JPS62182670A - 流速測定装置 - Google Patents

流速測定装置

Info

Publication number
JPS62182670A
JPS62182670A JP61024683A JP2468386A JPS62182670A JP S62182670 A JPS62182670 A JP S62182670A JP 61024683 A JP61024683 A JP 61024683A JP 2468386 A JP2468386 A JP 2468386A JP S62182670 A JPS62182670 A JP S62182670A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
voltage
thermistor
temperature
flow velocity
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61024683A
Other languages
English (en)
Inventor
Saburo Okada
岡田 三郎
Kazunori Yoshida
和典 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TENPAALE KOGYO KK
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Tempearl Industrial Co Ltd
Original Assignee
TENPAALE KOGYO KK
Agency of Industrial Science and Technology
Tempearl Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TENPAALE KOGYO KK, Agency of Industrial Science and Technology, Tempearl Industrial Co Ltd filed Critical TENPAALE KOGYO KK
Priority to JP61024683A priority Critical patent/JPS62182670A/ja
Publication of JPS62182670A publication Critical patent/JPS62182670A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)
  • Details Of Flowmeters (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、−10℃から+70°Cの大きな温度変化を
生ずる流体中で、その温度変化を自動的かつ高精度に補
償し、さらに流速値を直読できるように変換出力する流
速測定装置に間するものである。
サーミスタは温度変化に対する抵抗変化が他の抵抗体に
比べて著しく大きいので、流速計のセンサーとして用い
られる。すなわち、サーミスタに電流を流すと、ある電
流値以下でジュール熱によって自己、加熱をおこし、電
流の増加に比例してサーミスタ自体の温度が上昇し、サ
ーミスタの温度抵抗特性に従って抵抗値は小さくなる。
そして、加熱したサーミスタを測定流体中に入れると、
その流れによって冷却され、抵抗値は流速に比例して大
きくなる。
ここで、流速測定用サーミスタの消lII電力W、その
加熱温度Tと流体温度TIIとの温度差T−Tθ及び測
定流体の流速Vとの間には次に示す関係が知られている
W =  V  ・ I              
 ・・・・番・・(1)W=K  (v)  ・ (T
   Ts  )  ”・・・・(2)、’、K  (
v)  =P/  (T   T 11 )  ””(
3)ここで、■:サーミスタへの印加電圧 I:サーミスタを流れる電流 K(v):サーミスタの形状等によって決まる放熱係数
で流速Vの関数 したがって、流速測定用サーミスタの加熱温度が流体温
度と一定の温度差をもつようにサーミスタに流れる電流
を制御することによって、流速の間数であるところの放
熱係数K(v)は、サーミスタの消費電力に比例した出
力として得られるので、これより流速が求められる。
このような流速計として、従来、次のような方式が知ら
れている。
(1)抵抗値が等しい2個の抵抗を上辺に、流速測定用
サーミスタと電界効果トランジスタを下辺に接続したブ
リッジ回路において、流体の温度測定用サーミスタの出
力を増幅度及びオフセット調整して得られた基準電圧を
電界効果トランジスタのゲートに接続することによって
ソースとドレイン間の抵抗値を変化させ、流速測定用サ
ーミスタの加熱温度を制御すると同時に、流速測定用サ
ーミスタの消費電力から流速を求める方式。
(2)流速測定用サーミスタと抵抗を直列に接続し、抵
抗の両端の電圧を掛算器と割算器で流速測定用サーミス
タの消費電力及び抵抗値に比例する電圧に変換し、割算
器の出力を、流体の温度測定用サーミスタの出力を増幅
度及びオフセット調整して得られた基準電圧と比較して
、それらを等しくするため流速測定用サーミスタに流れ
る電流を制御する帰還回路を接続すると同時に、掛算器
の出力から流速を求める方式、(特公昭 59−4しか
しながら、これらの方式では次に示す欠点を有する。
上記(りの場合、(2)の場合ともに、流速測定用サー
ミスタの加熱温度と流体温度との温度差を一定にするた
めに、温度測定用サーミスタの出力から基準電圧を作り
出している。ここで、基準電圧なる電圧は温度測定用サ
ーミスタの抵抗値に比例した電圧ではなく、流体温度に
一定の温度を加えたときめ流速測定用サーミスタの抵抗
値に比例した電圧である必要がある。しかるに、従来の
方式では、温度測定用サーミスタの抵抗値に比例した出
力の増幅度及びオフセット調整だけで流速測定用サーミ
スタを一定温度加熱したときの抵抗値に比例した出力に
合わそうとしていた。
このとき、流体温度Tと、そのときの流速測定用サーミ
スタの抵抗[RH1温度測定用サーミスタの抵抗11 
Rcの間係は以下の式で表わされる。
Rc=RIIexp [:B (1/T−1/TL1)
 ]・・・・・・・(4) Rs=RIIexp [B (1/ (T+DT)  
1/Ts) ]・・・・・・・(5) ここで、Re:温度TL1での(t−ミスタの抵抗値B
 :サーミスタのB定数 DT:加熱温度 上式かられかるようにRcはRHと比例関係をもたない
ため、増幅度とオフセット調整だけではすべての温度て
RcとRHを等しくすることは困難であり、一定の、し
かも狭い温度範囲でRcとRHを近づけることができる
にすぎない。しかも、増幅度とオフセットの調整は2点
ないしは3点の温度でRcとRHが一致するように調整
するため、その2点ないしは3点の間では誤差が生じて
しまい、この誤差は温度範囲を広げれば広げるほど大A
くなる。また、温度範囲を広げると流速測定用サーミス
タの抵抗値の変化幅が大きくなって掛算器や1す算器の
動作入力範囲を超える場合がでてくると同時に、超えな
いまでも動作限界付近では誤差が大きくなる場合がある
。したがって、従来の方式では、流体温度が一定の定常
状態をもち、温度変化が小さい場合においては高精度の
流速測定が可能であるが、流体温度の変化が大きい場合
には、温度変化に応じて調整をやり直す必要があり、広
い温度範囲で自動的に高精度の流速測定を行なうことは
不可能である。
加えて、従来の方式では流速測定用サーミスタの消費電
力に比例した電圧をそのまま出力として用いているが、
前述した (3)式からもわかるように、サーミスタの
消費電力に比例した出力電圧は流速の間数であるところ
の放熱係数と比例するのであって、実際の流速と出力電
圧との関係は非線形となる。したがって、流速値を直読
するためには、出力電圧−流速換算表を用いて表から流
速を読み取る、出力をアナログ指針式の電圧計にして不
均等目盛りにして用いる、あるいは、外部に出力電圧の
りニアライズをするための演算回路を設けるなどの方法
を用いる必要がある。
本発明は、上述した従来の方式では困難であった、−1
0℃から70℃に及ぶ広い温度範囲での高精度な流速測
定を自動的に行ない、かつ、流速値を直接表示あるいは
外部に電圧出力する流速測定装置を提供しようとするも
のであり、流速測定用サーミスタの抵抗値に比例した電
圧と温度測定装置の出力との比較によって構成されてい
る流速測定用サーミスタに流れる電流を変化させる帰還
回路において、温度測定装置の出力を、あらかじめサー
ミスタの温度−抵抗特性を記憶させた演算装置を使い、
流体温度に加熱温度を加えたときのサーミスタの抵抗値
に比例した出力に変換して帰還回路に用いることと、帰
還回路中の割算器及び出力回路中の掛算器の入力端子を
調整する分圧回路に定電圧源を組み合わせて用いること
によって、流速測定用サーミスタをあらゆる温度で、常
に流体温度と一定の温度差をもつような制御を行なうこ
とができ、広い温度範囲で高精度の流速測定を可能なら
しめると同時に、流速測定用サーミスタの消費電力に比
例した電圧を同じ演算装置でリニアライズすることによ
って、流速測定値を直読することができることをその特
徴としている。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
第1図は流速測定装置全体の構成図である。流速測定用
サーミスタTHは、温度係数の小さい抵抗R1と定電圧
源OFSと直列に接続され、R1の両端の電圧VIV2
は、バッファアンプAP3、AP4を介して分圧回路D
VCに接続される。
分圧回路DVCと定電圧源OFSの働きにより、Vlと
V2は動作温度範囲内のいずれの温度においても、割算
器DIV、掛算器MLTの入力電圧範囲を超えないよう
に分圧される。割算器DIVの出力VDは広帯域増幅器
APIの入力となり、増幅器AP2とともに、流速測定
用サーミスタTHを流れる電流を制御する帰還回路を形
成する。
広帯域増幅WAPIのもう一方の入力は、白金薄膜抵抗
体PTと抵抗電圧変換器RVの出力を演算装置Xで処理
した出力vSが接続される。掛算器MLTの出力VMは
演算装置Xに入力され、演算 ゛処理された後に出力v
Oとして表示または電圧出力される。また、演算装#L
Xは第二図に示すように、マルチプレクサMP、A−D
変換器AD、マイクロコンピュータCPU、記憶装置R
OM 、表示装置DSP、D−A変換器DAから成る。
次に、流速測定装置の作用について説明する。
流速の測定に際し、流速測定用サーミスタTH及び白金
薄膜抵抗体PTを測定流体中に入れ、抵抗R】及び流速
測定用サーミスタTHに電圧を印加すると、抵抗R1及
び流速測定用サーミスタTHに電流が流れ、流速測定用
サーミスタTHは自己加熱して、抵抗R1の両端にはV
l、V2なろ電圧が発生する。Vl、V2は、それぞれ
バッファアンプAP3、AP4を介して分圧回路DVC
に接続され、割算器DIV、掛算器MLTの入力条件に
合うように、すなわち、流体の温度変化によって流速測
定用サーミスタTHの抵抗値が大きく変化しても、割算
器DIV、掛算器MLTの動作入力電圧2範囲を超える
ことのないように分圧される。ここで、定電圧ROFS
は一定の電圧を加える働きをするもので、vl、■2を
分圧回路DVCで分圧する際に回路のグランドを基準に
しないで、定電圧源OFSの出力電圧を基準にして分圧
することにより、分圧回路DVCだけでは調整しきれな
いような広い温度範囲で割算器DTV、掛算器MLTの
入力条件を合わせることができる。
定電圧ff0Fsの電圧値は、流体の温度範囲や割算器
DIV、掛算器MLTの動作入力電圧範囲によって変わ
ってくるので、それぞれに合うように調整する必要があ
る。割算器DIVの出力電圧VDは広帯域増幅器API
の一方の入力となり、演算装置Xの出力電圧vSと比較
されて、両方の電圧が等しくなるように流速測定用サー
ミスタT Hを流れる電流を制御する帰還回路を構成す
る。ここで、演算装置Xの出力電圧Vsは、流体の7H
度を測定する白金薄膜抵抗体PTの抵抗嬢を抵抗電圧変
換器RVで電圧信号に変換し、さらにマルチプレクサM
Pを通った後、A−D変換器ADでディジタル信号化さ
れ、記憶装置ROMに記憶された流速測定用サーミスタ
THの温度−抵抗特性によって、流体の温度T@にあら
かじめ設定した温度差を加えた加熱温度Tのときの流速
測定用サーミスタTHの抵抗値をマイクロコンピュータ
CPUで計算し、D−A変換器DAで電圧信号化して出
力したものである。したがって、演算装aXの出力電圧
vSと割算器DrVの出力電圧VDとを比較して両方の
電圧が等しくなるように流速測定用サーミスタTHに流
れる電流を制御することは、流速測定用サーミスタTH
の抵抗値を演算装置Xの内部で計算された加熱温度Tに
一致させることに他ならない。ゆえに、流体温度Tgと
加熱温度Tの温度差T −T @は流体温度にかかわら
ず常に一定となる。前述した (3)式からもあきらが
なように、流速測定用サーミスタの加熱温度Tと流体温
度T@の温度差T−Tθが一定の場合には、流速測定用
サーミスタの消費電力Wは流速の関数であるところの放
熱係数に比例する。そこで、実際の流速を直読できるよ
うにするために、掛算器MLTの出力電圧VMを演算装
置Xに入力し、マルチプレクサMPで白金薄膜抵抗体P
Tと抵抗電圧変換器RVからの入力と区別された後に、
A−D変喚器ADでディジタル信号化し、マイクロコン
ピュータCPUでリニアライズを行なう。リニアライズ
された結果は表示装置DSPで直接表示されると同時に
、D−A変換器DAで電圧信号化されて、vSとは別に
流速に比例した電圧■oとして出力される。
このように、本発明の流速測定装置によれば、流体温度
が変化した場合にも広い温度範囲において自動的に温度
補償が行なわれるため、−10℃から70℃というよう
な非常に広い温度範囲においても、温度変化の影響を受
けない高精度の流速測定を行なうことができる。また、
流速測定用サーミスタの加熱温度の設定がソフトウェア
のみて可能なため、直接に、かつ、簡単に行なえる。さ
らに、流速測定用サーミスタとして、抵抗値や温度係数
の大きく異なったものを用いた場合でも、ソフトウェア
のみの変更で容易に使用可能なうえ、温度測定装置とし
て白金薄膜抵抗体やサーミスタなど各種の温度検出素子
を用いることも可能である。また、流速を直読するため
に必要な出力電圧のりニアライズを装置内部で行なうこ
とができるため、従来の方式のように、出力電圧−流速
換算表や外付けのリニアライス回路を必要とせず、直接
流速値を表示、あるいは電圧で出力させることができる
。また、流速測定用サーミスタに直列に接続した定電圧
源を可変電圧源に置き換えた一ヒで周囲温度に応して電
圧値を変えろことによって、より広い温度範囲での使用
や、動作入力端子範囲が狭い掛算器や割算器を使用する
ことも可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例を示す回路構成図である。 R1・・・・抵抗、TH・・・・流速測定用サーミスタ
、DVC・・・・分圧回路 DIV・・・・割算器 MLT・・・・掛算器 PT・・・・白金薄膜抵抗体 RV・・・・抵抗電圧変換器 X・・・・演算装置 API・・・・広帯域増幅器 AP2・・・・増幅器 AP3.AP4・・・・バッファアンプ第2図は第1図
中にXで示した演算g置の部分の回路構成図である。 MP・・・・マルチプレクサ AD・・・・A−D変換器 DSP・・・・表示装置 CPU・・Φ・マイクロコンピュータ ROM・・・・記t!装置 DA・・・・D−A変換器。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)温度係数の小さい抵抗と流速測定用サーミスタと
    定電圧源とを直列に接続してなるサーミスタの加熱回路
    に、上記抵抗の両端電圧と上記定電圧源の出力電圧とを
    分圧回路を通した後にサーミスタの抵抗値に比例する電
    圧を出力する割算器に入力し、上記割算器の出力電圧と
    基準電圧とを比較して、それらを等しくするようにサー
    ミスタに流れる電流を制御する帰還回路を接続した流速
    測定装置において、別の温度測定器で流体温度を測定し
    、流体温度に比例する電圧をA−D変換器によりディジ
    タル変換して演算装置に入力し、あらかじめ記憶させて
    おいたサーミスタの温度抵抗特性からサーミスタの加熱
    温度と測定流体との温度差を常に一定に保つためのサー
    ミスタの抵抗値を計算し、D−A変換器により、その抵
    抗値に比例する電圧を上記帰還回路の基準電圧のかわり
    に印加し、その電圧と割算器の出力電圧とを一致させる
    ようにサーミスタに流す電流を制御するように構成した
    温度補償回路と、上記抵抗の両端電圧と上記定電圧源の
    出力電圧とを分圧回路を通した後に掛算器に入力するこ
    とによって得られる、サーミスタの消費電力に比例する
    電圧であるところの掛算器の出力電圧を、実際の流速値
    に変換して外部に出力する出力回路を有することを特徴
    とする流速測定装置。
  2. (2)前記出力回路は前記掛算器から出力される前記サ
    ーミスタの消費電力量に比例する電圧を前記A−D変換
    器でディジタル変換して演算装置に入力し、あらかじめ
    記憶させておいた換算式を用いて流速値に変換して外部
    に出力する出力回路であることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の流速測定装置。
JP61024683A 1986-02-05 1986-02-05 流速測定装置 Pending JPS62182670A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61024683A JPS62182670A (ja) 1986-02-05 1986-02-05 流速測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61024683A JPS62182670A (ja) 1986-02-05 1986-02-05 流速測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62182670A true JPS62182670A (ja) 1987-08-11

Family

ID=12144950

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61024683A Pending JPS62182670A (ja) 1986-02-05 1986-02-05 流速測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62182670A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0199108A (ja) * 1987-10-12 1989-04-18 Yamada Mitsue 制御装置
JPH0558913U (ja) * 1992-01-23 1993-08-03 新日本製鐵株式会社 空気式駆動部用異常検出装置
JPH05263589A (ja) * 1990-12-17 1993-10-12 Daiho Constr Co Ltd シールド機

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0199108A (ja) * 1987-10-12 1989-04-18 Yamada Mitsue 制御装置
JPH05263589A (ja) * 1990-12-17 1993-10-12 Daiho Constr Co Ltd シールド機
JPH0558913U (ja) * 1992-01-23 1993-08-03 新日本製鐵株式会社 空気式駆動部用異常検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5753815A (en) Thermo-sensitive flow sensor for measuring flow velocity and flow rate of a gas
US4984460A (en) Mass flowmeter
US4043196A (en) Method and apparatus for effecting fluid flow measurement in a single sensor
US5461913A (en) Differential current thermal mass flow transducer
US3967188A (en) Temperature compensation circuit for sensor of physical variables such as temperature and pressure
US4798093A (en) Apparatus for sensor compensation
EP1441206B1 (en) Sensor temperature control in a thermal anemometer
US5189362A (en) High frequency signal measurement circuits utilizing temperature-sensitive devices
JP2522337Y2 (ja) 熱抵抗素子を備えた流量計
JPH02136754A (ja) 微小電気信号を測定する方法と装置
JP4332296B2 (ja) 容器内の気体の圧力を測定する方法およびそれを実行するための装置
US3501696A (en) Temperature compensated r.f. power measuring device having automatic zero setting means
US4070908A (en) Anemometer compensator linearizer
US3783692A (en) Resistance bulb compensation circuits
JPH08507864A (ja) 測定セル、測定機器および接続ケーブルを備えた熱伝導形真空計
JPS62182670A (ja) 流速測定装置
US4122722A (en) Anemometer compensator linearizer
JPH102807A (ja) 熱電対測定装置
JP2531968B2 (ja) 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置
RU2738198C1 (ru) Способ снижения погрешности измерения температуры электрическим мостом и измерительный мост Уитстона-Капиноса
JP3486511B2 (ja) フローセンサ
JPH02120620A (ja) ヒータ温度制御回路
US2883620A (en) High frequency power measuring bridge circuit
JPH0786435B2 (ja) 測温抵抗体の測定回路
KR20020080137A (ko) 유량 계측용 센서 및 이를 이용한 질량유량제어장치 및 방법