JPS62164870A - アルミニウム蒸着用るつぼ - Google Patents
アルミニウム蒸着用るつぼInfo
- Publication number
- JPS62164870A JPS62164870A JP359786A JP359786A JPS62164870A JP S62164870 A JPS62164870 A JP S62164870A JP 359786 A JP359786 A JP 359786A JP 359786 A JP359786 A JP 359786A JP S62164870 A JPS62164870 A JP S62164870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- aluminum
- vapor
- deposited
- aln
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は真空蒸着用のアルミニウムを貯えるるつぼに関
する。
する。
〈従来の技術〉
従来の電子ビームを熱源とするアルミニウム蒸着装置に
おいては、水冷鋼ハース内にるつぼを置き、これに蒸着
材料であるアルミニウムを入れ、これに電子ビームを照
射してアルミニウムを蒸発させて蒸着対生物に蒸着させ
るようにしている。また、とのるつぼの材料としては窒
化硅素や窒化囚素或いはタングステンや黒鉛などが用い
られていた。
おいては、水冷鋼ハース内にるつぼを置き、これに蒸着
材料であるアルミニウムを入れ、これに電子ビームを照
射してアルミニウムを蒸発させて蒸着対生物に蒸着させ
るようにしている。また、とのるつぼの材料としては窒
化硅素や窒化囚素或いはタングステンや黒鉛などが用い
られていた。
〈発明が解決しようとする問題点〉
従来のアルミニウム蒸着装置におけるるつぼに溶融アル
ミニウムを貯える場合、ろっぽの構成材料である硅素や
硼素或いはクシゲステンが不純物として溶融アルミニウ
ム内に溶は込み、アルミニウム合金として蒸着対象物に
蒸着する虞があるため、きわめて純度の高いアルミニウ
ム蒸着層を必要とする場合にば不適当てあった。
ミニウムを貯える場合、ろっぽの構成材料である硅素や
硼素或いはクシゲステンが不純物として溶融アルミニウ
ム内に溶は込み、アルミニウム合金として蒸着対象物に
蒸着する虞があるため、きわめて純度の高いアルミニウ
ム蒸着層を必要とする場合にば不適当てあった。
また、るつぼの材料として酸化アルミニウムを使用した
ものもあるが、るつぼに亀裂が生じ易くアルミニウムの
溶湯が流出するという事故が起る危険性が高く不適であ
る。同様に、黒鉛製のるつぼも亀裂が入り易い上に熱伝
導率が大きくて蒸着速度が低下する欠点を有していた。
ものもあるが、るつぼに亀裂が生じ易くアルミニウムの
溶湯が流出するという事故が起る危険性が高く不適であ
る。同様に、黒鉛製のるつぼも亀裂が入り易い上に熱伝
導率が大きくて蒸着速度が低下する欠点を有していた。
本発明はかかる従来技術の欠点に鑑みてなされたもので
、アルミニウム蒸着装置のるつぼ内に貯えられた溶融ア
ルミニウムに不純物の混入がない上にるつぼ自体に亀裂
が入りに（くシかも蒸着速度を高めることが可能なるつ
ぼを提供することを目的とする。
、アルミニウム蒸着装置のるつぼ内に貯えられた溶融ア
ルミニウムに不純物の混入がない上にるつぼ自体に亀裂
が入りに（くシかも蒸着速度を高めることが可能なるつ
ぼを提供することを目的とする。
く問題点を解決するための手段〉
第一番目の本発明は、真空雰囲気中で加熱されて蒸着対
重物に蒸着するアルミニウムを貯えるるつぼの少なくと
も内壁を窒化アルミニウムで形成したことを特徴とし、
第二番目の本発明はこの構成に加えて、るつぼ自体を窒
化硅素で形成したことを特徴とし、更に第三番目の本発
明は第一番目又は第二番目の本発明の構成に加えて、る
つぼとこのるつぼを支持するハースとの間に窒化硅素の
粉末を介在させたことを特徴とするものである。
重物に蒸着するアルミニウムを貯えるるつぼの少なくと
も内壁を窒化アルミニウムで形成したことを特徴とし、
第二番目の本発明はこの構成に加えて、るつぼ自体を窒
化硅素で形成したことを特徴とし、更に第三番目の本発
明は第一番目又は第二番目の本発明の構成に加えて、る
つぼとこのるつぼを支持するハースとの間に窒化硅素の
粉末を介在させたことを特徴とするものである。
く作 用〉
溶融アルミニウムを貯 えるるつぼの内壁が窒化アルミ
ニウムであるため、溶融アルミニウムに溶は込むるつぼ
自体の構成材料による不純物はこの溶融アルミニウムの
純度を低下させるものではなく、純度の高いアルミニウ
ム蒸着層が蒸着対象物にされる。また、窒化アルミニウ
ムは、亀裂が生じても溶融アルミニウムと反応して亀裂
を防ぎ、溶融アルミニウムの流出を防止する上に黒鉛の
如き熱伝導性がなく、蒸着速度の低下が阻止される。
ニウムであるため、溶融アルミニウムに溶は込むるつぼ
自体の構成材料による不純物はこの溶融アルミニウムの
純度を低下させるものではなく、純度の高いアルミニウ
ム蒸着層が蒸着対象物にされる。また、窒化アルミニウ
ムは、亀裂が生じても溶融アルミニウムと反応して亀裂
を防ぎ、溶融アルミニウムの流出を防止する上に黒鉛の
如き熱伝導性がなく、蒸着速度の低下が阻止される。
く実 施 例〉
本発明によるアルミニウム蒸着用るつぼの一実施例の概
略断面形状を表す第１図に示すように、電子ビーム１の
照射によって溶融するアルミニウム２は窒化硅素の心材
３の周囲に窒化アルミニウム４で被覆したるつぼ５内に
貯えられ、このるっぽ５は水冷銅ハース６によって保持
されている。本実施例では心材３全体を窒化アルミニウ
ム４で被覆したが、少なくともるっぽ５の内壁部分を被
覆すれば良い。この窒化アルミニウム４の被覆を施した
ことにより、窒化アルミニウム４の一部が高温のアルミ
ニウム２に不純物として混入しても蒸着アルミニウムの
純度が低下する心配はない。
略断面形状を表す第１図に示すように、電子ビーム１の
照射によって溶融するアルミニウム２は窒化硅素の心材
３の周囲に窒化アルミニウム４で被覆したるつぼ５内に
貯えられ、このるっぽ５は水冷銅ハース６によって保持
されている。本実施例では心材３全体を窒化アルミニウ
ム４で被覆したが、少なくともるっぽ５の内壁部分を被
覆すれば良い。この窒化アルミニウム４の被覆を施した
ことにより、窒化アルミニウム４の一部が高温のアルミ
ニウム２に不純物として混入しても蒸着アルミニウムの
純度が低下する心配はない。
さらにこの窒化アルミニウム４の被覆に亀裂を生じても
溶融状態のアルミニウム２と反応して亀裂部分を塞ぐ作
用があるため、亀裂部分からのアルミニウム２の流出を
防止することができる。黒鉛製のるつぼの如く、熱伝導
率が大きくないため、アルミニウム２の温度が低下せず
、充分な蒸着速度が得られ、製品精度を高めることがで
きる。
溶融状態のアルミニウム２と反応して亀裂部分を塞ぐ作
用があるため、亀裂部分からのアルミニウム２の流出を
防止することができる。黒鉛製のるつぼの如く、熱伝導
率が大きくないため、アルミニウム２の温度が低下せず
、充分な蒸着速度が得られ、製品精度を高めることがで
きる。
この実施例ではるっぽ５を形成する窒化アルミニウム４
の心材３に窒化硅素を用いているが、この窒化硅素は、
先に述べた如く高温のアルミニウム２に接触する場合に
は不純物として溶出するけれども、心材３であるためア
ルミニウム２には直接触れず、不純物の溶出の心配はな
い。また窒化硅素は亀裂を塞ぐ機能に勝れており、例え
被覆の窒化アルミニウム４の亀裂と共に心材３に亀裂を
生じても窒化硅素自体の機能により心材３の亀裂は急速
に塞がれ、アルミニウム２が亀裂部分から外部へ流出す
ることは決して起こらない。要するに本実施例のるっぽ
５は、心材３に窒化硅素を用い、その外側に窒化アルミ
ニウム４を被覆した二重構造ものであって、二つの性質
の異なる材料が互いに他の材料の欠点を補っており、勝
れたアルミニウム蒸着装置のるつぼ５を構成している。
の心材３に窒化硅素を用いているが、この窒化硅素は、
先に述べた如く高温のアルミニウム２に接触する場合に
は不純物として溶出するけれども、心材３であるためア
ルミニウム２には直接触れず、不純物の溶出の心配はな
い。また窒化硅素は亀裂を塞ぐ機能に勝れており、例え
被覆の窒化アルミニウム４の亀裂と共に心材３に亀裂を
生じても窒化硅素自体の機能により心材３の亀裂は急速
に塞がれ、アルミニウム２が亀裂部分から外部へ流出す
ることは決して起こらない。要するに本実施例のるっぽ
５は、心材３に窒化硅素を用い、その外側に窒化アルミ
ニウム４を被覆した二重構造ものであって、二つの性質
の異なる材料が互いに他の材料の欠点を補っており、勝
れたアルミニウム蒸着装置のるつぼ５を構成している。
しかし、るつぼを全て窒化アルミニウムで構成すること
も可能である。この場合は、るつぼ全体が窒化硅素でで
きているため、例えるつぼに亀裂を生じても、心材に窒
化硅素を用いたものより回復力はやや劣るが、自己回復
力を備えているため、アルミニウムの流出は防止できる
。
も可能である。この場合は、るつぼ全体が窒化硅素でで
きているため、例えるつぼに亀裂を生じても、心材に窒
化硅素を用いたものより回復力はやや劣るが、自己回復
力を備えているため、アルミニウムの流出は防止できる
。
第２図は本発明によるアルミニウム蒸着用るつぼの他の
一実施例の概略構造を示したものであり、るつぼ５と水
冷銅ハース６との間に断熱材層７を形成している。この
断熱材層として例えば窒化硅素の粉末を用いることがで
きる。尚るつぼ５の構造としては心材が窒化硅素で窒化
アルミニウムを被覆したもの、或いはるつぼ全体を窒化
アルミニウムで構成したものの何れでもよい。
一実施例の概略構造を示したものであり、るつぼ５と水
冷銅ハース６との間に断熱材層７を形成している。この
断熱材層として例えば窒化硅素の粉末を用いることがで
きる。尚るつぼ５の構造としては心材が窒化硅素で窒化
アルミニウムを被覆したもの、或いはるつぼ全体を窒化
アルミニウムで構成したものの何れでもよい。
本実施例のものは水冷銅ハース６とるっぽ５との間に断
熱材層７が介在しているため、るっぽ５の保温効率がよ
く、又、電子ビームの加熱効率がよく、るつぼ５の温度
は高（保たれる結果、蒸着速度を高めることができる。
熱材層７が介在しているため、るっぽ５の保温効率がよ
く、又、電子ビームの加熱効率がよく、るつぼ５の温度
は高（保たれる結果、蒸着速度を高めることができる。
又るつぼの熱放散が少ないため、第１図に示す断熱材層
を設けていないものよりも、るっぽ５の熱放散が少なく
、亀裂を生じても、急速に亀裂がふさがれアルミニウム
２の流出を阻止できる。
を設けていないものよりも、るっぽ５の熱放散が少なく
、亀裂を生じても、急速に亀裂がふさがれアルミニウム
２の流出を阻止できる。
〈発明の効果〉
本発明のアルミニウム蒸着用るつぼによれば、溶融状態
のアルミニウムを貯えるるつぼの内壁を窒化アルミニウ
ムで形成したため、アルミニウム溶湯中に不純物が溶出
せず、従って純度の高いアルミニウム蒸着層を形成する
ことができる。またるつぼの熱伝導率が小さく、従って
るつぼを高温に保って蒸着速度を高く保持することがで
きる。
のアルミニウムを貯えるるつぼの内壁を窒化アルミニウ
ムで形成したため、アルミニウム溶湯中に不純物が溶出
せず、従って純度の高いアルミニウム蒸着層を形成する
ことができる。またるつぼの熱伝導率が小さく、従って
るつぼを高温に保って蒸着速度を高く保持することがで
きる。
マタるつぼに亀裂を生じても、るつぼが自己回復機能を
もつため、それが次第に塞がれ、アルミニウム溶湯の流
出は防止される。
もつため、それが次第に塞がれ、アルミニウム溶湯の流
出は防止される。
なお、本発明によるアルミニウム蒸着用ろっぽは集積回
路用リードフレームのリードのアルミニウム細線による
ワイヤボンディング部分のアルミニウム被覆層、あるい
はその他、高純度のアルミニウム被覆層等の蒸着用に広
く応用することができる。
路用リードフレームのリードのアルミニウム細線による
ワイヤボンディング部分のアルミニウム被覆層、あるい
はその他、高純度のアルミニウム被覆層等の蒸着用に広
く応用することができる。
第１図は本発明によるアルミニウム蒸着装置の一実施例
の断面図、第２図は本発明の他の一実施例の断面図であ
る。 ｒｌｌＷｌ中、１は電子ビーム、２はアルミニウム、３
は心材、４は窒化アルミニウム、５はるつぼ、６は水冷
鋼心−ス、７は断熱材層である。 特 許 出 願 人 住友電気工業株式会社 代 理 人 ｆＰ−理士光石士部 （他１名） 第 １ 図 第 ２ｒｊ
の断面図、第２図は本発明の他の一実施例の断面図であ
る。 ｒｌｌＷｌ中、１は電子ビーム、２はアルミニウム、３
は心材、４は窒化アルミニウム、５はるつぼ、６は水冷
鋼心−ス、７は断熱材層である。 特 許 出 願 人 住友電気工業株式会社 代 理 人 ｆＰ−理士光石士部 （他１名） 第 １ 図 第 ２ｒｊ
Claims (3)
- （１）真空雰囲気中で加熱されて蒸着対象物に蒸着する
アルミニウムを貯えるるつぼの少なくとも内壁を窒化ア
ルミニウムで形成したことを特徴とするアルミニウム蒸
着用るつぼ。 - （２）真空雰囲気中で加熱されて蒸着対象物に蒸着する
アルミニウムを貯えるるつぼを窒化硅素で形成すると共
に少なくともその内壁を窒化アルミニウムで被覆したこ
とを特徴とするアルミニウム蒸着用るつぼ。 - （３）真空雰囲気中で加熱されて蒸着対象物に蒸着する
アルミニウムを貯えるるつぼの少なくとも内壁を窒化ア
ルミニウムで形成する一方、このるつぼと当該るつぼを
支持するハースとの間に窒化硅素の粉末を介在させたこ
とを特徴とするアルミニウム蒸着用るつぼ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP359786A JPS62164870A (ja) | 1986-01-13 | 1986-01-13 | アルミニウム蒸着用るつぼ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP359786A JPS62164870A (ja) | 1986-01-13 | 1986-01-13 | アルミニウム蒸着用るつぼ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62164870A true JPS62164870A (ja) | 1987-07-21 |
Family
ID=11561882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP359786A Pending JPS62164870A (ja) | 1986-01-13 | 1986-01-13 | アルミニウム蒸着用るつぼ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62164870A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3012345A1 (en) * | 2011-09-29 | 2016-04-27 | Nitride Solutions Inc. | Inorganic materials, methods and apparatus for making same, and uses thereof |
-
1986
- 1986-01-13 JP JP359786A patent/JPS62164870A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3012345A1 (en) * | 2011-09-29 | 2016-04-27 | Nitride Solutions Inc. | Inorganic materials, methods and apparatus for making same, and uses thereof |
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