JPS62171014A - 位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め制御装置Info
- Publication number
- JPS62171014A JPS62171014A JP61011142A JP1114286A JPS62171014A JP S62171014 A JPS62171014 A JP S62171014A JP 61011142 A JP61011142 A JP 61011142A JP 1114286 A JP1114286 A JP 1114286A JP S62171014 A JPS62171014 A JP S62171014A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- speed
- movable body
- target
- positioning
- deviation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000013459 approach Methods 0.000 abstract description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 14
- 230000006870 function Effects 0.000 description 14
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の属する分野]
本発明は、ステップアンドリピート型露光装置やIcホ
ンダ等の半導体製造装置、産業用ロボットおよびNG工
作機械等における可動体の位置決め制御装置に関し、特
に、負荷の変動や摺動部の8m力変化等の外乱の影響を
補正し、短時間に定常位置偏差なく位置決めでき、かつ
位置決め方向による定常位置偏差の差をなくすることを
可能とした位置決め制御装置に関する。
ンダ等の半導体製造装置、産業用ロボットおよびNG工
作機械等における可動体の位置決め制御装置に関し、特
に、負荷の変動や摺動部の8m力変化等の外乱の影響を
補正し、短時間に定常位置偏差なく位置決めでき、かつ
位置決め方向による定常位置偏差の差をなくすることを
可能とした位置決め制御装置に関する。
[従来技術の説明]
従来、この種の可動体の位置決め制御装置の制御回路は
、第20図のように構成されている。また、一般に、可
動体の位置決めは、第21図の実線Aのような基準目標
曲線に従って行なわれる。
、第20図のように構成されている。また、一般に、可
動体の位置決めは、第21図の実線Aのような基準目標
曲線に従って行なわれる。
第21図において、a−eまでが速度制御区間であり、
可動体が位置決め目標位置(停止目標位置)近傍に達す
る点eで位置制御に切換えて最終的な位置決めを行なっ
ている。同図において、aは加速開始点、bは最高速度
に達して定速駆動に移行する加速終了点、Cは減速開始
点、dは終速度に達する点すなわち減速終了点、eは速
度制御から位置制御への制御モード切換点、fは位置決
め完了点である。
可動体が位置決め目標位置(停止目標位置)近傍に達す
る点eで位置制御に切換えて最終的な位置決めを行なっ
ている。同図において、aは加速開始点、bは最高速度
に達して定速駆動に移行する加速終了点、Cは減速開始
点、dは終速度に達する点すなわち減速終了点、eは速
度制御から位置制御への制御モード切換点、fは位置決
め完了点である。
第20図において、速度制御モード時、アナログ1、ス
イッチ6は速度指令用D/A変換器2を選択し、速度関
数発生器1で、第21図a〜eのような基準速度曲線を
作り、D/A変換器2で速度指令電圧を得る。増幅17
、モータ8および速度検出器9の閉ループは速度フィー
ドバック制御による速度開部を行ない、D/A変換器2
からの速度指令電圧に従った速度で可動体10を移動す
る。次に制御モード切換位置eにてより高精度に位置決
めする位5制御モードに切換ねり、アナログスイッチ6
は位置偏差出力用D/A変換器5を選択する。位置偏差
カウンタ4に始まるD/A変換器5、増幅器7、モータ
8、可動体10、位置検出器11の閉ループは位置決め
フィードバック制御系を形成する。
イッチ6は速度指令用D/A変換器2を選択し、速度関
数発生器1で、第21図a〜eのような基準速度曲線を
作り、D/A変換器2で速度指令電圧を得る。増幅17
、モータ8および速度検出器9の閉ループは速度フィー
ドバック制御による速度開部を行ない、D/A変換器2
からの速度指令電圧に従った速度で可動体10を移動す
る。次に制御モード切換位置eにてより高精度に位置決
めする位5制御モードに切換ねり、アナログスイッチ6
は位置偏差出力用D/A変換器5を選択する。位置偏差
カウンタ4に始まるD/A変換器5、増幅器7、モータ
8、可動体10、位置検出器11の閉ループは位置決め
フィードバック制御系を形成する。
このような構成では、増幅器7のゲインの調整誤差やド
リフト、または摺動部の摩擦力の変化等の外乱等により
、減速終了位置d(第21図)から位置制御への切換位
置eまでの終速度の区間が第21図の点線Bに示すよう
に長くなり、位置決めの時間を最短に安定良く維持する
のは困難であった。
リフト、または摺動部の摩擦力の変化等の外乱等により
、減速終了位置d(第21図)から位置制御への切換位
置eまでの終速度の区間が第21図の点線Bに示すよう
に長くなり、位置決めの時間を最短に安定良く維持する
のは困難であった。
また、このような装置の速度および位置の各制御系のル
ープゲインはそれぞれ一定であり、負荷の変動、摺動部
の摩擦力の変化、または系の剛性の変化等の要因により
、あるいは制御系を不安定にしないためにはループゲイ
ンを高く出来ない等の理由により、位置制御切換時に振
動が起きたり、定常位置偏差(停止目標位置と実際の停
止位置との偏差)が大きい、位置および移動方向により
定常位置偏差の大ぎさが変化するという欠点があった。
ープゲインはそれぞれ一定であり、負荷の変動、摺動部
の摩擦力の変化、または系の剛性の変化等の要因により
、あるいは制御系を不安定にしないためにはループゲイ
ンを高く出来ない等の理由により、位置制御切換時に振
動が起きたり、定常位置偏差(停止目標位置と実際の停
止位置との偏差)が大きい、位置および移動方向により
定常位置偏差の大ぎさが変化するという欠点があった。
[発明の目的]
本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
位置決め制御装置において、位置決め時間の短縮を図る
ことにある。さらに、本発明は、定常位置偏差および目
標位置や移動方向による定常位置偏差の変化を減少して
位置決め精度の向上を図ることをさらなる目的とする。
位置決め制御装置において、位置決め時間の短縮を図る
ことにある。さらに、本発明は、定常位置偏差および目
標位置や移動方向による定常位置偏差の変化を減少して
位置決め精度の向上を図ることをさらなる目的とする。
[実施例の説明]
以下、本発明の詳細な説明する。
策ユ」ul」
ここで、第21図を参照して本発明の第1実施例の原理
を説明する。第21図は、横軸を時間(1)軸として、
各時点における可動体10の速度V(以下、速度曲線と
いう)および位置×(以下、動作曲線という)を表わし
たもので、Aは設計時、製造時またはプログラムロード
時等、装置の位置決め動作前に予め設定されている基準
目標曲線、Bはサーボ制m誤差等により可動体の実速度
が曲線Aとして設定された速度(基準速度)に一致しな
かった場合の実際の曲線例、Cは本発明に従って曲線B
における減速開始点C′をC″に補正した場合の曲線で
ある。
を説明する。第21図は、横軸を時間(1)軸として、
各時点における可動体10の速度V(以下、速度曲線と
いう)および位置×(以下、動作曲線という)を表わし
たもので、Aは設計時、製造時またはプログラムロード
時等、装置の位置決め動作前に予め設定されている基準
目標曲線、Bはサーボ制m誤差等により可動体の実速度
が曲線Aとして設定された速度(基準速度)に一致しな
かった場合の実際の曲線例、Cは本発明に従って曲線B
における減速開始点C′をC″に補正した場合の曲線で
ある。
基準目標曲線A上の各点a−fの座標は、それぞれ
加速開始点aを位置xO1時刻t。
加速終了点すを位置×1、時刻t1
減速開始点Cを位置x2、時刻t2
減速終了点dを位置x3、時刻t3
制御モード切換点eを位置×4、時刻t4位置決め完了
点fを位置X5N時刻t5とし、基準目標曲線A上の各
点およびその座標に対応する曲線B(従来例)および曲
線C(本発明)上の各点およびその座標にはそれぞれ
′および″を付して表わすものとする。また、 制御モード切換時の位置偏差をp1 減速開始の目標とする位置偏差をr、 減速終了となるべき理論的な位置偏差をqとする。これ
らの偏差p、r、 qは各々一定の値である。さらに、
ここでは、加速時間tl −t。
点fを位置X5N時刻t5とし、基準目標曲線A上の各
点およびその座標に対応する曲線B(従来例)および曲
線C(本発明)上の各点およびその座標にはそれぞれ
′および″を付して表わすものとする。また、 制御モード切換時の位置偏差をp1 減速開始の目標とする位置偏差をr、 減速終了となるべき理論的な位置偏差をqとする。これ
らの偏差p、r、 qは各々一定の値である。さらに、
ここでは、加速時間tl −t。
を一定、減速時間もi3−t2−t3 ’−t21=t
3“−i 2n =一定とする。
3“−i 2n =一定とする。
ところで、この種の位置決め制御装置においては、負荷
変動や摺動部の摩擦力変化等のため、上記基準速度と可
動体10の実速度とに差が生じる。
変動や摺動部の摩擦力変化等のため、上記基準速度と可
動体10の実速度とに差が生じる。
例として、第21図の曲線Bで示すように実速度が遅く
なった場合について説明する。すなわち、可動体10は
、実速度が基準速度に等しけれぼり準目標曲線A上をa
、b、C,d、e、fのように推移して行くのであるが
、実際は最高速度が下がるため、減速開始位置×2に達
する時間がt2′となりt2’−t2だけ遅くなる。ま
た、減速時間は一定値(t+ −t2 =1:3 ’
−1:2 ’ )であるため、減速終了時間は13′と
なる。減速区間における移動距離は、基準の最高速度を
vb、実際の最高速度をvb’基準の終速度をVd、実
際の終速度をvd’ とすると、 曲線Aでは (X3−X2 ) = (vb 十Vd )X (j3−t2)/2曲曲線
では (X3 ’ −X2 ’ ) =(vb’ +vd’ )X(t3’−t2’ )/
2である。
なった場合について説明する。すなわち、可動体10は
、実速度が基準速度に等しけれぼり準目標曲線A上をa
、b、C,d、e、fのように推移して行くのであるが
、実際は最高速度が下がるため、減速開始位置×2に達
する時間がt2′となりt2’−t2だけ遅くなる。ま
た、減速時間は一定値(t+ −t2 =1:3 ’
−1:2 ’ )であるため、減速終了時間は13′と
なる。減速区間における移動距離は、基準の最高速度を
vb、実際の最高速度をvb’基準の終速度をVd、実
際の終速度をvd’ とすると、 曲線Aでは (X3−X2 ) = (vb 十Vd )X (j3−t2)/2曲曲線
では (X3 ’ −X2 ’ ) =(vb’ +vd’ )X(t3’−t2’ )/
2である。
ここで、vb >vb’ 、vd >vd’ 、(t3
−t2)= (j3’−t2’ )より、減速終了位置
×3′の減速終了目標位置×3からのずれ門は、j=X
3−X3 ’ = ((vb −vb ’
)+ (vd−vd’))X(t3 t2 )/
2 >Qとなり、曲線Bに示すように、可動体は基
準の減速終了位置位!(d点)より手前のd′点で減速
を終了することがわかる。
−t2)= (j3’−t2’ )より、減速終了位置
×3′の減速終了目標位置×3からのずれ門は、j=X
3−X3 ’ = ((vb −vb ’
)+ (vd−vd’))X(t3 t2 )/
2 >Qとなり、曲線Bに示すように、可動体は基
準の減速終了位置位!(d点)より手前のd′点で減速
を終了することがわかる。
次に、終速度vd’で速度/位置制御モード切換位置ま
で低速移動する訳であるが、移動距離はJだけ増えてい
るため、移動時間は長くなり、e′点(tq’)で速度
/位置の切換が行なわれることになる。位置制御モード
に切換後、可動体は目標位置×5の極く近傍で停止し、
位置決めが完了するB’点、i5’)。
で低速移動する訳であるが、移動距離はJだけ増えてい
るため、移動時間は長くなり、e′点(tq’)で速度
/位置の切換が行なわれることになる。位置制御モード
に切換後、可動体は目標位置×5の極く近傍で停止し、
位置決めが完了するB’点、i5’)。
このようなプロセスにより、実際の位置決め時間t5′
は基準目標値t5より長くなる。
は基準目標値t5より長くなる。
位置決め時間を短縮するには誤差Jをb−c間の高速区
間で補正すれば、vd’<vb’であり、移動時間は速
度に反比例するためJ/Vd’>j/vb ’ となり
、より短時間へ補正できることがわかる。
間で補正すれば、vd’<vb’であり、移動時間は速
度に反比例するためJ/Vd’>j/vb ’ となり
、より短時間へ補正できることがわかる。
すなわち、新しい減速開始目標位置偏差をr″とし、r
”=r−jとすれば良い。ノは減速終了時の可動体の位
置を停止目標位置からの位置偏差mとして測定し、この
測定値mと基準目標値qとの差、すなわちt=m−qと
して求めることができる。
”=r−jとすれば良い。ノは減速終了時の可動体の位
置を停止目標位置からの位置偏差mとして測定し、この
測定値mと基準目標値qとの差、すなわちt=m−qと
して求めることができる。
新しい減速開始目標位置偏差r″に基づいて減速を開始
した場合、第21図に曲線Cで示すように、減速開始の
位置は×2“時間はt2″となって従来曲線Bに43け
る減速開始時間t2′よりも遅くなるが、減速終了位置
は基準目標曲線Aと同じ×3となり、終速度区間での移
動距離は基準目標曲線Aと同じになる。この区間での処
理時間は実速度vd’が基準速度vdより低いため、t
4″−t3 ″>t4−t3となるが、実際上は、実速
度と基準速度とは差が比較的小さく、かつこの区間の移
動距離が微小なため位置決めの全所要時間t5″とt5
とはほぼ同時間となる。一方、この減速開始の時点を補
正しない場合の曲線Bと比較してみると、t5”−t5
′=ノ/Vd’−#/vb’>Qとなり、位置決め時間
は短縮される。
した場合、第21図に曲線Cで示すように、減速開始の
位置は×2“時間はt2″となって従来曲線Bに43け
る減速開始時間t2′よりも遅くなるが、減速終了位置
は基準目標曲線Aと同じ×3となり、終速度区間での移
動距離は基準目標曲線Aと同じになる。この区間での処
理時間は実速度vd’が基準速度vdより低いため、t
4″−t3 ″>t4−t3となるが、実際上は、実速
度と基準速度とは差が比較的小さく、かつこの区間の移
動距離が微小なため位置決めの全所要時間t5″とt5
とはほぼ同時間となる。一方、この減速開始の時点を補
正しない場合の曲線Bと比較してみると、t5”−t5
′=ノ/Vd’−#/vb’>Qとなり、位置決め時間
は短縮される。
第1図は本発明の第1実施例のブロック図で、1は速度
関数発生器、2は速度指令値を速度指令電圧に変換する
D/A変換器、3は可動体の停止目標位置x5(f点)
を格納する停止目標位置レジスタ、4は可動体の現在位
置とレジスタ3に格納されている停止目標位置との差で
ある位置偏差値を格納する位置−差カウンタ、5はカウ
ンタ4から出力される位お偏差値を位置偏差電圧に変換
するD/A変換器、6は速度制御と位置制御との切換を
行なうアナログスイッチ、7はサーボアンプである増幅
器、8は可動体10を駆動するモータ、9はタコジェネ
レータ等のモータ速度検出器、10はスライドテーブル
またはロボットの腕等の可動体である。11はロータリ
イエンコーダ、リニアスケールまたはレーザ測長器等の
位置検出器で、現在位置格納レジスタを含む。13は位
置決め終了後の位置誤差(エラー)つまり定常位置誤差
εを格納するレジスタ、14は減速終了目標位置(d点
)を絶対値×3としてではなく偏差値qで格納するレジ
スタ、15は前回位置決め時の実際の減速終了位置mの
減速終了目標位置qに対する誤差J=m−qを算出する
差分器、16は前回位置決め時の減速終了位@mを記憶
するラッチ、17は減速開始位置の補正値1を格納する
レジスタ、18は減速開始位置r(c点〉および速度/
位置制御モード切換′)位置p(e点)を格納するレジ
スタ、19は現在位置と切換位置r”=r−4とを比較
する比較器である。また、A+ 、A2 、A3は加減
算器である。
関数発生器、2は速度指令値を速度指令電圧に変換する
D/A変換器、3は可動体の停止目標位置x5(f点)
を格納する停止目標位置レジスタ、4は可動体の現在位
置とレジスタ3に格納されている停止目標位置との差で
ある位置偏差値を格納する位置−差カウンタ、5はカウ
ンタ4から出力される位お偏差値を位置偏差電圧に変換
するD/A変換器、6は速度制御と位置制御との切換を
行なうアナログスイッチ、7はサーボアンプである増幅
器、8は可動体10を駆動するモータ、9はタコジェネ
レータ等のモータ速度検出器、10はスライドテーブル
またはロボットの腕等の可動体である。11はロータリ
イエンコーダ、リニアスケールまたはレーザ測長器等の
位置検出器で、現在位置格納レジスタを含む。13は位
置決め終了後の位置誤差(エラー)つまり定常位置誤差
εを格納するレジスタ、14は減速終了目標位置(d点
)を絶対値×3としてではなく偏差値qで格納するレジ
スタ、15は前回位置決め時の実際の減速終了位置mの
減速終了目標位置qに対する誤差J=m−qを算出する
差分器、16は前回位置決め時の減速終了位@mを記憶
するラッチ、17は減速開始位置の補正値1を格納する
レジスタ、18は減速開始位置r(c点〉および速度/
位置制御モード切換′)位置p(e点)を格納するレジ
スタ、19は現在位置と切換位置r”=r−4とを比較
する比較器である。また、A+ 、A2 、A3は加減
算器である。
次に第1図の制御回路の作用を説明する。
電源投入後初めて位置決め動作をするとき、および最高
速度または速度関数等の条件を変えたとき、カウンタお
よびレジスタはクリアされる。減速終了目標位置偏差レ
ジスタ14は、オペレータの入力操作またはこの制御回
路が適用される主装置からの指令により適宜設定または
変更することができる。
速度または速度関数等の条件を変えたとき、カウンタお
よびレジスタはクリアされる。減速終了目標位置偏差レ
ジスタ14は、オペレータの入力操作またはこの制御回
路が適用される主装置からの指令により適宜設定または
変更することができる。
第1図の回路においては、オペレータの動作開始指令入
力操作または上記主装置からの動作開始指令により停止
目標位置レジスタ3に可動体の停止目標位置x5(f点
)が、切換位置レジスタ18には切換位置データpが、
レジスタ14には減速終了位置位@qがセットされる。
力操作または上記主装置からの動作開始指令により停止
目標位置レジスタ3に可動体の停止目標位置x5(f点
)が、切換位置レジスタ18には切換位置データpが、
レジスタ14には減速終了位置位@qがセットされる。
比較器19においては位置偏差カウンタ4から構成され
る装置偏差値が切換位置偏差レジスタ18から出力され
る切換位置データpより大きければアナログスイッチ6
を速度制御側に切換え、切換位置偏差レジスタ18の内
容を減速開始の偏差位置r(絶対値X2 )にセットし
直すとともに速度関数発生器1をトリガし、これにより
、速度制御をWI始する。一方、現在位置偏差値が切換
位置データpより小さければ速度制御をやめて、侵述の
位置制御を行なう。
る装置偏差値が切換位置偏差レジスタ18から出力され
る切換位置データpより大きければアナログスイッチ6
を速度制御側に切換え、切換位置偏差レジスタ18の内
容を減速開始の偏差位置r(絶対値X2 )にセットし
直すとともに速度関数発生器1をトリガし、これにより
、速度制御をWI始する。一方、現在位置偏差値が切換
位置データpより小さければ速度制御をやめて、侵述の
位置制御を行なう。
速度制御時、速度関数発生器1で発生した速度曲線に基
づいてD/A変換器2より速度指令電圧が出力され、ア
ナログスイッチ6を介して速度サーボ系(増幅器7、モ
ータ8および速度検出器9の閉ループ)に与えられる。
づいてD/A変換器2より速度指令電圧が出力され、ア
ナログスイッチ6を介して速度サーボ系(増幅器7、モ
ータ8および速度検出器9の閉ループ)に与えられる。
これにより、可動体10の速度a3よび位置は、第21
図の曲線Bのa′〜e′のように変化する。この際、カ
ウンタ4の内容がレジスタ18の内容rに一致すると、
比較器19がこれを検出し、速度関数発生器1が応答し
て減速を開始する。そして、モータ8が点C′で減速を
開始した後、切換位置偏差レジスタ18に切換位置pを
設定し、可動体10の速度が終速度に達した点d′の位
置偏差値mをレジスタ16に記憶させる。
図の曲線Bのa′〜e′のように変化する。この際、カ
ウンタ4の内容がレジスタ18の内容rに一致すると、
比較器19がこれを検出し、速度関数発生器1が応答し
て減速を開始する。そして、モータ8が点C′で減速を
開始した後、切換位置偏差レジスタ18に切換位置pを
設定し、可動体10の速度が終速度に達した点d′の位
置偏差値mをレジスタ16に記憶させる。
続いて、切換位置偏差レジスタ18に設定された切換位
置pと現在位置カウンタで計測される現在位置とが一致
すると(第5図e)、比較器19はアナログスイッチ6
を位置制御側に切換える。
置pと現在位置カウンタで計測される現在位置とが一致
すると(第5図e)、比較器19はアナログスイッチ6
を位置制御側に切換える。
位置制御においては、位置偏差カウンタ4、D/A変換
器5、増幅器7、モータ8、可動体10、位置検出器1
1の閉ループにより、可動体10の位置が高精度に位置
決めされる。
器5、増幅器7、モータ8、可動体10、位置検出器1
1の閉ループにより、可動体10の位置が高精度に位置
決めされる。
位置決め終了後、位置偏差カウンタ4内の定常位置誤差
猷εを補正値レジスタ13に格納する。同様に、減速終
了目標位置偏差レジスタ14の減速終了目標位置偏差q
と減速終了位置偏差レジスタ16の減速終了位置偏差m
との差分値Jを差分器15にて求め、減速開始位置補正
値レジスタ17に格納する。この1回目の動作により、
減速終了位置の補正値Jと停止目標位置の補正値εが記
憶されたことになる。
猷εを補正値レジスタ13に格納する。同様に、減速終
了目標位置偏差レジスタ14の減速終了目標位置偏差q
と減速終了位置偏差レジスタ16の減速終了位置偏差m
との差分値Jを差分器15にて求め、減速開始位置補正
値レジスタ17に格納する。この1回目の動作により、
減速終了位置の補正値Jと停止目標位置の補正値εが記
憶されたことになる。
2回目の動作時、停止目標位置レジスタ3、減速終了目
標位置偏差レジスタ14および切換位置偏差レジスタ1
8には1回目と同様なWi×5、qおよびp、rが設定
される。しかし、これらの値のうち×5およびrは、今
度は、加減算器A1およびA3により各々補正値εおよ
びノが加算または減算され補正される。
標位置偏差レジスタ14および切換位置偏差レジスタ1
8には1回目と同様なWi×5、qおよびp、rが設定
される。しかし、これらの値のうち×5およびrは、今
度は、加減算器A1およびA3により各々補正値εおよ
びノが加算または減算され補正される。
この場合、新しい(補正後の)減速開始位置偏差r″は
次のようにして求められる。すなわち、減速終了目標位
置qと1回目の実際の減速終了位置mとの差J=m−q
を差分器15で求める。このずれff1Jだけ減速開始
位置を補正してやればよい。
次のようにして求められる。すなわち、減速終了目標位
置qと1回目の実際の減速終了位置mとの差J=m−q
を差分器15で求める。このずれff1Jだけ減速開始
位置を補正してやればよい。
従って、新しい減速開始位置r/Jは減速開始位置rか
らずれ1B−Jを引いたIIII r’ −Jとなる。
らずれ1B−Jを引いたIIII r’ −Jとなる。
新しい停止目標位置×5′は基準の停止目標位置×5に
現在位置偏差カウンタ4により求められ補正値レジスタ
13に格納されたずれωεを加惇した値×5+εとなる
。
現在位置偏差カウンタ4により求められ補正値レジスタ
13に格納されたずれωεを加惇した値×5+εとなる
。
これにJ二り、1回目に学習した結果が2回目の動作に
反映され、その動作曲線は第21図の2点鎖線Cのよう
になる。同図から明らかなように、学習の結果、減速開
始点がC′からC″に補正されることにより停止点はf
′からf LJのように短縮され、また、停止位置も×
5′+εの位置からεだけ手前の位置すなわち停止目標
位置×5に近付く。
反映され、その動作曲線は第21図の2点鎖線Cのよう
になる。同図から明らかなように、学習の結果、減速開
始点がC′からC″に補正されることにより停止点はf
′からf LJのように短縮され、また、停止位置も×
5′+εの位置からεだけ手前の位置すなわち停止目標
位置×5に近付く。
また、この制御回路においては、アナログ回路のドリフ
トやオフセット等も含めて補正することができるため、
これらのドリフトやオフセットの補正等の対策に、従来
必要であった高価な回路や高級な演算増幅器等が不要と
なり、装置のコスト・ ダウンを図ることができる。
トやオフセット等も含めて補正することができるため、
これらのドリフトやオフセットの補正等の対策に、従来
必要であった高価な回路や高級な演算増幅器等が不要と
なり、装置のコスト・ ダウンを図ることができる。
なお、少なくとも2回目以降の動作時においては、位置
制御時、補正値レジスタ17をクリアしておく。
制御時、補正値レジスタ17をクリアしておく。
肛λlLf九
第2図は、計算機を使用した本発明の第2の実施例を示
す。同図において、20はマイクロコンピュータまたは
ミニコンピユータ等の中央演算処理1ii! (CPU
) 、21はROM、RAM等ツメモリ装置、22は
計算機のバス、23はアナログスイッチ6を切換えるた
めの切換指令装置である。
す。同図において、20はマイクロコンピュータまたは
ミニコンピユータ等の中央演算処理1ii! (CPU
) 、21はROM、RAM等ツメモリ装置、22は
計算機のバス、23はアナログスイッチ6を切換えるた
めの切換指令装置である。
ここでは、第1図に1および12〜19で示されるブロ
ックの機能が、計算機のソフト処理に置き換えられてい
る。
ックの機能が、計算機のソフト処理に置き換えられてい
る。
次に第3図のフローチャートを参照しながら第2図の制
御回路の作用を説明する。
御回路の作用を説明する。
電源投入後の初期駆動または設定条件の変更時にはステ
ップSAIからSA2に進み、ステップSA2にて各補
正値の初期化を行なう。すなわち、減速開始位置補正値
、位置決め補正値および補正回数を零とする。
ップSAIからSA2に進み、ステップSA2にて各補
正値の初期化を行なう。すなわち、減速開始位置補正値
、位置決め補正値および補正回数を零とする。
位置決め動作においては、先ずステップSA3にで目標
位置と位置決め補正値の差である目標値の計算を行なう
。目標位置は現在位置と移動距離との和で、最終的には
可動体10を位置決めしたい位置である。
位置と位置決め補正値の差である目標値の計算を行なう
。目標位置は現在位置と移動距離との和で、最終的には
可動体10を位置決めしたい位置である。
次に、計算機は、D/A変換器2′およびアナログスイ
ッチ6を介して速度制御系に第21図のような速度曲線
に基づく速度指令信号を出力し、可動体10を移動させ
る。また、これと併行して、減速終了位置偏差m1制御
切換位置偏差qおよび位置決め終了位置偏差εを、その
時々のタイミングで位置偏差カウンタ4′の計数値によ
り、読みとる(ステップSA4〜S A 14)。
ッチ6を介して速度制御系に第21図のような速度曲線
に基づく速度指令信号を出力し、可動体10を移動させ
る。また、これと併行して、減速終了位置偏差m1制御
切換位置偏差qおよび位置決め終了位置偏差εを、その
時々のタイミングで位置偏差カウンタ4′の計数値によ
り、読みとる(ステップSA4〜S A 14)。
ステップ5A15の補正値の計算は、補正回数1回目の
、減速開始補正値をΔX3 (i)、位置決め補正値を
ΔX5(i)、重み定数をKiとして、ΔX3 (i)
=ΔX3 (i −1) + (Q−m−Const
) /Ki ΔX5(i)=ΔX5 (i−1)+ε/Kiとなる。
、減速開始補正値をΔX3 (i)、位置決め補正値を
ΔX5(i)、重み定数をKiとして、ΔX3 (i)
=ΔX3 (i −1) + (Q−m−Const
) /Ki ΔX5(i)=ΔX5 (i−1)+ε/Kiとなる。
この制御回路による補正値の胴締は1.F2式を見て分
るように、ある一定の補正回数を過ぎると、補正値が収
束して安定する。
るように、ある一定の補正回数を過ぎると、補正値が収
束して安定する。
l工111 。
本発明の第3〜8の実施例の説明に先立ってこれらの実
施例の原理について説明する。
施例の原理について説明する。
第20図の制御回路において、位置決め制御系のループ
ゲインをKo [1/S]、モータ8の定格トルクをT
p[N−m]、モータ8が定格回転数のときの送り速度
をFr [m/S]、モータ軸換篩負荷トルクをTd
[N−m]とすると、負荷トルクや摺動部の*振力
の変化を考慮した場合の位置決め偏差(定常位置偏差)
ε[m]はε> (Fr /Ko ) ・(Td /T
p )となる。また、ループゲインKOはサーボ系のシ
ステム構成により一定の値以上に上げると発振状態とな
り不安定となるために上げられない。このため従来の方
法では定常位置偏差εは一定の値以下に下げることが出
来なかった。
ゲインをKo [1/S]、モータ8の定格トルクをT
p[N−m]、モータ8が定格回転数のときの送り速度
をFr [m/S]、モータ軸換篩負荷トルクをTd
[N−m]とすると、負荷トルクや摺動部の*振力
の変化を考慮した場合の位置決め偏差(定常位置偏差)
ε[m]はε> (Fr /Ko ) ・(Td /T
p )となる。また、ループゲインKOはサーボ系のシ
ステム構成により一定の値以上に上げると発振状態とな
り不安定となるために上げられない。このため従来の方
法では定常位置偏差εは一定の値以下に下げることが出
来なかった。
ここで、ボールネジを使ったステージの位置決めv制御
系での発振限界の例を第4図にゲインKOと定常位置偏
差εとの関係で示す。実線は反モータ側、点線はモータ
側の発振限界を示す。これによるとゲインKOと位置偏
差εの関係はKo=K・ε−? で表わされる。ただし、K、Pは比例定数であり位置に
より変化する場合がある。
系での発振限界の例を第4図にゲインKOと定常位置偏
差εとの関係で示す。実線は反モータ側、点線はモータ
側の発振限界を示す。これによるとゲインKOと位置偏
差εの関係はKo=K・ε−? で表わされる。ただし、K、Pは比例定数であり位置に
より変化する場合がある。
従来の方法の場合、速度制御から位置制御に切換えた接
は一定ゲインであり、粘性1?擦を持つ系での減衰波形
は、ゲインが低い場合(例えば第5図のゲイン特性a)
は第6図にaで示すように指数関数的に収束するととも
に、ゲインが高い場合(第5図のb)は第6図にbで示
すように振動的に収束し、一方、乾燥摩擦の場合は直線
的に一定偏差値に収束する。従って、位置偏差に応じた
安−窓領域でゲインKOが出来るだけ大きく設定される
ように、第5図の曲PiC〜eの如く時間とともにゲイ
ンKOを上げて行くようにすると発振することなく第6
図の曲I!iICに示すような応答特性を得ることがで
きる。
は一定ゲインであり、粘性1?擦を持つ系での減衰波形
は、ゲインが低い場合(例えば第5図のゲイン特性a)
は第6図にaで示すように指数関数的に収束するととも
に、ゲインが高い場合(第5図のb)は第6図にbで示
すように振動的に収束し、一方、乾燥摩擦の場合は直線
的に一定偏差値に収束する。従って、位置偏差に応じた
安−窓領域でゲインKOが出来るだけ大きく設定される
ように、第5図の曲PiC〜eの如く時間とともにゲイ
ンKOを上げて行くようにすると発振することなく第6
図の曲I!iICに示すような応答特性を得ることがで
きる。
ざらに、この種のサーボ回路で位置決め制御を行なった
場合、摺動部や軸受等の摩擦力により、位置決めにヒス
テリシスが生じる。すなわち、位置偏差出力(サーボ増
幅器7への指令値)は位置偏差とリニアな関係にあるた
め、微小位置偏差におけるモータ8の発生トルクは上記
lI!擦力振力ち勝つことができずに不感帯として可動
体10が移動することのできない領域が存在する。この
問題の解消策として、一般的には、サーボ回路に積分回
路を付加し、この微小位置偏差による指令電圧を時間と
ともに積分し、mtw力に打ち勝つだけのモータトルク
を発生するよ′うにして定常位置偏差を零にしている。
場合、摺動部や軸受等の摩擦力により、位置決めにヒス
テリシスが生じる。すなわち、位置偏差出力(サーボ増
幅器7への指令値)は位置偏差とリニアな関係にあるた
め、微小位置偏差におけるモータ8の発生トルクは上記
lI!擦力振力ち勝つことができずに不感帯として可動
体10が移動することのできない領域が存在する。この
問題の解消策として、一般的には、サーボ回路に積分回
路を付加し、この微小位置偏差による指令電圧を時間と
ともに積分し、mtw力に打ち勝つだけのモータトルク
を発生するよ′うにして定常位置偏差を零にしている。
すなわち、可動体の停止位置を停止目標位置に近付ける
ようにしている。しかし、このように積分回路を使用す
ると位置決め時間が長くなる。
ようにしている。しかし、このように積分回路を使用す
ると位置決め時間が長くなる。
また、前述したように、サーボ系のループゲインKOを
上げれば定常位置偏差εが零に近付き位置決め精度が上
がるが、ループゲインKOを上げていくとサーボ系とし
て不安定となり発振することがある。
上げれば定常位置偏差εが零に近付き位置決め精度が上
がるが、ループゲインKOを上げていくとサーボ系とし
て不安定となり発振することがある。
そこで7、第3〜8の実施例では、上記欠点を解消する
口と、すなわち位置決め精度を上げる(定常位置偏差ε
を零とする)ことと位置決め時間を短縮することを目的
とし、摩擦の極類、大きざおよび系の剛性の大きさに応
じてゲイン曲線を選択することにより、定常位置偏差お
よび可動体の移動方向による定常位置偏差の差を極めて
小さくし、位置決め精度の向上を図っている。ゲイン曲
線は、次の思想に基づいて定めればよい。つまり、■速
度1IIJ御から位置制御へ切換えた時には位置偏差が
大きいため全体のループゲインを下げ、その後は時間と
ともに位置偏差が小さくなるのでループゲインを上げて
いく(第3〜5の実施例)。または、 ■定常位置偏差を零に極く近付けるためにはどの偏差位
置においても摩擦力に打ち勝つだけのモータトルクを発
生する位置偏差電圧が出力されるように位置偏差が小さ
いほどループゲインを高くするように可変ゲインとする
(第6〜8の実施例)。
口と、すなわち位置決め精度を上げる(定常位置偏差ε
を零とする)ことと位置決め時間を短縮することを目的
とし、摩擦の極類、大きざおよび系の剛性の大きさに応
じてゲイン曲線を選択することにより、定常位置偏差お
よび可動体の移動方向による定常位置偏差の差を極めて
小さくし、位置決め精度の向上を図っている。ゲイン曲
線は、次の思想に基づいて定めればよい。つまり、■速
度1IIJ御から位置制御へ切換えた時には位置偏差が
大きいため全体のループゲインを下げ、その後は時間と
ともに位置偏差が小さくなるのでループゲインを上げて
いく(第3〜5の実施例)。または、 ■定常位置偏差を零に極く近付けるためにはどの偏差位
置においても摩擦力に打ち勝つだけのモータトルクを発
生する位置偏差電圧が出力されるように位置偏差が小さ
いほどループゲインを高くするように可変ゲインとする
(第6〜8の実施例)。
第5図においてc−eは第3〜8の実施例で選択される
ゲイン特性例で、Cは直線変化、dは対数曲線変化、そ
してeはn次曲線変化させる場合を示す。
ゲイン特性例で、Cは直線変化、dは対数曲線変化、そ
してeはn次曲線変化させる場合を示す。
第7図は本発明の第3の実施例を示す。同図において、
3〜5および7〜11は第1図に同一の符号で示した各
71コツクと共通または対応しており、3は停止目標位
置レジスタ、4は位置偏差カウンタ、5はD/A変換器
、7はサーボアンプ、8はモータ、9はモータ速度検出
器、10は可動体、11は位置検出器である。
3〜5および7〜11は第1図に同一の符号で示した各
71コツクと共通または対応しており、3は停止目標位
置レジスタ、4は位置偏差カウンタ、5はD/A変換器
、7はサーボアンプ、8はモータ、9はモータ速度検出
器、10は可動体、11は位置検出器である。
また、32は最大速度レジスタ、33は速度データと位
置偏差データのどちらかを選択するセレクタ、34は乗
算器、35はD/A変換器、36はD/A変換器35に
入力するデータを記憶するレジスタ、31は速度データ
とゲインデータのどちらかを選択するセレクタである。
置偏差データのどちらかを選択するセレクタ、34は乗
算器、35はD/A変換器、36はD/A変換器35に
入力するデータを記憶するレジスタ、31は速度データ
とゲインデータのどちらかを選択するセレクタである。
38は速度曲線作成用の速度データを記憶している速度
曲線テーブルで、上述の台形波状の曲線だけでなく、バ
ーサイン波、サイクロイド波、n次曲線等、種々の曲線
を正規化して記憶している。
曲線テーブルで、上述の台形波状の曲線だけでなく、バ
ーサイン波、サイクロイド波、n次曲線等、種々の曲線
を正規化して記憶している。
つまり、この速度曲線テーブル38としてのROMの内
容は、D/A変換器35として12ビツトのものを使用
した場合、アドレスnとそのアドレスnに格納されてい
るデータD (n)との関係を例えばD (n> =
(2” −1) −K (n)=2047− K (n
> (但し、0≦K(n)≦1) としである。ここで、K (n)は、0<n≦256の
場合、例えば (1) 台形波 K (n ) = n/256(
2) バーサイン曲線 K (n) = (1/2 ) ・< 1−cos
(nπ(3) サイクロイド曲線 K (n> = (n/256 ) −(1/2 π)
−sin (2nπ/256 > く4) 5次曲線 K (n) = 6− (n/256 ) −15−(
n/256送+10・(n/256)’(5) 指数関
数曲線 K (n > =exp ((n/256 ) −1
)とする。第8図は、台形波の場合の加減速時のデータ
D(n)を16進表示で示す。
容は、D/A変換器35として12ビツトのものを使用
した場合、アドレスnとそのアドレスnに格納されてい
るデータD (n)との関係を例えばD (n> =
(2” −1) −K (n)=2047− K (n
> (但し、0≦K(n)≦1) としである。ここで、K (n)は、0<n≦256の
場合、例えば (1) 台形波 K (n ) = n/256(
2) バーサイン曲線 K (n) = (1/2 ) ・< 1−cos
(nπ(3) サイクロイド曲線 K (n> = (n/256 ) −(1/2 π)
−sin (2nπ/256 > く4) 5次曲線 K (n) = 6− (n/256 ) −15−(
n/256送+10・(n/256)’(5) 指数関
数曲線 K (n > =exp ((n/256 ) −1
)とする。第8図は、台形波の場合の加減速時のデータ
D(n)を16進表示で示す。
第7図に戻って、39はゲインを設定するテーブルであ
るゲイン設定テーブル(メモリ)、40は可動体10の
加減速時間およびゲイン設定を行なうタイミングを作る
ための基準クロックを発生する発振器である。この発振
器40は図示しない可変抵抗器等によって外部より周波
数を変えることができる。41は時間を計数するアップ
ダウンカウンタである。
るゲイン設定テーブル(メモリ)、40は可動体10の
加減速時間およびゲイン設定を行なうタイミングを作る
ための基準クロックを発生する発振器である。この発振
器40は図示しない可変抵抗器等によって外部より周波
数を変えることができる。41は時間を計数するアップ
ダウンカウンタである。
次に、第7図の制御系の作用を説明する。
この制御系は、例えばマイクロプロセッサ等で構成され
る不図示の制御装置によりその動作を制御される。該制
御系においては、演算処理により、あるいはオペレータ
による入力操作により、可動体の移動距離および現在位
置(第21図のXO)と移動距離との和である停止目標
位1ifXsが定まると、移動距離に応じて最大速度v
ll1axを最大″S度レジスタ32に設定し、速度
曲線テーブル38の速度曲線を選択し、さらに、停止目
標位置×5を目標位置レジスタ3に設定するとともに、
目標位置の場所(絶対座標)に応じCゲイン設定テーブ
ル39のゲイン曲線を選択する。
る不図示の制御装置によりその動作を制御される。該制
御系においては、演算処理により、あるいはオペレータ
による入力操作により、可動体の移動距離および現在位
置(第21図のXO)と移動距離との和である停止目標
位1ifXsが定まると、移動距離に応じて最大速度v
ll1axを最大″S度レジスタ32に設定し、速度
曲線テーブル38の速度曲線を選択し、さらに、停止目
標位置×5を目標位置レジスタ3に設定するとともに、
目標位置の場所(絶対座標)に応じCゲイン設定テーブ
ル39のゲイン曲線を選択する。
ゲインテーブル39としでは、可変ゲインデータを停止
目標位置の絶対座標にかかわらず同じ値を使う1次元テ
ーブルと、目標位置の存在する場所によっても変わる2
次元的なテーブルの2つが考えられるが、ここでは2次
元配列のものを用いる。
目標位置の絶対座標にかかわらず同じ値を使う1次元テ
ーブルと、目標位置の存在する場所によっても変わる2
次元的なテーブルの2つが考えられるが、ここでは2次
元配列のものを用いる。
第7図の制御系においては、上記目標位@×5および最
大速度V wax等が設定されると、発振器40の発振
周波数を、可動体10の加減速時間に見合った基準クロ
ック(周期21秒)を得るように、設定し、カウンタ4
1を初期化し、セレクタ33j5よびセレクタ31を速
度制御側に選択して第21図におけるa−d区間の速度
制御を行なう。
大速度V wax等が設定されると、発振器40の発振
周波数を、可動体10の加減速時間に見合った基準クロ
ック(周期21秒)を得るように、設定し、カウンタ4
1を初期化し、セレクタ33j5よびセレクタ31を速
度制御側に選択して第21図におけるa−d区間の速度
制御を行なう。
ここで発振器40の周期21秒は、可動体10の加速時
または減速時のサンプルカウント数、すなわちカウンタ
41の出力する最大計数値をn、加減速時間をTaC[
秒]としてTac=nxΔT[秒]より求まる値に周波
数を可変することによって設定する。また、基準速度V
はV=K (n) ・Vmaxとなる。
または減速時のサンプルカウント数、すなわちカウンタ
41の出力する最大計数値をn、加減速時間をTaC[
秒]としてTac=nxΔT[秒]より求まる値に周波
数を可変することによって設定する。また、基準速度V
はV=K (n) ・Vmaxとなる。
発振器40を動作させた侵、カウンタ41は一定時間ご
とにカウントアツプし、このカウンタ41のカウント値
nに対応して速度曲線テーブル38から正層化速度デー
タK(n>が読み出される。この速度データK(n)は
レジスタ36に一時記憶され、D/A変換器35でアナ
ログ化され、速度指令電圧として乗算器34の第1の入
力端子に入力される。
とにカウントアツプし、このカウンタ41のカウント値
nに対応して速度曲線テーブル38から正層化速度デー
タK(n>が読み出される。この速度データK(n)は
レジスタ36に一時記憶され、D/A変換器35でアナ
ログ化され、速度指令電圧として乗算器34の第1の入
力端子に入力される。
一方、最大速度レジスタ32に設定されたディジタルデ
ータとしての最大速度値VIlaxは、D/A変換器5
でアナログ電圧値に変換された後、乗算器34の第2の
入力端子に供給される。乗算器34は、上記式の演算を
行ない、v waxをK (n)倍し、可動体の基準速
度Vとして出力する。カウンタ41の(iinが256
ニナルト K (25G ) = 1 、 V−V@aXとなり
、可動体の速度は最大速度で定速状態となる。第21図
C点の減速開始位置にきたら、カウンタ41を減算カウ
ンタとすることにより、減速速度曲線を得ることができ
る。な貴、この減速時、発振器40の設定値を変えるよ
うにすれば、加速時間と減速時間を異ならせることがで
きる。
ータとしての最大速度値VIlaxは、D/A変換器5
でアナログ電圧値に変換された後、乗算器34の第2の
入力端子に供給される。乗算器34は、上記式の演算を
行ない、v waxをK (n)倍し、可動体の基準速
度Vとして出力する。カウンタ41の(iinが256
ニナルト K (25G ) = 1 、 V−V@aXとなり
、可動体の速度は最大速度で定速状態となる。第21図
C点の減速開始位置にきたら、カウンタ41を減算カウ
ンタとすることにより、減速速度曲線を得ることができ
る。な貴、この減速時、発振器40の設定値を変えるよ
うにすれば、加速時間と減速時間を異ならせることがで
きる。
この速度制御の結果、可動体10が目標位置近傍に到達
すると、次にセレクタ33.37を位置制御側に切換え
、発振器40に可変ゲイン時間の設定を行ない、かつカ
ウンタ41を初期化して本実施例の特徴とする可変ゲイ
ンモードによる位置制御を行なう。
すると、次にセレクタ33.37を位置制御側に切換え
、発振器40に可変ゲイン時間の設定を行ない、かつカ
ウンタ41を初期化して本実施例の特徴とする可変ゲイ
ンモードによる位置制御を行なう。
この位置制御においては、発振器40からのタイ0、ミ
ングクロックを計数するカウンタ41の計数値に応じて
第9図に例示するようなゲイン設定テーブル39のゲイ
ンデータが一定時間おきに読み出され、レジスタ36に
格納される。第9図のテーブル39xおよび39Vはウ
ェハWFの位置決め用で、目標位置の場所(X、V)に
応じた2次元配列テーブルである。
ングクロックを計数するカウンタ41の計数値に応じて
第9図に例示するようなゲイン設定テーブル39のゲイ
ンデータが一定時間おきに読み出され、レジスタ36に
格納される。第9図のテーブル39xおよび39Vはウ
ェハWFの位置決め用で、目標位置の場所(X、V)に
応じた2次元配列テーブルである。
第7図に戻って、乗算器34では、第10図に示すよう
に、D/A変換器5から出力されるアナログの位置偏差
電圧とレジスタ36に格納されているゲインデータをD
/A変換器35でアナログ変換した電圧とを乗算する。
に、D/A変換器5から出力されるアナログの位置偏差
電圧とレジスタ36に格納されているゲインデータをD
/A変換器35でアナログ変換した電圧とを乗算する。
これにより、位置偏差電圧はゲインデータ倍される。つ
まり、制御系のループゲインをゲインデータに応じて可
変することができる。なお、カウンタ41は、ゲインテ
ーブルの最終データが読み出された後は、カウントアツ
プを行なわず、レジスタ36は最終のゲインデータを保
持する。
まり、制御系のループゲインをゲインデータに応じて可
変することができる。なお、カウンタ41は、ゲインテ
ーブルの最終データが読み出された後は、カウントアツ
プを行なわず、レジスタ36は最終のゲインデータを保
持する。
このようにすることで、速度制御から位置制御へ切換え
る際の振動の発生を防止することができるとともに、位
置決め時間の短縮、定常位置偏差の減少、および移動方
向による定常位置偏差の差の減少を図ることができる。
る際の振動の発生を防止することができるとともに、位
置決め時間の短縮、定常位置偏差の減少、および移動方
向による定常位置偏差の差の減少を図ることができる。
また、最大速度の設定と速度曲線とを分離して発生する
ことにより速度曲線データを正規化、すなわちデータと
して相似の波形を一本化し、情報量を少なくすることが
できる。従って速度曲線をROMにテーブル化すること
ができ、任意の曲線とすることができる。また、速度関
数発生器が、それぞれ加減速時間、正規化された速度曲
線データおよび最大速度を発生する部分に分離でき、装
置全体の構成としては簡略化することができる。
ことにより速度曲線データを正規化、すなわちデータと
して相似の波形を一本化し、情報量を少なくすることが
できる。従って速度曲線をROMにテーブル化すること
ができ、任意の曲線とすることができる。また、速度関
数発生器が、それぞれ加減速時間、正規化された速度曲
線データおよび最大速度を発生する部分に分離でき、装
置全体の構成としては簡略化することができる。
14え[1
第11図は、本発明の第4の実施例に係る制御回路を示
す。前述した第7図の回路においては、最大速度レジス
タ32、速度曲線テーブル38、発振器40およびカウ
ンタ41で第1図に示す回路の速度関数発生器1と同様
の機能を実現するようにしている。第11図の実施例に
おいては、これに対し、速度fl、13111系を第1
図と同様の速度関数発生器1′#で構成し、ゲインテー
ブル39、発振器40およびカウンタ41は位置制御系
としてのみ用いるとともに、第7図のレジスタ36を除
去し、乗算器34およびD/Aa’換器35の代りに乗
算型D/A変換器34′をD/A変換器5とアナログス
イッチ6の位置制御側接点との間に接続してこの乗算型
D/A変換器34′テゲインテーブル39から出力され
るゲインデータに応じてD/A変換器5の出力をυ制御
して増幅器7に供給するようにしている。
す。前述した第7図の回路においては、最大速度レジス
タ32、速度曲線テーブル38、発振器40およびカウ
ンタ41で第1図に示す回路の速度関数発生器1と同様
の機能を実現するようにしている。第11図の実施例に
おいては、これに対し、速度fl、13111系を第1
図と同様の速度関数発生器1′#で構成し、ゲインテー
ブル39、発振器40およびカウンタ41は位置制御系
としてのみ用いるとともに、第7図のレジスタ36を除
去し、乗算器34およびD/Aa’換器35の代りに乗
算型D/A変換器34′をD/A変換器5とアナログス
イッチ6の位置制御側接点との間に接続してこの乗算型
D/A変換器34′テゲインテーブル39から出力され
るゲインデータに応じてD/A変換器5の出力をυ制御
して増幅器7に供給するようにしている。
ff15 J[
第12図は、計算機を使用した制御回路の実施例を示す
。同図において、20〜22およびは第2図に同一の符
号で示した各ブロックと共通または対応しており、20
はCPU121はメモリ、22は計算機のバスである。
。同図において、20〜22およびは第2図に同一の符
号で示した各ブロックと共通または対応しており、20
はCPU121はメモリ、22は計算機のバスである。
また、23′ は速度指令データラツヂ32′ と位置
偏差データカウンタ4′の切換指令フラグである。メモ
リ21内には、速度曲線テーブルおよびゲイン設定テー
ブルが設けられている。
偏差データカウンタ4′の切換指令フラグである。メモ
リ21内には、速度曲線テーブルおよびゲイン設定テー
ブルが設けられている。
ここでは第7図に37〜41で示されるブロックの機能
が、計算機を使うことにより、プログラムで実行されて
いる。
が、計算機を使うことにより、プログラムで実行されて
いる。
次に第13図のフローチャートを参照しながら第12図
の制御回路の作用を説明する。
の制御回路の作用を説明する。
この制御回路においてCP U 20に移動距離情報が
与えられると、最大加速度はモータトルク、負荷トルク
および慣性力等により決まっているため、最大速度が決
まる。CP U 20は、ステップSB1でこの最大速
度に応じた減速時間、減速区間移動距離および初期補正
値をメモリ21から読み出し、これらのデータより減速
開始位置および位置制御モードへの切換位置を決める。
与えられると、最大加速度はモータトルク、負荷トルク
および慣性力等により決まっているため、最大速度が決
まる。CP U 20は、ステップSB1でこの最大速
度に応じた減速時間、減速区間移動距離および初期補正
値をメモリ21から読み出し、これらのデータより減速
開始位置および位置制御モードへの切換位置を決める。
次に、これらのデータをメモリ21の所定のエリアに設
定しくステップ5B2)、切換指令フラグ23′指令し
て速度指令ラッチ32′がD/A変換器5に接続される
ようにセレクタ6を切換える。これにより、速度制御モ
ードとなり、加速、定速および減速という第21図a−
d区間の速度制御を行なう(ステップ883 )。この
速度制御の結果、終速度による定速区間d〜eになると
、CP U 20は、位置偏差カウンタ4′の位置偏差
データに基づいて制御モード切換位置の検出を行ない(
ステップ5B4)、位置制御モードへの切換位置に達し
た時に、切換指令フラグ23′ に指令を与えて位置制
御モードに切換える。
定しくステップ5B2)、切換指令フラグ23′指令し
て速度指令ラッチ32′がD/A変換器5に接続される
ようにセレクタ6を切換える。これにより、速度制御モ
ードとなり、加速、定速および減速という第21図a−
d区間の速度制御を行なう(ステップ883 )。この
速度制御の結果、終速度による定速区間d〜eになると
、CP U 20は、位置偏差カウンタ4′の位置偏差
データに基づいて制御モード切換位置の検出を行ない(
ステップ5B4)、位置制御モードへの切換位置に達し
た時に、切換指令フラグ23′ に指令を与えて位置制
御モードに切換える。
位置制御モードに切換えた後、停止目標位置に応じたゲ
インテーブル(第14図)を選択しくステップ585)
、メモリ21内に設けられているゲインテーブル読み出
し用のポインタを初期化し、最初のゲインデータを読み
出してレジスタ16に設定する(ステップ5B6)。こ
れにより、制御回路のループゲインは、第11図の制御
系について説明したように、乗算型D/A変換器34′
においてゲインデータに応じて可変される。続くステ
ップS87では可変ゲインの終了チェックを行ない、終
了していなければステップSB8でポインタを歩進して
ゲインテーブルの次のアドレスを指示させる。次に、サ
ンプルタイムのチェックを行ない、次のゲインデータ出
力タイミングが到来するまで待機した(ステップ889
)後、ステップSB6に戻って上記ステップSB6以
下ステップSB9までの可変ゲインルーチンを繰返す。
インテーブル(第14図)を選択しくステップ585)
、メモリ21内に設けられているゲインテーブル読み出
し用のポインタを初期化し、最初のゲインデータを読み
出してレジスタ16に設定する(ステップ5B6)。こ
れにより、制御回路のループゲインは、第11図の制御
系について説明したように、乗算型D/A変換器34′
においてゲインデータに応じて可変される。続くステ
ップS87では可変ゲインの終了チェックを行ない、終
了していなければステップSB8でポインタを歩進して
ゲインテーブルの次のアドレスを指示させる。次に、サ
ンプルタイムのチェックを行ない、次のゲインデータ出
力タイミングが到来するまで待機した(ステップ889
)後、ステップSB6に戻って上記ステップSB6以
下ステップSB9までの可変ゲインルーチンを繰返す。
このようにして、第5図のゲイン曲線のようにゲインを
変化させて行く。
変化させて行く。
また、上記ステップSB7で可変ゲインの終了が判定さ
れた時すなわらポインタがゲインテーブルの最後のデー
タを指した時は、可変ゲインルーチン(ステップSB6
〜S[19)を扱は出し、次の位置決め終了判定ルーチ
ン(ステップ5B10)に移り、位置偏差が所定値以下
となったとき、位置決め制御動作を終了する。
れた時すなわらポインタがゲインテーブルの最後のデー
タを指した時は、可変ゲインルーチン(ステップSB6
〜S[19)を扱は出し、次の位置決め終了判定ルーチ
ン(ステップ5B10)に移り、位置偏差が所定値以下
となったとき、位置決め制御動作を終了する。
なお、本実施例は適宜変形することができる。
例えば、第12図におけるセレクタ6、切換指令フラグ
23′、レジスタ36および乗算型D/A変換器34′
廃止し、速度指令ラッチ32′ をD/A変換器5に直
接接続するとともに、位置制御時、CPU20は位置検
出器11内の現在位置レジスタの内容すなわち現在位置
を読み、位置偏差に応じた指令電圧と時間変化するゲイ
ンデータとを乗算して得られた指令値を速度指令ラッチ
32′ へ出力するように構成すれば、ハード構成部品
を大幅に省略することができる。
23′、レジスタ36および乗算型D/A変換器34′
廃止し、速度指令ラッチ32′ をD/A変換器5に直
接接続するとともに、位置制御時、CPU20は位置検
出器11内の現在位置レジスタの内容すなわち現在位置
を読み、位置偏差に応じた指令電圧と時間変化するゲイ
ンデータとを乗算して得られた指令値を速度指令ラッチ
32′ へ出力するように構成すれば、ハード構成部品
を大幅に省略することができる。
第6実施例
第15図は本発明の第6の実施例を示す。なお、前記し
た各実施例と共通または対応するブロックは同一の符号
で表わす。ずなわら、3は停止目標位置レジスタ、4は
位置偏差カウンタ、5はD/A変換器、7はサーボアン
プ、8は七−夕、9はモータ速度検出器、10は可動体
、11は位置検出器、32は最大速度レジスタ、33.
37はセレクタ、34′は乗算型D/A変換器、36は
速度データとゲインデータのうちセレクタ31で選択さ
れた方のデータを記憶するレジスタ、38は速度曲線テ
ーブルであるメモリ、39はゲインテーブルであるメモ
リ、40は発振器、41はカウンタである。
た各実施例と共通または対応するブロックは同一の符号
で表わす。ずなわら、3は停止目標位置レジスタ、4は
位置偏差カウンタ、5はD/A変換器、7はサーボアン
プ、8は七−夕、9はモータ速度検出器、10は可動体
、11は位置検出器、32は最大速度レジスタ、33.
37はセレクタ、34′は乗算型D/A変換器、36は
速度データとゲインデータのうちセレクタ31で選択さ
れた方のデータを記憶するレジスタ、38は速度曲線テ
ーブルであるメモリ、39はゲインテーブルであるメモ
リ、40は発振器、41はカウンタである。
次に第15図の制御系の作用を説明する。
この系においても、前記第3の実施例(第7図)と同様
に可動体10の移動距離および現在位置と移動距離との
和である停止目標位置が定まると、移動距離に応じて最
大速度を最大速度レジスタ32に設定し、速度曲線テー
ブル38の速度曲線を選択し、さらに、停止目標位置を
目標位置レジスタ3に設定するとともに、停止目標位置
に応じてゲインテーブル39のゲイン曲線を選択する。
に可動体10の移動距離および現在位置と移動距離との
和である停止目標位置が定まると、移動距離に応じて最
大速度を最大速度レジスタ32に設定し、速度曲線テー
ブル38の速度曲線を選択し、さらに、停止目標位置を
目標位置レジスタ3に設定するとともに、停止目標位置
に応じてゲインテーブル39のゲイン曲線を選択する。
ゲインテーブル39としては、前述のように、可変ゲイ
ンデータを全ての位置で同じ値を使う1次元テーブルと
、目標位置の絶対座標によっても変わる2次元的なテー
ブルの2つが考えられる。第16図は、2次元配列のも
のを示す。
ンデータを全ての位置で同じ値を使う1次元テーブルと
、目標位置の絶対座標によっても変わる2次元的なテー
ブルの2つが考えられる。第16図は、2次元配列のも
のを示す。
第15図のi制御系において、上記目標位置および最大
速度等が設定され、さらに発振器40の発振周波数の設
定が完了すると、カウンタ41を初期化し、セレクタ3
3およびセレクタ37を速度制御側に選択して第20図
におけるa−d区間の速度制御を行なう。この速度制御
の結果、可動体10が目標位置近傍に到達すると、次に
セレクタ33.37を位置制御側に切換え、本実施例の
特徴とする可変ゲインモードによる位置制御を行なう。
速度等が設定され、さらに発振器40の発振周波数の設
定が完了すると、カウンタ41を初期化し、セレクタ3
3およびセレクタ37を速度制御側に選択して第20図
におけるa−d区間の速度制御を行なう。この速度制御
の結果、可動体10が目標位置近傍に到達すると、次に
セレクタ33.37を位置制御側に切換え、本実施例の
特徴とする可変ゲインモードによる位置制御を行なう。
この位置制御においては、位置偏差すなわち可動体10
の停止目標位置と現在位置との差によりゲインテーブル
39のゲインデータを選択してレジスタ36に格納する
。乗算型D/A変換器34′では、D/A変換器5から
構成される装置偏差アナログ電圧をレジスタ36の出力
値に応じて分圧し、制御系のゲインを変化させる。この
ようにすることで、制御系のループゲインKOを常に位
置偏差に応じた最適値とすることが可能となり、定常位
置偏差は少なくなり、かつ、移動方向による定常位置偏
差の差も少なくすることが出来る。また、位置制御に切
換わった後の可動体の位置変化は、第6図に曲線Cで示
すように臨界制動的またはヤや撮動的に定常位置に収束
する。すなわち、位置決め時間が短縮される。
の停止目標位置と現在位置との差によりゲインテーブル
39のゲインデータを選択してレジスタ36に格納する
。乗算型D/A変換器34′では、D/A変換器5から
構成される装置偏差アナログ電圧をレジスタ36の出力
値に応じて分圧し、制御系のゲインを変化させる。この
ようにすることで、制御系のループゲインKOを常に位
置偏差に応じた最適値とすることが可能となり、定常位
置偏差は少なくなり、かつ、移動方向による定常位置偏
差の差も少なくすることが出来る。また、位置制御に切
換わった後の可動体の位置変化は、第6図に曲線Cで示
すように臨界制動的またはヤや撮動的に定常位置に収束
する。すなわち、位置決め時間が短縮される。
71]HM
第17図は、本発明の第7の実施例を示す。同図の回路
は、第15図のものに対し、速度制御と位置制御のディ
ジタル部を別々にしてアナログ部において切換えるよう
にしたものである。
は、第15図のものに対し、速度制御と位置制御のディ
ジタル部を別々にしてアナログ部において切換えるよう
にしたものである。
1L友1九
第18図は、本発明の第8の実施例を示す。同図の回路
は、第12図(第5実施例)に対し、CPU20の制御
プログラムすなわちメモリ21に格納するデータを変更
したもので、ハードウェア構成上は位置偏差カウンタ4
′の代りに可動体1oの現在位置を現在位置7Jウンタ
4”を用いたことを除き全く同様である。
は、第12図(第5実施例)に対し、CPU20の制御
プログラムすなわちメモリ21に格納するデータを変更
したもので、ハードウェア構成上は位置偏差カウンタ4
′の代りに可動体1oの現在位置を現在位置7Jウンタ
4”を用いたことを除き全く同様である。
次に第19図のフローチャートを参照しながら第18図
のυ制御回路の作用を説明する。
のυ制御回路の作用を説明する。
この制御回路において、動作開始後速度制御を行ない可
動体10が制御モード切換位置に達してIII御モード
を位置制御に切換えるまでの動作(ステップSC1〜5
C4)は、第5実施例の動作(第13図のステップSB
1〜SB4 )と同じであるから説明は省略する。
動体10が制御モード切換位置に達してIII御モード
を位置制御に切換えるまでの動作(ステップSC1〜5
C4)は、第5実施例の動作(第13図のステップSB
1〜SB4 )と同じであるから説明は省略する。
ステップSC4で位置制御に切換えた後は、メモリ21
内の2次元的なゲインテーブル(第16図参照)から停
止目標位置に応じた1次元のゲインテーブルを選択する
。そして、ステップSC5で現在位置カウンタ4″から
現在位置を読み、この現在位置と停止目標位置との差す
なわち位置偏差を計算し、ステップ806で位置偏差値
の絶対値でゲインテーブルからゲインデータを読み出し
、レジスタ36に設定する(ステップSC7)。
内の2次元的なゲインテーブル(第16図参照)から停
止目標位置に応じた1次元のゲインテーブルを選択する
。そして、ステップSC5で現在位置カウンタ4″から
現在位置を読み、この現在位置と停止目標位置との差す
なわち位置偏差を計算し、ステップ806で位置偏差値
の絶対値でゲインテーブルからゲインデータを読み出し
、レジスタ36に設定する(ステップSC7)。
次に、ステップS08で位置決めが終了したか否かを判
定する。この位置決め終了判定は、位置I制御開始後一
定時間内であるか否か、および位置偏差値が規格値以内
に入ったかどうかを検査して行なう。もし、位置制御開
始後一定時間内であり、位置偏差値が規格値以内に入っ
ていない場合は、ステップSC9で位置決めは終了して
いないものと判断し、上記の位置偏差計算、ゲインデー
タ読み出し、および位置決め終了判定等の動作を繰り返
す。一方、ステップSC8で、もし、位@va差値が規
格値以内に入っていれば、ステップSC9で位置決めは
終了しものと判定し位置決め制御動作を終了する。これ
により定常位置偏差は極めて小さくなり、かつ位置また
は移動方向による定常位置偏差の差は小さくなり、位置
決め精度は向上する。なお、位置偏差値が規格値以内に
入ることなく上記一定時間が経過したときは、位置決め
は不可能であるものと判断し、その旨を表示する等のエ
ラー処理を行なう。
定する。この位置決め終了判定は、位置I制御開始後一
定時間内であるか否か、および位置偏差値が規格値以内
に入ったかどうかを検査して行なう。もし、位置制御開
始後一定時間内であり、位置偏差値が規格値以内に入っ
ていない場合は、ステップSC9で位置決めは終了して
いないものと判断し、上記の位置偏差計算、ゲインデー
タ読み出し、および位置決め終了判定等の動作を繰り返
す。一方、ステップSC8で、もし、位@va差値が規
格値以内に入っていれば、ステップSC9で位置決めは
終了しものと判定し位置決め制御動作を終了する。これ
により定常位置偏差は極めて小さくなり、かつ位置また
は移動方向による定常位置偏差の差は小さくなり、位置
決め精度は向上する。なお、位置偏差値が規格値以内に
入ることなく上記一定時間が経過したときは、位置決め
は不可能であるものと判断し、その旨を表示する等のエ
ラー処理を行なう。
この実施例の場合、特に位置制御時における各時点での
ループゲインを、常に、安定領域内での最大値またはそ
れに近い値に設定することが可能であるため、定常位置
偏差、および可動体の移動方向による定常位置偏差の差
が減少する。すなわち位置決め精度が向上する。また、
位置決め時間が短くなり、さらに、信頼性も向上する。
ループゲインを、常に、安定領域内での最大値またはそ
れに近い値に設定することが可能であるため、定常位置
偏差、および可動体の移動方向による定常位置偏差の差
が減少する。すなわち位置決め精度が向上する。また、
位置決め時間が短くなり、さらに、信頼性も向上する。
[発明の効果]
以上のように本発明によると、位置決め精度の向上およ
び位置決め時間の短縮を図ることができる。
び位置決め時間の短縮を図ることができる。
第1図は、本発明の第1の実施例を示すブロック回路図
、 第2図は、本発明の第2の実施例を示すブロック回路図
、 第3図は、上記第2の実施例の動作説明のためのフロー
チャート、 第4図は、位置決め制御装置における位置偏差とゲイン
の安定限界を示すグラフ、 第5図は、第7図の回路における時間対ゲインの関係を
示すグラフ、 第6図は、位置制御に切換えた後の応答(位置変化)波
形図、 第7図は、本発明の第3の実施例を示すブロック回路図
、 第8図は、第7図の回路における速度曲線テーブルの説
明図、 第9図は、第7図の回路にJ3けるウェハ位置決め用ゲ
インテーブルの説明図、 第10図は、第7図の回路における乗算器の乗算原理を
示す図、 第11図は、本発明の第4の実施例を示すブロック回路
図、 第12図は、本発明の第5の実施例を示すブロック回路
図、 第13図は、上記第5の実施例の動作説明のためのフロ
ーチャート、 第14図は、第12図におけるメモリ内に設定されたゲ
インテーブルの説明図、 第15図は、本発明の第6の実施例を示すブロック回路
図、 第16図は、第15図の回路におけるウェハ位置決め用
ゲインテーブルの説明図、 第17図は、本発明の第7の実施例を示すブロック回路
図、 第18図は、本発明の第8の実施例を示すブロック回路
図、 第19図は、上記第8の実施例の動作説明のためのフロ
ーチャート、 第20図は、従来の制(財)回路を示すブロック図、第
21図は、速度指令曲線の一例を示す線図である。 1:速度関数発生器、2.2’ :D/A変換器、3
:停止目標位置レジスタ、4.4′ :位置偏差カウン
タ、4″:現在位置カウンタ、5 : D/A変換器、
6:アナログスイッチ、7:増幅器、8:モータ、9:
速度検出器、10:可動体、11:位置検出器、13:
補正値レジスタ、14:減速終了目標位置偏差レジスタ
、15:差分器、16:減速終了位置偏差ラッチ、17
:補正値レジスタ、18:制御モード切換位置偏差レジ
スタ、19:比較器、20:中央演算処理装置(CPU
)、21:メモリ、23:切換指令装置、23′:切換
指令フラグ、32:最大速度レジスタ、32′:速度指
令データラッヂ、33゜37=じレクタ、34:乗算器
、34′:乗算型D/A変換器、35:D/A変換器、
36:レジスタ、38:速度曲線テーブル、39ニゲイ
ンテーブル、40:発振器、41:カウンタ
、 第2図は、本発明の第2の実施例を示すブロック回路図
、 第3図は、上記第2の実施例の動作説明のためのフロー
チャート、 第4図は、位置決め制御装置における位置偏差とゲイン
の安定限界を示すグラフ、 第5図は、第7図の回路における時間対ゲインの関係を
示すグラフ、 第6図は、位置制御に切換えた後の応答(位置変化)波
形図、 第7図は、本発明の第3の実施例を示すブロック回路図
、 第8図は、第7図の回路における速度曲線テーブルの説
明図、 第9図は、第7図の回路にJ3けるウェハ位置決め用ゲ
インテーブルの説明図、 第10図は、第7図の回路における乗算器の乗算原理を
示す図、 第11図は、本発明の第4の実施例を示すブロック回路
図、 第12図は、本発明の第5の実施例を示すブロック回路
図、 第13図は、上記第5の実施例の動作説明のためのフロ
ーチャート、 第14図は、第12図におけるメモリ内に設定されたゲ
インテーブルの説明図、 第15図は、本発明の第6の実施例を示すブロック回路
図、 第16図は、第15図の回路におけるウェハ位置決め用
ゲインテーブルの説明図、 第17図は、本発明の第7の実施例を示すブロック回路
図、 第18図は、本発明の第8の実施例を示すブロック回路
図、 第19図は、上記第8の実施例の動作説明のためのフロ
ーチャート、 第20図は、従来の制(財)回路を示すブロック図、第
21図は、速度指令曲線の一例を示す線図である。 1:速度関数発生器、2.2’ :D/A変換器、3
:停止目標位置レジスタ、4.4′ :位置偏差カウン
タ、4″:現在位置カウンタ、5 : D/A変換器、
6:アナログスイッチ、7:増幅器、8:モータ、9:
速度検出器、10:可動体、11:位置検出器、13:
補正値レジスタ、14:減速終了目標位置偏差レジスタ
、15:差分器、16:減速終了位置偏差ラッチ、17
:補正値レジスタ、18:制御モード切換位置偏差レジ
スタ、19:比較器、20:中央演算処理装置(CPU
)、21:メモリ、23:切換指令装置、23′:切換
指令フラグ、32:最大速度レジスタ、32′:速度指
令データラッヂ、33゜37=じレクタ、34:乗算器
、34′:乗算型D/A変換器、35:D/A変換器、
36:レジスタ、38:速度曲線テーブル、39ニゲイ
ンテーブル、40:発振器、41:カウンタ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、可動体と、 該可動体を移動する際の目標速度を表わす関数を発生す
る手段と、 該可動体の実速度を検出する手段と、 該可動体の現在位置を検出する手段と、 所定の停止目標位置に対する上記現在位置の偏差を検出
する手段と、 上記可動体を停止目標位置に移動するに際し、先ず、上
記実速度を上記目標速度と一致させるべく制御すること
により該可動体を停止目標位置へ向けて相対的に高速で
移動するとともに所定の減速開始位置から停止目標位置
近傍までの間で所定の終速度まで減速する第1のサーボ
制御系を形成し、次いで、上記現在位置の位置偏差を零
とすべく該可動体を駆動することにより相対的に高い位
置決め精度で停止目標位置に位置決めする第2のサーボ
制御系を形成する制御モード切換手段と、上記可動体が
上記終速度に達した時の現在位置と所定の減速終了目標
位置との誤差である減速終了位置誤差を検出する手段と
、 前回までの移動時における減速終了位置誤差を基に上記
減速開始位置を補正する手段と を具備することを特徴とする位置決め制御装置。 2、前記目標速度を表わす関数を発生する手段は、前記
現在位置の位置偏差が所定の値となったことを検出して
前記目標速度の減速を開始するものである特許請求の範
囲第1項記載の位置決め制御装置。 3、前記停止目標位置を補正する手段が、前記可動体の
移動および前記補正の回数に応じて補正量に重み付けす
るものである特許請求の範囲第1または3項記載の位置
決め制御装置。 4、前記停止目標位置を補正する手段が、前記停止目標
位置に応じて補正量を変化するものである特許請求の範
囲第1、2または3項記載の位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61011142A JPS62171014A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61011142A JPS62171014A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 位置決め制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62171014A true JPS62171014A (ja) | 1987-07-28 |
Family
ID=11769768
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61011142A Pending JPS62171014A (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | 位置決め制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62171014A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55150014A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Toshiba Corp | Position controller |
JPS5642808A (en) * | 1979-09-17 | 1981-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Control system for shift velocity pattern of cargo-handling machine |
JPS588320A (ja) * | 1981-07-06 | 1983-01-18 | Amada Co Ltd | 位置決め装置 |
JPS5958509A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置の位置決め装置 |
JPS5991514A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-26 | Okuma Mach Works Ltd | 主軸定位置停止制御方法及び装置 |
-
1986
- 1986-01-23 JP JP61011142A patent/JPS62171014A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55150014A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Toshiba Corp | Position controller |
JPS5642808A (en) * | 1979-09-17 | 1981-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Control system for shift velocity pattern of cargo-handling machine |
JPS588320A (ja) * | 1981-07-06 | 1983-01-18 | Amada Co Ltd | 位置決め装置 |
JPS5958509A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | Mitsubishi Electric Corp | 搬送装置の位置決め装置 |
JPS5991514A (ja) * | 1982-11-16 | 1984-05-26 | Okuma Mach Works Ltd | 主軸定位置停止制御方法及び装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4710865A (en) | Control system for positioning an object using switching from a speed control mode to a position control mode with adjustable brain | |
US5159254A (en) | Numerical control unit for estimating movement parameters using a model | |
US5107193A (en) | Feedforward control apparatus for a servomotor | |
JP3129622B2 (ja) | フルクローズド・ループ方式における象限突起補正方法 | |
KR20010075266A (ko) | 위치 제어 장치 | |
US6118245A (en) | Control device and control process for motors | |
KR910006499B1 (ko) | 수치 제어장치 | |
JPS59189401A (ja) | 位置制御装置 | |
JPS61120214A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPS62171016A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPH0756608B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPH0722873B2 (ja) | 送り軸の位置制御装置 | |
WO1988007229A1 (en) | Output system for determining axial speed | |
JPS61120213A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPS62171014A (ja) | 位置決め制御装置 | |
US5089758A (en) | Robot control process | |
JPS62171015A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JP4171192B2 (ja) | サーボ制御装置 | |
JPS62171013A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPH11282538A (ja) | サーボ装置 | |
JP3802692B2 (ja) | サーボ制御装置 | |
JP2006190163A (ja) | 駆動制御装置 | |
JPS6368912A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPS62229307A (ja) | 位置決め制御装置 | |
JPS62171012A (ja) | 位置決め制御装置 |