JPS62173402A - Incident angle variable setting device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To easily set an incident angle by providing an optical guide for leading a light beam from a light source to the vicinity of a photodetecting surface, and a variable setting mechanism for holding the optical guide, and setting variably the incident angle. CONSTITUTION:An emitted light from a light source 2 is made incident on an optical fiber 50 of an optical fiber connector 53 by a condensing lens 54, and passes through the optical fiber 50. A collimator lens 51 is provided on the tip of the optical fiber 50, therefore, in an emitting end of an optical guide 5, the same parallel rays as the emitted light of the light source 2 are obtained. When the tip (collimator lens 51) of this optical guide 5 is inserted into desired set holes 61-63 of a body 60, parallel rays of the light source 2 are made incident on a photodetector 30 at an incident angle which is determined by the set holes 61-63. In this way, an incident angle in the optical axis side can be set, and also, since the optical guide is in the vicinity of the photodetector 30, a moving extent for changing the incident angle is reduced, and the incident angle can be set with high accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段（第１図）作用 実施例 （ａ）一実施例の説明（第２図） （ｂ）他の実施例の説明（第３図） 発明の効果 〔概要〕 受光面に入射する光源からの光の入射角を可変に設定す
るための入射角可変設定装置において。[Detailed description of the invention] [Table of contents] Overview Industrial field of application Conventional technology Problems to be solved by the invention Means for solving the problems (Fig. 1) Working example (a) One example Explanation (Fig. 2) (b) Description of another embodiment (Fig. 3) Effects of the invention [Summary] Incident angle variable setting device for variably setting the incident angle of light from a light source incident on a light receiving surface In.

光源からの光を受光面近傍に導く光ガイドと、光ガイド
を保持し、入射角を可変設定する可変設定機構とを設け
ることによって、入射角の設定を容易にするものである
。The incident angle can be easily set by providing a light guide that guides light from a light source near the light receiving surface and a variable setting mechanism that holds the light guide and variably sets the incident angle.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、受光面に対し光源からの先金入射ざせる際、
入射角を可変に設定するための入射角可変設定装置に関
し、特に固定した光源に対し受光面の入射角を可変に設
定できる入射角可変設定装置Ｖｃ′Ａする。In the present invention, when a light beam from a light source is directed onto a light receiving surface,
The present invention relates to a variable incident angle setting device for variably setting an incident angle, and in particular to a variable incident angle setting device Vc'A that can variably set the incident angle of a light receiving surface with respect to a fixed light source.

レーザ光源を用い、光源からの光音受光素子等の受光面
に照射する際に、受光面の入射角を変化又は調整するこ
とが必要となることがある。When a laser light source is used to irradiate a light receiving surface of a photoacoustic light receiving element or the like from the light source, it may be necessary to change or adjust the incident angle of the light receiving surface.

例えば、受光素子の特性を測定する際には、受光素子が
入射角依存特性を持っているから、入射角全種々変えて
受光素子の入射角依存特性全測定することが行なわれて
いる。このため、入射角全可変設定できる入射角可変設
定装置が必要となる。For example, when measuring the characteristics of a light-receiving element, since the light-receiving element has an incident angle-dependent characteristic, the incident angle-dependent characteristics of the light-receiving element are all measured at various incident angles. For this reason, a variable incident angle setting device is required that can fully vary the incident angle.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

例えば、光パワーメータの受光素子の入射角依存特性を
測定するには、従来第４図に示す構成が用いられていた
。For example, in order to measure the incident angle dependent characteristics of a light receiving element of an optical power meter, the configuration shown in FIG. 4 has conventionally been used.

光学ベンチ１上の一方にＸ、Ｙ、Ｚ方向の微動調整でき
る微動台２０．２１’（ｅ−介し基準となるガスレーザ
光源２を設け、更に光学ペンチｌ上の他方にＸ、Ｙ、Ｚ
方向の微動調整できる微動台４２及ヒ回転台４１．ゴニ
オステージ４０を積層した資料台を設けて光学測定装置
を構成していた。On one side of the optical bench 1, a fine movement table 20, 21' (e) that can be used for fine movement adjustment in the X, Y, and Z directions is provided.
A fine movement table 42 and a rotary table 41 that can be used for fine adjustment of direction. An optical measuring device was constructed by providing a data table on which goniometer stages 40 were stacked.

ぞして、光パワーメータ３の受光器３０を資料台に搭載
し、レーザ光源２の微動台２０．２１及び資料台の微動
台４２を調整して光軸合わせ全行ない、更に回転台４１
ｔ−回転させて、受光器３０を回転させ入射角設定を行
なうようにしていた。Then, the optical receiver 30 of the optical power meter 3 is mounted on the data table, the fine movement table 20.21 of the laser light source 2 and the fine movement table 42 of the data table are adjusted to align the optical axis, and then the rotating table 41 is adjusted.
The angle of incidence was set by rotating the light receiver 30 by t-rotation.

一般に基準となるレーザ光源は、ガスレーザ光源°２等
の大きいものが用いられるため、光源側にＸ、Ｙ、Ｚ方
向の微調整のみであシ、入射角度の設定は、形状が小さ
く移動量が少なくて済む、受光器側を動かして行なって
いる。Generally, the reference laser light source is a large one such as a gas laser light source of 2°, so only fine adjustments in the X, Y, and Z directions are required on the light source side. This is done by moving the receiver side, which requires less.

〔発明が解決しょうとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

このような従来の技術においては、受光器側を光軸に対
し位置合せ、入射角設定するものであるから１位置のセ
ットに手間と時間がかかる。特に。In such conventional technology, since the light receiver side is aligned with the optical axis and the incident angle is set, it takes time and effort to set one position. especially.

回転台の回転中心に受光器のセンサ面を合わせるのに手
間がかかり、多数の入射角を設定するには。It takes time to align the sensor surface of the receiver with the center of rotation of the rotary table, and setting multiple angles of incidence is difficult.

一層手間と時間が大変なものとなるという問題があった
。There was a problem in that it required even more effort and time.

本発明は、光軸側を動かすことによって入射角の設定を
容易とすることのできる入射角可変設定装置を提供する
ことを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a variable angle of incidence setting device that can easily set the angle of incidence by moving the optical axis side.

〔問題点全解決するだめの手段〕[Means to solve all problems]

第１図は本発明の原理説明図である。 FIG. 1 is a diagram explaining the principle of the present invention.

図中、第４図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあシ、５は光ガイドであシ、光源２の光を受光面
（受光器）３０の近傍に尋〈ためのもの、６は可変設定
機構であシ、光ガイド５の先端を保持するとともに受光
面に対する入射角全可変設定しつるものである。In the figure, the same parts as those shown in FIG. Reference numeral 6 denotes a variable setting mechanism which holds the tip of the light guide 5 and allows the angle of incidence with respect to the light receiving surface to be fully variable.

即ち、不発明では、受光面３０側を固定とし。That is, in the present invention, the light receiving surface 30 side is fixed.

光軸側を可変とするものである。The optical axis side is variable.

〔作用〕[Effect]

本発明では、光源２の光を光ガイド５によって測定の基
準光源端として用いることができる。In the present invention, the light from the light source 2 can be used by the light guide 5 as a reference light source end for measurement.

従って、光源２自体を動かさなくても、光ガイド５の先
端を可変設定機構６で動かすことによって光軸側を動か
すことができる。Therefore, even without moving the light source 2 itself, by moving the tip of the light guide 5 using the variable setting mechanism 6, the optical axis side can be moved.

この光ガイド５の先端は光源２に比べて小さく。The tip of this light guide 5 is smaller than the light source 2.

又受光面３０の近傍にあるから、その移動量も小さくて
済み、入射角の設定が容易である。Furthermore, since it is located near the light receiving surface 30, its amount of movement is small, and the angle of incidence can be easily set.

即ち、光軸側での入射角の設定を光ガイド５を保持する
可変設定機構６で容易に且つ簡単に行なうことができる
。That is, the incident angle on the optical axis side can be easily and easily set using the variable setting mechanism 6 that holds the light guide 5.

〔実施例〕〔Example〕

（ａ）　　一実施例の説明 第２図は本発明の一実施例構成図である。 (a) Description of one embodiment FIG. 2 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

図中、第１図及び第４図で示したものは同一の記号で示
してあシ、５０は光ファイバであジ、ライトガイドの役
目を果すもの、５１１ｄコリメータレンズであシ、光フ
ァイバ５０の先端に設けられ。In the figure, the parts shown in FIGS. 1 and 4 are indicated by the same symbols, 50 is an optical fiber, 50 is an optical fiber that serves as a light guide, 511d is a collimator lens, and 50 is an optical fiber. provided at the tip of the

光ファイバ５０の出射端における出射角金持つ光を平行
光ＶＣがおすため設けられるもの、５２ぽカツブリング
であシ、レーザ光源２の出射光を光ファイバ５０に入射
させるためのものであシ、光ファイバ５０の他端が接続
される光フアイバコネクタ５３と、レーザ光源２の出射
光を光フアイバコネクタ５３の光ファイバ５０の端部に
入射させるための集光レンズ５４と’ｋＶしているもの
である。A 52-pole coupling is provided to allow the parallel light VC to pass through the light having an output angle at the output end of the optical fiber 50, and a device is provided to allow the emitted light from the laser light source 2 to enter the optical fiber 50. An optical fiber connector 53 to which the other end of the optical fiber 50 is connected and a condensing lens 54 for making the emitted light from the laser light source 2 enter the end of the optical fiber 50 of the optical fiber connector 53 are in 'kV. It is.

６０は可変設定機１１！６の本体であシ、左側に受光器
３０がセットされ、右側には、複数の（図では３つの）
光ガイドセット穴６１，６２．６３が設けられているも
のである。60 is the main body of the variable setting device 11!6, the receiver 30 is set on the left side, and a plurality of (three in the figure) are set on the right side.
Light guide set holes 61, 62, and 63 are provided.

この光力ψイドセット穴６１，６２．６３は、光、ガイ
ド５の先端が差し込まれて、これを保持するとともに、
セットされた受光器３０に対する入射角が異なるよう角
度を持って設けられる。The light power ψ guide set holes 61, 62, 63 are inserted with the tips of the light guides 5 and held.
The light receivers 30 are provided at different angles so that the angles of incidence on the set light receiver 30 are different.

この実施例の動作を説明すると、光源２からの出射光は
、集光レンズ５４によって、光フアイバコネクタ５３の
光ファイバ５０に入射し、光ファイバ５０を通る。光フ
ァイバ５０の先端ににコリメータレンズ５１が設けられ
ているので、光ガイド５の出射端では光源２の出射光と
同一の平行光が得られる。この光ガイド５の先端（コリ
メータレンズ５１）を本体６０の所望のセット穴６１〜
６３に差し込めば、受光器３０には、セット穴６１〜６
３で決定される入射角でもって、光源２の平行光が入射
されることになる。To explain the operation of this embodiment, the light emitted from the light source 2 enters the optical fiber 50 of the optical fiber connector 53 through the condensing lens 54 and passes through the optical fiber 50. Since the collimator lens 51 is provided at the tip of the optical fiber 50, the same parallel light as the light emitted from the light source 2 is obtained at the output end of the light guide 5. The tip of the light guide 5 (collimator lens 51) is inserted into the desired setting hole 61 of the main body 60.
63, the receiver 30 has set holes 61 to 6.
3, the parallel light from the light source 2 is incident.

このため、光軸側での入射角設定ができ、且つ光ガイド
は受光器３０の近傍にあるから、入射角変更のだめの移
動量が小で済み、精度の高い入射角設定ができる。Therefore, the angle of incidence can be set on the optical axis side, and since the light guide is located near the light receiver 30, the amount of movement needed to change the angle of incidence is small, and the angle of incidence can be set with high precision.

又、この例では、測定する入射角度が固定である場合に
対応しておシ、従って本体６０を治具として作製し、こ
れに受光器３０ｔ−取シ付け、光ガイド５の出射端を差
し替えるだけで複数の入射角設定が精度良くできる。In addition, in this example, the main body 60 is made as a jig, and the light receiver 30t is attached to it, and the output end of the light guide 5 is replaced, in order to cope with the case where the incident angle to be measured is fixed. Multiple angles of incidence can be set with high precision just by

このため、入射角設定のための構成も簡単とすることが
できる。Therefore, the configuration for setting the incident angle can also be simplified.

（ｂ）　　他の実施例の説明 第３図は本発明の他の実施例の構成図であり。(b) Description of other embodiments FIG. 3 is a block diagram of another embodiment of the present invention.

可変設定機構６の別の例を示している。Another example of the variable setting mechanism 6 is shown.

図中、第２図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあり、６４はホルダであシ、光ガイド５の出射端
が差し込まれ、これを保持するもの、６５はベースであ
り、受光器３０が設けられるもの、６６は回動部材であ
シ、ベース６５に支点６６ａで支持され、且つホルダ６
４が搭載され。In the figure, the same parts as those shown in Fig. 2 are indicated by the same symbols, and 64 is a holder into which the output end of the light guide 5 is inserted and is held, and 65 is a base. 66 is a rotating member supported by a base 65 at a fulcrum 66a, and a holder 6
4 is installed.

支点６６ａ’ｚ中心に回動するものである。It rotates around a fulcrum 66a'z.

この実施例では、光ガイド５の構成に第２図のものと同
一であり、光ガイド５の出射端はホルダ６４に差し込ま
れる。ホルダ６４は（ロ）動部材６６に固定されておシ
１回動部材６６の叉点６６ａｆ中心とする回動によって
受光器３０に対する入射角を可変とすることができる。In this embodiment, the structure of the light guide 5 is the same as that in FIG. 2, and the output end of the light guide 5 is inserted into the holder 64. The holder 64 is fixed to (b) a movable member 66, and the angle of incidence with respect to the light receiver 30 can be made variable by rotating the holder 64 about the fork point 66af of the movable member 66.

この支点６６ａはセットされる受光器３０のセンサ面に
設定しておくことによって、セットされた受光器３０に
対し所望の入射角で光ガイド５の出射端全設定できる。By setting this fulcrum 66a on the sensor surface of the light receiver 30 to be set, the entire output end of the light guide 5 can be set at a desired incident angle with respect to the set light receiver 30.

上述の実施例では、受光面全形成するものとして受光器
３０を用いているが、光学フィルタ等の光学基板等であ
っても工い。In the above-described embodiment, the light receiver 30 is used as a device whose entire light-receiving surface is formed, but an optical substrate such as an optical filter or the like may also be used.

以上本発明全実施例により説明したが１本発明は本発明
の主旨に従い遣々の変形が可能であり。Although all the embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be modified from time to time in accordance with the gist of the present invention.

本発明からこれらを排除するものではない。These are not excluded from the present invention.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明した様に９本発明によれば、光軸を可変にでき
るので、入射角の設定が容易となるという効果を奏し、
特に精度の要する入射角設定及び多数の異なる入射角設
定の作業を容易にせしめることに寄与する。As explained above, according to the present invention, since the optical axis can be made variable, it is possible to easily set the incident angle.
In particular, this contributes to facilitating the work of setting the angle of incidence that requires precision and setting a large number of different angles of incidence.

又、光ガイドと可変設定機構を用いているので。Also, since it uses a light guide and a variable setting mechanism.

光軸を容易に且つ精度良く可変にできるという効果も奏
し、特に光受光器の入射角依存特性の測定のための入射
角設定作業を簡単化することに寄与する。This also has the effect that the optical axis can be varied easily and with high precision, and particularly contributes to simplifying the work of setting the incident angle for measuring the incident angle dependent characteristics of the light receiver.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１必は本発明の原理説明図。 第２図は本発明の一実施例構成図。 第３図は本発明の他の実施例構成図。 第４図は従来技術の説明図である。 図中、２・・・光源。 ５・・・光ガイド。 ６・・・可変設定機構。 ３０・・・受光器。 The first thing is a diagram explaining the principle of the present invention. FIG. 2 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory diagram of the prior art. In the figure, 2... light source. 5...Light guide. 6...Variable setting mechanism. 30... Light receiver.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 受光面に入射する光源（２）からの光の入射角を可変に
設定するための入射角可変設定装置において、 該光源（２）の光を該受光面近傍に導くための光ガイド
（５）と、 該光ガイド（５）の先端を保持するとともに該受光面に
対する該保持した光ガイドの入射角を可変設定しうる可
変設定機構（６）とを設けたことを 特徴とする入射角可変設定装置。[Scope of Claims] A variable incidence angle setting device for variably setting the angle of incidence of light from a light source (2) incident on a light receiving surface, comprising: a device for guiding light from the light source (2) to a vicinity of the light receiving surface; A light guide (5), and a variable setting mechanism (6) that holds the tip of the light guide (5) and can variably set the incident angle of the held light guide with respect to the light receiving surface. Variable incidence angle setting device.