JPS62152190A - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS62152190A JPS62152190A JP29186185A JP29186185A JPS62152190A JP S62152190 A JPS62152190 A JP S62152190A JP 29186185 A JP29186185 A JP 29186185A JP 29186185 A JP29186185 A JP 29186185A JP S62152190 A JPS62152190 A JP S62152190A
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- JP
- Japan
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- members
- mirrors
- laser oscillation
- pair
- steel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ発振装置に関し、特にレーザ共振器
を構成する一対のミラーの支持手段を改良したレーザ発
振装置に関する。
を構成する一対のミラーの支持手段を改良したレーザ発
振装置に関する。
第４図に従来のレーザ発振装置の一例を示す。
このレーザ発振装置は、内部鏡型レーザ発振装置であっ
て、レーザ共振器を構成する一対のミラー（ｌａ）、
（ｌｂ）は、それぞれベロース（２）により発振装置本
体（３）の両端部にアライメント調整可能に取付けられ
、かつ、支持板（４ａ） 、 （４ｂ）を介して発振装
置の光軸（５）に沿って延在する複数本、たとえば３〜
４本の支持体（６）により一体に支持されている。この
支持体（６）には、通常熱膨張係数の小さいインバーが
用いられている。
て、レーザ共振器を構成する一対のミラー（ｌａ）、
（ｌｂ）は、それぞれベロース（２）により発振装置本
体（３）の両端部にアライメント調整可能に取付けられ
、かつ、支持板（４ａ） 、 （４ｂ）を介して発振装
置の光軸（５）に沿って延在する複数本、たとえば３〜
４本の支持体（６）により一体に支持されている。この
支持体（６）には、通常熱膨張係数の小さいインバーが
用いられている。
しかし上記のようにレーザ発振装置を構成すると、支持
体（６）は１発熱源である発振装置本体（３）に近接し
て位置するため、温度上昇し、特に複数本の支持体（６
）間に温度差を生ずる。たとえば大出力のガスレーザ発
振装置では、支持棒（６）間に数度の温度差を生ずるこ
とがある。このように支持体（６）間に温度差を生ずる
と、支持体（６）の長さに変化を生じ、アライメント調
整された一対のミラー（ｌａ）、 （ｌｂ）の角度や位
置が狂って、レーザ出力や方向などを変化させる。
体（６）は１発熱源である発振装置本体（３）に近接し
て位置するため、温度上昇し、特に複数本の支持体（６
）間に温度差を生ずる。たとえば大出力のガスレーザ発
振装置では、支持棒（６）間に数度の温度差を生ずるこ
とがある。このように支持体（６）間に温度差を生ずる
と、支持体（６）の長さに変化を生じ、アライメント調
整された一対のミラー（ｌａ）、 （ｌｂ）の角度や位
置が狂って、レーザ出力や方向などを変化させる。
これを防ぐ方法として、従来より支持体（６）に断熱材
を巻付けたり、あるいは支持棒（６）をパイプで構成し
てその中を温度調節された冷却水を通すことがおこなわ
れている。しかしこのように断熱材を巻付けたりあるい
は温度調節された冷却水を流すようにしても、温度差の
影響を完全になくすことはできず、１対のミラー（ｌａ
） 、（ｌｂ）に角度ずれや位置ずれが生じていた。
を巻付けたり、あるいは支持棒（６）をパイプで構成し
てその中を温度調節された冷却水を通すことがおこなわ
れている。しかしこのように断熱材を巻付けたりあるい
は温度調節された冷却水を流すようにしても、温度差の
影響を完全になくすことはできず、１対のミラー（ｌａ
） 、（ｌｂ）に角度ずれや位置ずれが生じていた。
この発明は、レーザ共振器を構成する一対のミラーを一
体に支持する支持体を温度差が生じても、ミラーの位置
関係に変化を生じないようにレーザ発振装置を構成する
ことにある。
体に支持する支持体を温度差が生じても、ミラーの位置
関係に変化を生じないようにレーザ発振装置を構成する
ことにある。
この発明は、レーザ共振器を構成する一対のミラーが支
持体により一体に支持されるレーザ発振装置において、
支持体を同材質の外側および内側部材とこれら部材に対
してレーザ発振動作時において約２倍の線膨張係数を有
する中間部材とで構成し、かつ一対のミラーをそれぞれ
外側部材および内側部材の反対側端部に支持させること
により、支持体に温度差を生じても、ミラーの位置に変
化を生じないようにしたものである。
持体により一体に支持されるレーザ発振装置において、
支持体を同材質の外側および内側部材とこれら部材に対
してレーザ発振動作時において約２倍の線膨張係数を有
する中間部材とで構成し、かつ一対のミラーをそれぞれ
外側部材および内側部材の反対側端部に支持させること
により、支持体に温度差を生じても、ミラーの位置に変
化を生じないようにしたものである。
以下、図面を参照してこの発明を実施例に基づいて説明
する。
する。
第１図にこの発明の一実施例であるレーザ発振装置を示
す。このレーザ発振装置は、内部鏡型のガスレーザ発振
装置であり、発振装置本体を構成するガス放電部（１０
）の両端部に、ベローズ（２）を介してレーザ共振器を
構成する一対のミラー（ｌａ）。
す。このレーザ発振装置は、内部鏡型のガスレーザ発振
装置であり、発振装置本体を構成するガス放電部（１０
）の両端部に、ベローズ（２）を介してレーザ共振器を
構成する一対のミラー（ｌａ）。
（１ｂ）がアライメント調整可能に取付られている。
またこの一対のミラー（ｌａ） 、 （ｌｂ）は、それ
ぞれ支持板（４ａ） 、 （４ｂ）を介して、下記支持
体（１１）により一体に支持されている。
ぞれ支持板（４ａ） 、 （４ｂ）を介して、下記支持
体（１１）により一体に支持されている。
上記支持体（１１）は、３本を１組とする棒状部材（１
２）〜（１４）を有し、上記ガス放電部（１０）のまわ
りにこのレーザ発振装置の光軸（５）に沿って複数組配
設されている。
２）〜（１４）を有し、上記ガス放電部（１０）のまわ
りにこのレーザ発振装置の光軸（５）に沿って複数組配
設されている。
上記３本１組の棒状部材（１２）〜（１４）は、上記光
軸（５）に沿って互に平行に配設される外側部材（１２
）およびその内側に配設される内側部材（１４）と、こ
れら両部材（１２） 、 （１４）間に介在する中間部
材（１３）とからなる。この外側および内側部材（１２
） 、 （１３）は、それぞれ端部が反対方向にずれて
おり、外側部材（１２）の一端部に対して内側部材（１
４）の一端部は、その延長方向に突出し、また内側部材
（１４）の他端部に対して外側部材（１２）の他端部も
またその延長方向に突出している。この外側および内側
部材（１２）、（１４）に対して、中間部材（１３）は
１両端部がそれぞれ外側および内側部材（１２） 、
（１４）の内側にあって、外側部材（１２）の一端部お
よび内側部材（１４）の他端部に接合されている。また
同材質（線膨張係数が同一）の部材に形成された外側お
よび内側部材（１２） 、 （１３）に対して、中間部
材（１３）は、レーザ発振動作時においてその約２倍の
線膨張係数を有する。このような部材は、たとえば外側
および内側部材（１２）、（１４）を鋼（線膨側係数６
．８×１０−’） 、中間部材（１３）を銅（線膨側係
数１３．８×１０′″“）で形成することにより得られ
る。
軸（５）に沿って互に平行に配設される外側部材（１２
）およびその内側に配設される内側部材（１４）と、こ
れら両部材（１２） 、 （１４）間に介在する中間部
材（１３）とからなる。この外側および内側部材（１２
） 、 （１３）は、それぞれ端部が反対方向にずれて
おり、外側部材（１２）の一端部に対して内側部材（１
４）の一端部は、その延長方向に突出し、また内側部材
（１４）の他端部に対して外側部材（１２）の他端部も
またその延長方向に突出している。この外側および内側
部材（１２）、（１４）に対して、中間部材（１３）は
１両端部がそれぞれ外側および内側部材（１２） 、
（１４）の内側にあって、外側部材（１２）の一端部お
よび内側部材（１４）の他端部に接合されている。また
同材質（線膨張係数が同一）の部材に形成された外側お
よび内側部材（１２） 、 （１３）に対して、中間部
材（１３）は、レーザ発振動作時においてその約２倍の
線膨張係数を有する。このような部材は、たとえば外側
および内側部材（１２）、（１４）を鋼（線膨側係数６
．８×１０−’） 、中間部材（１３）を銅（線膨側係
数１３．８×１０′″“）で形成することにより得られ
る。
さらに上記外側および内側部材（１２） 、 （１４）
の両端部間には、リニアモーションベアリング（１５）
が介挿され、支持体（１１）に加わるラジアル方向の荷
重を支え、かつ熱膨張により生ずる外側および内側部材
（１２） 、 （１４）のスラスト方向（光軸（５）の
方向）の変位を相対的に変位可能に支持している。
の両端部間には、リニアモーションベアリング（１５）
が介挿され、支持体（１１）に加わるラジアル方向の荷
重を支え、かつ熱膨張により生ずる外側および内側部材
（１２） 、 （１４）のスラスト方向（光軸（５）の
方向）の変位を相対的に変位可能に支持している。
この支持体（１１）に対して、一対のミラー（ｌａ）。
（１ｂ）は、一方のミラーが支持体（４ａ）を介して内
側部材（１４）の一端部に、また他方のミラー（ｌｂ）
が支持体（４ｂ）を介して外側部材（１２）の他端部に
支持されている。
側部材（１４）の一端部に、また他方のミラー（ｌｂ）
が支持体（４ｂ）を介して外側部材（１２）の他端部に
支持されている。
さて上記のように支持体（１１）を構成すると、第２図
に一点鎖線で示すように、外側および内側部材（１２）
、 （１４）が温度変化により熱膨張をおこしても、こ
れら部材（１２）、 （１４）に対して２倍の線膨張係
数をもつ中間部材（１３）がこの外側および内側部材（
１２）、 （１４）の熱膨張変位に追従し、各ミラー（
ｌａ）、 （ｌｂ）を支持する支持板（４ａ）、 （４
ｂ）を固定する端部を変位させない。したがってミラー
（ｌａ） 。
に一点鎖線で示すように、外側および内側部材（１２）
、 （１４）が温度変化により熱膨張をおこしても、こ
れら部材（１２）、 （１４）に対して２倍の線膨張係
数をもつ中間部材（１３）がこの外側および内側部材（
１２）、 （１４）の熱膨張変位に追従し、各ミラー（
ｌａ）、 （ｌｂ）を支持する支持板（４ａ）、 （４
ｂ）を固定する端部を変位させない。したがってミラー
（ｌａ） 。
（１ｂ）を変位させることはない。この３本１組で構成
された支持体（１１）の機能は、その温度に関係なくお
こなわれるので、ミラー（ｌａ）、 （ｌｂ）を支持す
る複数組の支持体（１１）間に温度差が生じても、一対
のミラー（ｌａ） 、 （ｌｂ）の位置関係を変えるこ
となくこれを支持するようになる。
された支持体（１１）の機能は、その温度に関係なくお
こなわれるので、ミラー（ｌａ）、 （ｌｂ）を支持す
る複数組の支持体（１１）間に温度差が生じても、一対
のミラー（ｌａ） 、 （ｌｂ）の位置関係を変えるこ
となくこれを支持するようになる。
したがって、このような支持体（１１）を用いてレーザ
発振装置を構成すると、一旦アライメント調整された一
対のミラー（ｌａ）、 （ｌｂ）の位置関係が変化せず
、光軸（５）に沿って安定したレーザ光を発振させるこ
とができる。
発振装置を構成すると、一旦アライメント調整された一
対のミラー（ｌａ）、 （ｌｂ）の位置関係が変化せず
、光軸（５）に沿って安定したレーザ光を発振させるこ
とができる。
つぎに他の実施例について述べる。
上記実施例では、支持体を中央の棒状部材で構成したが
、この支持体はパイプなど断面形状の異なる他の部材で
も形成することができる。
、この支持体はパイプなど断面形状の異なる他の部材で
も形成することができる。
また上記実施例では、３本１組の支持体を複数組使って
一対のミラーを支持したが、この支持体は、３個の筒状
部材を同軸状に組合せて、その内側の筒状部材内に発振
装置本体を配設するよう構成し、１組の支持体で一対の
ミラーを支持するようにしてもよい。
一対のミラーを支持したが、この支持体は、３個の筒状
部材を同軸状に組合せて、その内側の筒状部材内に発振
装置本体を配設するよう構成し、１組の支持体で一対の
ミラーを支持するようにしてもよい。
また前記実施例では、支持体を構成する外側部材と内側
部材の端部間にリニアモーションベアリングを配設した
が、この軸受け、支持体に加わるラジアル方向の荷重を
支えて、′外側および内側部材をスラスト方向に変位可
能に支持するものならば、他のものでもよい。
部材の端部間にリニアモーションベアリングを配設した
が、この軸受け、支持体に加わるラジアル方向の荷重を
支えて、′外側および内側部材をスラスト方向に変位可
能に支持するものならば、他のものでもよい。
また前、記実施例では、支持体の外側および内側部材の
端部が互に反対方向に突出するようにずらして組合せ、
複数組の支持体の内側に一対のミラーを支持する支持板
を取付けたが、第３図に示すように、内側部材（１４）
の一端部のみを突出させ。
端部が互に反対方向に突出するようにずらして組合せ、
複数組の支持体の内側に一対のミラーを支持する支持板
を取付けたが、第３図に示すように、内側部材（１４）
の一端部のみを突出させ。
外側および内側部材（１２）、 （１４）の他端部をそ
ろえて、これら両部材（１２）、 （１４）の外側に支
持板（４ａ） 。
ろえて、これら両部材（１２）、 （１４）の外側に支
持板（４ａ） 。
（４ｂ）を取付けるように構成してもよい。なおこの実
施例のその他の部分は、前記実施例と同一番号を付して
その説明を省略する。
施例のその他の部分は、前記実施例と同一番号を付して
その説明を省略する。
なお前記実施例は、内部鏡型ガスレーザ発振装置につい
て述べたが、この発明は、外部鏡型ガスレーザ発振装置
についても適用でき、さらに同様の共振器をもつ固体レ
ーザ発振装置などの他のレーザ発振装置にも適用できる
。
て述べたが、この発明は、外部鏡型ガスレーザ発振装置
についても適用でき、さらに同様の共振器をもつ固体レ
ーザ発振装置などの他のレーザ発振装置にも適用できる
。
レーザ共振器を構成する一対のミラーを一体に支持する
支持体を、線膨側係数が同じである同材質の外側部材お
よびその内側に配設される内側部材と、これら両部材間
に配設される約２倍の線膨張係数を有する中間部材とで
構成して、支持体に温度差を生じても、外側お“よび内
側部材の端部が変位しないようにし、この変位しない端
部で一対のミラーを支持するようにしたので、一対のミ
ラーの位置関係が変化せず安定した出力をもつレーザ発
振装置とすることができる。
支持体を、線膨側係数が同じである同材質の外側部材お
よびその内側に配設される内側部材と、これら両部材間
に配設される約２倍の線膨張係数を有する中間部材とで
構成して、支持体に温度差を生じても、外側お“よび内
側部材の端部が変位しないようにし、この変位しない端
部で一対のミラーを支持するようにしたので、一対のミ
ラーの位置関係が変化せず安定した出力をもつレーザ発
振装置とすることができる。
第１図はこの発明の一実施例である内部鏡型ガスレーザ
発振装置の構成を示す図、第２図はそのレーザ共振器を
構成する一対のミラーを支持する支持体の作用説明図、
第３図は他の実施例の構成を示す図、第４図は従来のレ
ーザ発振装置の構成を示す図である。
発振装置の構成を示す図、第２図はそのレーザ共振器を
構成する一対のミラーを支持する支持体の作用説明図、
第３図は他の実施例の構成を示す図、第４図は従来のレ
ーザ発振装置の構成を示す図である。
Claims (1)
- レーザ共振器を構成する一対のミラーが支持体により一
体に支持されたレーザ発振装置において、上記支持体は
レーザ発振装置の光軸に沿って配設された外側部材と、
この外側部材に沿ってその内側に配設された同材質の内
側部材と、これら外側および内側部材に対してレーザ発
振動作時において約２倍の線膨張係数を有し、上記外側
部材の一端部および上記内側部材の他端部に両端が接合
された中間部材と、上記外側部材と上記内側部材との両
端部間に配設されてこれら両部材を相対的に上記光軸の
方向に変位可能に支持する軸受とで構成され、上記一対
のミラーの一方が上記外側部材の他端部に支持され、他
方が上記内側部材の一端部に支持されたことを特徴とす
るレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29186185A JPS62152190A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29186185A JPS62152190A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62152190A true JPS62152190A (ja) | 1987-07-07 |
Family
ID=17774373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29186185A Pending JPS62152190A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62152190A (ja) |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29186185A patent/JPS62152190A/ja active Pending
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