JPS62168067A - 抵抗値測定方法 - Google Patents

抵抗値測定方法

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JPS62168067A
JPS62168067A JP899986A JP899986A JPS62168067A JP S62168067 A JPS62168067 A JP S62168067A JP 899986 A JP899986 A JP 899986A JP 899986 A JP899986 A JP 899986A JP S62168067 A JPS62168067 A JP S62168067A
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resistor
voltage
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Hajime Oota
肇 太田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は抵抗回路網中の各抵抗の抵抗値を測定する方法
に関するものである。
〔従来の技術〕
抵抗回路網中の各抵抗の抵抗値測定は、通常各抵抗を個
々に切り離して行われる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、たとえばシリコン基板中に拡散技術によって抵
抗回路網が形成されているような1チ・ノブ抵抗回路網
の場合には、抵抗を個々に切り離すことができないため
、各抵抗の抵抗値を個々に測定することは極めて困難で
あった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の抵抗値測定方法は上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、第1の端子と第3の端子との間に第1の抵
抗および第2の抵抗とからなる直列回路と第3の抵抗と
が並列に接続され第1の抵抗と第2の抵抗との接続点に
第2の端子が接続されている三端子抵抗回路網において
、第1の端子と第3の端子との間に第1の定電流を供給
する第1の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し
、ついで第2の端子と第3の端子との間に第2の定電流
を供給する第2の定電流源を接続して各端子間の電圧を
測定し、第1および第2の定電流値および各端子間電圧
値から第1および第2の抵抗の抵抗値を演算により算出
するものである。また、第1の端子と第3の端子との間
に第1の抵抗および第2の抵抗とからなる直列回路と第
3の抵抗および第4の抵抗からなる直列回路とが並列に
接続され第1の抵抗と第2の抵抗との接続点に第2の端
子が接続され第3の抵抗と第4の抵抗との接続点に第4
の端子が接続されている四端子抵抗回路網において、第
1の端子と第3の端子との間に第1の定電流を供給する
第1の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し、つ
いで第2の端子と第4の端子との間に第2の定電流を供
給する第2の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定
し、第1および第2の定電流値および各端子間電圧値か
ら第1および第2の抵抗の抵抗値を演算により算出する
ものである。
〔作用〕
定電流源の電流値および接続端子に応じた電圧が各端子
間に発生する。
〔実施例〕
以下、実施例と共に本発明の詳細な説明する。
第9図は一般的な抵抗回路網を示す回路図であり、この
抵抗回路網は注目している抵抗以外を合成抵抗で表わす
ことにより、第10図の回路図のような最小単位に置き
換えることができる。すなわち、注目している抵抗をR
LR2とし、それ以外の抵抗による合成抵抗をRとし、
端子1と端子3との間に抵抗R1,l!:R2からなる
直接回路と抵抗Rとが並列に接続され、抵抗R1とR2
の接続点に端子2が接続されている三端子回路網となっ
ている。
この三端子回路網において、まず、第1図に示すように
端子1と端子3との間に定電流源5を接続する。定電流
源5からは定電流■、が供給され、矢印A、Bのように
回路網内を流れる。そして、このときの端子1と端子2
の間に発生する電圧(V+z)+、端子2と端子3との
間に発生する電圧(VZ:l)lおよび端子1と端子3
との間に発生する電圧(■13)lをそれぞれ測定する
。ついで、定電流源5を取り外し、第2図に示すように
端子2と端子3との間に定電流源6を接続する。定電流
源6からは定電流1□が供給され、矢印C,Dのように
回路網内を流れる。そして、このときの端子2と端子3
との間に発生する電圧(VZ3)2および端子1と端子
3との間に発生する電圧(V13)2をそれぞれ測定す
る。なお、以後随時記載される「(Vab)cJの表示
はc(=1or2)回目における端子aと端子すとの間
の電圧を示す。
つぎに、定電流源5.6の電流値ILI2および測定電
圧(V+□L、(Vz+)+、(V+z)+、(Vz:
+)z。
(VI3)2を、下記の(7)式および(8)式に代入
して抵抗値R,およびR2を算出する。
ここで、(7)式および(8)式の導入について説明す
る。
まず、第1ステツプの測定から が成り立つ。したがって、(1)式および(2)弐から
、 が成り立つ。
また、第2ス、テップの測定から が成り立ち、(4)弐および(5)式から、R,R が成り立つ。
(2)  X  (Vlz)z   (5)  X  
(VI3Lより1+  X  (V++)z   Iz
 X (Vl:IL=   [(Vlz)zX (V2
3L  (Vl3)IX (Vzz)zlゆえに、 (3)式と(7)式より (V+□)I (VZ3L (Vls>t×(VZ3)l   (Vlff)IX 
 (VZ3)2なお、本実施例では(Vl3)Iを実測
したが、(V l:l) I = (V I□L+ (
Vz+)+の関係から算出することができる。
また、(Vlz)zの測定に代えて(Vlz)zを測定
すれば、 (Vlz)z= (VZ3)2  (Vl2)2の関係
から算出することができる。
つぎに、第2の実施例を説明する。第9図の一般的な抵
抗回路網は第3図の回路図のようにも置き換えることが
できる。すなわち、注目している抵抗をR1,R2,R
3とし、それ以外の抵抗による合成抵抗をR4とし、端
子lと端子3との間に抵抗R1およびR2からなる直列
回路と抵抗R3および抵抗R4とからなる直列回路とが
並列に接続され、抵抗R,とR2の接続点に端子2が接
続され、抵抗R3と抵抗R4の接続点に端子4が接続さ
れている四端子抵抗回路網となっている。
この四端子抵抗回路網において、まず、第4図に示すよ
うに端子1と端子3との間に定電流源5を接続する。定
電流源5からは定電流I、が供給され、矢印A、Bのよ
うに回路網内を流れるので、このときの端子1と端子2
の間に発生する電圧(V+□)1、端子2と端子3との
間に発生する電圧(VZ:l)I、端子3と端子4との
間に発生する電圧(■14Lおよび端子1と端子4との
間に発生する電圧(Vl4)lをそれぞれ測定する。つ
いで、定電流源5を取り外し、第5図に示すように端子
2と端子4との間に定電流源6を接続する。定電流源6
からは定電流■2が供給され、矢印C,Dのように回路
網内を流れる。そして、このときの端子1と端子2の間
に発生する電圧(V+□)2、端子2と端子3との間に
発生する電圧(Vz3)z、端子3と端子4との間に発
生する電圧(V34)!および端子1と端子4との間に
発生する電圧(Vl4)2をそれぞれ測定する。
つぎに、定電流[5,6の電流値ILI2および測定電
圧(V+□)I、(VZ3)l、(V34)I、(Vl
4)l。
(Vl2)2.(VZ3)2.(V:+4)2.(Vl
4)Zを、下記の(11)式ないしく14)弐に代入し
て抵抗値R,〜R4を算出する。
導かれる。すなわち、まず、第1ステツプの測定RI 
      R4 R2R3 R2R4 が成り立つ。したがって、(16)式および(17)式
から、 が成り立ち、 (15)式および(17)式から、 が成り立つ。
また、第2ステツプの測定から が成り立つ。したがって、(22)式および(23)式
から、 が成り立ち、 (21)式および(23)式から、 が成り立つ。
(17)X  (V:+a)z   (23)X  (
V:14LよりIt X (v+4−)z  −Iz 
X (V34Lゆえに、 It X (V34)2 −12 X (V34)1こ
れは、上述の(11)式に他ならない。同様にして(1
2)弐〜(14)式も導くことができる。
なお、R2は(19)式と(11)式より、(V+zL (Vz+L と書ける。また、R4は(20)式と(13)式より、
(V14L (V 34) 1 と書ける。したがって、(12)式および(14)式に
代えて(27)式および(28)式を用いれば、電圧(
VZ3)!および電圧(VI4)2の測定を省略するこ
とができる。
なお、第3図に示す四端子抵抗回路網に対して第1の実
施例に示した三端子抵抗回路網における抵抗値測定方法
を定電流源の接続端子の組み合わせを替えて2回路通用
しても、R1−R4を測定することができる。すなわち
、定電流源5および6をそれぞれ第6図および第7図の
ように接続すれば、R3+R4をRとして(7)式およ
び(8)式からそれぞれ抵抗R2およびR1を算出する
ことができる。同様に、定電流源5および6をそれぞれ
第6図および第8図のように接続すれば、抵抗R3およ
びR4を算出することができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、被測定回路に対し
て電流値および接続端子を変えて定電流を2回供給し、
定電流供給時に各端子間に発生する電圧を測定するだけ
で、以後は演算により被測定回路の個々の抵抗の抵抗値
を算出することができる。したがって、抵抗を個々に切
り離すことができない1チツプ抵抗回路網のような場合
にも、各抵抗の抵抗値を容易に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はそれぞれ本発明の第1の実施例を
説明するための回路図、第3図、第4図および第5図は
それぞれ本発明の第2の実施例を説明するための回路図
、第6図、第7図および第8図はそれぞれ第3の実施例
を説明するための回路図、第9図は一般的な抵抗回路網
を示す回路図、第10図は第1の実施例における三端子
回路網を示す回路図である。 1〜4・・・端子、5,6・・・定電流源、R1−R4
およびR・・・抵抗。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代 理 人 山川 政権(ばか2名) 第1図       第2図 第3図 第4図       第5図 第6図     第7図 第8図     第9図 第10図 手続補正書(自発) 1、事件の表示 昭和61年 特 許 願第8999号 2、発明の名称 抵抗値測定方法 3、補正をする者 事件との関係     特 許  出願人名称(氏名)
 (666)山武ハネウェル株式会社(2)図面のWc
3図を別紙の通り補正する。 明   細   書 1、発明の名称 抵抗値測定方法 2、特許請求の範囲 (1)第1の端子と第3の端子との間に第1の抵抗およ
び第2の抵抗とからなる直列回路と第3の抵抗とが並列
に接続され第1の抵抗と第2の抵抗との接続点に第2の
端子が接続されている三端子抵抗回路網において、第1
の端子と第3の端子との間に第1の定電流を供給する第
1の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し、つい
で第2の端子と第3の端子との間に第2の定電流を供給
する第2の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し
、第1および第2の定電流値および各端子間電圧値から
第1および第2の抵抗の抵抗値を演算により算出するこ
とを特徴とする抵抗値測定方法。 (2)第1の端子と第3の端子との間に第1の抵抗およ
び第2の抵抗とからなる直列回路と第3の抵抗および第
4の抵抗からなる直列回路とが並列に接続され第1の抵
抗と第2の抵抗との接続点に第2の端子が接続され第3
の抵抗と第4の抵抗との接続点に第4の端子が接続され
ている四端子抵抗回路網において、第1の端子と第3の
端子との間に第1の定電流を供給する第1の定電流源を
接続して各端子間の電圧を測定し、ついで第2の端子と
第4の端子との間に第2の定電流を供給する第2の定電
流源を接続して各端子間の電圧を測定し、第1および第
2の定電流値および各端子間電圧値から第1および第2
の抵抗の抵抗値を演算により算出することを特徴とする
抵抗値測定方法。 3、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は抵抗回路網中の各抵抗の抵抗値を測定する方法
に関するものである。 〔従来の技術〕 抵抗回路網中の各抵抗の抵抗値測定は、通常各抵抗を個
々に切り離して行われる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、たとえばシリコン基板中に拡散技術によって抵
抗回路網が形成されているような1チツプ抵抗回路網の
場合には、抵抗を個々に切り離すことができないため、
各抵抗の抵抗値を個々に測定することは極めて困難であ
った。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の抵抗値測定方法は上記問題点に鑑みてなされた
ものであり、第1の端子と第3の端子との間に第1の抵
抗および第2の抵抗とからなる直列回路と第3の抵抗と
が並列に接続され第1の抵抗と第2の抵抗との接続点に
第2の端子が接続されている三端子抵抗回路網において
、第1の端子と第3の端子との間に第1の定電流を供給
する第1の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し
、ついで第2の端子と第3の端子との間に第2の定電流
を供給する第2の定電流源を接続して各端子間の電圧を
測定し、第1および第2の定電流値および各端子間電圧
値から第1および第2の抵抗の抵抗値を演算により算出
するものである。また、第1の端子と第3の端子との間
に第1の抵抗および第2の抵抗とからなる直列回路と第
3の抵抗および第4の抵抗からなる直列回路とが並列に
接続され第1の抵抗と第2の抵抗との接続点に第2の端
子が接続され第3の抵抗と第4の抵抗との接続点に第4
の端子が接続されている四端子抵抗回路網において、第
1の端子と第3の端子との間に第1の定電流を供給する
第1の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し、つ
いで第2の端子と第4の端子との間に第2の定電流を供
給する第2の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定
し、第1および第2の定電流値および各端子間電圧値か
ら第1および第2の抵抗の抵抗値を演算により算出する
ものである。 〔作用〕 定電流源の電流値および接続端子に応じた電圧が各端子
間に発生する。 〔実施例〕 以下、実施例と共に本発明の詳細な説明する。 第9図は一般的な抵抗回路網を示す回路図であり、この
抵抗回路網は注目している抵抗以外を合成抵抗で表わす
ことにより、第10図の回路図のような最小単位に置き
換えることができる。すなわち、注目している抵抗をR
1,Rzとし、それ以外の抵抗による合成抵抗をRとし
、端子1と端子3との間に抵抗R1とR2からなる直列
回路と抵抗Rとが並列に接続され、抵抗RIとR2の接
続点に端子2が接続されている三端子回路網となってい
る。 この三端子回路網において、まず、第1図に示すように
端子1と端子3との間に定電流源5を接続する。定電流
源5からは定電流Itが供給され、矢印A、Bのように
回路網内を流れる。そして、このときの端子1と端子2
の間に発生する電圧(V+□)8、端子2と端子3との
間に発生する電圧(VZ3)Iおよび端子1と端子3と
の間に発生する電圧(V+ffLをそれぞれ測定する。 ついで、定電流源5を取り外し、第2図に示すように端
子2と端子3との間に定電流源6を接続する。定電流源
6からは定電流I2が供給され、矢印C,Dのように回
路網内を流れる。そして、このときの端子2と端子3と
の間に発生する電圧(Vz+)zおよび端子1と端子3
との間に発生する電圧(’l/++)zをそれぞれ測定
する。なお、以後随時記載される「(Vab)clの表
示はc(−1or2)回目の測定における端子すに対す
る端子aの電位を示す。 つぎに、定電流源5,6の電流値11+I2および測定
電圧(V+□L+(Vz3)+、(V+z)+、(Vz
z)z+(V+s)zを、下記の(7)式および(8)
式に代入して抵抗値R3およびR2を算出する。 ここで、(7)式および(8)式の導入について説明す
る。 まず、第1ステツプの測定から が成り立つ。したがって、(1)式および(2)式から
、 R,Rz が成り立つ。 また、第2ステツプの測定から が成り立ち、(4)式および(5)式から、R,R が成り立つ。 (2)  x  (VI3)Z  −(5)  x  
(V+zLより1+ X  (V13)2   I2 
X  (VI3)Iゆえに、 (3)式と(7)式より (V+z)+ (V 23) 1 (V+1)iX  (VZ3)l   (V13LX 
 (Vz+)zなお、本実施例では(VI3Lを実測し
たが、(v+:tL= (V+□)+ + (VZ:I
Lの関係から算出することができる。 また、(VI3)Zの測定に代えて(Vz+)zを測定
すれば、 (VI3)2= (VZ3)2  (Vz+)zの関係
から算出することができる。 つぎに、第2の実施例を説明する。第9図の一般的な抵
抗回路網は第3図の回路図のようにも置き換えることが
できる。すなわち、注目している抵抗をRLR2,R3
とし、それ以外の抵抗による合成抵抗をR4とし、端子
1と端子3との間に抵抗R1およびR2からなる直列回
路と抵抗R3および抵抗R4とからなる直列回路とが並
列に接続され、抵抗R1とR2の接続点に端子2が接続
され、抵抗R3と抵抗R4の接続点に端子4が接続され
ている四端子抵抗回路網となっている。 この四端子抵抗回路網において、まず、第4図に示すよ
うに端子1と端子3との間に定電流源5を接続する。定
電流源5からは定電流I、が供給され、矢印A、Bのよ
うに回路網内を流れるので、このときの端子1と端子2
の間に発生する電圧(V+□)い端子2と端子3との間
に発生する電圧(VZ3)い端子4と端子3との間に発
生する電圧(V4:ILおよび端子1と端子4との間に
発生する電圧(VI4)Iをそれぞれ測定する。ついで
、定電流源5を取り外し、第5図に示すように端子2と
端子4との間に定電流源6を接続する。定電流源6から
は定電流I2が供給され、矢印C,Dのように回路網内
を流れる。そして、このときの端子2と端子1の間に発
生する電圧(V Zυ2、端子2と端子3との間に発生
する電圧(Vzz)z、端子3と端子4との間に発生す
る電圧(V:+4)z#よび端子1と端子4との間に発
生する電圧(■+a)zをそれぞれ測定する。 つぎに、定電流源5,6の電流値1t、Izおよび測定
電圧(V +z)、(Vzz)、(V<1L、(V+<
L。 (Vz+)z、(Vz+)z、(、V:+4)z、(V
+n)zを、下記の(11)式ないしく14)式に代入
して抵抗値R1〜R4を算出する。 導かれる。すなわち、まず、第1ステツプの測定R2R
4 が成り立つ。したがって、(16)式および(17)式
から、 が成り立ち、 (15)式および(17)式から、 が成り立つ。 また、第2ステツプの測定から が成り立つ。したがって、(22)式および(23)式
から、 R,R。 が成り立ち、 (21)式および(23)式から、 Rz     R:1 が成り立つ。 (17) X  (V34L   (23) X  (
V43LよりIIX (V34)2   It X (
V41)1=  [(v+□)+ X (V:+4)z
  (V21)ZX (V4:l)l]ゆえに、 これは、上述の(11)式に他ならない。同様にして(
12)弐〜(14)式も導くことができる。 なお、R2は(19)式と(11)式より、(V+z)
+ (V zs) + と書ける。また、R4は(20)式と(13)式より、
(VI4L (V43)+ と書ける。したがって、(12)式および(14)式に
代えて(27)式および(28)式を用いれば、電圧(
Vx:+)zおよび電圧(VI4)2の測定を省略する
ことができる。 なお、第3図に示す四端子抵抗回路網に対して第1の実
施例に示した三端子抵抗回路網における抵抗値測定方法
を定電流源の接続端子の組み合わせを替えて2回路適用
しても、R1−R4を測定することができる。すなわち
、定電流源5および6をそれぞれ第6図および第7図の
ように接続すれば、R8+R4をRとして(7)式およ
び(8)式からそれぞれ抵抗R2およびR,を算出する
ことができる。同様に、定電流源5および6をそれぞれ
第6図および第8図のように接続すれば、抵抗R3およ
びR4を算出することができる。 〔発明の効果〕 以上説明したように本発明によれば、被測定回路に対し
て電流値および接続端子を変えて定電流を2回供給し、
定電流供給時に各端子間に発生する電圧を測定するだけ
で、以後は演算により被測定回路の個々の抵抗の抵抗値
を算出することができる。したがって、抵抗を個々に切
り離すことができない1チツプ抵抗回路網のような場合
にも、各抵抗の抵抗値を容易に測定することができる。 4、図面の簡単な説明 第1図および第2図はそれぞれ本発明の第1の実施例を
説明するための回路図、第3図、第4図および第5図は
それぞれ本発明の第2の実施例を説明するための回路図
、第6図、第7図および第8図はそれぞれ第3の実施例
を説明するための回路図、第9図は一般的な抵抗回路網
を示す回路図、第10図は第1の実施例における三端子
回路網を示す回路図である。 1〜4・・・端子、5.6・・・定電流源、R1−R4
およびR・・・抵抗。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代 理 人 山川 政権(ばか2名) 第3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1の端子と第3の端子との間に第1の抵抗およ
    び第2の抵抗とからなる直列回路と第3の抵抗とが並列
    に接続され第1の抵抗と第2の抵抗との接続点に第2の
    端子が接続されている三端子抵抗回路網において、第1
    の端子と第3の端子との間に第1の定電流を供給する第
    1の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し、つい
    で第2の端子と第3の端子との間に第2の定電流を供給
    する第2の定電流源を接続して各端子間の電圧を測定し
    、第1および第2の定電流値および各端子間電圧値から
    第1および第2の抵抗の抵抗値を演算により算出するこ
    とを特徴とする抵抗値測定方法。
  2. (2)第1の端子と第3の端子との間に第1の抵抗およ
    び第2の抵抗とからなる直列回路と第3の抵抗および第
    4の抵抗からなる直列回路とが並列に接続され第1の抵
    抗と第2の抵抗との接続点に第2の端子が接続され第3
    の抵抗と第4の抵抗との接続点に第4の端子が接続され
    ている四端子抵抗回路網において、第1の端子と第3の
    端子との間に第1の定電流を供給する第1の定電流源を
    接続して各端子間の電圧を測定し、ついで第2の端子と
    第4の端子との間に第2の定電流を供給する第2の定電
    流源を接続して各端子間の電圧を測定し、第1および第
    2の定電流値および各端子間電圧値から第1および第2
    の抵抗の抵抗値を演算により算出することを特徴とする
    抵抗値測定方法。
JP899986A 1986-01-21 1986-01-21 抵抗値測定方法 Pending JPS62168067A (ja)

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