JPS6216020Y2 - - Google Patents
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- JPS6216020Y2 JPS6216020Y2 JP12844179U JP12844179U JPS6216020Y2 JP S6216020 Y2 JPS6216020 Y2 JP S6216020Y2 JP 12844179 U JP12844179 U JP 12844179U JP 12844179 U JP12844179 U JP 12844179U JP S6216020 Y2 JPS6216020 Y2 JP S6216020Y2
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- surface acoustic
- output
- input
- acoustic wave
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、弾性表面波装置の電極形状に係るも
ので、特にシールド電極の形状に関するものであ
る。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to the shape of an electrode of a surface acoustic wave device, and particularly to the shape of a shield electrode.
弾性表面波装置の出力信号の周波数特性を劣化
させるものとして、スプリアス・レスボンス、リ
ツプルがある。スプリアス・レスボンスは、入出
力電極間に介在する弾性表面波以外の要素がその
原因となつている。これらの要素として大きなも
のに、電磁波による直達波と基体内部を伝播する
バルク波がある。直達波は入出力電極間にシール
ド電極を設けてこれをシールドすることが一般に
行なわれており、バルク波は基板の裏面を荒らし
て散乱するなどの手段が採られている。 There are spurious responses and ripples that degrade the frequency characteristics of the output signal of a surface acoustic wave device. Spurious responses are caused by elements other than surface acoustic waves interposed between input and output electrodes. The two major elements are direct electromagnetic waves and bulk waves that propagate inside the substrate. Direct waves are generally shielded by providing a shield electrode between input and output electrodes, while bulk waves are scattered by roughening the back surface of the substrate.
一方、リツプルの原因は、出力電極で反射し、
入力電極で再び反射して出力電極に到達するトリ
プル・トランジエント・エコー（TTE）であ
る。このTTEを除去する手段としては、一本の
電極を二本に分割したダブル・フインガ構造など
がある。しかし、この手段による場合には、電極
の幅や間隔が小さくなるために、電極設計が難し
くなるとともに、高い加工精度が要求される。 On the other hand, the cause of ripples is reflection from the output electrode,
This is a triple transient echo (TTE) that is reflected again at the input electrode and reaches the output electrode. As a means for removing this TTE, there is a double finger structure in which one electrode is divided into two. However, when using this method, the width and spacing of the electrodes become small, making electrode design difficult and requiring high processing accuracy.
本考案は、上記のような問題のうち、直達波と
TTEを除去する弾性表面波装置を得ることを目
的とする。 This invention solves the problem of direct waves and
The purpose is to obtain a surface acoustic wave device that eliminates TTE.
本考案による弾性表面波装置においては、シー
ルド電極の形状を適当に選択することによつて、
シールド電極をTTEの除去にも利用することを
目的とする。 In the surface acoustic wave device according to the present invention, by appropriately selecting the shape of the shield electrode,
The purpose is to use the shield electrode to remove TTE as well.
弾性表面波の伝播路上での反射は、伝播路上の
伝播速度の異なる領域の境界面で生じる。すなわ
ち、弾性表面波伝播路上において、圧電体基板表
面を伝播する弾性表面波の伝播速度と、電極が設
けられた金属表面を伝播する弾性表面波の伝播速
度とは異なる。このような弾性表面波の伝播速度
の異なる表面部分の境界面である。電極の端部で
弾性表面波の反射が生じる。 Reflection on the propagation path of surface acoustic waves occurs at the interface between regions on the propagation path with different propagation velocities. That is, on the surface acoustic wave propagation path, the propagation velocity of the surface acoustic wave propagating on the surface of the piezoelectric substrate is different from the propagation velocity of the surface acoustic wave propagating on the metal surface provided with the electrode. This is the interface between surface portions where surface acoustic waves have different propagation velocities. Reflection of surface acoustic waves occurs at the ends of the electrodes.
また、弾性表面波装置に用いられるインターデ
ジタル電極においては、電極の表面は圧電体の基
体部分と金属の電極指部分から成るが、インター
デジタル電極全体として考えると電極の存在しな
い表面とインターデジタル電極の表面との伝播速
度は異なり、上記の原理があてはまる。そして、
電極部で反射する弾性表面波は、インターデジタ
ル電極の端部で反射すると考えることができる。 In addition, in an interdigital electrode used in a surface acoustic wave device, the surface of the electrode consists of a piezoelectric base portion and a metal electrode finger portion, but when considering the interdigital electrode as a whole, the surface where no electrode exists and the interdigital electrode have different propagation velocities with the surface, and the above principle applies. and,
The surface acoustic wave reflected at the electrode portion can be considered to be reflected at the end of the interdigital electrode.
本考案は、上記の点に鑑みなされたもので、シ
ールド電極の位置をインターデジタル電極から所
定の距離に選択することによつて、インターデジ
タル電極によつて反射される弾性表面波の影響を
効果的に除去しようとするものである。 The present invention was developed in view of the above points, and by selecting the position of the shield electrode at a predetermined distance from the interdigital electrode, the effect of surface acoustic waves reflected by the interdigital electrode can be effectively reduced. This is what we are trying to remove.
以下、図面に従つて、本考案の実施例について
説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
図面は、本考案の実施例の平面図を示してい
る。圧電性を有する基体１０の表面にインターデ
ジタル電極による入力電極１１、出力電極１２
と、入出力電極間にシールド電極１３を設けたも
のである。 The drawing shows a top view of an embodiment of the invention. Input electrodes 11 and output electrodes 12 formed by interdigital electrodes are provided on the surface of the base 10 having piezoelectricity.
A shield electrode 13 is provided between the input and output electrodes.
入力電極１１の出力電極１２側の端部から出力
電極１２の入力電極１１側の端部までの距離と、
入力電極１１の出力電極１２側の端部からシール
ド電極１３の入力電極１１側の端部までの距離の
差、すなわち、シールド電極１３の入力電極１１
側の端部から出力電極１２の入力電極１１側の端
部までの距離L1を、この弾性表面波装置の中心
周波数の波長λに対して、ｍλ＋λ／４（ｍは整数）
となるように選択する。ｍλ＋λ／４＝（4m＋１）・
λ／４となるのでλ／４の奇数倍ということになる。同
様
に、入力電極１１の出力電極１２側の端部からシ
ールド電極１３の出力電極１２側の端部までの距
離L2をｎλ＋λ／４（ｎは整数）となるように選択
する。ｎλ＋λ／４＝（4n＋１）・λ／４となるのでλ
／４の
奇数倍ということになる。 The distance from the end of the input electrode 11 on the output electrode 12 side to the end of the output electrode 12 on the input electrode 11 side,
The difference in distance from the end of the input electrode 11 on the output electrode 12 side to the end of the shield electrode 13 on the input electrode 11 side, that is, the input electrode 11 of the shield electrode 13
The distance L 1 from the end of the output electrode 12 to the end of the input electrode 11 is mλ+λ/4 (m is an integer) with respect to the wavelength λ of the center frequency of this surface acoustic wave device. select. Since mλ+λ/4=(4m+1)・λ/4, it is an odd multiple of λ/4. Similarly, the distance L 2 from the end of the input electrode 11 on the output electrode 12 side to the end of the shield electrode 13 on the output electrode 12 side is selected to be nλ+λ/4 (n is an integer). nλ+λ/4=(4n+1)・λ/4, so λ
This means that it is an odd multiple of /4.
上記のようにシールド電極の位置が定められた
弾性表面波装置の弾性表面波の伝播について以下
に説明する。入力電極１１で励振された弾性表面
波は、出力電極１２に向つて基体１０の表面を伝
播する。この弾性表面波がシールド電極１３を通
過するときに一部が反射される。この反射はシー
ルド電極１３の入力電極１１側の端部で生じる。
シールド電極１３を通過して出力電極１２に到達
した弾性表面波は出力電極１２で一部が反射され
るが、前記の通り、この反射は出力電極１２の入
力電極１１側の端部で生じると考えて良い。シー
ルド電極１３で反射される波と出力電極１２で反
射される波とはその伝播距離が２×（ｍλ＋λ／４）＝
2mλ＋λ／２異なることになるので、位相が逆位相
となつて相殺される。これによつて、反射波を打
ち消し、その影響がTTEとなつて出力電極に到
達することを防止できる。 Propagation of surface acoustic waves in a surface acoustic wave device in which the position of the shield electrode is determined as described above will be described below. The surface acoustic wave excited by the input electrode 11 propagates on the surface of the base 10 toward the output electrode 12. When this surface acoustic wave passes through the shield electrode 13, a part of it is reflected. This reflection occurs at the end of the shield electrode 13 on the input electrode 11 side.
A portion of the surface acoustic wave that has passed through the shield electrode 13 and reached the output electrode 12 is reflected by the output electrode 12, but as described above, this reflection occurs at the end of the output electrode 12 on the input electrode 11 side. Good to think about. The propagation distance of the wave reflected by the shield electrode 13 and the wave reflected by the output electrode 12 is different by 2×(mλ+λ/4)=2mλ+λ/2, so their phases become opposite and cancel each other out. . This cancels the reflected waves and prevents their influence from reaching the output electrode as TTE.
出力電極１２において反射された弾性表面波の
うち、完全に除去されない部分についても同様に
して、反射波の位相を反転させて除去し、TTE
の成分のうちの大部分が除去される。 Of the surface acoustic waves reflected at the output electrode 12, the portions that are not completely removed are also removed by inverting the phase of the reflected waves, and TTE
Most of the components are removed.
なお、シールド電極の形状は、図に示したよう
な一様なものに限られず、複数の条片に分割した
形状としても良い。 Note that the shape of the shield electrode is not limited to the uniform shape shown in the figure, but may be divided into a plurality of strips.
本考案によれば、シールド電極をTTEの除去
にも利用することができ、特別の装置を用いずに
出力の振幅特性の劣化を防止することができる。
しかも、製造時にマスクを変更するのみで良く他
の工数増加などもないので、低コストで信頼性の
高い弾性表面波装置が得られる。 According to the present invention, the shield electrode can also be used to remove TTE, and deterioration of the output amplitude characteristics can be prevented without using any special equipment.
Moreover, since it is only necessary to change the mask during manufacturing, and there is no increase in other man-hours, a highly reliable surface acoustic wave device can be obtained at low cost.
図は本考案の実施例の平面図を示す。
１０……基板、１１……入力電極、１２……出
力電極、１３……シールド電極。
The figure shows a top view of an embodiment of the invention. 10...Substrate, 11...Input electrode, 12...Output electrode, 13...Shield electrode.
Claims (1)
出力電極間にシールド電極を具えた弾性表面波装
置において、入力電極の出力電極側の端部から該
シールド電極の出力電極側の端部までの距離と出
力電極の入力電極側の端部から該シールド電極の
入力電極側の端部までの距離の双方が、該インタ
ーデジタル電極によつて励振される弾性表面波の
波長の1/4またはその奇数倍とされていることを
特徴とする弾性表面波装置。 In a surface acoustic wave device equipped with an input/output electrode using an interdigital electrode and a shield electrode between the input/output electrode, the distance from the end of the input electrode on the output electrode side to the end of the shield electrode on the output electrode side and the output Both distances from the end of the electrode on the input electrode side to the end of the shield electrode on the input electrode side are 1/4 of the wavelength of the surface acoustic wave excited by the interdigital electrode or an odd number multiple thereof. A surface acoustic wave device characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12844179U JPS6216020Y2 (en) | 1979-09-17 | 1979-09-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12844179U JPS6216020Y2 (en) | 1979-09-17 | 1979-09-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5646333U JPS5646333U (en) | 1981-04-25 |
| JPS6216020Y2 true JPS6216020Y2 (en) | 1987-04-23 |
Family
ID=29360266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12844179U Expired JPS6216020Y2 (en) | 1979-09-17 | 1979-09-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6216020Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100773700B1 (en) | 2004-07-15 | 2007-11-05 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | Elastic surface-wave filter |
-
1979
- 1979-09-17 JP JP12844179U patent/JPS6216020Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5646333U (en) | 1981-04-25 |
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