JPS6231784A - 圧電駆動式弁 - Google Patents
圧電駆動式弁Info
- Publication number
- JPS6231784A JPS6231784A JP17067285A JP17067285A JPS6231784A JP S6231784 A JPS6231784 A JP S6231784A JP 17067285 A JP17067285 A JP 17067285A JP 17067285 A JP17067285 A JP 17067285A JP S6231784 A JPS6231784 A JP S6231784A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- flow rate
- piezoelectric
- onto
- valve seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、圧電体を駆動源として弁体の位置を調整し流
体の流量を制御する方式の弁(本明細書では圧ffi駆
動式弁という)の改良に関するものであり、特に、比較
的小流量域の流体を精度良く制御するに適した圧電駆動
式弁の構成に関するものである。
体の流量を制御する方式の弁(本明細書では圧ffi駆
動式弁という)の改良に関するものであり、特に、比較
的小流量域の流体を精度良く制御するに適した圧電駆動
式弁の構成に関するものである。
[従来の技術]
従来、毎分数CC〜数百0C程度の比較的小流量域の流
体を取り扱う場合に使用される弁としては。
体を取り扱う場合に使用される弁としては。
例えば、ソレノイドを利用したソレノイドバルブ。
あるいは金属の熱膨張を利用したサーマルバルブ(U、
S、P 3,650,505)等が知られている。
S、P 3,650,505)等が知られている。
しかしながら、ソレノイドバルブは、微小流嶽を精度良
く制御することが比較的離しいこと、ソレノイドの励磁
によって生ずる鉄損や抵抗損等により発熱し易いこと、
構造部品が多く比較的複雑なため生産性および保守性に
おいて劣ること等の難点があった。また、サーマルバル
ブは、比較的精度の良い流量制御が可能であり小型の制
御弁が実現できる等の利点があるものの、金属の熱膨張
を利用して弁を駆動するため応答時間の点で問題があっ
た。
く制御することが比較的離しいこと、ソレノイドの励磁
によって生ずる鉄損や抵抗損等により発熱し易いこと、
構造部品が多く比較的複雑なため生産性および保守性に
おいて劣ること等の難点があった。また、サーマルバル
ブは、比較的精度の良い流量制御が可能であり小型の制
御弁が実現できる等の利点があるものの、金属の熱膨張
を利用して弁を駆動するため応答時間の点で問題があっ
た。
[発明が解決しようとする問題点]
かかる従来技術の問題点を解消するものとして、最近、
圧電駆動式弁が提案され実用化され始めている。すなわ
ち、例えば流路内に円柱状圧電体を挿入し該圧電体の軸
方向変化により生ずる流路断面積の増減によって流量を
制御するもの(特開昭55−149470号公報)、高
分子圧電材料フィルムより成る複数のバイモルフ型圧電
積層体の周辺部を固定し圧電積層体の変位により連結さ
れたダイヤフラム弁を開閉するもの(特開昭57−29
801号公報)などがある。
圧電駆動式弁が提案され実用化され始めている。すなわ
ち、例えば流路内に円柱状圧電体を挿入し該圧電体の軸
方向変化により生ずる流路断面積の増減によって流量を
制御するもの(特開昭55−149470号公報)、高
分子圧電材料フィルムより成る複数のバイモルフ型圧電
積層体の周辺部を固定し圧電積層体の変位により連結さ
れたダイヤフラム弁を開閉するもの(特開昭57−29
801号公報)などがある。
しかしながら、上記円柱状圧電体を用いたものは、圧電
体の軸方向の変位を利用しており、その変位量がμm以
下のオーダーであるため流量の調整代が極く僅かである
。また、上記高分子圧電材料フィルムを用いたものは、
素子の中央部分の変位を利用するため、その変位量は通
常100μm前後と大きいものの、所望の駆動力を得る
ためには多数枚の圧電体を使用しなければならないため
、構造が複雑となり信頼性や応答性に難点がある。この
ため、微小流斌域の流体を精度良く制御できる小型の流
量制御弁の出現が望まれていた。
体の軸方向の変位を利用しており、その変位量がμm以
下のオーダーであるため流量の調整代が極く僅かである
。また、上記高分子圧電材料フィルムを用いたものは、
素子の中央部分の変位を利用するため、その変位量は通
常100μm前後と大きいものの、所望の駆動力を得る
ためには多数枚の圧電体を使用しなければならないため
、構造が複雑となり信頼性や応答性に難点がある。この
ため、微小流斌域の流体を精度良く制御できる小型の流
量制御弁の出現が望まれていた。
この発明は、上記要望に鑑み、流量の微調整が容易で発
熱が少なく、−シかも応答性の良い小型の圧電駆動式弁
を提供することを目的とする。
熱が少なく、−シかも応答性の良い小型の圧電駆動式弁
を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
上記目的を達成するために本発明は、印加する電圧に対
応して生ずる圧電体の変位を利用して弁体を駆動し、弁
体を弁座に着座または離間させることにより流量制御を
行なう圧電駆動式弁において、圧電セラミックスを用い
た圧電素子から前記弁体が構成され、該弁体の弁座に当
接する側の面には弾性体が設けられ、かつ該弾性体に当
接する弁座の部分には流量調整用の溝が設けられている
ことを特徴とするものである。
応して生ずる圧電体の変位を利用して弁体を駆動し、弁
体を弁座に着座または離間させることにより流量制御を
行なう圧電駆動式弁において、圧電セラミックスを用い
た圧電素子から前記弁体が構成され、該弁体の弁座に当
接する側の面には弾性体が設けられ、かつ該弾性体に当
接する弁座の部分には流量調整用の溝が設けられている
ことを特徴とするものである。
第1図は、本発明による圧電駆動式弁の基本構成を説明
するための断面図である。図において、1は弁本体であ
り、入口ポート2および弁孔3に連通する流路4と、出
口ポート5に連通する流路6とが設けられており、前記
弁孔3を囲んで弁座7が形成されている。一方、弁の開
閉を行なうための弁体8は、弁体8をはさんで弁本体1
の反対側に位置するハウジング9と弁本体との間に挟持
されており、弁体8と弁本体1とによって弁孔3および
流路6に連通する孔10を流出入口とする弁室11が形
成される。尚、弁本体1とハウジング9とはボルト等公
知の結合手段(図示せず)によって固着される。
するための断面図である。図において、1は弁本体であ
り、入口ポート2および弁孔3に連通する流路4と、出
口ポート5に連通する流路6とが設けられており、前記
弁孔3を囲んで弁座7が形成されている。一方、弁の開
閉を行なうための弁体8は、弁体8をはさんで弁本体1
の反対側に位置するハウジング9と弁本体との間に挟持
されており、弁体8と弁本体1とによって弁孔3および
流路6に連通する孔10を流出入口とする弁室11が形
成される。尚、弁本体1とハウジング9とはボルト等公
知の結合手段(図示せず)によって固着される。
第2図は、上記構成の本発明圧電駆動式弁における弁体
8の構成例を示す斜視図である。本発明における弁体は
、基本的には図に示すようにダイヤフラム板12の一方
の面に圧電セラミックス体13を固着してなるいわゆる
圧電ユニモルフ型圧電素子から構成され、該ダイヤフラ
ム板における圧電セラミック体固着面とは反対の面側に
弾性体14を固着してなるものである。また、第3図は
本発明における弁座の一例を示す要部斜視図であり、弁
座7の弁体当接部15には放射状に複数個の流量調整溝
16が形成されている。
8の構成例を示す斜視図である。本発明における弁体は
、基本的には図に示すようにダイヤフラム板12の一方
の面に圧電セラミックス体13を固着してなるいわゆる
圧電ユニモルフ型圧電素子から構成され、該ダイヤフラ
ム板における圧電セラミック体固着面とは反対の面側に
弾性体14を固着してなるものである。また、第3図は
本発明における弁座の一例を示す要部斜視図であり、弁
座7の弁体当接部15には放射状に複数個の流量調整溝
16が形成されている。
尚、本発明における圧電素子としては、必ずしも圧電ユ
ニモルフに限定されるものではなく、ダイヤフラム板の
両方の面に圧電セラミックス体を固着したいわゆる圧電
バイモルフなどの圧電素子を用いても良い。
ニモルフに限定されるものではなく、ダイヤフラム板の
両方の面に圧電セラミックス体を固着したいわゆる圧電
バイモルフなどの圧電素子を用いても良い。
[作用]
上記構成の本発明圧電駆動式弁は、次のように作用する
。圧電セラミックス13に直流電圧を印加すると圧電素
子は外周部から中央部にかけて凸もしくは凹に屈曲する
。本発明においては、この圧電素子自身から弁体8を形
成しているため、圧電素子すなわち弁体8の屈曲運動に
より、弁体が弁座7に着座または離間する。この際、弁
座7には流量調整溝16が形成されているため、弁体に
固着されている弾性体14の変形程度によって前記流量
調整溝の開口面積が変化するため、該溝を通って流入す
る流体の流量を微細に制御することが可能となる。
。圧電セラミックス13に直流電圧を印加すると圧電素
子は外周部から中央部にかけて凸もしくは凹に屈曲する
。本発明においては、この圧電素子自身から弁体8を形
成しているため、圧電素子すなわち弁体8の屈曲運動に
より、弁体が弁座7に着座または離間する。この際、弁
座7には流量調整溝16が形成されているため、弁体に
固着されている弾性体14の変形程度によって前記流量
調整溝の開口面積が変化するため、該溝を通って流入す
る流体の流量を微細に制御することが可能となる。
すなわち1本発明においては、圧電素子に直流電圧を印
加したときに生ずる圧電素子の屈曲運動を利用して弁体
を駆動し、弁本体から弁室への流出入口の開口部断面積
を変化せしめることにより流量を制御するところに特徴
がある。
加したときに生ずる圧電素子の屈曲運動を利用して弁体
を駆動し、弁本体から弁室への流出入口の開口部断面積
を変化せしめることにより流量を制御するところに特徴
がある。
[実施例]
以下、本発明を実施例に基づいて、より詳細に説明する
。
。
(実施例1)
直径16mn+、厚さ0.1mmの黄銅製振動板12に
、直径12mm 、厚さ0.27mmのPZT系圧電セ
ラミックス体13を接着してユニモルフ型圧電素子を作
製し、次いで、振動板の他方の面にゴム板を接着剤で貼
り付は固着して、第2図に示したような構成の弁体8を
得た。この弁体のダイヤフラム板(すなわち圧電素子の
振動板)12の周辺部分を、O−リング(図示せず)を
介してステンレス鋼からなる弁本体1とハウジング9と
で挟持し、第1図で示したような構成の圧電駆動式弁を
製造した。尚、本発明においては、弁本体とハウジング
によりダイヤフラム板を挟持するに際し、本実施例の如
くに、ハウジングとダイヤフラム板との間、又はダイヤ
フラム板と弁本体との間、若しくはその両方の部分にO
−リングを介在させて固定することにより、弁室11の
密封度を上げて流体の洩れを防止することが好ましい。
、直径12mm 、厚さ0.27mmのPZT系圧電セ
ラミックス体13を接着してユニモルフ型圧電素子を作
製し、次いで、振動板の他方の面にゴム板を接着剤で貼
り付は固着して、第2図に示したような構成の弁体8を
得た。この弁体のダイヤフラム板(すなわち圧電素子の
振動板)12の周辺部分を、O−リング(図示せず)を
介してステンレス鋼からなる弁本体1とハウジング9と
で挟持し、第1図で示したような構成の圧電駆動式弁を
製造した。尚、本発明においては、弁本体とハウジング
によりダイヤフラム板を挟持するに際し、本実施例の如
くに、ハウジングとダイヤフラム板との間、又はダイヤ
フラム板と弁本体との間、若しくはその両方の部分にO
−リングを介在させて固定することにより、弁室11の
密封度を上げて流体の洩れを防止することが好ましい。
また、本実施例のものは、圧電セラミックス板13に電
圧を印加しない状態では弁座7に弁体8が着座し、かつ
弾性体が変形して流量調整溝を完全に閉塞するように構
成した。したがって、電圧無印加時には弁は閉じられお
り、流体の流れは阻止されている。しかし、本発明が、
流量の制御を主体とする圧電駆動式弁を作製する場合な
どに適用されるとき等には、開閉動作は他の弁の作用に
まかせ、電圧無印加時には弾性体が変形することなく弁
座に着座し、若しくは所定の距雛弁座から離間するよう
に構成する方が弾性体の変形疲労を防止し長寿命の弁を
実現するために好ましい。
圧を印加しない状態では弁座7に弁体8が着座し、かつ
弾性体が変形して流量調整溝を完全に閉塞するように構
成した。したがって、電圧無印加時には弁は閉じられお
り、流体の流れは阻止されている。しかし、本発明が、
流量の制御を主体とする圧電駆動式弁を作製する場合な
どに適用されるとき等には、開閉動作は他の弁の作用に
まかせ、電圧無印加時には弾性体が変形することなく弁
座に着座し、若しくは所定の距雛弁座から離間するよう
に構成する方が弾性体の変形疲労を防止し長寿命の弁を
実現するために好ましい。
第4図および第5図は、弁座に流量調整溝が無い場合お
よび流量調整溝を設けた場合についての、印加電圧とガ
スの流量との相関を示したものである。両者とも印加電
圧を上げるにつれてガス流量も大きくなっており、印加
電圧により圧電弁の変位量が調整できること、すなわち
、印加電圧値に対応して得られる圧電素子の変位により
弁室への流出入口開口部の面積が変化し、流路の大きさ
が調整されることが知れる。しかし、第4図に示すよう
に、弁座に流量調整溝が無い場合には、弁座と弁体との
間隙が微小なとき、すなわち流量が約50cc程度以下
の微小流量域では、安定な流量制御が出来なかった。そ
の原因は、必ずしも明確ではないが、弁座から弁体が離
れるときの動作が極めて急激に生ずるためと考えられる
。これに対し、本発明においては、閉塞時でも弾性体が
若干変形して流量調整溝を閉塞するだけの力が与えられ
ており、弁体と弁座が完全に離れる前に、まず弁座に形
成した溝部分が連続的に解放され、次いで弁座と弁体と
が完全に離れるように動作する。したがって1本発明に
よる流量制御溝を設けた弁の場合には、微小流量域にお
いても印加電圧に対する流量変化がほぼ直線的であり、
良好な制御性が得られた。
よび流量調整溝を設けた場合についての、印加電圧とガ
スの流量との相関を示したものである。両者とも印加電
圧を上げるにつれてガス流量も大きくなっており、印加
電圧により圧電弁の変位量が調整できること、すなわち
、印加電圧値に対応して得られる圧電素子の変位により
弁室への流出入口開口部の面積が変化し、流路の大きさ
が調整されることが知れる。しかし、第4図に示すよう
に、弁座に流量調整溝が無い場合には、弁座と弁体との
間隙が微小なとき、すなわち流量が約50cc程度以下
の微小流量域では、安定な流量制御が出来なかった。そ
の原因は、必ずしも明確ではないが、弁座から弁体が離
れるときの動作が極めて急激に生ずるためと考えられる
。これに対し、本発明においては、閉塞時でも弾性体が
若干変形して流量調整溝を閉塞するだけの力が与えられ
ており、弁体と弁座が完全に離れる前に、まず弁座に形
成した溝部分が連続的に解放され、次いで弁座と弁体と
が完全に離れるように動作する。したがって1本発明に
よる流量制御溝を設けた弁の場合には、微小流量域にお
いても印加電圧に対する流量変化がほぼ直線的であり、
良好な制御性が得られた。
図から明らかなように、本発明によれば、印加電圧を調
整することにより微小流量域から所定流量域からガス流
量が極めて高精度に制御できることが明らかである。
整することにより微小流量域から所定流量域からガス流
量が極めて高精度に制御できることが明らかである。
なお、上記実施例においては、流体の流量を制御するに
際し、圧電素子に印加する直流電圧の大きさを調整した
が、本発明においては、電圧の大きさを調整するととも
に若しくは別個に、印加する電圧のパルス巾や周波数を
調整することによって制御するようにしても良い。
際し、圧電素子に印加する直流電圧の大きさを調整した
が、本発明においては、電圧の大きさを調整するととも
に若しくは別個に、印加する電圧のパルス巾や周波数を
調整することによって制御するようにしても良い。
また、上記実施例では、電圧を加えることによって流体
の流量を増加させたが、電圧を逆方向に加えることによ
り、ガスなどの流体の流量を減少させる方向で制御して
も良い。
の流量を増加させたが、電圧を逆方向に加えることによ
り、ガスなどの流体の流量を減少させる方向で制御して
も良い。
また、本発明において、圧電素子には直流電源や発振器
等により所定の周波数をもつ電圧を発生し、直接あるい
は増幅器を介して電圧が印加されるようになっている。
等により所定の周波数をもつ電圧を発生し、直接あるい
は増幅器を介して電圧が印加されるようになっている。
[発明の効果コ
以上、詳述したことから明らかなように、本発明による
圧電駆動式弁は、次のような特有の効果を有するもので
ある。
圧電駆動式弁は、次のような特有の効果を有するもので
ある。
(1)変位量の比較的大きな圧電ユニモルフや圧電バイ
モルフにより弁の移動を行なうことにより。
モルフにより弁の移動を行なうことにより。
極小量から比較的大きな量まで連続的に制御することが
できる。
できる。
(2)圧電素子に印加する電圧の大きさやパルス巾、周
波数等を変化させることにより、容易に流体の流量が調
整できる。
波数等を変化させることにより、容易に流体の流量が調
整できる。
(3)一般に数μsecから数m5ecと応答速度の早
い圧電素子自身により弁が構成されているため、流体の
流量制御時の応答性が良い。
い圧電素子自身により弁が構成されているため、流体の
流量制御時の応答性が良い。
(4)圧電素子自身の厚みは数μm程度であり、弁全体
の構造が非常に小型に形成できる。
の構造が非常に小型に形成できる。
(5)圧電セラミックスは絶縁体であり、電流がほとん
ど流れないため、発熱量が非常に少ない。
ど流れないため、発熱量が非常に少ない。
(6)流量調整溝の形状・数量などを適当に選択するこ
とにより、目的に応じた精度の良い流量制御が可能であ
る。
とにより、目的に応じた精度の良い流量制御が可能であ
る。
第1図は本発明による圧電駆動式弁の基本構成を説明す
るための概略断面図、第2図は本発明圧電駆動式弁にお
ける弁体の構成例を示す斜視図、第3図は本発明圧電駆
動式弁における弁座の要部構成例を示す斜視図、第4図
および第5図は比較例および本発明実施例における圧電
素子への印加電圧の大きさとガス流量との相関を示した
図である。 1:弁本体、2:入口ボート、3:弁孔、4;6:流路
、5:出口ボート、7:弁座、8:弁体。 9:ハウジング、11:弁室、12:ダイヤフラム板、
13:圧電セラミック体、14:弾性体。 15::弁体当接部、16:流量調整溝。 第4(¥) 蜀50
るための概略断面図、第2図は本発明圧電駆動式弁にお
ける弁体の構成例を示す斜視図、第3図は本発明圧電駆
動式弁における弁座の要部構成例を示す斜視図、第4図
および第5図は比較例および本発明実施例における圧電
素子への印加電圧の大きさとガス流量との相関を示した
図である。 1:弁本体、2:入口ボート、3:弁孔、4;6:流路
、5:出口ボート、7:弁座、8:弁体。 9:ハウジング、11:弁室、12:ダイヤフラム板、
13:圧電セラミック体、14:弾性体。 15::弁体当接部、16:流量調整溝。 第4(¥) 蜀50
Claims (3)
- (1)印加する電圧に対応して生ずる圧電体の変位を利
用して弁体を駆動し、弁体を弁座に着座または離間させ
ることにより流体の流量制御を行なう圧電駆動式弁にお
いて、前記弁体が圧電セラミックスを用いてなる圧電素
子から構成されており、該弁体の弁座対向面には弾性体
が固着され、前記弁座の弁体当接部には流量調整溝が設
けられたことを特徴とする圧電駆動式弁。 - (2)上記圧電素子がユニモルフ型圧電素子であること
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の圧電駆動式弁
。 - (3)上記流体がガスであることを特徴とする特許請求
の範囲第1項または第2項記載の圧電駆動式弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17067285A JPS6231784A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 圧電駆動式弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17067285A JPS6231784A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 圧電駆動式弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6231784A true JPS6231784A (ja) | 1987-02-10 |
Family
ID=15909237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17067285A Pending JPS6231784A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 圧電駆動式弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6231784A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008525709A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | サブマシン コーポレイション | 反動駆動エネルギー伝達装置 |
JP2012525107A (ja) * | 2009-04-24 | 2012-10-18 | ラヒネル、フーベルト | 圧電駆動装置および圧電駆動装置を備えたマイクロバルブ |
WO2022124177A1 (ja) * | 2020-12-09 | 2022-06-16 | ソニーグループ株式会社 | 流体制御装置、流体制御システム及び流体制御装置の製造方法 |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP17067285A patent/JPS6231784A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008525709A (ja) * | 2004-12-23 | 2008-07-17 | サブマシン コーポレイション | 反動駆動エネルギー伝達装置 |
JP2012525107A (ja) * | 2009-04-24 | 2012-10-18 | ラヒネル、フーベルト | 圧電駆動装置および圧電駆動装置を備えたマイクロバルブ |
WO2022124177A1 (ja) * | 2020-12-09 | 2022-06-16 | ソニーグループ株式会社 | 流体制御装置、流体制御システム及び流体制御装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW381205B (en) | Gas supplying device with a pressure flow controller | |
JP2000148254A (ja) | 真空圧力制御装置 | |
JP2001502248A (ja) | 電気的に駆動される一体型マイクロバルブ | |
JPH06323457A (ja) | 圧電形圧力制御弁 | |
JP2810302B2 (ja) | 小型ポンプ | |
JPH07158757A (ja) | マイクロバルブ | |
JPS6228585A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
JPH0755414Y2 (ja) | 流量制御弁 | |
JPS6231784A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
JPS62141381A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
WO2020066491A1 (ja) | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 | |
JPS61127983A (ja) | 流体制御用バルブ | |
JP2009236284A (ja) | マイクロバルブ及びマイクロポンプ | |
KR20210118162A (ko) | 밸브장치, 유량 제어방법, 유체 제어장치, 반도체 제조방법, 및 반도체 제조장치 | |
JPS62177384A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
JP3377077B2 (ja) | 弁体及びそれを用いた電磁制御弁 | |
JPS62177383A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
JPS62215174A (ja) | ダイヤフラム型圧電駆動式弁 | |
JPH0378512B2 (ja) | ||
JP4365477B2 (ja) | 流量調節弁 | |
JP2006342856A (ja) | 流量調整弁 | |
WO2021131631A1 (ja) | ダイヤフラムバルブ、流量制御装置、流体制御装置、及び半導体製造装置 | |
JPS62283271A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
JPS62224780A (ja) | 圧電駆動式弁 | |
JP2020056430A (ja) | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 |