JPS62232507A - 形状計測装置 - Google Patents

形状計測装置

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JPS62232507A
JPS62232507A JP7623886A JP7623886A JPS62232507A JP S62232507 A JPS62232507 A JP S62232507A JP 7623886 A JP7623886 A JP 7623886A JP 7623886 A JP7623886 A JP 7623886A JP S62232507 A JPS62232507 A JP S62232507A
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JP
Japan
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tire
data
displacement meter
pattern
measuring
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JP7623886A
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English (en)
Inventor
Shigeru Yuki
結城 滋
Yuji Oikawa
及川 勇次
Keiichi Nakatani
中谷 景一
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Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、タイ亀7コニフオーミテイマシンに用いら
れてタイヤの外形状を計測する形状計測装置などのよう
に、被検体の外形状を晶1測するための形状計測装置に
関する。
(従来の技術とその問題点) タイヤのユニフォーミティ(均一性)は一般的に剛性1
寸法(形状)2重量の均一性の3つに分類される。これ
らのユニフォーミティを調べるための装置として従来か
らタイヤユニフォーミティマシンが知られており、そこ
では所定の検査経路に沿って移送されるタイヤに対し上
記各ユニフォーミティを検査するための試験ないし計測
が順次実行される。
寸法(形状)上のユニフォーミティとしては例えば、振
れ(以下ランナウトという)やバンピーなどが挙げられ
、ランナウトにはタイヤトレッド(満面位置)における
タイヤ半径の変動を表わす縦振れ(以下ラジアルランナ
ウトという)と、タイヤサイドウオール(側面位置)に
おけるタイヤ幅の変動を表わす横振れ(以下ラテラルラ
ンナウトという)とがある。バンピーは、タイヤ表面に
表われる微小凹凸をいう。これらのランナウトやバンピ
ーは、主としてタイヤを構成するトレッドゴム、カーカ
スコード、ベルトなどの部材が周上に均一に分布してい
ないことによる、ゴム・コード複合体としての剛性の不
均一により生ずるもので、タイヤの製造工程のバラツキ
に起因している。
第25図および第26図は、上記ランナウトやバンピー
を検査する目的でタイヤ両側面の外形状を計測するため
の、従来の形状計測装置を概略的に示す構造説明図であ
る。第25図は変位計としてポテンショメータ1を用い
た接触式のものを示し、第26図は変位計として静電容
量式変位計2を用いた非接触式のものを示している。こ
れらの装置において、被検体であるタイV73はタイヤ
回転機構4に装着され、所定の回転数で回転される。
ポテンショメータ1および静電容ω式変位42は支持ア
ーム5の先端に支持され、タイヤ3の両側を挟み込んだ
形に配置されてタイヤ3の両側面を走査する。第25図
の接触式の場合には、タイヤ3に当接した接触子([」
−ラ)6の振動をポテンショメータ1でとらえることに
よりタイヤ3側面の形状が計測され、また第26図の非
接触式の場合には、距離変動に伴う静電容量の変化を静
電容量式変位計2で測定することによりタイヤ3側面の
形状が計測される。
ところがポテンショメータ1を用いた第25図の従来装
置では、タイヤ3の回転数を上げて測定を行なうと、ロ
ーラ6のバウンドによりバンピー波形に追従できないと
いう問題がある。例えばポテンショメータのバネ定数2
4 K9 f /麿で20「pmが限度であり、計測に
時間がかかるばかりでなく、剛性のテストと同時にデー
タ・サンプリングを行なう場合、自動車技術会によるJ
ASO規準の6 Orpmを遵守できない。また静電容
量式変位計2を用いた第26図の従来装置では、測定ス
ポット径が約10#Iと大きいため、タイ17表面の微
小凹凸を正確にとらえることが難しく、さらにタイヤ表
面は曲面であることから、大きな測定スポットでは誤差
が生じ易い。
さらに重要な問題として、第27図(b)の概略平面図
に示すように、殆どのタイヤにはサイドウオール上にそ
の型式等を表示する浮文字が形成されている。このため
、第27図(a)の概略断面図(a−a断面)に矢符号
Aで示すように、標準的な検査位置であるサイドウオー
ル中心部を計測しようとすると、上記第25図の従来装
置では文字の繰り返しによりローラ6が大きくバウンド
して、測定不能となる。また第26図の従来装置では、
静電容量式変位計2の測定スポットが大きいため、サイ
ドウオール中心部において得られるデータは文字部分と
非文字部分とが平均化されたものとなり、測定の正確を
期し難い。浮文字を避けようとしてもサイドウオール上
には浮文字の存在しないラインが無い場合が多く、仮に
有ったとじても非常に幅が狭いので、変位計の位置決め
が難しい。
このような事情から従来では、第27図(a)の矢符号
へで示す標準的な検査位置に代えて、矢符号Bで示すよ
うに浮き文字を避けた部分をやむを得ず計測しているの
が実情であった。
(発明の目的) この発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消し、タ
イヤなどの被検体表面上に浮文字などの不要の凹凸が存
在しても計測ラインを選ぶことなく被検体の外形状を計
測することができ、加えて高速で正確な計測データを得
ることができる形状計測装置を提供することである。
(目的を達成するための手段) 上記目的を達成するため、この発明による形状計測装置
は、表面に凹凸部を有する被検体の所定の測定部位を走
査する光学式変位計と、該光学式変位計の出力信号を受
けて、該出力信号から、前記凹凸部に対応させて予め定
められた信号パターン成分を除去する信号補正手段と、
該信号補正手段により補正された信号に基づき所定の形
状計測を行なう計測手段とを具備して構成されている。
(実施例) 第1図はこの発明による形状計測装置をタイヤの外形状
計測に適用した一実施例の機構部分を示す説明図であり
、第2図はその信号処理部分を示すブロック図である。
第1図に示すように、被検体であるタイヤ3は、従来と
同様にタイヤ回転機構4に装着されて、例えばJASO
規準である6Q rpmの回転速度で回転される。タイ
ヤ3のサイドウオール上には、第2図に示すように浮文
字が形成されている。変位t1としては、非接触で測定
スポットが小さいことから、レーザやLEDなどを利用
した光学式変位計7が使用される。例えばレーザ式の場
合は測定スポット径は0.3#程度であり、またLED
式の場合は測定スポット径は3履程度であって、いずれ
も静電容置式変位計と比較して測定スポットが非常に小
さい。
この光学式変位計7は、1対の支持アーム8の先端に支
持されて、タイヤ3の両側を挟み込/υだ形に配置され
る。支持アーム8は垂直移動機構9および水平移動機構
10に連結されており、垂直移動モータ11により駆動
されてタイヤ3を中心に上下対称に移動可能であり、ま
た水平移動モータ12により駆動されて左右方向に同時
に移動可能なように構成されている。いま支持アーム8
は、図示のように、光学式変位計7がタイヤ3の両ナイ
ドウオール中心部を走査する位置に位置決めされている
光学式変位計7の出力信号は、第2図に示すように、A
/D変換器13によりアナログ信号からディジタル信号
に変換されて、演算処理装置14に取り込まれる。この
ときのサンプリング数は、タイ1′71回転あたり36
0ポイント(普通乗用車用タイヤで約4InIR間隔)
以上あれば一応正確な計測が可能であるが、好ましくは
720ポイントのサンプリング数で測定する。演算処理
装置14は、補正部15および計測部16を有する。補
正部15は、光学式変位計7のサンプリングデータから
、タイヤ3のサイドウオール上の浮文字に対応させて予
め定められた信号パターン成分(この実施例では複連す
るように台形、犬山、小山の3通りのパターン)を除去
するように動作する。またδ1?I11部16は、補正
部15において補正されたデータに基づいて、ランナウ
トやバンピーなどのタイヤ外形状に関する計測を行なう
。この計測結果は、例えばディスプレーなどを有する出
力部17に出力され、他のタイヤ計測パラメータと併せ
てタイヤランク選定の判断材料とされる。
上述した演算処理装置14の機能は、例えばマイクロコ
ンピュータを用いて実現することができ、第3図はその
ときの処理手順の概要を示すフローチャートである。ま
ずステップS1では、所定のサンプリング数で、光学式
変位計7の出力データをタイヤ3の1周分(Odog〜
360d(!(3)取り込む。いま光学式変位計7はタ
イヤ3のサイドウオール中心部に位置決めされているの
で、第4図に示すようにサイドウオール上に形成された
浮文字の上を走査することになる。したがって、このと
き得られるサンプリングデータは、第5図(a)に示す
ように、浮文字の凹凸による雑音成分(文字成分)を含
んだものとなっている。
次にステップS2では、取り込んだサンプリングデータ
から上記文字成分を除去するためのデータ処理を実行す
る。このデータ処理については後に詳述するが、これに
より得られる補正データは、第5図(b)に示すように
、タイヤ3表面の本来の形状変動のみを表わすものとな
っている。そしてステップS3で計測モードを判別し、
ランナウト計測モードのときはステップS4へ進み、バ
ンピー検出モードのとぎはステップS5へと進んで、そ
れぞれの処理を実行する。ステップS4におけるランナ
ウト計測処理では、第5図(C)に示すように補正後の
データからランナウトIRQ(この場合はラテラルラン
ナウト)を演算し、またステップS5におけるバンピー
検出処理では、第5図(d)に示すように補正後のデー
タからバンピーBPの存在を検出する。なお第5図(C
)においてデータ曲線が比較的スムーズなのは、データ
に移動平均処理を施してローパスフィルタを通過させた
のと同等の効果を得ているためである。
第6図は、第3図におけるステップS2の文字成分除去
処理のアルゴリズムの一例を概略的に示すフローチャー
トである。この実施例における文字成分除去処理では、
浮文字に対応したデータパターンを後に詳述するように
台形、犬山、小山の3通りのデータパターンに定め、こ
のうち台形パターンのデータ成分の除去をステップ$9
で、また犬山、小山パターンのデータ成分の除去をステ
ップS10でそれぞれ行なっている。また、これらの処
理を行なうことにより、文字以外の不要サンプリングデ
ータ(ノイズ等)の除去も併せて行なうことができる。
さらに高速処理を可能にするため、グルービングという
概念を導入し、この概念に基づいたグルービング処理を
ステップS7で行なっている。
最初のステップS6では、上記ステップ87゜S9.S
10における各処理、すなわちグルービング処理、台形
パターン成分除去処理および犬山。
小山パターン成分除去処理に必要な種々のパラメータの
設定、ならびに処理を何回繰り返し行なうかを決定する
繰返し回数Nの設定とが行なわれる。
続いてステップS7でグルービング処理(内容は後述)
が実行され、続くステップS8でカウンタを1−1にセ
ットした後、ステップS9.S10で台形パターン成分
除去処理および犬山、小山成分除去処理がそれぞれ実行
される。そしてステップS11でi≧Nかどうか、すな
わち処理回数1が設定繰返し回数Nに達したかどうかが
判別され、“”No”ならばステップ812でカウンタ
を1だけ更新した後、再びステップ89,810の処理
が繰り返し実行される。そしてi≧Nとなった時点で、
第6図の文字成分除去処理は終了する。
第7図J3よび第8図は、上述した第6図のステップS
7におけるグルービング処理の概念を示す説明図である
。グルービング処理では、サンプリングデータ中の非常
に接近した点(P)の集まりを1つのグループ(G)と
して扱う。2点以上のグループは最初と最後の点のみを
そのグループの代表点として残し、1点だけのグループ
はその点をそのグループの代表点として残す。そして以
後のデータ処理では、上記代表点のみを参照して(すな
わち代表点以外の点は無視して)処理を行なう。
上記グループ分けの基準として、bound  (バウ
ンド)というパラメータを導入する。そして適当に設定
されたグルービングパラメータboundの範囲内に入
っている点の集まりを1つのグループとする。第7図に
は点21〜点P19の19個のサンプリングデータが示
しであるが、これらのサンプリングデータはグループG
 〜グルービングの8つのグループにグルービングされ
る。すなわちグループG では、点P2を基準点として
boundの範囲内に入る5個の点P2〜P6が1つの
グループにグルービングされ、グループG4では、点P
8を基準点としてboundの範囲内に入る3個の点P
8〜P1oが1つのグループにグルービングされる。ま
たグループG5では、点P11を基準点としてboun
dの範囲内に入る5個の点P11〜P15が1つのグル
ープにグルービングされ、グループG6では、点P16
を基準点としてboundの範囲内に入62個の点P 
 、P  が1つのグループにグルーピングされる。そ
の他の点P  、 P7. p18.P19は、1点だ
けのグループG1.G3.G7.G8としてそれぞれグ
ルービングされる。
上記のようなグルービングを行なった結果、以後のデー
タ処理で参照すべきサンプリングデータは第8図に示す
ように減少し、これによりデータ処理時間の短縮を図る
ことができる。
第9図および第10図は、上述した第6図のステップS
9における台形パターン成分除去処理の概念を示す説明
図であり、第11図はそのときの処理手順を示すフロー
チャートである。この処理を実行するために、d   
、d、  という2つの+18X      l1In パラメータを用意する。d  とは台形の立上りaX を認識するために用いられるパラメータであり、d ・
 は台形頭の終りを評価するために用いられ1n るパラメータである。なおここでいう台形とは、台形頭
に2点以上のサンプルがあるものを指している。
第9図においては、点21〜点P19の19個のサンプ
リング点が図示しであるが、これらのデータは第11図
のアルゴリズムにしたがって台形パターン成分除去処理
される。すなわちまず、ステップS13では、データ群
がd  以上の変位でax 立上って、その後の変位がd 、の範囲内で統い11n でいるかどうかが判別される。第9図の例では、点P 
から点P にかけてd  を越える変位の5    0
      max 立上りが存在するので、まず点P5が台形の立上り点と
して認識される。続いて点P6を基準点として、変位が
d  の範囲内に収まっている点Pn+In 〜P が台形頭と認識され、変位がd 、の範G   
12               n++n囲から最
初に外れる点P13が台形の立下り点として認識される
このような場合、ステップ813の判断は“Yes”と
なって、処理はステップS14へと進む。
一方、ステップ313の判断がNO”のときは台形パタ
ーン成分が存在しないので、処理は終了する。ステップ
S14では、上記のように認識された台形パターン成分
の除去処理が実行される。
すなわち第10図に示すように、台形頭の点26〜点P
12は捨てられ、代りに台形の立上り点P5ど立下り点
P13との間が直線補間されて、新たな点P6′〜点P
12′が元のサンプリングデータP6〜P12に代るデ
ータとなる。このようにして、第9図に示すように得ら
れたサンプリングデータは、台形パターン成分除去処理
により第10図に示すように補正される。
第12図ないし第15図は、上述した第6図のステップ
S10における犬山、小山パターン成分除去処理の概念
を示す説明図であり、このうち第12図および第13図
は小山パターン成分除去に関するもの、第14図および
第15図は犬山パターン成分除去に関するものである。
この犬山、小山パターン成分除去処理の基本思想は、サ
ンプリングデータ中に現われる比較的勾配の大きな部分
は文字あるいは雑音とみなして除去することにある。こ
のとき除去する点を評価するのに、例えばその前接の点
を含めて3点により行なうことができる。そしてこの3
点のとり得るパターンは、第16図(a)〜(d)に示
す4通り存在する。
まず(a)のパターンのうち、tanθ ・tanθ2
がある負の値より小さいもの(すなわち点A、B。
Cのなす角が鋭いもの)を除去する。これを評価するパ
ラメータとして、後述するようにMを用いる。次に(b
)のパターンは除去しない。また(C)。
(d)のパターンのうち、tanθ ・tanθ2があ
る正の値よりも大きいもの(すなわち点A、B、Cが急
勾配で上昇または下降し続けているもの)を除去する。
これを評価するパラメータとして、以下に説明するよう
にKを用いる。
上記パラメータMおよびKは角度(dea)で与えるこ
ともできるが、これでは処理のイメージがわかりにくい
ので、好ましくは第17図に示すように、単位長さく 
1 m )に対する増分(1m進んだときに何層上昇あ
るいは下降する傾きであるか)によってパラメータを定
義する。第17図(a)において、M=tanα(単位
長さに対する増分)であり、例えば 且つ  y・−yH−1>O・・・(1)のどき1点(
×・、y・)を除去する。
また第17図(b)において、K = tanβ(単位
長さに対する増分)であり、例えば ・・・(2) のとき、点(×・、y・)を除去する。
いま、光学式変位計7の走査半径をrとすれば、データ
の号ンブリング間隔ΔXは Δx=2πr/n          ・・・(3)と
表わせる。ただしnはタイヤ1回転におけるサンプリン
グ数である。ここで x−=n・ΔX (n、=1〜n)      ・・・(4)とおけば、
上記(1)式および(2)式はそれぞれy・−yi−i
  yi+1−!i/1−(M×Δx )  >   
     X n 、   −n。
0° ’i−1+・11 ・・−(1’) V゛−!i’H−1’17÷1−yi I −(KX  Δ x )    く         
       × 。 、    −。 。
”−ni−1++1   + ・・・(2′) と変形でき、さらに n・−n・ =n・ −n・=1  ・・・(5)+ 
     +−1++1      +であるので、結
局 −(M×Δx)2 〉 (y・−”i−1) x (yH+1−yH)・・・(
1“) (KXΔX)   < (y・−y・ )x(y・ −y・) +   +−1++1   + ・・・(2“) が得られる。したがって簡単には、上記(1”)。
(2″)式を用いて犬山、小山パターンの成分の判別を
行なうことができる。
第18図は、上記第6図における犬山、小山パターン成
分除去処理の手順を詳細に示す70−チャートである。
まずステップ315では、となり合った3点を比較して
一定以上の凸かどうか、すなわち小山パターンであるか
どうかが判別され、“yes”のときステップ316へ
、”No ″のときステップS17へとそれぞれ処理が
進められる。
例えば第12図のサンプリングデータの場合には、点P
4.P5 、P6の部分が小山パターンと判別される。
この判別は、例えば上記(1”)式を用いて行なうこと
ができる。
ステップS16では、上記ステップ815で判別された
小山パターン成分の除去処理が行なわれる。第13図は
第12図のサンプリングデータから小山パターン成分を
除去するときの説明図であり、同図に示すように小山の
頂点P5が除去されるとともに、P、P6間が直線補間
されて、元のサンプリングデータP5に代えて新たなデ
ータP5′が挿入される。
続くステップ817では、データ群が一定値以上の傾斜
で連続上界しかつ下降しているかどうか、すなわち人山
パターンであるかどうかが判別され、”yes”のとき
はステップ818へと処理が進められ、“’No”のと
きは処理は終了する。例えば第14図のサンプリングデ
ータの場合には、点83〜点P8の部分が人山パターン
と判別される。
この判別は、例えば上記(2“)式を用いて行なうこと
ができる。
ステップ818では、上記ステップ817で判別された
人山パターン成分の除去処理が行なわれる。第15図は
第14図のサンプリングデータか゛ら人山パターン成分
を除去するときの説明図であり、同図に示すように人山
の急斜面P4〜P7が除去されるとともに点P  、P
  間が直線補間されて、元のサンプリングデータP 
 −P7に代えて新たなデータP ′〜P7′が挿入さ
れる。なお、第17図のアルゴリズムによるときは、第
14図の人山の頂点P6は第17図(a)の小山パター
ンに該当するものとして除去されることになる。
第19図は、種々の種類の浮文字に対して上述した文字
成分除去処理を適用する場合の訓明図である。タイヤ表
面の浮文字の断面形状はおよそ第19図(a)に図示し
た5種で代表できるが、それらに対応するガンプリング
データは(b)に示すように、サンプリングのタイミン
グ及び文字表面上の微小な凹凸によって様々である。と
ころが、それらのサンプリングデータは上記した小山、
人山。
台形パータンの組合せであり、(2)、 (6)、 (
8)のような−見複雑な文字のサンプリングデータパタ
ーンも、処理を繰り返すことによりすべて除去できる。
例えば(2)のデータパターンは小山パターン除去処理
(1回目)と人山パターン除去処理(2回目)の繰返し
により除去することができ、また(6)や(8)のデー
タパターンは人山パターン除去処理(1回目)と台形パ
ターン除去処理(2回目)の繰返しにより除去すること
ができる。その他のデータパターンは1回処理により除
去されるが、(1)のデータパターンの場合は小山パタ
ーン除去処理、(3)および(5)のデータパターンの
場合は人山パターン除去処理、(4)のデータパターン
の場合は台形パターン除去処理によりそれぞれ除去され
る。また(7)のデータパターンの場合は、1回処理に
おける小山パターン除去処理と人山パターン除去処理と
により順次除去されることになる。
第20図ないし第22図は、上記実施例による実際の処
理結果を、タイヤのOdea〜180degにわたって
示す図である。第20図において、(a)はサンプリン
グデータ、(b)は小山パターン除去処理のみを行なっ
た後のデータ、(C)は小山パターン除去処理と人山パ
ターン除去処理とを行なった後のデータをそれぞれ示し
ている。設定パラメータは、bound = 0.05
 、 M= 0.2. K=4である。鋭角的なデータ
変動の部分が効果的に補正されているのがよくわかる。
第21図において、(a)はサンプリングデータ、(b
)は小山パターン除去処理と人山パターン除去処理とを
行なった後のデータ、(C)は小山パターン除去処理と
犬山パターン除去処理とに加えて台形パターン除去処理
をも行なった後のデータをそれぞれ示している。設定パ
ラメータは、bound =0.05 、 M−0,2
,K=4.かつd   =0.3゜aX d  、  = 0.1である。台形パターン除去処理
を行l1In なうことによって、矢符号の部分において台形パターン
が効果的に除去されているのがよくわかる。
第22図は処理回数による、得られるデータの違いを表
わすものであり、(a)はサンプリングデータ、(b)
は小山パターン除去と人山パターン除去との1回処理後
のデータ、(C)は同様の除去の2回処理後のデータを
それぞれ示している。設定パラメータはいずれもbou
nd = 0.05 、 M= 0.2゜K=7である
。2回処理により丸囲み部分が効果的に補正されている
のがよくわかる。
第23図はこの発明の他の実施例を示す機構説明図であ
り、タイヤ3のラジアルランナウト(トレッド部の外形
)の計測にこの発明を適用したものである。光学式変位
計7は支持アーム18の先端に支持され、タイヤ3のト
レッド部の中心と対向して紀行される。支持アーム18
は水平移動機構19と連結され、モータ20により駆動
されて左右方向に移動自在に構成されている。この実施
例の場合、サンプリングデータ中の文字成分除去に代え
て、溝成分(トレッドパターンのデータ成分)除去のア
ルゴリズムが必要となるが、浮文字による凸の場合と溝
による凹の場合とは信号の変化方向が逆になるだけであ
るので、上記実施例における場合と類似(すなわち信号
の変化方向のみを逆にして考える)のアルゴリズムによ
り溝成分を十分効果的に除去することができる。第24
図は溝成分除去を実際に行なった結果を示す図であり、
(a)はサンプリングデータ、(b)は溝成分除去処理
後のデータをそれぞれ示している。溝成分が効果的に除
去されているのがよくわかる。
なお上記実施例ではタイヤの外形状の計測にこの発明を
適用した場合について詳述したが、この発明はタイヤに
限らず、表面に凹凸部を有する被検体の外形状計測の全
般に適用し得るものであり、この場合にも上記実施例と
同様の効果を奏する。
(発明の効果) 以上説明したように、この発明によれば、タイ17など
の被検体の表面上に浮文字などの不要の凹凸が存在して
も計測ラインを選ぶことなく被検体の外形状を計測する
ことができ、加えて高速で正確な計測データを得ること
ができる形状計測装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はこの発明の一実施例を示す図、第
3図はこの発明を適用したタイヤ外形状計測の処理手順
を示すフローチャート、第4図は浮文字上の走査を示す
説明図、第5図は信号の変化を示す説明図、第6図は文
字成分除去処理の手順を示すフローチャート、第7図お
よび第8図はグルービング処理の説明図、第9図および
第10図は台形パターン除去処理の説明図、第11図は
その処理手順を示すフローチャート、第12図ないし第
17図は人山、小山パターン除去処理の説明図、第18
図はその処理手順を示すフローチャート、第19図は種
々の種類の浮文字に文字成分除去処理を適用する場合の
説明図、第20図ないし第22図はこの発明による実際
の処理結果を示す図、第23図はこの発明の別の実施例
を示す図、第24図は別の実施例による実際の処理結果
を示す図、第25図および第26図は従来の形状計測装
5を示ず図、第27図はタイヤの浮文字と計測部位の説
明図である。 3・・・タイヤ 7・・・光学式変位計 14・・・演算処理装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)表面に凹凸部を有する被検体の外形状を計測する
    ための装置であって、前記被検体の所定の測定部位を走
    査する光学式変位計と、該光学式変位計の出力信号を受
    けて、該出力信号から、前記凹凸部に対応させて予め定
    められた信号パターン成分を除去する信号補正手段と、
    該信号補正手段により補正された信号に基づき所定の形
    状計測を行なう計測手段とを備えた形状計測装置。
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