JPS6231186A - パルスレ−ザ発振器 - Google Patents
パルスレ−ザ発振器Info
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- JPS6231186A JPS6231186A JP17135085A JP17135085A JPS6231186A JP S6231186 A JPS6231186 A JP S6231186A JP 17135085 A JP17135085 A JP 17135085A JP 17135085 A JP17135085 A JP 17135085A JP S6231186 A JPS6231186 A JP S6231186A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- electrode
- electrodes
- power supply
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は横方向励起型パルスレーザ発振器の改良に関
するものである。
するものである。
第４図は従来一般にエキシマレーザ（例え（１、ＡｒＦ
、 ＫｒＦ、 ＸｅＦ、 ＸｅＣ２）、ＴＥＡ Ｃｏ□
レーザ等の短パルスレーザ装置の構成を示す縦断面図で
、（１）は第１の主電極、（２）は第２の主電極、（３
）は第１の主室撫基板、（４）は第２の主電極基板、（
５）は主放電を起こすためのピーキングコンデンサー、
（６）は主放電回路の一部を成す主電極支柱、（７）は
後述のレーザ筐体に設置された第１の予備電離電極、（
３）は第１の主電極基板（３）Ｋ設置されている第２の
予備電離電極、（９）は第１の主電極基板（３）と第１
の予備電離電極（７）との間の絶縁を保つための絶縁筒
、（１０は第１．第２の予備電離電極（’ｙ） 、 （
８）の間で行われる予備電離放電、０υけ予備電離放電
σＱから発光される紫外光、（６）は主放電によってレ
ーザが励起される放電励起部、（至）はレーザ発振光軸
、α尋はレーザガス、ＱＩはレーザガスα４を封入する
レーザ筐体、αＱは高圧電源、ａηはピーキングコンデ
ンサー（５）をパルス充電するためのパルス充電回路で
ある。
、 ＫｒＦ、 ＸｅＦ、 ＸｅＣ２）、ＴＥＡ Ｃｏ□
レーザ等の短パルスレーザ装置の構成を示す縦断面図で
、（１）は第１の主電極、（２）は第２の主電極、（３
）は第１の主室撫基板、（４）は第２の主電極基板、（
５）は主放電を起こすためのピーキングコンデンサー、
（６）は主放電回路の一部を成す主電極支柱、（７）は
後述のレーザ筐体に設置された第１の予備電離電極、（
３）は第１の主電極基板（３）Ｋ設置されている第２の
予備電離電極、（９）は第１の主電極基板（３）と第１
の予備電離電極（７）との間の絶縁を保つための絶縁筒
、（１０は第１．第２の予備電離電極（’ｙ） 、 （
８）の間で行われる予備電離放電、０υけ予備電離放電
σＱから発光される紫外光、（６）は主放電によってレ
ーザが励起される放電励起部、（至）はレーザ発振光軸
、α尋はレーザガス、ＱＩはレーザガスα４を封入する
レーザ筐体、αＱは高圧電源、ａηはピーキングコンデ
ンサー（５）をパルス充電するためのパルス充電回路で
ある。
次に動作について説明する。レーザ筐体（至）の内にレ
ーザガスＱ４が封入されている。高圧電源αＱによって
駆動されたパルス充電回路αηが、第１．第２の予備電
離電極（７） 、 （ｓ）、ＷＪｌの主電極基板（３）
、主電極支柱（６）の経路によシ、ピーキングコンデン
サー（５）全充電する。その際、第１．第２の予備電離
電極対（７）、（３）の間は予備電離放電σＯによって
結ばれる。この放電はアーク放電であシ、これから発光
される紫外光αυによυ、放電励起部（２）の全域が均
一な弱電離状態（電子密度ｎｏ ： １０６〜１０８個
／ａｍ３）となる。ピーキングコンデンサー（５）の充
電によって、第１．第２の主電極（１） 、 （２）の
間の電圧が放電開始電圧に達すると、ピーキングコンデ
ンサー（５）に蓄えられた電荷は主電極支柱（６）を通
じて一気に第１．第２の主電極（１） 、 （２＋間に
流れ、放電励起部（２）にパルス放電が形成される。こ
れは、あらかじめ放電励起部（２）が紫外光（ロ）によ
って均一な予備電離状態にされているので、均一な放電
となる０ この放電によって形成された放電励起部（２）では、レ
ーザ媒質が励起状態となって、反転分布が形成され、誘
導放出によシ、レーザ発振元軸（至）の方向にレーザ光
が出射する。
ーザガスＱ４が封入されている。高圧電源αＱによって
駆動されたパルス充電回路αηが、第１．第２の予備電
離電極（７） 、 （ｓ）、ＷＪｌの主電極基板（３）
、主電極支柱（６）の経路によシ、ピーキングコンデン
サー（５）全充電する。その際、第１．第２の予備電離
電極対（７）、（３）の間は予備電離放電σＯによって
結ばれる。この放電はアーク放電であシ、これから発光
される紫外光αυによυ、放電励起部（２）の全域が均
一な弱電離状態（電子密度ｎｏ ： １０６〜１０８個
／ａｍ３）となる。ピーキングコンデンサー（５）の充
電によって、第１．第２の主電極（１） 、 （２）の
間の電圧が放電開始電圧に達すると、ピーキングコンデ
ンサー（５）に蓄えられた電荷は主電極支柱（６）を通
じて一気に第１．第２の主電極（１） 、 （２＋間に
流れ、放電励起部（２）にパルス放電が形成される。こ
れは、あらかじめ放電励起部（２）が紫外光（ロ）によ
って均一な予備電離状態にされているので、均一な放電
となる０ この放電によって形成された放電励起部（２）では、レ
ーザ媒質が励起状態となって、反転分布が形成され、誘
導放出によシ、レーザ発振元軸（至）の方向にレーザ光
が出射する。
ところで、このような短パルスレーザ発振器においては
、レーザの高出力化、高効率化を行うため、レーザガス
α→の圧力をｌａｔｍ以上として、放電励起部＠におけ
る単位体積当シの投入電力の増加を計るのが一般的であ
る。したがって、レーザ筐体Ｑ５は内圧に耐えられる構
造となっているが、加圧時におけるレーザ筐体αυの変
位をなくすことは難しい。特に１高電圧給電部周辺では
絶縁のためにテフロン（ＤｕＰｏｎｔ社商品名）等の樹
脂材料でレーザ筐体が構成される場合が多いが、その時
、加圧時の変位ｉ４１ｍｍ以上となる場合もある。
、レーザの高出力化、高効率化を行うため、レーザガス
α→の圧力をｌａｔｍ以上として、放電励起部＠におけ
る単位体積当シの投入電力の増加を計るのが一般的であ
る。したがって、レーザ筐体Ｑ５は内圧に耐えられる構
造となっているが、加圧時におけるレーザ筐体αυの変
位をなくすことは難しい。特に１高電圧給電部周辺では
絶縁のためにテフロン（ＤｕＰｏｎｔ社商品名）等の樹
脂材料でレーザ筐体が構成される場合が多いが、その時
、加圧時の変位ｉ４１ｍｍ以上となる場合もある。
従来のレーザ発振器は第１の予備電離電極（７）がレー
ザ筐体αυに直接設置されていたので、レーザ筐体（至
）の加圧時の変位によって、第１．Ｍｚの予備電離電極
（７）、（３）の間隔が変化し、予備電離放電（１０の
状態が、予備電離電極対によって違いが生じた。その予
備電離放電（１０の不均一性が放電励起部（イ）におけ
る励起放電の不均一性に夏映され、レーザ出力が不安定
となり、その平均的な値も低下するという問題点があっ
た。
ザ筐体αυに直接設置されていたので、レーザ筐体（至
）の加圧時の変位によって、第１．Ｍｚの予備電離電極
（７）、（３）の間隔が変化し、予備電離放電（１０の
状態が、予備電離電極対によって違いが生じた。その予
備電離放電（１０の不均一性が放電励起部（イ）におけ
る励起放電の不均一性に夏映され、レーザ出力が不安定
となり、その平均的な値も低下するという問題点があっ
た。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、レーザ筐体の加圧時の変位によらず、常に高
出力で安定したレーザ出力が得られるレーザ発振器を提
供することを目的としているＯ 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るレーザ発振器は、相対する予備電離電極
の両方をレーザ筐体とは独立した構造とし、レーザ筐体
上に設けられた給電端子と、予備電離電極対の一方の電
極とを電気的にのみ接続する構造としたものである。
たもので、レーザ筐体の加圧時の変位によらず、常に高
出力で安定したレーザ出力が得られるレーザ発振器を提
供することを目的としているＯ 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るレーザ発振器は、相対する予備電離電極
の両方をレーザ筐体とは独立した構造とし、レーザ筐体
上に設けられた給電端子と、予備電離電極対の一方の電
極とを電気的にのみ接続する構造としたものである。
この発明におけるレーザ発振器は、予備電離電極対をレ
ーザ筐体とは独立の構造にしたので、レーザ筐体加圧時
においても、予備電離電極対の電極間隔が一定に保たれ
、均一な予備電離放電が行われる。これによシ、常に安
定なレーザ励起放電が行われるようになる。
ーザ筐体とは独立の構造にしたので、レーザ筐体加圧時
においても、予備電離電極対の電極間隔が一定に保たれ
、均一な予備電離放電が行われる。これによシ、常に安
定なレーザ励起放電が行われるようになる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す縦断面図で、
第４図の従来例と同一符号は同等部分を示し、重複説明
を避ける。第１図において、（ト）はレーザ筐体αＧに
設けられた給電端子、α呻は給電端子（ト）と第１の予
備電離電極（７）とを電気的に接続する板ばね状通電路
である。
第４図の従来例と同一符号は同等部分を示し、重複説明
を避ける。第１図において、（ト）はレーザ筐体αＧに
設けられた給電端子、α呻は給電端子（ト）と第１の予
備電離電極（７）とを電気的に接続する板ばね状通電路
である。
次にこの実施例の動作について説明する。基本的動作は
従来例の場合と全く同一である。ただし、パルス充電回
路α力によってピーキングコンデンサー（５） を充電
する過程において、給電端子（ト）、板ばね状通電Ｆｊ
ｌｒαリヲ介して、第１の予備電離電ｉ （７）に充電
電流が流れる。レーザ動作時、レーザガスａ４の圧力は
２〜３ａ”、ｍという加圧状態にするので、レーザ筐体
αＧはその圧力を受けていくらか変位する。
従来例の場合と全く同一である。ただし、パルス充電回
路α力によってピーキングコンデンサー（５） を充電
する過程において、給電端子（ト）、板ばね状通電Ｆｊ
ｌｒαリヲ介して、第１の予備電離電ｉ （７）に充電
電流が流れる。レーザ動作時、レーザガスａ４の圧力は
２〜３ａ”、ｍという加圧状態にするので、レーザ筐体
αＧはその圧力を受けていくらか変位する。
しかしながら、第１の予備電離電極（７）は絶縁筒（９
）を介して第１の主電極基板（３）に設置されてお夛、
また、板ばね状通電路ａすを介して給電端子（ト）に接
続されているので、レーザ筐体（至）の変位量は板ばね
状通電路０呻によって吸収され、第１．第２の予備電離
電極（７） 、 （ｓ）、の間隔は変位を受けない。こ
れ ゛によって、多数の個所で行われている予備電離放
電σＱは均一なものとなシ、励起放電は均一で、安定な
ものとなる。その結果、高出力で、安定したレーザ出力
が得られるようになる。
）を介して第１の主電極基板（３）に設置されてお夛、
また、板ばね状通電路ａすを介して給電端子（ト）に接
続されているので、レーザ筐体（至）の変位量は板ばね
状通電路０呻によって吸収され、第１．第２の予備電離
電極（７） 、 （ｓ）、の間隔は変位を受けない。こ
れ ゛によって、多数の個所で行われている予備電離放
電σＱは均一なものとなシ、励起放電は均一で、安定な
ものとなる。その結果、高出力で、安定したレーザ出力
が得られるようになる。
なお上記実施例では、給電端子（ト）と第１の予備電離
電極（７）との電気的接続は板ばね状通電路αりによっ
て行われているが、第２図に他の実施例として示すごと
く、つる巻ばね状の通電路（１）によって接続しても同
様の効果を奏する。
電極（７）との電気的接続は板ばね状通電路αりによっ
て行われているが、第２図に他の実施例として示すごと
く、つる巻ばね状の通電路（１）によって接続しても同
様の効果を奏する。
また、第３図に更に他の実施例として示すごとく、給電
端子（１８ａ）の一端と第１の予備電離電極（７ａ）の
一端とを、バナナチップ状通電路Ｑυの雄と雌との関係
として接続しても同様の効果を奏する０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、予備電離電極対をレ
ーザ筐体とは独立した構造としたので、加圧にもとづく
レーザ筐体の変形の影響を受けることなく、高出力で、
安定したレーザ出力が得られる効果がある。
端子（１８ａ）の一端と第１の予備電離電極（７ａ）の
一端とを、バナナチップ状通電路Ｑυの雄と雌との関係
として接続しても同様の効果を奏する０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば、予備電離電極対をレ
ーザ筐体とは独立した構造としたので、加圧にもとづく
レーザ筐体の変形の影響を受けることなく、高出力で、
安定したレーザ出力が得られる効果がある。
Claims (5)
- （１）レーザ筐体内に封入されたレーザガス中において
互いに対向して配設された第１および第２の主電極と、
これら両主電極間に接続されその充電電荷を上記両主電
極間を通して放電させることによつてレーザ光を生ぜし
めるコンデンサと、このコンデンサの充電回路中に挿入
されそれらを通して上記コンデンサへの充電電流を流し
たときに生ずる放射線によつて上記両主電極間の空間を
電離させる予備電離電極対とを備えたものにおいて、上
記予備電離電極対の少なくとも一方の電極に上記レーザ
筐体の外部から電圧を供給するための給電端子を上記レ
ーザ筐体に固定し、上記予備電離電極対の上記一方の電
極は上記給電端子と構造的には独立しており、電気的に
のみ接続されるようにしたことを特徴とするパルスレー
ザ発振器。 - （２）コンデンサの充電をパルス的に行うようにしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のパルスレー
ザ発振器。 - （３）給電端子と予備電離電極対の一方の電極とが板ば
ねを介して電気的に接続されたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項または第２項記載のパルスレーザ発振器
。 - （４）給電端子と予備電離電極対の一方の電極とがつる
巻ばねを介して電気的に接続されたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項または第２項記載のパルスレーザ発
振器。 - （５）給電端子と予備電離電極対の一方の電極とがバナ
ナチップを介して電気的に接続されたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項または第２項記載のパルスレーザ
発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17135085A JPS6231186A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | パルスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17135085A JPS6231186A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | パルスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231186A true JPS6231186A (ja) | 1987-02-10 |
| JPH0528514B2 JPH0528514B2 (ja) | 1993-04-26 |
Family
ID=15921575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17135085A Granted JPS6231186A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | パルスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231186A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01307284A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Agency Of Ind Science & Technol | 放電電極 |
| JPH02189988A (ja) * | 1989-01-18 | 1990-07-25 | Central Glass Co Ltd | エキシマーレーザー装置 |
| WO1996003789A1 (de) * | 1994-07-22 | 1996-02-08 | Atl Lasertechnik & Accessoires Gmbh | Entladungsanordnung für impulsgaslaser |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57210678A (en) * | 1981-05-13 | 1982-12-24 | Battelle Institut E V | Laser radiation generator |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP17135085A patent/JPS6231186A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57210678A (en) * | 1981-05-13 | 1982-12-24 | Battelle Institut E V | Laser radiation generator |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01307284A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Agency Of Ind Science & Technol | 放電電極 |
| JPH0583200B2 (ja) * | 1988-06-06 | 1993-11-25 | Kogyo Gijutsuin | |
| JPH02189988A (ja) * | 1989-01-18 | 1990-07-25 | Central Glass Co Ltd | エキシマーレーザー装置 |
| WO1996003789A1 (de) * | 1994-07-22 | 1996-02-08 | Atl Lasertechnik & Accessoires Gmbh | Entladungsanordnung für impulsgaslaser |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0528514B2 (ja) | 1993-04-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |