換えると、それより高ければ凹部
が形成される様なレーザ・エネルギの閾値レベル
が、デイスクの周縁よりも、その中心に向つて低
くなる。この発明に従つて書込みレーザのエネル
ギを制御すると、記録面の移動速度に関係なく、
記録過程全体にわたつてデユーテイ・サイクルが
50％になる。

以上述べた所から、この発明が放射ビーム記録
装置の分野で重要な進歩をもたらすことが理解さ
れよう。特に、この発明は読取ビーム及び書込み
ビームを焦点の合つた状態に自動的に保つと共
に、書込みビームのエネルギを最適レベルに保つ
精密な装置を提供する。この発明のその他の面並
びに利点は、以下図面について更に詳しく説明す
る所から明らかになろう。

例として図面に示す様に、この発明は主に記録
面に情報を記録する為に放射ビームを用いる記録
装置に於ける焦点の自動的な制御に関する。この
発明はデイスク上の記録面に永久的に情報を書込
む為、並びに、このデイスクから、又はデイスク
の製造されたコピーから、情報を後で読取る為の
両方の目的の為に、レーザ・ビームを用いるデイ
スク記録装置に使うのに特に適している。こうい
う記録装置は現在ビデオ・デイスク記録の分野で
普通に用いられている。

全般的にこういう形式の記録装置は、第１図に
参照数字１０で示す回転自在のデイスクと、書込
みレーザ１２と、強度変調器１４と、集束レンズ
１６と、集束レンズをデイスクの記録面に対して
垂直に移動させる様に集束レンズに結合されたレ
ンズ駆動モータ１８とを含む。書込みレーザ１２
がレーザ・ビームを強度変調器１４に供給し、こ
の変調器がレーザのエネルギを、変調器に線２０
を介して供給される情報を担持する循環的な信号
に従つて、最大レベル及びゼロの間で変調する。
強度変調器１４は、線２０の変調信号に従つて、
ビームの強度を変える為のポツケルス・セル又は
その他の任意の装置を含んでいてよい。

図示の実施例の変調信号は、非常に周波数の高
い正弦状搬送波信号であり、これはビデオ情報信
号の様な、デイスクに記録しようとする情報信号
で周波数変調することが出来る。強度変調器で変
調した後、書込みビームが鏡２２によつて集束レ
ンズ１６及びデイスク１０の記録面へ反射され
る。典型的には、全般的にこういう形式の記録装
置では、幅１ミクロン程度の情報トラツクが使わ
れる。従つて、書込みビームの焦点制御が、この
記録装置の重要な要素である。書込みビームが、
デイスクの表面材料との相互作用により、情報ト
ラツクに沿つてピツト又は凹部を形成する。凹部
が形成される物理的な過程は、この発明にとつて
重要ではない。例えば、表面材料の燃焼を制御し
てもよい。いずれにせよ、この結果得られた情報
トラツクは、読取ビームで走査した時、反射率又
はその他の光学的な性質が変化する。

読取ビームが読取レーザ２４によつて発生さ
れ、ビーム分割器２６と、書込みビームに使われ
るのと同じ集束レンズ１６を介して、デイスク１
０に向けられる。読取ビームの一部分がデイスク
の表面から同じ通路をたどつてビーム分割器１６
に反射され、そこから焦点検出器２８に送られ
る。焦点検出器２８はデイスク上の読取並びに書
込みビームの焦点の表示並びにデイスクから反射
された読取ビームの合計エネルギ量の目安を発生
するものであれば、任意の適当な形式のものであ
つてもよい。焦点検出器２８が分割ダイオード形
であることが好ましい。

焦点検出器は２本の出力線３０，３２を持ち、
これらが差動増幅器３４の入力端子及び加算増幅
器３６の入力端子に接続される。加算増幅器が、
記録後にデイスクから読取つた、再生された周波
数変調出力情報信号を発生し、差動増幅器３４か
ら線４０に出る出力がレンズ駆動モータ１８に帰
還され、２本のビームの焦点誤差に対する粗補正
信号となる。焦点検出器２８、差動増幅器３４、
レンズ駆動器１８及びレンズ１６を含むサーボ・
ループは、自動的に焦点の粗調節を行う様に満足
に作用するが、高級記録装置にとつて希望する精
度に欠けており、更に、部品の電気的な特性の緩
やかなドリフト並びに制御装置の要素の機械的な
許容公差を補償する為に、手動調節が必要である
という別の欠点がある。

この発明では、ビームの焦点の微細制御がデイ
ザ発振器５０と、記録された情報のデユーテイ・
サイクルに対するデイザ振動の影響を測定し且つ
レンズ駆動モータ１８に印加する焦点補正信号を
発生するデユーテイ・サイクル検出器５２とを使
うことによつて行われる。更に具体的に言うと、
デイザ発振器５０が、例えば30ヘルツの振動出力
を線５４を介して加算増幅器５６に送り、そこで
デイザ信号が差動増幅器３４から線４０を介して
入る補正信号と加算されてから、レンズ駆動モー
タ１８に線５８を介して印加される。

加算増幅器３６から線３８に出る出力がデユー
テイ・サイクル検出器５２に接続され、この検出
器が出力線６０に、読取ビームによつて検出した
記録された信号の瞬時的なデユーテイ・サイクル
を表わす信号を発生する。デユーテイ・サイクル
は、信号がその平均値より低い時間の割合と定義
する。同じく、デユーテイ・サイクルは信号がそ
の平均値より高い時間の割合と定義してもよい。
然し、最初の定義の方が、こゝで説明する他の変
数の向きと合う。デユーテイ・サイクルが50％で
ある時、信号は50％の時間の間、その平均値より
低く、残り50％の時間の間、その平均値より高
い。

デユーテイ・サイクル検出器５２の細かい設計
はこの発明にとつて重要ではない。

線６０のデユーテイ・サイクル信号が帯域波
器６１に送られ、そこから掛算器６２に送られ
る。掛算器の他方の入力はデイザ発振器５０から
位相補償回路６６を介して線６４に入る。後で第
２ａ図乃至第２ｇ図について説明するが、掛算器
６２が焦点誤差を表わす出力を線６８に発生す
る。この誤差信号が更に低域波器７０によつて
処理され、デイザ周波数及びそれより高い周波数
の成分を除去し、線７２を介して加算増幅器５６
に送られ、レンズ駆動モータ１８に印加される。
やはり後で説明するが、線６０のデユーテイ・サ
イクル信号は線７４を介して書込みレーザ１２に
も送られ、書込みレーザに供給されるエネルギを
制御する。

この発明の制御装置がどの様に動作するかを理
解する為、最初に第３図にグラフで示した、デユ
ーテイ・サイクルと焦点との間の関係を検討する
ことが必要である。第３図では、焦点が横軸又は
ｘ軸にとつてあり、所望の合焦状態がｘ軸に沿つ
た０点によつて表わされている。０以外のｘ座標
は、集束レンズ１６がデイスク１０の表面に対し
て垂直方向に変位した状態を表わす。デユーテ
イ・サイクルが第３図の縦軸又はｙ軸に沿つて示
されており、原点は50％のデユーテイ・サイクル
である。実線７６で示す曲線は、書込みレーザに
一定の最大エネルギを加えた場合のデユーテイ・
サイクルと焦点との間の関係を表わす。集束装置
を説明する便宜上、集束レンズ１６がいずれかの
向きに、所望の焦点の位置から遠ざかる向きに移
動すると、デユーテイ・サイクルが下がる、即ち
50％という合焦状態のデユーテイ・サイクルの値
から減少する。その理由は、書込みビームが焦点
外れになると、その強度が減少し、記録面に、50
％のデユーテイ・サイクルを生ずるのに十分な大
きさの凹部をもはや形成出来なくなるからであ
る。この為、ビームがいずれかの向きに焦点から
外れると、デユーテイ・サイクルが下がる。

第２ａ図はデイザ発振器５０によつて発生さ
れ、集束レンズ１６を平均位置を中心としてその
上下に振動させる為にレンズ駆動器１８に印加さ
れる典型的なデイザ信号を示す。この点、上下と
言う言葉はデイスクから遠ざかる向き並びに接近
する向きを意味するものであり、必ずしも重力に
合せた意味で上下と言うものではない。第２ｂ図
は、集束レンズが適正焦点位置に対して高すぎる
位置にある時、即ち、焦点位置が第３図の原点の
右側にある時の、デユーテイ・サイクルに対する
デイザ信号の影響を示す。第３図の原点の右側の
曲線が負の勾配を持ち、集束レンズが上向きに移
動すると、デユーテイ・サイクルが減少すること
が判る。従つて、デユーテイ・サイクル検出器の
出力は第２ｂ図に示す様になり、この図で、第２
ａ図に示したもとのデイザ信号に対して180゜位
相がずれることが判る。

同様に、第３図の原点の左側の曲線は正の勾配
を持ち、集束レンズが上向きに移動すると、デユ
ーテイ・サイクルが増加することが判る。この
為、集束レンズがその合焦位置に対して低すぎる
時のデイザ信号の影響は、第２ｃ図に示す様にな
る。即ち、デユーテイ・サイクルの変化はデイザ
信号と正確に同相になる。焦点位置では、デイザ
信号により、第２ｄ図に示す様に、デユーテイ・
サイクルが２倍の周波数で振動する。これは、集
束レンズが焦点位置から上下に移動すると、デユ
ーテイ・サイクルが減少するからである。

第２ｂ図乃至第２ｄ図に示す信号が波器６１
で帯域波作用を受け、デユーテイ・サイクル信
号の定常状態成分又はゆつくりと変化する成分を
除去し、振動成分、即ち、デイザ・サイクル周波
数並びにその２倍の周波数を持つ成分だけが残
る。次に振動信号に掛算器６２でデイザ信号を乗
ずると、第２ｅ図乃至第２ｇ図に示す夫々の信号
が得られる。第２ｅ図では平均値が負であり、第
２ｆ図では平均値が正であり、第２ｇ図では平均
値がゼロであることが判る。第２ｇ図は完全な合
焦状態を示す。掛算器６２の出力が低域波器７
０で適当に波されて、平均値が得られ、これが
レンズ駆動モータ１８に印加すべき誤差又は補正
信号を表わす。

第１図に示す様に、デユーテイ・サイクル検出
器５２の出力は、線７４を介して書込みレーザ１
２に直流バイアス信号を加える為にも使うことが
出来る。第３図から、曲線７６で示す最適エネル
ギよりも高い一定のレーザ・エネルギに対して
は、記録トラツクのデユーテイ・サイクルは、ビ
ームが合焦状態にある時、50％より高いことが判
る。これが破線７８で示されている。同様に、破
線８０は、最適値よりエネルギの低い典型的な一
定エネルギ曲線を示しており、この場合、ビーム
が合焦状態にある時、デユーテイ・サイクルは50
％より低くなる。出来るだけ高調波歪みのない出
力を得る為、記録トラツクを50％のデユーテイ・
サイクルで形成することが望ましい。デユーテ
イ・サイクル検出器並びに線７４を介して書込み
レーザ１２に至る帰還回路を含む制御ループが、
実効的にこういう目的を達成する。デユーテイ・
サイクルがエネルギ設定値が高すぎる為に50％を
越えると、一方の極性の直流バイアスがレーザ１
２に印加され、最大レーザ・エネルギを、所望の
50％のレベルからのデユーテイ・サイクルの偏差
に比例する分だけ減少する効果を持つ。同様に、
デユーテイ・サイクルが50％より低くなると、反
対の極性の直流バイアスがレーザ１２に印加さ
れ、それに応じてその最大エネルギを増加する。
書込みレーザ１２は、線７４の直流バイアス信号
がゼロであると、丁度デユーテイ・サイクルを50
％するのに十分の最適のレーザ・エネルギになる
様に調節される。

第１図に示す構成の代りとして、デユーテイ・
サイクル検出器５２の出力は帯域波器６１に直
接的に印加せず、図示の様に間接的に線７４を介
して書込みレーザに印加してもよい。光検出器
（図に示してない）を書込みレーザ１２と共に使
つて帯域波器６１並びに掛算器６２に対する出
力信号を発生することが出来る。

以上述べた所から、この発明が、記録された振
動信号を再生して、そのデユーテイ・サイクルを
検出し、それを装置の集束レンズを移動させる様
に接続されたデイザ発振器によつて発生される信
号と比較することにより、記録過程の間、光ビー
ムを記録面上に自動的に集束される新規な方式を
提供したことが理解されよう。この制御装置を普
通の焦点検出器と組合せて使つて焦点の粗制御を
行うと、全体的な制御装置は、これまで利用し得
るどれよりも一層精度が高くなり、その部品の性
能や特性のドリフトに影響されなくなる。更に、
この焦点制御装置をレーザ・エネルギ制御装置と
組合せて使えば、それを使つた記録装置の性能が
更に高まる。記録ビームの焦点が正確に制御され
るだけでなく、記録ビームのエネルギも50％のデ
ユーテイ・サイクルになる様な最適レベルに制御
される。この発明の範囲内で、種々の変更が可能
であることは言うまでもない。従つて、この発明
は特許請求の範囲の記載のみによつて限定される
ことを承知されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明を実施した記録装置の略図並
びにブロツク図、第２ａ図乃至第２ｇ図は第１図
の略図の種々の点に現われる電気信号の波形を示
す時間線図、第３図は一定のレーザ・エネルギの
時、ビームの焦点に伴うデユーテイ・サイクルの
変化を示すグラフである。 主な符号の説明、１０…記録面、１２…書込み
レーザ、１６…集束レンズ、１８…レンズ駆動
器、２８…検出器、５０…デイザ発振器、５２…
デユーテイ・サイクル検出器、６２…掛算器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 移動する記録面上に、情報を担持する循環的
   な信号を記録する為に放射書込みビームを用いる
   記録装置に用いて、前記ビームを前記記録面上の
   焦点に自動的に保つ装置に於て、書込みビームが
   通過する集束手段を有し、該集束手段は前記面に
   対してビームの焦点を調節する為に記録面に対し
   て可動であり、更に、前記集束手段を介して送り
   且つ記録面から情報を再生する為に前記記録面か
   ら反射される読取ビームを発生する放射ビーム源
   と、反射された読取ビームの通路内に配置され、
   再生された情報を担持する信号を発生するビーム
   検出手段と、再生された情報を担持する信号か
   ら、該情報を担持する信号の大きさが該信号の平
   均値線の選ばれた側にある時間の割合を表わすデ
   ユーテイ・サイクル信号を発生するデユーテイ・
   サイクル検出手段と、前記集束手段に印加される
   デイザ信号を発生するデイザ発振手段と、前記デ
   ユーテイ・サイクル信号と前記デイザ信号との位
   相を比較して焦点補正信号を求める手段と、前記
   デイザ信号及び焦点補正信号を加え合せて前記集
   束手段に印加する加算手段とを有する装置。 ２ 特許請求の範囲１に記載した装置に於て、前
   記焦点補正信号を求める手段が、前記集束手段に
   印加される点と前記手段で使われる点との間で起
   るデイザ信号の一定の移相に対してその位相を補
   償したデイザ信号を発生する位相補償手段と、前
   記デユーテイ・サイクル信号の内の、デイザ周波
   数及びデイザ周波数の倍数の成分だけを通す帯域
   波器と、波したデユーテイ・サイクル信号と
   位相を補償したデイザ信号との積に比例する積信
   号を発生する掛算器と、該積信号から焦点補正信
   号を求める低域波器とで構成されている装置。 ３ 特許請求の範囲１に記載した装置に於て、前
   記ビーム検出手段が、焦点誤差を表わす信号を発
   生する手段を含み、焦点誤差を表わす信号が粗焦
   点補正信号として前記加算手段に送られる様にし
   た装置。 ４ 特許請求の範囲１に記載した装置に於て、前
   記デユーテイ・サイクル信号が、デユーテイ・サ
   イクルを所望のレベルに保つ様に書込みビームの
   エネルギを変える為の制御信号としても使われる
   装置。 ５ 特許請求の範囲４に記載した装置に於て、デ
   ユーテイ・サイクルの所望のレベルが50％である
   装置。 ６ 移動する記録面上に情報を担持する振動信号
   を記録する為に放射書込みビームを用いる記録装
   置に用いて、書込みビームを記録面上の焦点に自
   動的に保つ装置に於て、書込みビームを発生する
   第１の放射ビーム源と、情報を担持する信号に従
   つて前記書込みビームの強度を変える手段と、前
   記書込みビームを記録面上に集束する集束レンズ
   と、ビームの焦点を調節する為に記録面に対して
   集束レンズを動かすレンズ並進手段と、前記集束
   手段を介して送られ、情報を担持する信号を再生
   する為に前記記録面から反射される読取ビームを
   発生する第２の放射ビーム源と、反射された読取
   ビームの通路内に配置されていて、焦点誤差を表
   わす第１の出力信号及び反射された読取ビームの
   合計光エネルギを表わす第２の出力信号を発生す
   る光電検出手段と、前記第２の出力信号から、該
   第２の出力信号がその平均値より低い値を持つ時
   間の割合を表わすデユーテイ・サイクル信号を発
   生するデユーテイ・サイクル検出手段と、前記レ
   ンズ並進手段に印加する為の比較的低い周波数の
   デイザ信号を発生するデイザ発振器と、前記デユ
   ーテユ・サイクル信号の内、デイザ信号による成
   分を隔離する帯域波器と、前記デイザ信号の位
   相を、前記レンズ並進手段及び前記帯域波器の
   間で起る一定の移相に等しい分だけ調節する位相
   補償回路と、帯域波作用にかけたデユーテイ・
   サイクル信号の位相を補償したデイザ信号と比較
   して、焦点誤差を表わす成分を含む信号を求める
   手段と、焦点誤差を表わす成分を含む信号から、
   デイザ周波数及びそれより高い周波数の成分を除
   去する低域波器と、デイザ信号、前記光電検出
   手段からの第１の出力及び焦点誤差を表わす波
   した信号を組合せ、合成制御信号を前記レンズ並
   進手段に印加する信号加算手段とを有し、この
   為、焦点誤差が一方の方向である場合、デユーテ
   ユ・サイクル信号は位相補償したデイザ信号と同
   相の成分を持つと共に、焦点誤差が反対方向であ
   る場合は、位相補償したデイザ信号と反対の位相
   の成分を含み、且つ前記光電検出手段からの第１
   の出力信号が粗焦点補正信号となり、前記低域
   波器からの出力が微細焦点補正信号となる様にし
   た装置。 ７ 特許請求の範囲６に記載した装置に於て、前
   記位相を比較する手段が掛算器で構成される装
   置。 ８ 特許請求の範囲６に記載した装置に於て、デ
   ユーテイ・サイクル信号が、デユーテイ・サイク
   ルを略一定のレベルに保つ為に前記第１の放射ビ
   ーム源のエネルギを制御する為にも用いられる装
   置。 ９ 特許請求の範囲８に記載した装置に於て、デ
   ユーテイ・サイクルが約50％に保たれる装置。