JPS6229005B2 - - Google Patents
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- JPS6229005B2 JPS6229005B2 JP813581A JP813581A JPS6229005B2 JP S6229005 B2 JPS6229005 B2 JP S6229005B2 JP 813581 A JP813581 A JP 813581A JP 813581 A JP813581 A JP 813581A JP S6229005 B2 JPS6229005 B2 JP S6229005B2
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- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 28
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 9
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/487—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by rotating magnets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/36—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using magnetic elements, e.g. magnets, coils
- G01K7/38—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using magnetic elements, e.g. magnets, coils the variations of temperature influencing the magnetic permeability
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Linear Or Angular Velocity Measurement And Their Indicating Devices (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物体表面の移動速度および温度を非接
触にて検出する方式に関する。
触にて検出する方式に関する。
従来、回転体の温度を非接触で検出するには、
例えば第1図に示すように、回転体本体11が磁
性体を有する場合にはその表面に非磁性体層1を
設けてから、その上にリング状の永久磁石2およ
びリング状の感温磁性体3を設け、そしてその感
温磁性体3の外周囲に間隔をおいて磁電変換素子
4を対向させている。今、回転体の温度が低く、
感温磁性体3の温度がそのキユリー点未満の場合
には、永久磁石2の磁束はシールドされ、磁電変
換素子4には作用しないため、磁電変換素子4の
抵抗は初期抵抗のままである。次に回転体の温度
が上昇し、感温磁性体3の温度がキユリー点以上
となつた場合には、永久磁石2の磁束が外部へも
れて磁電変換素子4に作用し、その抵抗が増加す
る。こうして磁電変換素子の抵抗値の変化を検知
することにより、回転体の温度変化を検出でき
る。しかしその場合、感温磁性体3は永久磁石2
の上に装着されているので、回転体の熱は永久磁
石2を通つて感温磁性体3に作用することにな
り、したがつて熱応答性が悪いという問題があ
る。また回転体が強磁性体の場合には、その周囲
に新たに非磁性体層1をもうけなければならず、
さらには永久磁石2および感温磁性体3は同心形
状でなければならないため、部品加工費が高価と
なる等の欠点がある。
例えば第1図に示すように、回転体本体11が磁
性体を有する場合にはその表面に非磁性体層1を
設けてから、その上にリング状の永久磁石2およ
びリング状の感温磁性体3を設け、そしてその感
温磁性体3の外周囲に間隔をおいて磁電変換素子
4を対向させている。今、回転体の温度が低く、
感温磁性体3の温度がそのキユリー点未満の場合
には、永久磁石2の磁束はシールドされ、磁電変
換素子4には作用しないため、磁電変換素子4の
抵抗は初期抵抗のままである。次に回転体の温度
が上昇し、感温磁性体3の温度がキユリー点以上
となつた場合には、永久磁石2の磁束が外部へも
れて磁電変換素子4に作用し、その抵抗が増加す
る。こうして磁電変換素子の抵抗値の変化を検知
することにより、回転体の温度変化を検出でき
る。しかしその場合、感温磁性体3は永久磁石2
の上に装着されているので、回転体の熱は永久磁
石2を通つて感温磁性体3に作用することにな
り、したがつて熱応答性が悪いという問題があ
る。また回転体が強磁性体の場合には、その周囲
に新たに非磁性体層1をもうけなければならず、
さらには永久磁石2および感温磁性体3は同心形
状でなければならないため、部品加工費が高価と
なる等の欠点がある。
本発明の目的は、上述した従来の欠点を解消
し、かつ物体表面の温度ばかりか移動速度をも非
接触にて検出できる方式の提供にある。
し、かつ物体表面の温度ばかりか移動速度をも非
接触にて検出できる方式の提供にある。
本発明は、所要の検出温度に対応したキユリー
点をもつ感温磁性体板と、該感温磁性体板よりも
十分に高いキユリー点をもつ強磁性体板とを互い
に貼合わせ、かつ長手方向で一定ピツチの打抜穴
を形成してなる磁性帯板を、物体の移動表面に上
記感温磁性体板を内側にして長手方向を該移動表
面の移動方向に一致させつつ密着取付けし、上記
磁性帯板に幅方向で磁束を印加してその通過磁速
量の大小を検出することにより物体表面の移動速
度および温度を検出することを特徴とする物体の
非接触検査方式である。
点をもつ感温磁性体板と、該感温磁性体板よりも
十分に高いキユリー点をもつ強磁性体板とを互い
に貼合わせ、かつ長手方向で一定ピツチの打抜穴
を形成してなる磁性帯板を、物体の移動表面に上
記感温磁性体板を内側にして長手方向を該移動表
面の移動方向に一致させつつ密着取付けし、上記
磁性帯板に幅方向で磁束を印加してその通過磁速
量の大小を検出することにより物体表面の移動速
度および温度を検出することを特徴とする物体の
非接触検査方式である。
以下、本発明につき第2図以降を参照しながら
実施例を用いて説明する。
実施例を用いて説明する。
第2図は本発明の実施例を示している。検出温
度に対応したキユリー点を有する感温磁性体帯5
とそれよりキユリー点の十分高い強磁性体帯6と
を、スポツト熔接等にて互いにはり合わせて、か
つ長尺方向に一定間隔に同一形状の打抜穴7を設
けてなる金属合成帯50を用意し、この金属合成
帯50を回転体12の外周面に感温磁性体帯5を
内側にして密着させつつほぼ1回巻きつける。一
方、回転体12の外部にはヨーク8、永久磁石9
および磁電変換素子10で構成されたピツクアツ
プ80が、そのヨーク8の先端部を金属合成帯5
0の円周面に間隔をおいて接近させた姿勢で固定
配置されている。
度に対応したキユリー点を有する感温磁性体帯5
とそれよりキユリー点の十分高い強磁性体帯6と
を、スポツト熔接等にて互いにはり合わせて、か
つ長尺方向に一定間隔に同一形状の打抜穴7を設
けてなる金属合成帯50を用意し、この金属合成
帯50を回転体12の外周面に感温磁性体帯5を
内側にして密着させつつほぼ1回巻きつける。一
方、回転体12の外部にはヨーク8、永久磁石9
および磁電変換素子10で構成されたピツクアツ
プ80が、そのヨーク8の先端部を金属合成帯5
0の円周面に間隔をおいて接近させた姿勢で固定
配置されている。
この構成によると、ピツクアツプ80の永久磁
石9からの磁束は、ヨーク8によつて回転体上の
金属合成帯50へ流れ込む磁束と、磁電変換素子
10へ流れ込む磁束とに分配される。このとき、
感温磁性体帯5の温度がそのキユリー点未満か以
上か、さらにヨーク8が金属合成帯50の打抜穴
7に対向しているか否かによつて、ヨーク8から
金属合成帯50へ流れ込む磁束量が異なる。
石9からの磁束は、ヨーク8によつて回転体上の
金属合成帯50へ流れ込む磁束と、磁電変換素子
10へ流れ込む磁束とに分配される。このとき、
感温磁性体帯5の温度がそのキユリー点未満か以
上か、さらにヨーク8が金属合成帯50の打抜穴
7に対向しているか否かによつて、ヨーク8から
金属合成帯50へ流れ込む磁束量が異なる。
第3図は磁束の分配の状態を示している。先ず
感温磁性体帯5がキユリー点未満の場合、第3図
aのようにヨーク8の先端が金属合成帯50の面
上にあるときには、永久磁石9からの磁束の大部
分が、強磁性体帯6および感温磁性体帯5を通つ
てφ1で示すように短絡され、磁電変換素子10
へ流れ込む磁束は少ないもれ磁束φ0となり、ま
た第3図bのようにヨーク8の先端が金属合成帯
50の打抜穴7に対応しているときは、エアギヤ
ツプによる磁気抵抗が増大しているので金属合成
帯50へ流れ込む磁束φ3はφ1よりは極力減少
し、その結果、磁電変換素子10へ流れ込む磁束
が増大しφBとなる。次に感温磁性体帯5がキユ
リー点以上の場合、第3図cのようにヨーク8の
先端が金属合成帯50の面上にあれば、磁束は、
強磁性体帯6内にφ2のみが流れ込む。ここで磁
束φ2は磁束φ1より小で磁束φ3より大である
ように設定してある。この結果、磁電変換素子1
0側へ磁束φBより少ない磁束φAが流れる。また
同様な温度の場合に第3図dのようにヨーク8の
先端が金属合成帯50の打抜穴7に対応していれ
ば、先のごとくエアギヤツプによる磁気抵抗の増
大により、強磁性体帯6へ流れ込む磁束φ4は減
少し、その結果、磁電変換素子10へ流れ込む磁
束φ′Bが増加する。
感温磁性体帯5がキユリー点未満の場合、第3図
aのようにヨーク8の先端が金属合成帯50の面
上にあるときには、永久磁石9からの磁束の大部
分が、強磁性体帯6および感温磁性体帯5を通つ
てφ1で示すように短絡され、磁電変換素子10
へ流れ込む磁束は少ないもれ磁束φ0となり、ま
た第3図bのようにヨーク8の先端が金属合成帯
50の打抜穴7に対応しているときは、エアギヤ
ツプによる磁気抵抗が増大しているので金属合成
帯50へ流れ込む磁束φ3はφ1よりは極力減少
し、その結果、磁電変換素子10へ流れ込む磁束
が増大しφBとなる。次に感温磁性体帯5がキユ
リー点以上の場合、第3図cのようにヨーク8の
先端が金属合成帯50の面上にあれば、磁束は、
強磁性体帯6内にφ2のみが流れ込む。ここで磁
束φ2は磁束φ1より小で磁束φ3より大である
ように設定してある。この結果、磁電変換素子1
0側へ磁束φBより少ない磁束φAが流れる。また
同様な温度の場合に第3図dのようにヨーク8の
先端が金属合成帯50の打抜穴7に対応していれ
ば、先のごとくエアギヤツプによる磁気抵抗の増
大により、強磁性体帯6へ流れ込む磁束φ4は減
少し、その結果、磁電変換素子10へ流れ込む磁
束φ′Bが増加する。
第4図に横軸に回転体の温度T、縦軸に磁電変
換素子10に流れ込む磁束φiをとつて上記の状
態をグラフ化した図を示す。図において、Δφ1
およびΔφ′1が回転数の検出に寄与する磁束の
変化量(即ち回転数検出用磁束レベル差)であ
り、Δφ2は回転体温度検出に寄与する磁束変化
量(即ち温度検出用磁束レベル差)であり、また
Δφ3はもれ磁束を示す。なおaはピツクアツプ
が穴上に位置した場合、bはピツクアツプが面上
に位置した場合である。
換素子10に流れ込む磁束φiをとつて上記の状
態をグラフ化した図を示す。図において、Δφ1
およびΔφ′1が回転数の検出に寄与する磁束の
変化量(即ち回転数検出用磁束レベル差)であ
り、Δφ2は回転体温度検出に寄与する磁束変化
量(即ち温度検出用磁束レベル差)であり、また
Δφ3はもれ磁束を示す。なおaはピツクアツプ
が穴上に位置した場合、bはピツクアツプが面上
に位置した場合である。
第5図は磁電変換素子10として磁気抵抗素子
を用いた場合の動作例を示したものである。回転
体の温度がキユリー点未満の場合の素子の抵抗値
aの変化量ΔR1と回転体の温度がキユリー点以
上の場合の素子の抵抗値bの変化量ΔR2との差
|ΔR1−ΔR2|を回路的に検出することにより
温度検出を行なう。一方回転数の検出は、抵抗変
化の周期T1あるいはT2をカウンター回路等によ
り計数化することにより検出できる。なおcはキ
ユリー点未満の場合に磁電変換素子10へ流れ込
む磁速の変化、dはキユリー点以上の場合の同様
な磁速の変化を示している。
を用いた場合の動作例を示したものである。回転
体の温度がキユリー点未満の場合の素子の抵抗値
aの変化量ΔR1と回転体の温度がキユリー点以
上の場合の素子の抵抗値bの変化量ΔR2との差
|ΔR1−ΔR2|を回路的に検出することにより
温度検出を行なう。一方回転数の検出は、抵抗変
化の周期T1あるいはT2をカウンター回路等によ
り計数化することにより検出できる。なおcはキ
ユリー点未満の場合に磁電変換素子10へ流れ込
む磁速の変化、dはキユリー点以上の場合の同様
な磁速の変化を示している。
以上のごとく回転体への装着については感温磁
性体帯および強磁性体帯を巻きつけるのみでよ
く、さらに回転体の熱を直接感温磁性体帯が吸収
するため高精度で温度検知を行うことができる。
又、回転体自体が強磁性体であつても、磁性体帯
の厚みを調整することにより検出感度に対する著
しい影響を避けることができる。又、回転体の温
度のみでなく、回転数をも同時に非接触にて検出
できるため、回転体の複合的な安全機構の設計に
おけるセンサー部として有効である。
性体帯および強磁性体帯を巻きつけるのみでよ
く、さらに回転体の熱を直接感温磁性体帯が吸収
するため高精度で温度検知を行うことができる。
又、回転体自体が強磁性体であつても、磁性体帯
の厚みを調整することにより検出感度に対する著
しい影響を避けることができる。又、回転体の温
度のみでなく、回転数をも同時に非接触にて検出
できるため、回転体の複合的な安全機構の設計に
おけるセンサー部として有効である。
なお、被測定物体が円運動以外の他の軌跡をえ
がく場合であつても、金属合成帯50をその物体
の表面にはりつけることにより、その物体の表面
温度及び速度を同時に検出することが可能であ
る。
がく場合であつても、金属合成帯50をその物体
の表面にはりつけることにより、その物体の表面
温度及び速度を同時に検出することが可能であ
る。
第1図は従来の回転体温度検出方法を示す図、
第2図は、本発明による回転体の温度検出方法の
実施例、第3図は、磁束の流れを示す説明図、第
4図は、磁束のレベルを示す特性図、第5図は、
磁電変換素子からの出力波形を示す図である。 1……回転体表面層、2……リング状永久磁
石、3……感温磁性体、5……感温磁性体帯、6
……強磁性体帯、7……打抜穴、8……ヨーク、
9……永久磁石、4,10……磁電変換素子、5
0……金属合成帯、80……磁気検出用ピツクア
ツプ。
第2図は、本発明による回転体の温度検出方法の
実施例、第3図は、磁束の流れを示す説明図、第
4図は、磁束のレベルを示す特性図、第5図は、
磁電変換素子からの出力波形を示す図である。 1……回転体表面層、2……リング状永久磁
石、3……感温磁性体、5……感温磁性体帯、6
……強磁性体帯、7……打抜穴、8……ヨーク、
9……永久磁石、4,10……磁電変換素子、5
0……金属合成帯、80……磁気検出用ピツクア
ツプ。
Claims (1)
- 1 所要の検出温度に対応したキユリー点をもつ
感温磁性体板と、該感温磁性体板よりも十分に高
いキユリー点をもつ強磁性体板とを互いに貼合わ
せ、かつ長手方向で一定ピツチの打抜穴を形成し
てなる磁性帯板を、物体の移動表面に上記感温磁
性体板を内側にして長手方向を該移動表面の移動
方向に一致させつつ密着取付けし、上記磁性帯板
に幅方向で磁束を印加してその通過磁束量の大小
を検出することにより物体表面の移動速度および
温度を検出することを特徴とする物体の非接触検
査方式。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP813581A JPS57122326A (en) | 1981-01-23 | 1981-01-23 | Contactless inspection system of object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP813581A JPS57122326A (en) | 1981-01-23 | 1981-01-23 | Contactless inspection system of object |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57122326A JPS57122326A (en) | 1982-07-30 |
JPS6229005B2 true JPS6229005B2 (ja) | 1987-06-24 |
Family
ID=11684841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP813581A Granted JPS57122326A (en) | 1981-01-23 | 1981-01-23 | Contactless inspection system of object |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57122326A (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3803597A1 (de) * | 1988-02-06 | 1989-08-31 | Bosch Gmbh Robert | Kombinierter drehzahl/temperatur-messwertaufnehmer |
JPH0283412A (ja) * | 1988-09-21 | 1990-03-23 | Nissan Motor Co Ltd | 磁気式回転センサ |
JP4525267B2 (ja) * | 2004-09-17 | 2010-08-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
US10001130B2 (en) | 2004-09-17 | 2018-06-19 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
JP4710322B2 (ja) * | 2005-01-11 | 2011-06-29 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
US7965054B2 (en) | 2007-07-26 | 2011-06-21 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
GB2532473A (en) | 2014-11-20 | 2016-05-25 | Cummins Ltd | Temperature sensing apparatus |
JP7329425B2 (ja) * | 2019-11-29 | 2023-08-18 | Nok株式会社 | ロータリーエンコーダー用円板、密封装置および速度測定装置 |
-
1981
- 1981-01-23 JP JP813581A patent/JPS57122326A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57122326A (en) | 1982-07-30 |
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