JPS62233756A - 撮像方法及び撮像装置 - Google Patents

撮像方法及び撮像装置

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JPS62233756A
JPS62233756A JP61076570A JP7657086A JPS62233756A JP S62233756 A JPS62233756 A JP S62233756A JP 61076570 A JP61076570 A JP 61076570A JP 7657086 A JP7657086 A JP 7657086A JP S62233756 A JPS62233756 A JP S62233756A
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  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
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  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は映像を表示する装置に係り、特に分解能の低い
測定装置、例えば超音波探傷装置、放射線CT装置、レ
ーダ撮像装置など、映像化を目的とした検査装置に接続
し、高M、像の映像を表示する装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の装置は、特開昭50−137184号公報に記載
されているように、装置の空間分解能がガウス分布で近
似できる測定装置についてのみ適用でき、測定されたス
ペクトルに逆ワイアストラス変換を適用し、分解能を向
上させたスペクトルを導出していた。このため、空間分
解能が未知、あるいはガウス分布と異なる分解能を有す
る測定装置の映像表示装置として使用することができな
かった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来例では、使用している測定装置の空間分解能が
既知か、あるいはガウス分布の場合にしか適用できなか
った。そのため別の手段で空間分解能を求めておく必要
があった。これに対し、81す定装置固有の分解能を、
既知の形状の物体とその測定スペクトルから算出し、分
解能によって劣化した測定スペクトルを自動的に解像度
の高いスペクトルに変換して、鮮明で詳細な映像を表示
する装置が考えられている。しかしこの装置では、測定
スペクトルに含まれる測定誤差等のため、高周波領域で
の値が大きく9表示される映像に高周波振動が生じ、映
像が不鮮明になる問題が生じることがある。
この点に鑑み1本発明では測定スペクトルに測定誤差等
が含まれている場合でも、高周波成分を低減し、鮮明で
詳細な映像を表示できる撮像装置を髭供することを1」
的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
基準となる既知の形状の物体とその物体を測定したスペ
クトルをフーリエ変換し、それらの値の比から、測定装
置固有の伝達関数を算出し、この伝達関数と未知形状の
物体の測定スペクトルのフーリエ変換値とから未知の形
状を表示する装置において、既知の形状として、2個の
ガウス分布を組み合わせた分布を採用することにより、
既知の形状のフーリエ変換値で高周波領域での値が小さ
く1周波数領域での振動が少ないため、表示すべき未知
の形状においても、高周波成分を低減でき。
上記[1的を達成できる。
〔作 用〕
基準となる物体の既知の形状として、2個のガウス分布
を組み合わせた分布を採用すると、既知の形状のフーリ
エ変換値は、高周波領域での値が小さく、振動も少ない
。そのため、たとえ測定スペクトルに測定誤差が含まれ
、測定スペクトルのフーリエ変換値が高周波領域で大き
な値をもったとしても、既知の形状のフーリエ変換値で
打ち消すことができ1表示すべき未知の形状における高
層波成分を低減でき、高解像で鮮明な映像を得ることが
できる。
〔実施例〕
内部欠陥、あるいは内部構造の形状を映像で表示する非
破壊検査装置、たとえば超音波探傷機器。
放射線CTやマイクロ波レーダ探査装置では、超音波、
放射線あるいはマイクロ波などの空間的なひろがり、セ
ンサ受信部の開口の大きさにより。
映像にぼけが生じる。このぼけは装置固有の空間分解能
とみなせる。空間分解能は、点物体を映像表示した時の
映像の空間的なひろがりである。装置固有の空間分解能
を把握し、その空間分解能によって生じた映像のぼけを
修正して真の形状に近い映像を表示することができる。
その際に高周波ノイズの影at減少させ、より真の形状
に近い映像を表示する装置を提供するのが本発明である
まず空間分解能が既知の時に、ぼけを有する映像からぼ
けのない映像を導出する原理について述べる。ここでは
簡単なために、1次元のぼけを修正する数学的処理を考
える。映像は2次元であるので、1次元の映像を便宜上
空間スペクトルと呼ぶことにする。空間スペクトルの横
軸は空間位置、縦軸は強度とする。装置で測定し、ぼけ
を有した空間スペクトル○(。を第2図に示す。一方ぼ
けを表わす空間分解能の空間スペクトルR1〉を第3図
に示す、ぼけのない空間スペクトルを1゜)で表わすと
、Oo)、Ro、との間に式(1)の関係がある。
OLx+ = / I (6+”R+x−6+ d (
F      (1)式(1)の両辺をフーリエ変換す
ると式(2)となる。
0(v+= I (ν)・R(νl         
     (2)+xl t I (。及びR1,をフ
ーリエ変換した関数であり1周波数スペクトルと名付け
1式(3) 、 (4) 、 (5)で定義する。
0(v)=f 0(1)・e”d、x      (3
)I t v)= f I <x、・e−””dx  
     (4)R+ ν) = f R(x)・e−
1””d X       (5)ここで、jは虚数、
νは空間周波数である6従って、空間スペクトル0(。
、R(,1が既知であれば、未知の空間スペクトルエ。
、は次のようにして求めることができる。式(2)より
1周波数スペクトルI(ν)は式(6)で求まる。
この周波数スペクトル■(ν)を、実際の空間スペクト
ルエ、。に戻すには、式(6)で示す逆フーリエ変換で
可能である。
I(l+=/ I(v)・erルに’Xd。
−旬 =f(0(v)/Rtv))・er”′Xd v  (
10)−輪 式(10) )こおいて、O(ν)は測定した空間スペ
クトルO1,をフーリエ変換して得られるが、R(ν)
の原関数である空間スペクトルR,x、を得る方法が課
題となる。Ro、を41g定装同装置間分解能とすれば
、点状の物体を測定装置で映像化し、その映像の空間的
なひろがりをR(xlとみなすことができる。しかし現
実には、点状の物体が存在し得ないし、位置によって空
間分解能が変化する可能性もある。そこで、形状が既知
の物体を測定装置で映像化し、真の形状と映像との比較
から、測定′!A置の空間分解能を導出する。この空間
分解能をフーリエ変換したR (v)は、測定装置の伝
達関数とみなせる。この伝達関数R(ν)を用いて、式
(10)により、物体の像を導出する。この測定装置の
伝達関数R(ν)を導出するには、既知の形状を空間ス
ペクトルI Sexi 1その映像を空間スペクトル0
8tx+とすれば、式(2)の関係より式(11)を得
る。
R(v)=O3(v、/ Is(v、       (
11)ここで、O5(ν)及びIs(ν)は各々0st
xt及びI !II(Xlをフーリエ変換した周波数ス
ペクトルであるにれにより、測定装置の伝達関数R(ν
)を導出でき、以後の測定で得たぼけのある映像を、R
(ν)を用いて式(10)より真の形状に近い映像を表
わす空間スペクトルI。、を算出できる。
この場合、既知の形状を表わす空間スペクトルl8(K
lとして、どのような形状を選ぶかにより、上記手順で
算出した未知の空間スペクトルエ(8)に高周波成分が
発生するかどうか決まる。たとえば、既知のIa(xi
を第4図(、)に示す矩形とすると、それをフーリエ変
換したIs(ν)は第4図(b)に示すスペクトルとな
る。この場合には、第4図(b)から明らかなように高
周波領域で大きな値を持つため、未知の空間スペクトル
エ。、に高周波成分が発生する。高周波成分を低減する
ためには、l5(xlとして、次の条件を満たすものを
選ぶ、(i)Is(+uのひろがりが有限である。 (
ii)高周波領域での値が小さい、(iii)周波数領
域での値の振動が少ない、そこで1強度が半分となると
ころでの幅(以下半値幅Wと呼ぶ)を矩形の幅に対応さ
せ。
ガウス分布、Cos分布1強度が半分の位置を中心とし
たcos分布(修正coq分布と呼ぶ)等について検討
した。上記3条件から、式(12)で表わされれような
、2個のガウス分布を組み合わせた分布(修正ガウス分
布と呼ぶ)が最適であった。
式(12)で表わされる空間スペクトルIs。、(第5
図(a))をフーリエ変換した、周波数スペクトルIs
(ν)を第5図(b)に示す。この場合には、上記の条
件を満たしており、未知の空間スペクトルI。、での高
周波成分を低減することができ、真の形状に近い映像を
得ることができる。
以上、原理について述べた。次に発明の詳細について、
以下第1図の実施例に基づいて説明する。
はじめに、測定装置の伝達関数R(ν)を求める。
切換え制御器5の出力を”1”にすると、スイッチ10
及びllの端子aと端子Cが導通し、′0”にすると端
子すと端子Cが導通する。スイッチ8及び9は、切換え
制御器5と選択指示器6の出力との論理積(ANDゲー
ト7の出力)により制御される。すなわち、制御器5の
出力が$11 II及び指示器6の出力。もIT il
lのときだけ、スイッチ8及び9の端子aと端子Cが導
通し、その他の場合には端子すと端子Cが導通する。そ
こで、まず制御器5の出力及び指示器6の出力をともに
”1″とする。半値幅W設定用スイッチ1で、基準とす
る既知の形状の半値幅を設定する。この半値幅が修正ガ
ウス分布演算器2に入力されると、式(12)に基づい
て修正ガウス分布を算出し、その結果をIs<x+lメ
モリ3記録する。この場合、空間位置を番地に対応させ
1強度を記録内容とする。 Ia(xlメモリ3の記録
内容をスイッチ8を介してフーリエ変換器12に入力し
、式(4)に基づいて周波数スペクトルIs(ν)を導
出する。このIs(ν)は、スイッチ9を介してIsい
・メモリ13に実数部、虚数部に分けて記録する。次に
選択指示器6の出力をII O11にして、スイッチ8
及び9の端子すと端子Cを導通させる。基準形状の物体
を測定して得られる空間スペクトル○。、を測定装置よ
り入力し、測定スペクトルメモリ4に記録する。メモリ
4の内容はスイッチ8を介してフーリエ変換器1zに入
力される。フーリエ変換器12では、式(3)に従って
周波数スペクトル0(y)を算出し、スイッチ9を介し
て実数部、虚数部に分けて0(ν)メモリ14に記録す
る。O(ν)メモ1月4の内容はベクトル除算器17の
ボート八に、またIs(ν)メモリ13の内容は、スイ
ッチ10を介してポートBに入力される。ベクトル除算
器17では、ポートAの入力値Ar(実数部) 、 A
i (虚数部)とポートBの入力値Br(実数部)、B
i(虚数部)を用いて1式(13)に従って、実数値C
rと虚数値CLを算出する。
Br”+Bi”        (13)Br”+Bi
2 式(13)で算出したCr、Ciをスイッチ11を介し
てR(ν)メモリ15の実数部、虚数部に記録する。こ
れで、測定装置に゛伝達関数R(ν)が得られた。
次に、未知の形状の物体を測定した結果から未知の物体
の形状を表示する。切換え制御器5の出力をIT OT
lにし、未知の物体を測定した空間スペクトル0.x、
を測定装置からスイッチ8を介してフーリエ変換器12
に入力する。フーリエ変換器12では1式(3)に基づ
いて周波数スペクトル0(ν)を算出し、実数部、虚数
部に分け、スイッチ9を介してO(ν)メモリ14に記
録する。メモリ14の内容はベクトル除算器17のポー
トAに、R(ν)メモリ15の内容はスイッチ10を介
して、除算器17のボート已に入力する。除算器17で
は、式(13)に基づいて演算を実施し、その結果Cr
、Ciを未知の形状の周波数スペクトルエ(ν)メモリ
16の実数部、虚数部に記録する。逆フーリエ変換器1
8でX(ν)メモリ16の内容から式(10)に基づい
て空間スペクトルエ。、を算出し、その結果をI(x+
メモリ19の実数部、虚数部に記録する。パワー演算器
20では、■(。メモリ19の実数部Ir、虚数部Ii
を用いて、強度Tρを式(14)に従って算出する。
Ip=v’T〒−[丁T”          (14
)この値をパワースペクトルメモリ21に記録する。
番地変換器22では、I(X+メモリ19の番地を式(
15)に従ってシフトし、メモリ19の内容をシフトス
ペクトルメモリ23に配列しなおして記録する。番地が
2Nまであり、パワースペクトルメモリ21の番地にの
内容をIp(k)で表わすと1式(15)に従っメモリ
23の番地mの内容Isp(m)を決定する。
パワー換算器24はメモリ23の番地mに内容Isρ(
m)に比例した電圧値vyを1番地換算器25はメモリ
Z3の番地mに比例した電圧値Vxを、映像表示器26
の垂直偏向及び水−・Y信号・として出力し、映像表示
器26にぼけのない映像を表示する。
以下に、試料中に存在する矩形の溝を超音波探傷装置で
映像化した結果に対して、本発明の装置dを適用した例
を示す。第6図に超音波探傷装置による映像化実験の配
置を示す6深傷器105からの信号により、探触子10
0から試料102へ超音波ビーム104を発(rtする
。試料102中の矩形の溝103の表面で反射した超音
波を探触子100で受信する。走査装置101により、
探触子100をX軸方向に走査する。また、演算器10
6では、空間位置Xにおける超音波発信から受信までの
時間間隔t。、を測定し、式(16)に基づいて溝の表
面までの深さl’1fxlを算出する。
h (−1= ha  (v−t (Ill / 2)
      (16)ここで、haは試料102の高さ
、υは試料102中の音速である。超音波ビーム104
は試料102中でひろがるため、第7図(a)に示す矩
形の溝を測定すると、第7図(b)に示す空間スペク1
−ルO(x、を得る。この第7 fffi (a) 、
 (b)に示す空間スペクトルエ(。、O(x+を用い
て、第1図の装置で映像化する。
ある幅1.の溝を既知の基準形状として、測定装置の伝
達関数R(ν)を求め、未知の幅1の溝の形状を求める
ものとした。半値幅W設定用スイッチ1で1゜を設定す
ると、修正ガウス分布演算器2で式(12)に基づいて
演算し、Is+x+メモリ3に記録される。このl5(
xlは、第8図(a)に示す形状となる。第1図に示す
装置で未知の形状の空間スペクトルI(、)を求めると
、第8図(b)に示すスペクl−ルとなる。こ、こでは
、第8図(b)において強度0.5以上が形状と判断す
る。従って、形状は第8図中破線のようになる。第8図
(c)に示す真の形状と比較すると、導出した形状(第
8図(b)中破線)は、幅がlO%小さいだけである。
一方、基準の空間スペクトルIs(。に修正ガウス分布
を用いず、矩形(第7図(a))とした場合の空間スペ
クトル分布I(xlを第9図に示す。強度0.5以上の
ものを導出すべき形状とすると第9図中の丸で示すよう
に溝が3個存在することになる。これは真の形状と異な
るものであり、この理由は第4図(b)に示す如く、高
周波領域で高い値を持ち、高周波成分の低減がはかれな
いためである。第9図と比較して本発明の結果第8図(
b)は、高周波成分のノイズが低減し、真の形状に近い
形状を得ることができる。また、第10図に基準形状の
空間スペクトルI8(mlとして、 cos分布、ガウ
ス分布等信の分布とした場合と修正ガウス分布との比較
を示す。
第10図より、これらの分布のうちで、修正ガウス分布
が真の形状にもっともちかいことがわかる。
種々の溝幅1について本装置を適用した結果を第11図
に示す。第11図より、基準の幅1゜より小さい場合に
は差が大きいが、10以上で2111以下の溝幅に対し
ては真の形状と13%以内の差で表示できる。
第1図に示す装置では、測定したスペクトルOs(、)
、O(、)に測定値のバラツキが大きいと、測定スペク
トルがなめらかではなく、不連続点が存在する。不連続
点が存在する空間スペクトルをフーリエ変換すると、高
周波成分の値が大きくなる。
従って、測定スペクトル中の測定誤差のバラツキを減ら
してなめらかにすることで、高周波成分を低減させ、よ
り鮮明な空間スペクトルエ。、を導出することができる
このひとつの手段は、測定スペクトルをmMのBスジ9
42曲線で近似し、なめらかに接続することである。、
m階のBスジ942曲線は式(17)で導出でき、ある
区間ごとに(m−1)次曲線で接続した曲線であり、(
m−2)次の導関数まで連続である。
ここでVkは点列、nは点列の個数、Nk、mは重み関
数である。1個の測定点の変化が曲線全体に及ぼす影響
が少ないこと、最初の点V、と最後の点Vnを通過する
ことも有利な点である。この処理を実行する装置構成を
第12図の点線枠内に示す。
点線枠外の機器は第1図に示した機器であり、点線枠内
の機器を第1図に示す装置に増設する。階数m設定用ス
イッチ28で設定したmに対する重み関数を、重み関数
演算器29で計算し、その結果と測定スペクトルメモリ
4の内容とをmlのBスプライン曲線演算器27に入力
し、式(17)に基づいてBスジ942曲線を算出する
。その結果を補正スペクトルメモリ30に記録する。
以上説明した第12図の機器を第1図の装置に組み込ん
だ新たな装置の性能について述べる6本装置を第8図に
示す超音波探傷装置による映像化の結果を適用する。例
えば、スイッチ28で階数mを4に設定した場合、測定
スペクトル第7図(b)は、第12図(b)に示す補正
スペクトルとなる。第11図に示す装置を増設すると、
未知の形状の空間スペクトルエ(。は、第12図(e)
に示すスペクトルとなる。第11図に示す装置を増設し
ない結果第8図(b)との比較により、第11図に示す
装置を増設すると、測定スペクトルでの高周波成分も低
減されるため、より真の形状に近い映像が得られる。
〔発明の効果〕
本発明は、測定装置固有の伝達関数を、本発明装置で測
定する際に、既知の試験体の形状として、2個のガウス
分布を組み合わせた分布(修正ガウス分布)とすること
により、測定スペクトルに含まれる測定誤差に起因する
高周波成分の振動も低減でき、高解像度で真の形状に近
い映像を表示することができる。例えば、未知形状の物
体の大きさが、既知の試験体の大きさ1゜以上で21゜
以下の場合には、真の形状の大きさと15%以内の差で
映像表示できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の撮像装置の基本構成を示す図。 第2図は分解能の低い測定装置で測定したスペクトルの
一例を示す図、第3図は測定装置の空間分解能を表わす
図、第4図は基準形状が矩形の時の空間スペクトル及び
周波数スペクトルを表わす図、第5図は本発明の基本と
なる基準形状が修正ガウス分布の時の空間スペクトル及
び周波数スペクトルを表わす図、第6図は超音波による
試料中の溝の映像化の時の配置図、第7図は第6図の条
件での基準形状を表わす空間スペクトル及び測定スペク
トルを示す図、第8図は第6図の条件での測定したスペ
クトルに本発明を適用した時の結果を示す図、第9図は
第6図の条件で基準形状を矩形とした時に得られる未知
形状の空間スペクトルを表わす図、第10図は基準形状
を種々の分布形状とした時の比較を表わす図、第11図
は第6図の条件のもとて種々の溝幅について本発明を適
用した結果をあられす図、第12図は測定スペクトルを
平滑にするための本発明の撮像装置増設部を示す図、第
13図は第12図を増設した撮像装置の結果を示す図で
ある。 1・・・半値幅W設定用スイッチ、2・・・修正ガウス
分布演算器、3・・・基準形状の空間スペクトルIs。 、メモリ、4・・・測定スペクトルメモリ、12・・・
フーリエ変換器、13・・・基準形状の周波数スペクト
ルIs(ν)メモリ、14・・・測定した周波数スペク
トル0(ν)メモリ、15・・・伝達関数R(ν)メモ
リ、16・・・未知形状の周波数スペクトルエ(ν)メ
モリ、17・・・ベクトル除算器、18・・・逆フーリ
エ変換器、19・・・未知形状の空間スペクトルエ(え
)メモリ、26・・・映像表示器、27・・・m階のB
スジ942曲線演算器、28・・・階数m設定用スイッ
チ、29・・・重み関数演算器。 30  補正スペクトルメモリ、100・・・探触子、
102・・・躬 2図 空間イ装置χ 冶3図 り己間イ孟二iX f3  年口 (CL) (b) 0       空間n仮数V 蔓 5 図 (b) 嘉 60 策 ′l 口 (α) (b) 范8 口 (α) (b) (C) %9 図 蔓10 図 基’4%no=:3rnTr1 1′:本値費での片果 rl : 6岨fL0.5 >t」二のイI!19タミ
も110 β/1゜ 躬12凹

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、形状が既知の試験体を撮像して得た測定像のフーリ
    エ変換値を、試験体の形状のフーリエ変換値で除するこ
    とにより、測定装置固有の伝達関数を算出して保持し、
    目的とする試験体を撮像して得た測定像のフーリエ変換
    値を前記伝達関数で除し、その値を逆フーリエ変換し、
    変換後の形状を映像として表示する装置において、既知
    の形状として2個のガウス分布を組み合わせた関数で表
    現することにより、撮像して得た測定像に含まれる測定
    誤差に起因する高周波ノイズを低減した映像を表示する
    ことを特徴とした撮像装置。
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