JPS62199079A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
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- JPS62199079A JPS62199079A JP4027086A JP4027086A JPS62199079A JP S62199079 A JPS62199079 A JP S62199079A JP 4027086 A JP4027086 A JP 4027086A JP 4027086 A JP4027086 A JP 4027086A JP S62199079 A JPS62199079 A JP S62199079A
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- gas
- laser
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- tube
- gas laser
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は寿命を向上させたガスレーザ・発振装置に関す
る。
る。
（従来の技術）
一般に紫外光領域のレーザ光を発振する希ガスハライド
エキシマレーザ発振装置はレーザガス媒質としてＦ２
、 ＨＣｌなどのハロゲンガスを用いる。例えば波長が
３０８ｎｍのＸｅＣｌエキシマレーザ罠用いるガスは、
ＨＣＩ、Ｘｅ、Ｈｅガスを混合したものである。これ
らのハロゲンガスは反応性が強いためレーザ管の内壁と
反応し、Ｉ−ロゲンガスの組成が低くなるとか、不純物
を発生し、レーザ出力の低下、さらに発振停止をもたら
すなどの不都合が発生した。またエキシマレーザの場合
は封入ガス圧が大気圧以上、通常２気圧〜６気圧と高い
ためレーザ管の材質、構造は耐圧性をも要し、耐食性を
もった樹脂材例えばフッ素系のもので構成すると、肉厚
は１５〜３０朋となり、非常に高価になる不都合があっ
た。従って従来は一般にステンレス鋼を用いるが、これ
でも寿命が短かく、高価となる不都合があった。
エキシマレーザ発振装置はレーザガス媒質としてＦ２
、 ＨＣｌなどのハロゲンガスを用いる。例えば波長が
３０８ｎｍのＸｅＣｌエキシマレーザ罠用いるガスは、
ＨＣＩ、Ｘｅ、Ｈｅガスを混合したものである。これ
らのハロゲンガスは反応性が強いためレーザ管の内壁と
反応し、Ｉ−ロゲンガスの組成が低くなるとか、不純物
を発生し、レーザ出力の低下、さらに発振停止をもたら
すなどの不都合が発生した。またエキシマレーザの場合
は封入ガス圧が大気圧以上、通常２気圧〜６気圧と高い
ためレーザ管の材質、構造は耐圧性をも要し、耐食性を
もった樹脂材例えばフッ素系のもので構成すると、肉厚
は１５〜３０朋となり、非常に高価になる不都合があっ
た。従って従来は一般にステンレス鋼を用いるが、これ
でも寿命が短かく、高価となる不都合があった。
（発明が解決しようとする問題点）
上述したように、ガスレーザ発振装置はレーザガス媒質
によりレーザ管が腐食され、特に・・ロゲンガスをレー
ザガス媒質としたものは腐食のため短寿命であり、しか
も封入ガス圧も高いので、耐食性の樹脂材をレーザ管に
用いると非常に高価となる不都合があった。
によりレーザ管が腐食され、特に・・ロゲンガスをレー
ザガス媒質としたものは腐食のため短寿命であり、しか
も封入ガス圧も高いので、耐食性の樹脂材をレーザ管に
用いると非常に高価となる不都合があった。
本発明は、上述の不都合を除去するもので、安価で長寿
命のガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
命のガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段と作用）本発明はガスレ
ーザ発振装置のレーザ管を金属部材からなる本体部と、
これの内面に接着したにより腐食を防止したものである
。なおハロゲン耐食性樹脂材とは、フッ素系樹脂および
これと同等以上の耐食性を有する高分子部材のことであ
る、（実施例） 以下１本発明の詳細を図示の実施例を参照して説明する
。なお本実施例は本発明を希ガスハライドエキシマレー
ザ発振装置に適用したものである。第１図は本実施例の
要部を断面したもので、１； （１）はレーザ管で、詳細は後述するが、内部諷金属製
の一対の保持板（２） 、 Ｆ３）がレーザ管（１）に
取付けられている。一方の保持板（２）には絶縁部材（
４１、（４）を介して、金属製の取付は板（５）が設け
られている。
ーザ発振装置のレーザ管を金属部材からなる本体部と、
これの内面に接着したにより腐食を防止したものである
。なおハロゲン耐食性樹脂材とは、フッ素系樹脂および
これと同等以上の耐食性を有する高分子部材のことであ
る、（実施例） 以下１本発明の詳細を図示の実施例を参照して説明する
。なお本実施例は本発明を希ガスハライドエキシマレー
ザ発振装置に適用したものである。第１図は本実施例の
要部を断面したもので、１； （１）はレーザ管で、詳細は後述するが、内部諷金属製
の一対の保持板（２） 、 Ｆ３）がレーザ管（１）に
取付けられている。一方の保持板（２）には絶縁部材（
４１、（４）を介して、金属製の取付は板（５）が設け
られている。
取付板（５）にはレーザ管（１）ＫＢって延びる高電圧
の陽極（６）が取付けられていて、これに対向して陰極
（７）が保持板（３） １３）に取付けられていて、こ
の陰極（７）は接地されている。また取付は板（５）お
よび保持板（３）には予備放電のためのピン電極（９）
、・・・、 ａｎ 、・・・がそれぞれ対になって陽極
（６）、陰極（力に浴って多数設けられている。これら
ビン電極（９）、・・・にはピーキングコンデンサαυ
が接続されている。０は高圧パルス電源で、一端は接地
され、他端は陽極（６）Ｋ接続されている。またレーザ
管（１）は１（ＣＪ ６るいはＦ２などのハロゲンガス
を含んだガスレーザ媒質が封入されている。
の陽極（６）が取付けられていて、これに対向して陰極
（７）が保持板（３） １３）に取付けられていて、こ
の陰極（７）は接地されている。また取付は板（５）お
よび保持板（３）には予備放電のためのピン電極（９）
、・・・、 ａｎ 、・・・がそれぞれ対になって陽極
（６）、陰極（力に浴って多数設けられている。これら
ビン電極（９）、・・・にはピーキングコンデンサαυ
が接続されている。０は高圧パルス電源で、一端は接地
され、他端は陽極（６）Ｋ接続されている。またレーザ
管（１）は１（ＣＪ ６るいはＦ２などのハロゲンガス
を含んだガスレーザ媒質が封入されている。
さてレーザ管（１）は本体部（１ａ）と耐食部（１ｂ）
とからなっている。本体部（１ａ）はＩＲＰ、アクリル
などの合成樹脂材あるいは金、鴫などで構成されるが本
実施例においてはステンレス鋼管（１ｃ）で構成した。
とからなっている。本体部（１ａ）はＩＲＰ、アクリル
などの合成樹脂材あるいは金、鴫などで構成されるが本
実施例においてはステンレス鋼管（１ｃ）で構成した。
耐食部（１１））はハロゲンガス（対して反応性の少な
いフッ素系樹脂などで構成式れるが、本実施例において
は板状のポリフッ化ビニリデン板（１ｄ）を使用し、そ
の厚さは数ｎ程度がよい、このポリフッ化ビニＩＪデン
板（１ｄ）は、その−面に化学繊維の一部を溶かし込ん
で接着面（１ｅ）を形成し、例えばエポキシ系接着剤で
接着する。また両端突き合わせ部は第２図に示すように
ポリフッ化ビニリデンからなる当て板（１ｆ）をポリフ
ッ化ビニリデン板（１ｄ）の端部と端部に橋渡しして、
その周囲を完全気密となるように溶接する。さらにまた
ポリフッ化ビニリデン板（１ｄ）とステンレス鋼管（１
ｃ）内壁面との接着は両者の間に接着剤を塗った後、そ
の間を真空で引きながら接着剤を固化させる。従って本
体部（１ａ）と耐食部（１ｂ）との間には大気が残留す
ることなく密着している。
いフッ素系樹脂などで構成式れるが、本実施例において
は板状のポリフッ化ビニリデン板（１ｄ）を使用し、そ
の厚さは数ｎ程度がよい、このポリフッ化ビニＩＪデン
板（１ｄ）は、その−面に化学繊維の一部を溶かし込ん
で接着面（１ｅ）を形成し、例えばエポキシ系接着剤で
接着する。また両端突き合わせ部は第２図に示すように
ポリフッ化ビニリデンからなる当て板（１ｆ）をポリフ
ッ化ビニリデン板（１ｄ）の端部と端部に橋渡しして、
その周囲を完全気密となるように溶接する。さらにまた
ポリフッ化ビニリデン板（１ｄ）とステンレス鋼管（１
ｃ）内壁面との接着は両者の間に接着剤を塗った後、そ
の間を真空で引きながら接着剤を固化させる。従って本
体部（１ａ）と耐食部（１ｂ）との間には大気が残留す
ることなく密着している。
次に他の実施例につき述べる。この実施例は、第３図に
示すようにポリフッ化ビニリデン板（１ｄ）の両端部（
１ｇ）、（ｔｇ）を直接突合わせて溶接したものである
。その他は前述の実施例と同様なので説明を省略する。
示すようにポリフッ化ビニリデン板（１ｄ）の両端部（
１ｇ）、（ｔｇ）を直接突合わせて溶接したものである
。その他は前述の実施例と同様なので説明を省略する。
以上詳述し友ように、本発明のガスレーザ発振装置は、
レーザ管内壁にハロゲン耐食性樹脂材を接着して構成し
たので、従来のようにレーザガス媒質によシレーザ管内
壁が腐食されることが少ないから寿命が大となる。特に
レーザガス媒質としてハロゲンを含む場合にはその寿命
は著しく増大する。また不純物の生成が、きわめて少な
くなるため、放電の安定性も増加し、アーク発生などに
よる出力変動も少なくなる。さらにまた接着によシ耐食
部を構成したので、極めて軽量、安価でしかも容易に構
成できる。
レーザ管内壁にハロゲン耐食性樹脂材を接着して構成し
たので、従来のようにレーザガス媒質によシレーザ管内
壁が腐食されることが少ないから寿命が大となる。特に
レーザガス媒質としてハロゲンを含む場合にはその寿命
は著しく増大する。また不純物の生成が、きわめて少な
くなるため、放電の安定性も増加し、アーク発生などに
よる出力変動も少なくなる。さらにまた接着によシ耐食
部を構成したので、極めて軽量、安価でしかも容易に構
成できる。
なお、本実施例としてニロゲンを含むガスレーザ発振装
置につき記載したが、これに限定されず他のガスレーザ
発振装置でもよい。
置につき記載したが、これに限定されず他のガスレーザ
発振装置でもよい。
第１図は本発明の実施例の要部ＩＩｆＴ面図、第２図は
同じく要部拡大＠回図、第３図は本発明の他の実施例の
要部拡大断面図である。 （１）・・・レーザ管体、 （１ｄ）・・・ハロゲン耐食性樹脂材、（６） 、 （
７）・・・一対の主電極。 代理人 弁理士 則 近 憲 重 囲 竹 花 喜久男 第 ２１！！ 第３図
同じく要部拡大＠回図、第３図は本発明の他の実施例の
要部拡大断面図である。 （１）・・・レーザ管体、 （１ｄ）・・・ハロゲン耐食性樹脂材、（６） 、 （
７）・・・一対の主電極。 代理人 弁理士 則 近 憲 重 囲 竹 花 喜久男 第 ２１！！ 第３図
Claims (3)
- （１）レーザ管内に一対の主電極を設けるとともにガス
レーザ媒質を充填したガスレーザ発振装置において、上
記レーザ管はほぼ管内壁全面にハロゲン耐食性樹脂材が
接着されていることを特徴とするガスレーザ発振装置。 - （２）ガスレーザ媒質はハロゲンガスを含み、かつハロ
ゲン耐食性樹脂材はフッ素樹脂材であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振装置。 - （３）フッ素樹脂材はその接着面に化学繊維が溶着して
あることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のガス
レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4027086A JPS62199079A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4027086A JPS62199079A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62199079A true JPS62199079A (ja) | 1987-09-02 |
Family
ID=12575946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4027086A Pending JPS62199079A (ja) | 1986-02-27 | 1986-02-27 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62199079A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8234887B2 (en) | 2005-03-25 | 2012-08-07 | Lg Electronics Inc. | Washing machine having steam generator |
| US8522578B2 (en) | 2005-03-25 | 2013-09-03 | Lg Electronics Inc. | Steam generator , and laundry device and method thereof |
| US9982380B2 (en) | 2005-03-25 | 2018-05-29 | Lg Electronics Inc. | Laundry machine |
-
1986
- 1986-02-27 JP JP4027086A patent/JPS62199079A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8234887B2 (en) | 2005-03-25 | 2012-08-07 | Lg Electronics Inc. | Washing machine having steam generator |
| US8522578B2 (en) | 2005-03-25 | 2013-09-03 | Lg Electronics Inc. | Steam generator , and laundry device and method thereof |
| US9982380B2 (en) | 2005-03-25 | 2018-05-29 | Lg Electronics Inc. | Laundry machine |
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