JPS62188134U - - Google Patents
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- JPS62188134U JPS62188134U JP7527186U JP7527186U JPS62188134U JP S62188134 U JPS62188134 U JP S62188134U JP 7527186 U JP7527186 U JP 7527186U JP 7527186 U JP7527186 U JP 7527186U JP S62188134 U JPS62188134 U JP S62188134U
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- Japan
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- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Control By Computers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の装置構成図を示す
。 １……情報処理装置、２……表示装置、３……
記憶装置、４……入力装置、５……制御装置、６
……被制御装置。
。 １……情報処理装置、２……表示装置、３……
記憶装置、４……入力装置、５……制御装置、６
……被制御装置。
Claims (1)
- メンテナンス情報を処理する情報処理装置と、
前記情報を記憶しておく記憶装置と、前記情報の
記憶および呼び出しの操作をする入力装置と、前
記情報を表示したり、記憶させるために入力した
情報を確認するための表示装置を有することを特
徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7527186U JPS62188134U (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7527186U JPS62188134U (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62188134U true JPS62188134U (ja) | 1987-11-30 |
Family
ID=30921253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7527186U Pending JPS62188134U (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62188134U (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5986439A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-18 | 株式会社東芝 | システム・メンテナンス方法 |
| JPS5991592A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-26 | 株式会社東芝 | 表示方式 |
| JPS617906A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-14 | Ricoh Co Ltd | 装置状態の表示装置 |
| JPS6144428A (ja) * | 1984-08-09 | 1986-03-04 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP7527186U patent/JPS62188134U/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5986439A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-18 | 株式会社東芝 | システム・メンテナンス方法 |
| JPS5991592A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-26 | 株式会社東芝 | 表示方式 |
| JPS617906A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-14 | Ricoh Co Ltd | 装置状態の表示装置 |
| JPS6144428A (ja) * | 1984-08-09 | 1986-03-04 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
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