JPS62164801A - Production of metallic thin-walled sintered body - Google Patents
Production of metallic thin-walled sintered bodyInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、金属薄肉焼結体の製造方法に関するものであ
り、詳しくは、金属粉体を含有する泥漿、混練物をドク
ターブレード法或は、押出し成形法によりグリーンシー
ト状に成形し１曲げ、絞り接着後焼成する工業的なＩ２
造方法に係わるものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for producing a thin metal sintered body, and more specifically, a slurry or a kneaded material containing metal powder is processed by a doctor blade method or , industrial I2 formed into a green sheet shape by extrusion method, bent once, drawn and bonded, and then fired.
This is related to the manufacturing method.
従来より、ボート等の用途に用いられている金ＪｊＣＶ
ｇ板の製造方法は一般に、低融点金属にあっては、溶解
法により製造したインゴットを鍛造、圧延して薄板とし
、又、高融点金属では、−軸方向の乾式加圧酸形成は、
冷間静水圧成形した成形体を非酸化雰囲気下で焼成した
インゴットを鍛造、圧延して所望厚みの薄板を製造した
後、打ち抜き又は、切断後、曲げ加工を施し、所望形状
に成形して来た。上記手法にて製造した金属薄板は、十
分緻密化されており、可撓性に富むと云った利点を有す
るが１例えば、蒸着用、焼成用ボート等の用途の様に、
比較的高密度が要求されない薄板に対しては、特に、上
記製造方法では、所望形状の成形体を得る迄の製造工程
が長いこと、又、高融点金属では、赤熱と圧延を数十回
繰り返し行なう必要があり、そのため、加工コストが高
くつくと云った難点があった。更には、プレス時におけ
るプレス割れ、密度ムラが発生し歩留が低い欠点があっ
た。Gold JjCV has traditionally been used for applications such as boats.
Generally speaking, for low melting point metals, an ingot produced by a melting method is forged and rolled into a thin plate, and for high melting point metals, dry pressure acid formation in the -axial direction is
A thin plate of a desired thickness is produced by forging and rolling an ingot obtained by firing a compact formed by cold isostatic pressing in a non-oxidizing atmosphere, and then punched or cut, followed by bending and forming into a desired shape. Ta. The thin metal sheet manufactured by the above method has the advantage of being sufficiently densified and highly flexible;
In particular, for thin plates that do not require relatively high density, the above manufacturing method requires a long manufacturing process to obtain a molded product of the desired shape, and for high melting point metals, red heating and rolling must be repeated dozens of times. However, there was a problem in that the processing cost was high. Furthermore, there was a drawback that press cracks and density unevenness occurred during pressing, resulting in a low yield.
本発明において解決すべき課題は、上記金属薄板製造方
法における問題点を解消し、焼成前に。The problem to be solved by the present invention is to solve the problems in the above-mentioned method for manufacturing thin metal sheets, and to solve the problems before firing.
より所望形状に近い形に成形した後、焼成し、比較的低
コストで製造可能な金属薄肉焼結体を提供しようとする
ものである。The present invention aims to provide a thin metal sintered body that can be manufactured at a relatively low cost by molding it into a shape closer to a desired shape and then firing it.
本発明は、かかる要求を充足する金属薄肉焼結体の製造
方法を提案することであって５その要旨は、金属粉体を
含有する泥漿、又は、混練物よりグリーンシートを作成
し、打ち抜き或は、破損しない程度に加温して曲げ、絞
り加工を施した後、非酸化雰囲気下で焼成するものであ
る。更に、基、板の用途の様に、緻密化が要求される材
料では。The purpose of the present invention is to propose a method for producing a thin metal sintered body that satisfies such requirements5. The material is heated to an extent that it will not be damaged, bent, and drawn, and then fired in a non-oxidizing atmosphere. Furthermore, for materials that require densification, such as substrates and board applications.
熱間静水圧加圧焼結（ＨＩ Ｐ処理）し、相対密度９８
％以上を可能とするものであり、金属グリーンシートは
、ドクターブレード法、或は、押出し成形法を適用する
ものである。Hot isostatic pressing sintering (HIP treatment) to achieve a relative density of 98.
% or more, and the metal green sheet is produced by applying the doctor blade method or the extrusion molding method.
本発明による成形法では、蒸着用のボート等の用途の他
に、例えば、放電加工用電極や接点として用いられるＣ
ｕ−Ｗ、Ａｇ−Ｗ材料、電子レンジ内のマグネトロン、
ＩＣ基板、半導体の封止材料として使用するモリブデン
材料等の用途としても十分満足出来るものである。In addition to applications such as boats for vapor deposition, the molding method according to the present invention can be used, for example, as electrodes for electrical discharge machining and as contacts.
u-W, Ag-W material, magnetron in microwave oven,
It can also be used satisfactorily as a molybdenum material used as a sealing material for IC substrates and semiconductors.
以下、本発明を第１図に示す製造工程を表わす模式図及
び第２図、第３図に示す装置略図、第４図、第５図に示
す製造工程図に基づき、更に詳しく説明する。Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on the schematic diagram showing the manufacturing process shown in FIG. 1, the schematic diagram of the apparatus shown in FIGS. 2 and 3, and the manufacturing process diagram shown in FIGS. 4 and 5.
第２図に示すドクターブレード法を適用するに当り、有
機材料は、結合剤としてアクリル系ポリマーが用いられ
る。アクリル酸エステル単量体としは、例えば、アクリ
ル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、
アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリ
ル酸オクチル。When applying the doctor blade method shown in FIG. 2, an acrylic polymer is used as the organic material as a binder. Examples of acrylic ester monomers include methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate,
n-butyl acrylate, n-butyl acrylate, octyl acrylate.
アクリル酸ラウリル、アクリル酸ステアリル、アクリル
酸メトキシエチル、アクリル酸ブトキシエチル、アクリ
ル酸シクロヘキシル、アクリル酸フルフリル、アクリル
酸テトラヒドロフルフリル、アクリル酸ヒドロキシエチ
ル、アクリル酸ヒドロキシプロピル等が用いられる。又
、更に、共重合可能なビニル単量体１例えば、メタクリ
ル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸イソブ
チル等のメタクリルエステル類、或は、スチレン等の芳
香族ビニル単量体を併用しても良い。Lauryl acrylate, stearyl acrylate, methoxyethyl acrylate, butoxyethyl acrylate, cyclohexyl acrylate, furfuryl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, etc. are used. Furthermore, a copolymerizable vinyl monomer 1, such as methacrylic esters such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, and isobutyl methacrylate, or an aromatic vinyl monomer such as styrene may be used in combination. .
アクリル系樹脂は、アクリル酸エステルの重合体であっ
て、エステルは、直鎖状アルキル、分岐状アルキル等種
々のものが合成出来、エステルの構造及び重合度を適切
に選択することによって、各グレインサイズを有する金
属粉体に対し、容易にグリーンテープを製造することが
出来る０本発明では、結合剤をアクリル系樹脂に限定す
るものではなく、比較的粒子径の大きい粉体に対しては
、ポリビニルブチラール、ＥＶＡ［脂でも十分成形可能
である。又、水中でイオン化もしくは、酸化等の影響を
受けない組成より成る粉体に対しては。Acrylic resins are polymers of acrylic esters, and various esters can be synthesized, such as linear alkyls and branched alkyls, and each grain can be synthesized by appropriately selecting the structure and degree of polymerization of the ester. In the present invention, the binder is not limited to acrylic resin, and for powders with a relatively large particle size, Polyvinyl butyral, EVA [fat can also be molded satisfactorily. Also, for powders whose composition is not affected by ionization or oxidation in water.
ポリビニルアルコール、アクリルエマルジョン等を結合
剤として用いた水系泥漿としても良い。例えば、コバル
ト粉末の様に水中で多価イオンとなって溶は込む場合に
は、イオン交換反応、即ち、解膠剤の効力が失われ、凝
集が起こる為好ましくない、結合剤添加量は、９．０〜
１５．０重量部が好ましく、９．０重量部未満であると
、成形時、可撓性に欠ける為、亀裂が生じ易く、又、
ｔＳ、Ｏ重量部を超えると、グリーンシートの圧粉体密
度が低く焼結収縮が大きいのと同時に、脱脂時に割れ易
い為好ましくない。It may also be an aqueous slurry using polyvinyl alcohol, acrylic emulsion, etc. as a binder. For example, when cobalt powder dissolves as multivalent ions in water, the ion exchange reaction, that is, the effectiveness of the deflocculant is lost and agglomeration occurs, which is undesirable. 9.0~
It is preferably 15.0 parts by weight, and if it is less than 9.0 parts by weight, it will lack flexibility during molding and will tend to crack.
If the amount exceeds tS, O parts by weight, the density of the green sheet becomes low and the sintering shrinkage becomes large, and at the same time, it is not preferable because it is easily broken during degreasing.
可塑剤は、グリーンシートと巻き取る際の可撓性をふ与
するものであって１例えば、ジブチルフタレート、ジオ
クチルフタレート、ベンジルブチルフタレート等のフタ
ル酸エステル類、或は、ＴＢＰ、ＴＰＰ、ＴＣＰ等の燐
酸エステル類又は、ジブチルサクシネート、プチルリシ
ル−ト等の脂肪酸エステル類が使用出来、これらの少な
くとも１種或は、２種以上組み合わせて使用しても良い
、添加量は、３．０〜６．０重量部が好ましく、３．０
重量部未満の場合は、可撓性に劣り、巻き取りで割れが
発生し易く、又、６．０重量部を超えると移行性が起こ
り、シート同志が接着される為、好ましくない。The plasticizer imparts flexibility when winding up the green sheet. For example, phthalate esters such as dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, benzyl butyl phthalate, or TBP, TPP, TCP, etc. Phosphoric acid esters or fatty acid esters such as dibutyl succinate and butyl lysate can be used, and at least one of these or two or more of these may be used in combination.The amount added is 3.0 to 6. .0 part by weight is preferred, and 3.0 parts by weight is preferred.
If the amount is less than 6.0 parts by weight, the flexibility will be poor and cracks will easily occur during winding, and if it exceeds 6.0 parts by weight, migration will occur and the sheets will adhere to each other, which is not preferable.
使用する溶剤は９ＭＥＫ１ＭＩＢＫ等のケトン類、ｎ−
ブチルアルコール、イソプロピルアルコール等のアルコ
ール類、酢酸−ｎ−ブチル等のエステル類、更には、ト
ルエン、キシレン等の芳香族類のいずれも使用出来る。The solvent used is ketones such as 9MEK1MIBK, n-
Any of alcohols such as butyl alcohol and isopropyl alcohol, esters such as n-butyl acetate, and aromatics such as toluene and xylene can be used.
溶剤は、上記より選ばれた１種のみ使用しても良いが、
乾燥速度等を考慮した場合、２種以上の共沸混合系にし
た方が好ましい、上記組成物より成るバインダー類は、
可撓性に富み１曲げ、絞り加工に際して最適である。Only one solvent selected from the above may be used, but
When drying speed etc. are considered, it is preferable to use an azeotropic mixture system of two or more types of binders made of the above compositions.
It is highly flexible and is ideal for bending and drawing.
スラリーの製造方法は、上記粉体に有機材料を添加し、
ローラーミルにて４８時時間分１分散混合する。分散不
良の場合は、それに応じて分散剤を用いても良い。The method for producing slurry includes adding an organic material to the above powder,
Disperse and mix for 48 hours using a roller mill. In the case of poor dispersion, a dispersant may be used accordingly.
得られたスラリー１は、粘度安定化の為１〜２日エージ
ングし、真空脱泡後、キャストスラリーとする。スラリ
ー１は、ドクターブレード装置のスラリーだめ９に投入
し、圧膜グリーンシート３を作成する。The obtained slurry 1 is aged for 1 to 2 days to stabilize its viscosity, and after vacuum defoaming, it is made into a cast slurry. The slurry 1 is put into a slurry reservoir 9 of a doctor blade device, and a pressure membrane green sheet 3 is created.
スラリーだめ９のスラリー１は、キャリアフィルム供給
リール５と、キャリアフィルム巻き取りリール７により
一定速度で移動しているキャリアフィルム８上に、ドク
ターブレード２を通して塗布する。ドクターブレード２
は、キャリアフィルム８との間に一定の間隔を形成して
おり、これによって厚さが決められる。ヒーター乾燥炉
４は、キャスティング後のスラリー上部に設置されてお
り、温度４０℃から、最終１００℃で１時間乾燥する。The slurry 1 in the slurry reservoir 9 is applied through the doctor blade 2 onto a carrier film 8 that is being moved at a constant speed by a carrier film supply reel 5 and a carrier film take-up reel 7. doctor blade 2
forms a certain distance from the carrier film 8, and the thickness is determined by this. A heater drying oven 4 is installed above the slurry after casting, and dries the slurry from a temperature of 40°C to a final temperature of 100°C for 1 hour.
こうして得られるグリーンシート３は、グリーンシート
巻き取りリール６により巻き取られる。The green sheet 3 thus obtained is wound up by a green sheet take-up reel 6.
前記方法にて得られたグリーンシートは、第４図に示す
如く形状に打ち抜き加工後、８０〜１００℃に加熱した
コテで曲げ加工、更に、溶剤で接着或は、第５図に示す
如く円状に打ち抜き加工したグリーンシート１を９０℃
に加温した下型３及び上型２で絞り加工を施して脱脂、
焼成し、目的の薄肉焼結体を得る。又、特に、モリブデ
ン・タングステンの様に、ボート以外の特殊な基板とし
て用いられるものでは、焼成後、圧延或は、ＨＩＰ処理
して緻密化してもよい。The green sheet obtained by the above method is punched into the shape shown in Fig. 4, bent with a trowel heated to 80 to 100°C, and then glued with a solvent or circularly shaped as shown in Fig. 5. Green sheet 1 punched into a shape is heated to 90°C.
The lower die 3 and the upper die 2 are heated to draw and degrease.
Fire to obtain the desired thin-walled sintered body. In particular, materials such as molybdenum and tungsten, which are used as special substrates other than boats, may be densified by rolling or HIP treatment after firing.
次に、第３図に示す如く、押出し成形法を適用すること
も出来る。用いる有機材料は、結合剤としてセルロース
を主として用い、ワックス系エマルジョンを併用しても
良い、セルロースには、特に限定はないが、好ましくは
、ヒドロキシプロピルセルロースであって、含有するメ
トキシ基が２８〜３０％であるのが好ましい。又、粘性
は、２％溶液、２０℃で４０００ＣＰＳ前後であるもの
が良好である。Next, as shown in FIG. 3, an extrusion molding method can also be applied. The organic material used is mainly cellulose as a binder, and a wax emulsion may also be used in combination.Cellulose is not particularly limited, but is preferably hydroxypropyl cellulose, containing 28 to 28 methoxy groups. Preferably it is 30%. In addition, the viscosity of a 2% solution at 20° C. is preferably around 4000 CPS.
その添加量は、１．０〜５．０重量部であって、１．０
重量部未満では、可撓性に劣り、又、５．０重量部を超
えると押出し時の成形性が低下する為、好ましくない。The amount added is 1.0 to 5.0 parts by weight, and 1.0 to 5.0 parts by weight.
If it is less than 5.0 parts by weight, the flexibility will be poor, and if it exceeds 5.0 parts by weight, the moldability during extrusion will deteriorate, which is not preferable.
併用する可塑剤としては、グリセリンもしくはペトリオ
ールを０．５〜４．０重量部添加する６混練物及びグリ
ーンシートの製造方法は、上記結合剤、全添加量の約８
０％と可塑剤、純水をニーダ−で十分混練して、モチ状
とし、次に、粉体と残りの結合剤を混練して、第３図に
示す押出成形機のホッパー５に投入する。成形機内、真
空ポンプ４で真空脱胞しながら、スクリュー３で混練物
を前方へ押し、更に、所望形状口金１より押出して、金
属グリーンシート２を得る。As a plasticizer to be used in combination, 0.5 to 4.0 parts by weight of glycerin or petriol is added.6 The kneaded product and green sheet production method is based on the above binder, about 8 parts by weight of the total amount added.
0%, a plasticizer, and pure water are sufficiently kneaded in a kneader to form a sticky substance. Next, the powder and the remaining binder are kneaded and the mixture is put into the hopper 5 of the extrusion molding machine shown in Fig. 3. . Inside the molding machine, the kneaded material is pushed forward by the screw 3 while being vacuum devoured by the vacuum pump 4, and further extruded from the mouthpiece 1 having a desired shape to obtain the metal green sheet 2.
上記方法で得られたグリーンシート２は、必要に応じて
所望形状に打ち抜き或は、接着後、脱脂。The green sheet 2 obtained by the above method is punched out into a desired shape or bonded and then degreased if necessary.
焼成、ＨＩＰ処理又は、圧延して全屈薄肉焼結体を得る
。A fully bent thin-walled sintered body is obtained by firing, HIP treatment, or rolling.
上記方法で製造された薄肉焼結体は、グリーン成形体の
段階で所望形状に近い形で成形される為、製造工程が短
くて済み、赤熱圧延工程が大幅に減少出来る為、加工コ
スト削減が可能となった。更には、連続的に安定した板
を作成することが出来。The thin-walled sintered body manufactured by the above method is molded into a shape close to the desired shape at the stage of green molding, so the manufacturing process is shortened, and the red hot rolling process can be significantly reduced, reducing processing costs. It has become possible. Furthermore, it is possible to create a continuous stable board.
その産業上の効果は大である。Its industrial effects are significant.
以下、実施例により説明する。 Examples will be explained below.
（実施例１）
純度９９．９％以上、平均粒子径３．２μｍのモリブデ
ン粉体１００部に、結合剤として１分子量７００００の
ブチルアクリレートポリマー１０．０部、可塑剤として
ジブチルフタレート４．０部、溶剤としてメチルエチル
ケトン１２．０部及び酢酸−ｎ−ブチル２．０部、分散
剤としてトリオレイン酸グリセリンを０．３部添加し、
ローラーミルにて２４時間分散混合し、混合後、１昼夜
二一ジングした。このスラリーを真空脱泡し、粘度４０
００センチボイスに調整し、塗工厚１０００μｍでテー
プシートを作成した。４０℃で２０分６５℃で２０分９
０℃で２０分乾燥して、メチルエチルケトンで、のりし
ろ部分を接着し、第４図に示す如くボート状に組み立て
た。次に、真空下、昇温速度６０℃／ｈｒ ４００℃で
脱脂した。その後、水素雰囲気中、昇温速度７５℃／＋
ｓｉｎ、で１７００℃迄昇温し、１２時間保持、冷却後
、モリブデン薄肉焼結体を得た０次いでアルゴン雰囲気
下、１４００℃、 １０００気圧以上でＨＩＰ処理し、
モリブデンボートを得た。(Example 1) 100 parts of molybdenum powder with a purity of 99.9% or more and an average particle size of 3.2 μm, 10.0 parts of butyl acrylate polymer with a molecular weight of 70,000 as a binder, and 4.0 parts of dibutyl phthalate as a plasticizer. , 12.0 parts of methyl ethyl ketone and 2.0 parts of n-butyl acetate were added as a solvent, and 0.3 parts of glycerin trioleate was added as a dispersant,
The mixture was dispersed and mixed in a roller mill for 24 hours, and after mixing, the mixture was stirred for 1 day and night. This slurry was vacuum degassed and the viscosity was 40.
A tape sheet was prepared with a coating thickness of 1000 μm and adjusted to a voice of 0.00 cm. 20 minutes at 40℃ 20 minutes at 65℃9
After drying at 0° C. for 20 minutes, the margins were glued together with methyl ethyl ketone and assembled into a boat shape as shown in FIG. Next, degreasing was performed under vacuum at a temperature increase rate of 60°C/hr to 400°C. After that, in a hydrogen atmosphere, the heating rate was 75℃/+
After heating to 1700°C with sin, holding for 12 hours and cooling, a thin molybdenum sintered body was obtained.
Got a molybdenum boat.
本方法により製造したモリブデンボートは、十分緻密化
されており、焼成用ボートとしての用途に最適であった
。The molybdenum boat produced by this method was sufficiently densified and was optimal for use as a firing boat.
第１表には、本発明によるモリブデン薄肉焼結体の物性
値を示した。又、比較例として、従来の鍛造によるモリ
ブデン薄板の物性値を示した。Table 1 shows the physical properties of the thin molybdenum sintered body according to the present invention. In addition, as a comparative example, the physical properties of a molybdenum thin plate produced by conventional forging are shown.
（実施例２）
タングステン６０．０％と銅４０．０％とから成る平均
粒子径２．０μ園の混合粉体１００部に対し、結合剤と
してヒドロキシプロピルセルロース２．５重量部、可塑
剤としてグリセリンを０．８重量部、水１０００重量部
より成る有機バインダー類の約８０％をニーダ−で２０
分混練してモチ状とし、次いで上記混合粉末と残りの有
機バインダーを添加し、２０分混練した。この混練物を
押出し成形機内に投入し、真空で引きながらスクリュー
で前方に移動させ、口金より８０×１のグリーンシート
を押し出し成形した。(Example 2) 2.5 parts by weight of hydroxypropylcellulose as a binder and 2.5 parts by weight of hydroxypropyl cellulose as a plasticizer for 100 parts of a mixed powder of 60.0% tungsten and 40.0% copper with an average particle size of 2.0 μm. Approximately 80% of an organic binder consisting of 0.8 parts by weight of glycerin and 1000 parts by weight of water was mixed in a kneader at 20% by weight.
The mixture was kneaded into a sticky shape, and then the mixed powder and the remaining organic binder were added and kneaded for 20 minutes. This kneaded material was put into an extrusion molding machine, moved forward by a screw while being vacuumed, and an 80×1 green sheet was extruded from the die.
得られたシートは、２０Ｘ１０に打ち抜き、乾燥骨中５
０℃で４時間乾燥し、更に真空炉中４００℃で脱脂後、
水素雰囲気下１３７０±３０℃で焼成して電極用Ｃｕ−
Ｗ薄肉用材料を得た。The resulting sheet was punched out into a 20x10 size and placed in a dry bone medium.
After drying at 0°C for 4 hours and further degreasing at 400°C in a vacuum oven,
Cu- for electrodes is baked at 1370±30°C in a hydrogen atmosphere.
A material for W thin wall was obtained.
第２表には、本発明によるＣｕ−Ｗ薄肉焼結体の物性値
を示した。又、比較例としてプレス成形による焼結体の
物性値を示した。Table 2 shows the physical property values of the Cu-W thin-walled sintered body according to the present invention. In addition, as a comparative example, physical property values of a sintered body formed by press molding are shown.
本発明にかかる金属薄肉焼結体の製造方法は。 A method for manufacturing a thin metal sintered body according to the present invention.
従来の鍛造で製造されている各種金属薄板とほぼ同等の
物性を示し、又、焼成前で目的形状の厚み及び形に成形
する為、加工コストの削減が達成出来た。It exhibits almost the same physical properties as various metal thin plates manufactured by conventional forging, and because it is formed into the desired thickness and shape before firing, processing costs can be reduced.
第１図は、金属薄肉焼結体の製造工程を示す工程図、第
２図及び第３図は、各々本発明の金属グリーンシートの
成形方法の１実施例を示すドクターブレードキャスティ
ング法及び押出し成形法による製造装置を示す概略構成
図である。第４図は。
実施例におけるモリブデンボートの組み立て図。
第５図は、絞り加工工程図である。
特許出願人 日本タングステン株式会社第１表
第１図
第２園
井４図
手続補正書防幻
昭和６１年４月２日FIG. 1 is a process diagram showing the manufacturing process of a thin metal sintered body, and FIGS. 2 and 3 are a doctor blade casting method and extrusion molding, respectively, showing one embodiment of the metal green sheet forming method of the present invention. 1 is a schematic configuration diagram showing a manufacturing apparatus according to the method. Figure 4 is. An assembly diagram of a molybdenum boat in an example. FIG. 5 is a drawing process diagram. Patent applicant Nippon Tungsten Co., Ltd. Table 1 Figure 2 Figure 2 Sonoi Figure 4 Procedural amendment filed April 2, 1986
Claims (1)
ーンシートを作成し、切断、打ち抜き加工、或は、破損
しない程度に曲げ、又は、絞り加工接着を施した後、非
酸化雰囲気下で焼成、又は、更に熱間静水圧加圧焼結し
、相対密度９６．０％以上とすることを特徴とする金属
薄肉焼結体の製造方法。 ２、泥漿がアクリル樹脂結合剤９．０〜１５．０重量部
と、エステル系可塑剤３．０〜６．０重量部及びケトン
、エステル、芳香族系溶剤の単独もしくは共沸混合液９
．０〜２０．０重量部から成る組成物を、ドクターブレ
ードを介してグリーンシートとすることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の金属薄肉焼結体の製造方法。 ３、混練物が、セルロース又は、及びワックス系結合剤
１．０〜５．０重量部とグリセリン、ペトリオール可塑
剤０．５〜４．０重量部及び水４．０〜１０．０重量部
より成る組成物を所望形状の口金より押出してグリーン
シートとすることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の金属薄肉焼結体の製造方法。[Claims] 1. A green sheet is prepared from a slurry or a kneaded material containing metal powder, and then cut, punched, bent to an extent that it does not break, or drawn and bonded. A method for producing a thin metal sintered body, characterized in that the sintered body is then fired in a non-oxidizing atmosphere or further sintered under hot isostatic pressure to have a relative density of 96.0% or more. 2. The slurry is a single or azeotropic mixture of 9.0 to 15.0 parts by weight of an acrylic resin binder, 3.0 to 6.0 parts by weight of an ester plasticizer, and a ketone, ester, or aromatic solvent 9
．． 2. The method for producing a thin metal sintered body according to claim 1, wherein the composition comprising 0 to 20.0 parts by weight is formed into a green sheet through a doctor blade. 3. The kneaded material contains 1.0 to 5.0 parts by weight of cellulose or wax binder, 0.5 to 4.0 parts by weight of glycerin, petriol plasticizer, and 4.0 to 10.0 parts by weight of water. 2. A method for producing a thin metal sintered body according to claim 1, wherein a green sheet is obtained by extruding a composition consisting of the above through a die having a desired shape.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP739986A JPS62164801A (en) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | Production of metallic thin-walled sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP739986A JPS62164801A (en) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | Production of metallic thin-walled sintered body |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62164801A true JPS62164801A (en) | 1987-07-21 |
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ID=11664814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP739986A Pending JPS62164801A (en) | 1986-01-16 | 1986-01-16 | Production of metallic thin-walled sintered body |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62164801A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04120203A (en) * | 1990-09-11 | 1992-04-21 | Mitsubishi Materials Corp | Manufacture of metal article |
| JP2006312784A (en) * | 2005-05-05 | 2006-11-16 | General Electric Co <Ge> | Microwave processing of mim preform |
| JP2007051375A (en) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | General Electric Co <Ge> | Preparation of sheet by injection molding of powder, consolidation, and heat treating |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51126307A (en) * | 1975-04-28 | 1976-11-04 | Shinroku Saito | Process for producing a super alloy plate |
| JPS5489224A (en) * | 1977-12-27 | 1979-07-16 | Japan Storage Battery Co Ltd | Method of producing sintered substrate for alkaline storage battery |
| JPS55122805A (en) * | 1979-03-12 | 1980-09-20 | Mitsubishi Metal Corp | Production of magnetic member of fe-a -si base alloy lamination |
| JPS56144505A (en) * | 1980-04-11 | 1981-11-10 | Fujitsu Ltd | Manufacture of magnetic material |
-
1986
- 1986-01-16 JP JP739986A patent/JPS62164801A/en active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51126307A (en) * | 1975-04-28 | 1976-11-04 | Shinroku Saito | Process for producing a super alloy plate |
| JPS5489224A (en) * | 1977-12-27 | 1979-07-16 | Japan Storage Battery Co Ltd | Method of producing sintered substrate for alkaline storage battery |
| JPS55122805A (en) * | 1979-03-12 | 1980-09-20 | Mitsubishi Metal Corp | Production of magnetic member of fe-a -si base alloy lamination |
| JPS56144505A (en) * | 1980-04-11 | 1981-11-10 | Fujitsu Ltd | Manufacture of magnetic material |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04120203A (en) * | 1990-09-11 | 1992-04-21 | Mitsubishi Materials Corp | Manufacture of metal article |
| JP2006312784A (en) * | 2005-05-05 | 2006-11-16 | General Electric Co <Ge> | Microwave processing of mim preform |
| JP2007051375A (en) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | General Electric Co <Ge> | Preparation of sheet by injection molding of powder, consolidation, and heat treating |
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