JPS62167059U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62167059U JPS62167059U JP5564186U JP5564186U JPS62167059U JP S62167059 U JPS62167059 U JP S62167059U JP 5564186 U JP5564186 U JP 5564186U JP 5564186 U JP5564186 U JP 5564186U JP S62167059 U JPS62167059 U JP S62167059U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold head
- cooling panel
- abutting surfaces
- fixing
- cryopump
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 229910000634 wood's metal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第1図はこの考案に係る冷却パネルとコールド
ヘツドの固定構造を示す断面図、第2図は接合部
付近の拡大断面図、第3図は従来の冷却パネルと
コールドヘツドの固定構造を示す断面図である。 10,11…冷却パネル、12…極低温容器、
15,16…コールドヘツド、25,26,32
,33…突き合わせ面、30…ウツドメタル。
ヘツドの固定構造を示す断面図、第2図は接合部
付近の拡大断面図、第3図は従来の冷却パネルと
コールドヘツドの固定構造を示す断面図である。 10,11…冷却パネル、12…極低温容器、
15,16…コールドヘツド、25,26,32
,33…突き合わせ面、30…ウツドメタル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 クライオポンプの極低温容器内に収容された冷
却パネルを、冷凍機のコールドヘツドに固定する
冷却パネルとコールドヘツドの固定構造において
、 冷却パネルとコールドヘツドとの相互の突き合
わせ面を凹凸状に形成し、各突き合わせ面の間に
介在されたウツドメタルにより、冷却パネルとコ
ールドヘツドとが接合されて成る冷却パネルとコ
ールドヘツドの固定構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5564186U JPH0410523Y2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5564186U JPH0410523Y2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62167059U true JPS62167059U (ja) | 1987-10-23 |
JPH0410523Y2 JPH0410523Y2 (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=30883726
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5564186U Expired JPH0410523Y2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0410523Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003075003A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 低温装置 |
WO2020235555A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温装置およびクライオスタット |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP5564186U patent/JPH0410523Y2/ja not_active Expired
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003075003A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 低温装置 |
WO2020235555A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温装置およびクライオスタット |
JP2020190345A (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温装置およびクライオスタット |
US11808504B2 (en) | 2019-05-20 | 2023-11-07 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryogenic device and cryostat |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0410523Y2 (ja) | 1992-03-16 |