JPS62149318A - Method and apparatus for purifying inside of chamber - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To simultaneously perform dust removal and bacteria removal of the inside of a chamber by injecting water through a nozzle and allowing it to collide and forming air contg. >=2 million pieces per 1 cubic feet ultrafine water droplet and introducing the air into the chamber. CONSTITUTION:An injection pipe 2 is provided close to the wall of a water injector 1 and many injection nozzles 3 are provided thereto. 30-1,500 pieces of nozzle having 0.2-8mm diameter are provided and water injected to the wall of 10-150cm apart from the nozzles. Injected water is allowed to collide against the opposite side face and made to ultrafine water droplets and filled. Air is sent in the injector through a blast port 4 in about 15-50m/sec wind velocity and about 3-3,000m<3>/min air quantity and air contg. >=2 million pieces/1 cubic feet ultrafine through a feed port 5 and sent to the inside of a chamber after removing large water droplets by a cyclone.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、空気１立方フィート当り２００万個以上、好
ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個
以上の超微細水滴を含有した空気によって室内を清浄化
する方法及び装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention provides a method for cleaning a room with air containing at least 2 million, preferably at least 5 million, more preferably at least 10 million ultrafine water droplets per cubic foot of air. and devices.

従来の室内清浄化は、単に汚れた空気を吸引してフィル
ターで濾過するシステムを採用しており、これでは大き
な塵が除去されるにすぎず、菌類を除去することは不可
能であった。つまり、除塵、除菌を同時に行うことので
きる超クリーンな極めて衛生的な状態を作り出す室内清
浄化方法は知られていないのである。Conventional indoor cleaning systems simply suck in dirty air and filter it through a filter, which only removes large particles of dust, but cannot remove fungi. In other words, there is no known indoor cleaning method that can remove dust and sterilize at the same time and create ultra-clean and extremely hygienic conditions.

本発明は上記した技術の現状に鑑みてなされたものであ
って、除塵のみでなく除菌も可能な従来未知の全く新し
いタイプの超高性能室内清浄化方法を提供するためにな
されたものである。The present invention was made in view of the current state of the technology described above, and was made in order to provide a completely new type of ultra-high-performance indoor cleaning method that was previously unknown and capable of not only removing dust but also sterilization. be.

本発明は、室内の空気を吸引し、該空気を水噴射装置に
送り、該水噴射装置内では噴射管に多数設けられた直径
０．２〜８１、好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルから
ゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｄ、好ましくは０．５〜
２．５ｋｇ／−で水を噴射させ、ノズルから１０〜１５
０ｃｍはなれた側部に衝突させてきわめて多数の超微細
水滴を発生させ１粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴
を１立方フィート当り２００万個以上。The present invention sucks indoor air, sends the air to a water injection device, and in the water injection device, from a number of nozzles with a diameter of 0.2 to 81 mm, preferably 0.5 to 3 mm, provided in an injection pipe. Gauge pressure 0.3 to 5.5 kg/d, preferably 0.5 to 5.5 kg/d
Spray water at 2.5 kg/-, 10-15 kg from the nozzle.
It collides with the sides separated by 0 cm to generate an extremely large number of ultra-fine water droplets, producing more than 2 million ultra-fine water droplets with a diameter of 0.5 microns or less per cubic foot.

好ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万
個以上含有する空気を得、得られた超微細水滴含有空気
を前記室内に送入することを特徴とする室内清浄化方法
である。The indoor cleaning method is characterized in that air containing preferably 5 million or more water droplets, more preferably 10 million or more water droplets is obtained, and the obtained air containing ultrafine water droplets is introduced into the room.

そして１本発明は、室内の空気吸引管、及び、水噴射装
置内の中心部に設置した噴射管の周囲に多数設けられた
直径０．２〜８■鵬、好ましくは０．５〜３ｍｎ＋のノ
ズルからゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ａＪ、好ましく
は０．５〜２．５ｋｇ／ａｌｔで水を噴射させ、ノズル
がら１０〜１５０ｃ＋ａはなれた水噴射装置内部の側部
に衝突させてきわめて多数の超微細水滴を発生させ、こ
こに空気導入管より空気を送り、粒径０．５ミクロン以
下の超微細水滴を１立方フィート当り２００万個以上、
好ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万
個以上含有する空気を得る超微細水滴製造装置、及び、
超微細水滴含有空気送出管からなる室内清浄化装置に関
するものである。1. The present invention provides a large number of indoor air suction pipes and injection pipes installed in the center of the water injection device with a diameter of 0.2 to 8mm, preferably 0.5 to 3mm. Water is injected from the nozzle at a gauge pressure of 0.3 to 5.5 kg/aJ, preferably 0.5 to 2.5 kg/alt, and is caused to collide with the side inside the water injection device that is 10 to 150c+a away from the nozzle. A large number of ultra-fine water droplets are generated, and air is sent through the air introduction pipe to generate more than 2 million ultra-fine water droplets with a particle size of 0.5 microns or less per cubic foot.
An apparatus for producing ultrafine water droplets that produces air containing preferably 5 million or more, more preferably 10 million or more, and
This invention relates to an indoor cleaning device comprising an air delivery pipe containing ultrafine water droplets.

本発明においては、水噴射装置内の噴射管に多数設けら
れた直径０．２〜８−騰、好ましくは０．５〜３ｍｍの
ノズルからゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ａ１、好まし
くｔｔ　ｏ、ｓ〜２．５ｋｇ／ｃｍ２で水を噴射させ、
ノズルがら１゜〜１５０ｃｍはなれた側部に衝突させて
きわめて多数の超微細水滴を発生させここに空気を送り
、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴を空気１立方フ
ィート当り２００万個以上、好ましくは５００万個以上
、より好ましくは１０００万個以上含有する空気を得る
ことを必須要件としている。In the present invention, a gauge pressure of 0.3 to 5.5 kg/a1, preferably tt, is applied from a number of nozzles with a diameter of 0.2 to 8 mm, preferably 0.5 to 3 mm, provided in the injection pipe in the water injection device. Inject water at o, s ~ 2.5 kg/cm2,
A very large number of ultra-fine water droplets are generated by colliding with the side 1° to 150 cm away from the nozzle, and air is sent there, producing more than 2 million ultra-fine water droplets with a particle size of 0.5 microns or less per cubic foot of air. , preferably 5 million or more, more preferably 10 million or more.

すなわち、本発明においては、水噴射装置内の噴射管に
は多数の、例えば３０ケ〜１５００ケの直径０．２〜８
＋ｍｓ＋、好ましくは０．５〜３■−のノズルが設けら
れる。水は高い圧力でポンプによって送られ、ゲージ圧
０．３〜５．５ｋｇ／ａＪ、好ましくは０．５〜２．５
ｋｇ／ａ１１で水を各ノズルから噴射させるが水の量は
１ケのノズル当り１〜３７ｍ／分もの大量の水が噴射さ
れる。水はノズルから１０〜１５０ｃ園はなれた側壁に
衝突させてきわめて多数の超微細水滴を発生させるが、
ここに空気を風速１５〜５０ｍ／ｓｅｃ程度で風量３〜
３０００　ｒｒｒ／ｗｉｎの目安で送り込み１粒径０．
５ミクロン以下の超微細水滴を１立方フィート当り２０
０万個以上、好ましくは５００万個以上、より好ましく
は１０００万個以上含有する空気を得るものである。That is, in the present invention, the injection pipe in the water injection device has a large number of pipes, for example, 30 to 1500 pipes with a diameter of 0.2 to 8.
+ms+, preferably 0.5 to 3 .mu.m- nozzles are provided. The water is pumped at high pressure, with a gauge pressure of 0.3-5.5 kg/aJ, preferably 0.5-2.5
Water is injected from each nozzle at a rate of 11 kg/a, and a large amount of water is injected from 1 to 37 m/min per nozzle. The water collides with the side wall 10 to 150 meters away from the nozzle, generating an extremely large number of ultra-fine water droplets.
Air is pumped here at a wind speed of 15 to 50 m/sec and a volume of 3 to 50 m/sec.
As a guideline of 3000 rrr/win, one particle size of 0.
20 ultra-fine water droplets of 5 microns or less per cubic foot
The purpose is to obtain air containing 00,000 or more, preferably 5,000,000 or more, more preferably 10,000,000 or more.

次に、本発明方法を実施するための装置の数例を図示し
た図面を参照しながら１本発明方法を詳述する。Next, one method of the present invention will be described in detail with reference to the drawings, which illustrate several examples of apparatus for carrying out the method of the present invention.

先ず第１図を参照されたい、この装置は、本発明を実施
するための最も基礎的なものであって、水噴射装置１の
壁近くに噴射管２を設け、これには多数の水噴射ノズル
３を設ける。これらのノズル３は、対向する側面に設け
たノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対す
るノズルを直線上に配置しないようにするのがよい、ノ
ズルは３０ケ〜１５００ケ設けられ、直径は０．２〜８
ｍｍ、好ましくは０．５〜３＋ｕ＋で、水はゲージ圧０
．３〜５．５ｋｇ／ｃ１１゜好ましくは０．５〜２．５
ｋｇ／ｃｍ２で１０〜１５０ｃｍはなれた向うの壁に噴
射される。First of all, please refer to FIG. 1. This device is the most basic one for implementing the present invention, and a water injection device 1 is provided with an injection pipe 2 near the wall, which includes a large number of water injections. A nozzle 3 is provided. These nozzles 3 are preferably arranged alternately with a slight shift from the positions of the nozzles provided on the opposing sides, so that the opposing nozzles are not arranged in a straight line.30 to 1500 nozzles are provided. , diameter is 0.2~8
mm, preferably 0.5 to 3+u+, water at gauge pressure 0
．． 3-5.5kg/c11゜preferably 0.5-2.5
kg/cm2 and is sprayed onto the opposite wall 10 to 150 cm away.

噴射された水は、対向する側面に衝突して超微細水滴と
なり、水噴射装置１内はこの超微細水滴で充満される。The jetted water collides with the opposing side surfaces and becomes ultrafine water droplets, and the inside of the water injection device 1 is filled with these ultrafine water droplets.

水噴射装置ｌｌ内には送入口４がら空気を風速１５〜５
０ｍ／ｓｅｅ程度、風量３〜３０００ｎ？／■ｉｎ程度
で送り込み、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴を１
立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５００万
個以上、より好ましくは１０００万個以上含有する空気
とし、これを送出口５から取出す。Inside the water injection device ll, air is pumped through the inlet 4 at a wind speed of 15 to 5.
About 0m/see, air volume 3~3000n? /■in, and ultrafine water droplets with a particle size of 0.5 microns or less are
The air contains 2 million or more particles per cubic foot, preferably 5 million or more, more preferably 10 million or more, and is taken out from the outlet 5.

送出口５を出た超微細水滴を含む空気は大きな水滴を含
むことがあるので、サイクロン６の接線方向大ロアから
サイクロン６に送入し、大きな水滴を除去して送気管８
から取り出すものである。取り出された超微細水滴を含
む空気はそれぞれの室に送って、水噴射装置に帰し、循
環させるものである。Since the air containing ultrafine water droplets leaving the outlet 5 may contain large water droplets, it is fed into the cyclone 6 from the tangential large lower part of the cyclone 6 to remove large water droplets and then passed through the air pipe 8.
It is taken out from. The extracted air containing ultrafine water droplets is sent to each chamber, returned to the water injection device, and circulated.

第４図乃至第９図は、更に効率よく、しかも温度コント
ロールした超微細水滴浮遊気体を製造するための装置で
ある。FIGS. 4 to 9 show an apparatus for producing gas suspended in ultrafine water droplets more efficiently and with temperature control.

水噴射装置４０の円筒部４１内には、冷凍装置の蒸発管
４７が配置されている。蒸発管４７とノズル４５との位
置関係は、相互に完全にずらしてもよいし。In the cylindrical portion 41 of the water injection device 40, an evaporation pipe 47 of the refrigeration device is arranged. The positional relationship between the evaporation tube 47 and the nozzle 45 may be completely shifted from each other.

また少しずらしてもよく、また噴射ノズル４５からの水
が蒸発管４７に対して垂直に噴射状態で吹き付けられる
ように配置されている。ノズルは３０ケ〜ｔｓｏｏケ程
度設けられ、直径は０．２〜８ｍｍ、好ましくは０．５
〜３■で、水はゲージ圧０．３〜５　、５ｋｇ／　ｃｔ
ｌ、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ａＪで、水の量は
１ケのノズル当り１〜３Ｑ／分の量で噴射される。ノズ
ルから側壁までは１０〜１５０ｃｍはなして設けられる
。水噴射装置の円錐部５１の下端部には、濾過袋！４８
、水タンク４９、ポンプ５０が順次設けられている。従
って、冷水は矢印Ｂの方向、すなわちポンプ５０、循環
管４６、噴射管４４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５
１、濾過装置４８、水タンク４９、ポンプ５０、の順序
で循環させられる。冷媒、特に高温冷媒（１℃〜−５℃
）は、矢印Ｃの方向に蒸発管４７内を循環する。空気は
、矢印Ａの方向にしたがって入口４２を通って水噴射装
置内に送り込まれ、水噴射装置内で超微細水滴を含有す
ると同時に冷却されて目的とする空気となり出口管４３
を通ってそれぞれの目的に使用される。噴射管４４に設
けたノズル４５からゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ１０Ｊ
、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ａｌで水を噴射させ
、ノズルから１０〜１５０ｃ＋ａはなれた冷凍装置の蒸
発管４７及び／又は円筒部４１の側壁に衝突せしめると
（Ｅ）、超微細水滴が発生しくそれとともに、蒸発管４
７と衝突した水流はこの管４７内を通る冷媒と熱交換を
行い、冷却される）、且つ水滴は冷却される。このよう
な雰囲気中空気を風速１５〜５０ｍ／ｓｅｅ程度で風量
３〜３０００ｍ／ｗｉｎの目安で矢印Ａにしたがって通
過せしめると、この空気は超微細水滴を含有するととも
に冷却された水滴と熱交換を行ってそれ自体は冷却され
、０．５ミクロン以下の超微細水滴を１立方フィート当
り２００万個以上、好ましくは５００万個以上、より好
ましくは１０００万個以上含有する空気とするものであ
る。この際、空気の循環による遠心作用により実質的に
０．５ミクロンより大きいものは分離されている。必要
によっては、サイクロンで除水滴することもできる。Alternatively, it may be slightly shifted, and the water from the injection nozzle 45 is arranged so as to be sprayed perpendicularly to the evaporation tube 47. Approximately 30 to 20 nozzles are provided, and the diameter is 0.2 to 8 mm, preferably 0.5 mm.
~3■, water gauge pressure 0.3~5, 5kg/ct
1, preferably 0.5 to 2.5 kg/aJ, and the amount of water injected is 1 to 3 Q/min per nozzle. The distance from the nozzle to the side wall is 10 to 150 cm. At the lower end of the conical part 51 of the water injection device is a filtration bag! 48
, a water tank 49, and a pump 50 are provided in this order. Therefore, the cold water flows in the direction of arrow B, i.e. pump 50, circulation pipe 46, injection pipe 44, cylindrical part 41 of the water injector, conical part 5
1. The water is circulated in the following order: filtration device 48, water tank 49, and pump 50. Refrigerants, especially high temperature refrigerants (1℃~-5℃
) circulates within the evaporation tube 47 in the direction of arrow C. Air is fed into the water injection device through the inlet 42 according to the direction of arrow A, contains ultrafine water droplets in the water injection device, and is simultaneously cooled and becomes the target air through the outlet pipe 43
used for their respective purposes. Gauge pressure of 0.3 to 5.5 kg 10 J from the nozzle 45 provided in the injection pipe 44
When water is injected, preferably at a rate of 0.5 to 2.5 kg/al, and is made to collide with the side wall of the evaporation tube 47 and/or cylindrical portion 41 of the refrigeration device located 10 to 150 c+a away from the nozzle (E), ultrafine water droplets are formed. occurs, and along with that, the evaporator tube 4
The water flow that collides with the tube 47 exchanges heat with the refrigerant passing through the tube 47 and is cooled), and the water droplets are cooled. When air in such an atmosphere is passed in the direction of arrow A at a wind speed of about 15 to 50 m/see and an air volume of 3 to 3,000 m/win, this air contains ultrafine water droplets and exchanges heat with the cooled water droplets. The air itself is cooled and contains at least 2 million, preferably at least 5 million, and more preferably at least 10 million ultrafine water droplets of 0.5 microns or less per cubic foot. At this time, particles larger than 0.5 microns are substantially separated by centrifugal action due to air circulation. If necessary, water can be removed using a cyclone.

第７図は、本発明方法を６４キロビットＲＡＭ量産工場
に対して実際に適用するためのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがって、水噴射
器［４０で製造された超微細水滴浮遊空気は、矢印Ａに
したがって除滴サイクロン並に送り込まれる。すなわち
観から出てきた気体は、除滴サイクロン利の側壁に切線
方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中を
循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して０
．５μ以下の超微細水滴を９０％以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン並の中央部に設けた出口管から
これを取り出す。FIG. 7 is a schematic diagram showing a total system for actually applying the method of the present invention to a 64 kilobit RAM mass production factory. According to the above, the ultrafine water droplet suspended air produced by the water injector [40] is fed into the drip removing cyclone according to arrow A. In other words, the gas coming out of the cyclone enters the inside of the cyclone through an inlet provided in the tangential direction on the side wall of the drip removing cyclone, and while circulating inside the cyclone, excess water droplets and large water droplets are removed.
．． A gas containing 90% or more of ultra-fine water droplets of 5 microns or less is prepared and taken out from an outlet pipe installed in the center of a cyclone.

このようにして取り出された超微細水滴浮遊空気は、実
質的に０．５ミクロンより大きいものを除くためにフィ
ルターＦを有するパイプＰを通ってエアーシャワールー
ム並に送られて、更には隣接する超クリーンルームＵで
作業する人々の洗滌を行なう、また上記超微細水滴浮遊
空気の一部は、直接超クリーンルームＵに送に送られて
、室内に塵埃を含まない清浄化した空気を送入するとと
もにＬＳＩに用いるシリコン板の洗滌にもこれを使用す
る。超クリーンルームｎで使用された空気は、そこから
取り出し、パイプＰ、ファンＦを介して水噴射装置組へ
戻し、このサイクルをくり返すのである。この方法によ
れば、超クリーンルーム内には１立方フイートの空間に
０．５μ以上の塵はわずか１個未満しかないという超ク
リーンな状態に保たれていることが判明した。ちなみに
、通常の工場では数万個の塵埃が浮遊しており、このこ
とからも、本発明による方法がいかにすぐれているかが
判るはずである。The ultrafine water droplets suspended in the air taken out in this way are sent to the same air shower room through a pipe P having a filter F to remove particles larger than 0.5 microns, and further to an adjacent air shower room. The people working in the ultra-clean room U are washed, and a part of the air suspended in ultra-fine water droplets is sent directly to the ultra-clean room U, and clean air that does not contain dust is introduced into the room. This is also used to clean silicon plates used in LSIs. The air used in the ultra-clean room n is taken out from there and returned to the water injection device set via the pipe P and fan F, and this cycle is repeated. According to this method, it has been found that the ultra-clean room can be maintained in an ultra-clean state with less than one particle of dust larger than 0.5 microns per cubic foot of space. Incidentally, tens of thousands of pieces of dust are floating in a typical factory, and this fact should show how superior the method according to the present invention is.

また、第８図及び第９図に示されるように、除滴サイク
ロン並の次に熱交換器里を設け、これに超微細水滴浮遊
気体を通すことによって、空気を最適温度に上昇させる
ことができるものである。In addition, as shown in Figures 8 and 9, a heat exchanger is installed next to the drip removal cyclone, and by passing gas suspended in ultrafine water droplets through this, it is possible to raise the air to the optimum temperature. It is possible.

熱交換器１００は次に説明される。即ち、缶体１０１の
中心部には空気排出管１０５を上下方向に設けてあり、
管体１０１外に設けた空気導管１０５′と連通ずる。Heat exchanger 100 will now be described. That is, an air exhaust pipe 105 is provided in the vertical direction in the center of the can body 101.
It communicates with an air conduit 105' provided outside the tube body 101.

従って、空気取入管１０４よりの空気は缶体１０１内を
旋回しながら下方に達し空気排出管１０５の下部より上
昇して矢印方向に移動することになる。又管体１０１の
内部には外側配管１０６及び内側配管１０７を設けてあ
り、各配管１０６．１０７の下端は缶体１０１外に設け
たポンプ１０８と連通し、温水又は冷水を流通させ上部
排水口１０９．１１０より排水せられる。管内１０１の
上部及び下部には洗滌木管１１１の水噴出口１１１ａ、
１ｌｌｂ・・・を多数設けてあり、配管１０６及び配管
１０７の上下列の上方又は下方に望ませ、配管１０６゜
１０７及び缶体１０１の内面、空気排出管１０５の外面
に向けて洗滌水を噴出できるようにしである。又コーン
部１０２の下方には、排水管１１２′が設けられており
１缶内の洗滌水又は気体泳動によるドレイン等が排水で
きるようにしである。従って空気取入口１０４よりの空
気は缶１０１内でサイクロン効果によりごみ等を分離し
、配管１０６．１０７により適温に加熱又は冷却され、
適温となった空気は空気排出管１０５より送出される。Therefore, the air from the air intake pipe 104 reaches the lower part while swirling inside the can body 101, rises from the lower part of the air exhaust pipe 105, and moves in the direction of the arrow. Also, inside the pipe body 101, an outer pipe 106 and an inner pipe 107 are provided, and the lower ends of each pipe 106 and 107 communicate with a pump 108 provided outside the can body 101, allowing hot or cold water to flow through the upper drain port. The water will be drained from 109.110. Water spouts 111a of the cleaning wood pipe 111 are provided at the upper and lower parts of the pipe 101,
A large number of 1llb... are installed above or below the upper and lower rows of pipes 106 and 107, and spray cleaning water toward the pipes 106 and 107, the inner surface of the can body 101, and the outer surface of the air exhaust pipe 105. It is possible to do so. Further, a drain pipe 112' is provided below the cone portion 102 so that cleaning water or drain caused by gas migration in one can can be drained away. Therefore, the air from the air intake port 104 is separated from dust by the cyclone effect in the can 101, and heated or cooled to an appropriate temperature by the pipes 106 and 107.
The air that has reached an appropriate temperature is sent out from the air exhaust pipe 105.

又分離したごみ等は洗滌水管１１１に通水し、ノズル１
ｌｌａ、１ｌｌｂ・・・より噴水させることにより洗い
去ることができるものである。In addition, the separated waste is passed through the washing water pipe 111, and the water is passed through the nozzle 1.
lla, 1llb... can be washed away by using a water fountain.

このように処理された空気はほぼ完全に０．５ミクロン
以下の超微細水滴を多量浮遊した状態となっているので
、これを用いて室内を処理することによってあらゆる物
を清浄化することができるのである。The air treated in this way is almost completely made up of a large amount of ultra-fine water droplets of 0.5 microns or less suspended, so by using this to treat the room, you can clean everything. It is.

次に、本発明の別の実施態様を示す。Next, another embodiment of the present invention will be shown.

第１０図を参照されたい。図中２０１は、研究室、事務
所、実験室、オフィス等の室（図示省略）内。Please refer to FIG. In the figure, 201 is a room (not shown) such as a laboratory, office, laboratory, or office.

の空気の清浄化装置を示す。２０８は空気吸引管である
。２０３は、水噴射装置すなわち熱交換用サイクロンで
あり、該サイクロン２０３内には、冷凍機の蒸発管２３
０が配置されており、その円筒部２３１上部に空気人口
２３２が接線方向に設けられている。This shows an air purification device. 208 is an air suction pipe. 203 is a water injection device, that is, a heat exchange cyclone, and inside the cyclone 203 is an evaporation tube 23 of a refrigerator
0 is arranged, and an air population 232 is provided in the tangential direction above the cylindrical portion 231.

円筒部２３１の中央には上方から出口管２１１が下方に
伸長して設けられ、出口管２１１にはそれと同軸に冷水
噴射管２１２が出口管２１１を囲んで配置されている。An outlet pipe 211 is provided in the center of the cylindrical portion 231 extending downward from above, and a cold water injection pipe 212 is disposed coaxially with the outlet pipe 211 to surround the outlet pipe 211.

噴射管２１２には噴射ノズル２１３が多数設けられてい
る。蒸発管２３０と噴射ノズル２１３との位置関係は噴
射ノズル２１３からの水が蒸発管２３０及び／又は円筒
部内壁に対して噴射状態で吹き付けられて超微細な水滴
が形成されるように配置されている。A large number of injection nozzles 213 are provided in the injection pipe 212 . The positional relationship between the evaporation tube 230 and the injection nozzle 213 is such that the water from the injection nozzle 213 is sprayed against the evaporation tube 230 and/or the inner wall of the cylindrical portion to form ultrafine water droplets. There is.

更に、出口管２１１の上方にはファン２０６が配置され
ており、出口管２１１内の空気を吸引し、空気の流れ、
を促進している。サイクロン２０３の円錐部２３３の・
下端部には水タンク２０５、ポンプ２１７が設けられて
いる。従って、冷水は矢印Ｂの方向、すなわち、ポンプ
２１７→給水管２１４→噴射管２１２→サイクロン２０
３の円筒部２３１→その円錐部２３３→水タンク２０５
→濾過装置２１６→ポンプ２１７の順序で循環させられ
る。Furthermore, a fan 206 is disposed above the outlet pipe 211 to suck the air inside the outlet pipe 211 and improve the air flow.
is promoting. of the conical part 233 of the cyclone 203.
A water tank 205 and a pump 217 are provided at the lower end. Therefore, the cold water flows in the direction of arrow B, that is, pump 217 → water supply pipe 214 → injection pipe 212 → cyclone 20
3 cylindrical part 231 → its conical part 233 → water tank 205
It is circulated in the order of →filtration device 216 →pump 217.

冷媒、特に高温冷媒（約１℃〜−５℃）は矢印Ｃの方向
、すなわち冷凍機（図示省略）→冷却供給管２０９→蒸
発管２３０→冷却排出管２１０→冷凍機の順序で循環さ
せられる。Refrigerant, especially high temperature refrigerant (approximately 1°C to -5°C), is circulated in the direction of arrow C, that is, in the order of refrigerator (not shown) → cooling supply pipe 209 → evaporation pipe 230 → cooling discharge pipe 210 → refrigerator. .

２０４は加熱調湿チャンバであり、該チャンバ２０４は
熱交換用サイクロン２０３の外周に配置されている６図
面では、熱交換用サイクロン２０３の出口管２１１から
排出された空気を下方に送り出すための環状空気通路２
１５がチャンバ２０４とサイクロン２０３との間に配置
されている。更に、環状空気通路２１５と加熱調湿チャ
ンバ２０４との間は断熱筒状体２０２によって仕切られ
ており、熱交換用サイクロン２０３及び環状空気通路２
１５と加熱調湿チャンバ２０４との間での熱の伝導を阻
止している。加熱調湿チャンバ２０４には換気扇２３４
が設けられ、加熱調湿空気を別室に送ることができるよ
うになっている。加熱調湿チャンバ２′ｏ４及び熱交換
用サイクロン２０３には内部の洗浄のために洗浄管２０
７が設けられている。加熱調湿チャンバ２０４内には加
熱管２１８が配置されており、加熱管２１８は冷凍機（
図示省略）の放熱管、ヒータ等の適当な加熱源に加熱供
給管２１９及び加熱排出管２２０を介して連絡されてい
る。Reference numeral 204 denotes a heating and humidity control chamber, and the chamber 204 is arranged around the outer periphery of the heat exchange cyclone 203. air passage 2
15 is located between chamber 204 and cyclone 203. Furthermore, the annular air passage 215 and the heating and humidity control chamber 204 are partitioned by a heat insulating cylindrical body 202, and the heat exchange cyclone 203 and the annular air passage 2
15 and the heating and humidity control chamber 204. A ventilation fan 234 is provided in the heating and humidity control chamber 204.
is installed so that heated and humidified air can be sent to a separate room. A cleaning pipe 20 is installed in the heating and humidity control chamber 2'o4 and the heat exchange cyclone 203 for internal cleaning.
7 is provided. A heating tube 218 is arranged inside the heating and humidity control chamber 204, and the heating tube 218 is connected to a refrigerator (
It is connected to a suitable heat source such as a heat radiation pipe or a heater (not shown) via a heating supply pipe 219 and a heating discharge pipe 220.

図中、　２２５．２２７．２２８はバルブを示し、矢印
Ａは空気の流れ方向を示し、矢印Ｂは冷却水の流れ方向
を示し、矢印Ｃは冷媒の流れ方向を示し、矢印Ｄは加熱
流体の流れ方向を示す。In the figure, 225.227.228 indicates a valve, arrow A indicates the flow direction of air, arrow B indicates the flow direction of cooling water, arrow C indicates the flow direction of coolant, and arrow D indicates the flow direction of heating fluid. Indicates flow direction.

第１１図は、第１０図の清浄化装置を更に改良した装置
を図示したものであり、冷凍機Ｒをヒートポンプとして
利用し、その冷却及び加熱システムを有効利用するのみ
でなく、放熱管の少なくとも一部１例えば加熱供給管２
１９の少なくとも一部を室の壁部Ｗから外部へ出して加
熱媒体を効率よく冷却するようにしたものである。特に
夏期のように室内の温度が高い場合には、出口管２１１
から排出される過湿空気を加熱調湿チャンバ２０４で処
理するに際して、強く加熱する必要はなく、単に除湿す
るに足りるだけ加熱すれば充分であるので、加熱供給管
２１９の少なくとも一部を戸外に出して冷却して、室内
に排出される空気の温度上昇を抑え。FIG. 11 shows a device that is a further improvement of the cleaning device shown in FIG. Part 1 For example heating supply pipe 2
At least a portion of the heating medium 19 is brought out from the wall W of the chamber to efficiently cool the heating medium. Especially when the indoor temperature is high, such as in the summer, the outlet pipe 211
When treating the superhumidified air discharged from the heating and humidity control chamber 204, there is no need to strongly heat it, and it is sufficient to simply heat it enough to dehumidify it. It cools the air and suppresses the rise in temperature of the air exhausted into the room.

室温の上昇をくい止め、空調効率を高めるのである。冷
却効率を更に高めるために、ファンＳを設けてもよい。This prevents the rise in room temperature and increases air conditioning efficiency. A fan S may be provided to further improve cooling efficiency.

次に、上記清浄化装置２０１の作用について説明する。Next, the operation of the cleaning device 201 will be explained.

室の空気は空気吸引管２０８から入り入口２３２より水
噴射装置（熱交換用サイクロン）２０３内に吹き込まれ
る。吹き込まれた空気は冷水の噴射により飽和相対湿度
にされると共に冷凍機Ｒの蒸発管２３０に直接接触して
冷却され、それと同時に超微細水滴が含有させられる。Air in the chamber enters through the air suction pipe 208 and is blown into the water injection device (cyclone for heat exchange) 203 through the inlet 232. The blown air is made to have a saturated relative humidity by jetting cold water, is cooled by direct contact with the evaporation pipe 230 of the refrigerator R, and at the same time contains ultrafine water droplets.

本発明においては、噴射ノズル２１３は直径０．２〜８
ｍｍ、好ましくは０．５〜３＠１で、３０〜１５００ケ
設けられ水をゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ａＪ、好ま
しくは０．５〜２．５ｋｇ／−で各ノズルから噴射させ
るが水の量は１ケのノズル当り１〜３Ｑ１分もの大量の
水が噴射される。水はノズルから１０〜１５０ｃ＋＋＋
はなれた側部に衝突させてきわめて多数の超微細水滴を
発生させるが、ここに空気導入管より空気を風速１５〜
５０ｍ／ｓｅｃ程度で風量３〜３ＱＯＱボ／ｍｉｎの目
安で送り込み、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴を
１立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５００
万個以上、より好ましくは１０００万個以上含有する空
気を得るものである。In the present invention, the injection nozzle 213 has a diameter of 0.2 to 8
mm, preferably 0.5 to 3@1, 30 to 1500 nozzles are provided and water is injected from each nozzle at a gauge pressure of 0.3 to 5.5 kg/aJ, preferably 0.5 to 2.5 kg/-. However, a large amount of water is sprayed for 1 to 3Q1 minutes per nozzle. Water is 10~150c+++ from the nozzle
A very large number of ultra-fine water droplets are generated by colliding with the separated side, and air is introduced from the air introduction pipe at a wind speed of 15~
The airflow rate is approximately 50m/sec with an air volume of 3 to 3QOQ/min, and ultra-fine water droplets with a particle size of 0.5 microns or less are delivered per cubic foot of at least 2 million, preferably 500.
The purpose is to obtain air containing 10,000 or more, more preferably 10,000,000 or more.

このようにして超微細水滴を生成し、蒸発管によって冷
却されかつほぼ飽和相対湿度にされた空気（例えば、約
７℃、湿度約１００％）は出口管２１１より送り出され
る。送り出された空気はファン２０６の作用により空気
の流れを促進され、環状空気通路２１５に送込まれ、下
方に向って流される。In this way, ultrafine water droplets are generated, and the air, which is cooled by the evaporation tube and brought to approximately saturated relative humidity (for example, about 7° C. and about 100% humidity), is sent out from the outlet tube 211. The flow of the sent air is promoted by the action of the fan 206, and is sent into the annular air passage 215, where it is flowed downward.

熱交換用サイクロン２０３において空気の温度、湿度は
蒸発管２３０すなわち冷却機能の螺旋管及び噴霧する水
の温度によって調節されることは勿論である。環状空気
通路２１５を通って下方に進んだ空気はその下部に設け
られた連絡路２２１を通って加熱調湿チャンバ２０４に
送込まれる。連絡路２２１は断熱筒状体２０２の下部が
切欠かれることによって形成されている。加熱調湿サイ
クロン２０４に吹き込まれた空気は螺旋状の加熱管２１
８によって加熱される（例えば、約２０℃、湿度約６０
％）、このようにして、所定の温度及び所定の湿度に調
温調湿され、かつ超微細水滴を含む空気は空気送出管２
２２を通って室内へと送り込まれる。上記のようにして
室内の空気は循環させられるのである。Of course, the temperature and humidity of the air in the heat exchange cyclone 203 are adjusted by the evaporation pipe 230, that is, the spiral pipe with a cooling function, and the temperature of the water to be sprayed. The air that has proceeded downward through the annular air passage 215 is sent into the heating and humidity control chamber 204 through a communication passage 221 provided at its lower part. The communication path 221 is formed by cutting out the lower part of the heat insulating cylindrical body 202. The air blown into the heating and humidity control cyclone 204 is passed through the spiral heating tube 21.
8 (e.g., about 20°C, humidity about 60°C)
%) In this way, the temperature and humidity are controlled to a predetermined temperature and humidity, and the air containing ultrafine water droplets is sent to the air delivery pipe 2.
It is sent into the room through 22. The indoor air is circulated as described above.

また、夏期等気温が高い季節においては、加熱チャンバ
２０４の加熱管２１＆に高温の加熱流体を流すと、出口
管２１１から排出される多湿空気の除湿のみでなく空気
自体が加温されてしまい、室内の気温が過度に上昇する
。そこでこの点を解決するために、第１１図に示したよ
うに、冷凍機Ｒからの加熱供給管２１９の一部を戸外に
出して、その中を通る加熱流体の温度を低下せしめ、空
調効率を更に高めることに成功したのである。そして更
に必要ある場合には、ファンＳを回転させて更に冷却効
果を高めるようにしてもよい。Furthermore, in seasons with high temperatures such as summer, when high temperature heating fluid is flowed through the heating pipe 21 & of the heating chamber 204, not only the humid air discharged from the outlet pipe 211 is dehumidified, but the air itself is heated. The indoor temperature rises excessively. Therefore, in order to solve this problem, as shown in Fig. 11, a part of the heating supply pipe 219 from the refrigerator R is exposed outside to lower the temperature of the heating fluid passing through it, thereby increasing the air conditioning efficiency. We succeeded in further increasing this. If necessary, the fan S may be rotated to further enhance the cooling effect.

更に、本発明の別の実施態様を示す。Furthermore, another embodiment of the present invention is shown.

第１２１！ｌを参照されたい０図中３０１は清浄化装置
全体を表わしているが、以下掃除機として説明する。３
０８の汚れた空気の吸入管には、ホース３５０を連結す
る。ホース３５０には可撓部３５１、先端部３５２を設
けて、ホース先端部が自由に動けるようにしておく、ホ
ースの内部にはフィルター３５３を固着又は着脱自在に
取りつけるとともに、粗大な塵を収納する容器３５４を
固着又は着脱自在に設ける。121st! 301 in the figure represents the entire cleaning device, which will be described below as a vacuum cleaner. 3
A hose 350 is connected to the dirty air suction pipe 08. The hose 350 is provided with a flexible portion 351 and a distal end 352 so that the distal end of the hose can move freely.A filter 353 is attached to the inside of the hose in a fixed or detachable manner and is used to store coarse dust. The container 354 is provided in a fixed or removable manner.

掃除機３０１　を自由に移動できるよう、キャスター３
５５を着脱自在に取り付ける。Casters 3 are installed so that the vacuum cleaner 301 can be moved freely.
55 is detachably attached.

３０３は、水を噴射して多量の微細水滴を形成せしめる
ための容器であって、水噴射装置をなすものである。こ
の水噴射装置３０３のサイクロン状の円筒部３３１上部
には汚れた空気入口３３２が接線方向に設けられている
。円筒部３３１の中央には上方から出口管３１１が下方
に伸長して設けられ、出口管３１１にはそれと同軸に水
噴射管３１２が出口管３１１を囲んで配置されている。303 is a container for spraying water to form a large amount of fine water droplets, and serves as a water spraying device. A dirty air inlet 332 is provided in the upper part of the cyclone-shaped cylindrical part 331 of this water injection device 303 in the tangential direction. An outlet pipe 311 is provided at the center of the cylindrical portion 331 and extends downward from above, and a water injection pipe 312 is disposed coaxially with the outlet pipe 311 to surround the outlet pipe 311.

噴射管３１２には噴射ノズル３１３が多数設けられてい
る。A large number of injection nozzles 313 are provided in the injection pipe 312 .

出口管３１１の上方にはファン３０６が配置されており
、出口管３１１内の空気を吸引し、空気の流れを促進し
ている。サイクロン３０３の円錐部３３３の下端部には
水タンク３０５、ポンプ３１７が設けられている。A fan 306 is arranged above the outlet pipe 311 to suck air inside the outlet pipe 311 and promote the flow of the air. A water tank 305 and a pump 317 are provided at the lower end of the conical portion 333 of the cyclone 303.

したがって、水は矢印Ｂの方向、すなわち、ポンプ３１
７→給水管３１４→噴射管３１２→水噴射装［！３０３
の円筒部３３１→その円錐部３３３→水タンク３０５→
濾過装置３１６→ポンプ３１７の順序で循環させられる
。Therefore, water flows in the direction of arrow B, i.e. pump 31
7 → Water supply pipe 314 → Injection pipe 312 → Water injection device [! 303
Cylindrical part 331 → Conical part 333 → Water tank 305 →
It is circulated in the order of filtration device 316→pump 317.

３０４は空気流通チャンバであって、水噴射装置３０３
の外周に配置されている６図面では、水噴射装置（以下
、サイクロンとも示す）３０３の出口管１１から排出さ
れた空気を下方に送り出すための環状空気通路３１５が
チャンバ３０４とサイクロン３０３との間に配置されて
いる。更に、環状空気通路３１５とチャンバ３０４との
間は壁部３０２によって仕切られている。304 is an air circulation chamber, and water injection device 303
In Figure 6, an annular air passage 315 for sending air discharged from the outlet pipe 11 of the water injection device (hereinafter also referred to as cyclone) 303 downward is located between the chamber 304 and the cyclone 303. It is located in Further, the annular air passage 315 and the chamber 304 are separated by a wall 302 .

チャンバ３０４にはファン３３４を必要に応じて取り付
け、清浄空気を室に送り出すのを手助している。A fan 334 is optionally attached to the chamber 304 to assist in pumping clean air into the chamber.

３２８は水タンク３０５内の水の取り換え用バルブであ
る。また必要ある場合には、水タンク３０５はカセット
式にして取外し自在にしてもよい。矢印Ａは空気の流れ
方向、及び矢印Ｂは水の流れ方向を示す。328 is a valve for replacing water in the water tank 305. Further, if necessary, the water tank 305 may be made into a cassette type and made removable. Arrow A indicates the direction of air flow, and arrow B indicates the direction of water flow.

次にこの掃除機３０１の作用効果について説明する。Next, the effects of this vacuum cleaner 301 will be explained.

ファン３０６（及び必要に応じて３３４）を回転せしめ
ることによって掃除機３０１の駆動を開始し、ホース先
端部３５２を汚れた個所に当接して、通常の掃除機と同
様に操作し、室内の空気及び／又は汚れた部分を空気と
共に吸引する。大型の塵のフィルタ３５３で捕捉され、
容器３５４に回収される。大きな塵を濾過された空気は
、矢印Ａにしたがってホース３５０を通り、入口管３０
８から入り入口３３２よりサイクロンからなる容器３０
３に吸引される。このようにして吸引された空気は、直
径０．２〜８醜園、好ましくは０．５〜３■園で、３０
〜１５００ケ設けられた水噴射ノズル３１３から、水を
ゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｓｆ。Start driving the vacuum cleaner 301 by rotating the fan 306 (and 334 as necessary), touch the hose tip 352 to a dirty area, operate it in the same way as a normal vacuum cleaner, and remove the air in the room. and/or suctioning the soiled area together with air. It is captured by a large dust filter 353,
It is collected in a container 354. The air that has been filtered from large dust passes through the hose 350 according to arrow A and enters the inlet pipe 30.
Container 30 consisting of a cyclone enters from 8 and enters from entrance 332
I am attracted to 3. The air sucked in this way has a diameter of 0.2 to 8 cm, preferably 0.5 to 3 cm, and a diameter of 30 cm.
~1500 water injection nozzles 313 provide water at a gauge pressure of 0.3~5.5 kg/csf.

好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ａＪで、水の量を１ケ
のノズル当り１〜ｂ 噴射されて生成した微細水滴と接触、混合して、除塵、
除菌されて完全に清浄化され、清浄化と同時に空気中に
は０．５ミクロン以下の超微細水滴が１立方フィート当
り２００万個以上、好ましくは５００万個以上、より好
ましくは１０００万個以上含有せしめられる。Preferably, the amount of water is 0.5 to 2.5 kg/aJ, and the amount of water is 1 to 1 b per nozzle. Contact and mix with the fine water droplets generated to remove dust,
The air is sterilized and completely cleaned, and at the same time, the air contains 2 million or more ultrafine water droplets of 0.5 microns or less per cubic foot, preferably 5 million or more, and more preferably 10 million. or more.

このように清浄化され、超微細水滴を含む空気（例えば
、約７℃、温度約１００％）は、出口管３１１より排出
される。このようにして送り出された空気はファン３０
６の作用はよって空気の流れが促進され、環状空気通路
３１５に送り込まれ、下方に向って流される。サイクロ
ン３０３において空気が清浄化されるだけでなく、噴霧
する水の温度によって温度コントロールされることは勿
論である。環状通気路３１５を通って下方へ進んだ空気
は、その下部に穿設された連絡路３２１を通ってチャン
バ３０４に入る。連絡路３２１は、筒状壁３０２の下端
部を切欠いて形成せしめる。チャンバ３０４に入った空
気は、空気送出管３２２を経て室内に排出される。この
ようにして、室内の汚れた空気、汚れた部分を強力に吸
引し、除塵のみならず除菌をも行ない、清浄化され、超
微細水滴を含む空気を室内に戻し、室内では超微細水滴
が小さな塵や細菌、ビールス等に付着し、重量を増して
物体から遊離し、空気の流れによって、掃除機内に吸込
まれて、室内が清浄化されることになる。The air thus purified and containing ultrafine water droplets (for example, about 7° C., temperature about 100%) is discharged from the outlet pipe 311. The air sent out in this way is sent to the fan 30.
6 thus promotes the flow of air, which is sent into the annular air passage 315 and directed downward. Not only is the air purified in the cyclone 303, but the temperature is of course controlled by the temperature of the sprayed water. The air that has passed downward through the annular air passage 315 enters the chamber 304 through a communication passage 321 bored at the bottom thereof. The communication path 321 is formed by cutting out the lower end of the cylindrical wall 302. Air entering chamber 304 is exhausted into the room via air delivery tube 322. In this way, the dirty air and dirty areas in the room are strongly suctioned, not only dust is removed but also sterilized, and the purified air containing ultra-fine water droplets is returned to the room. It attaches to small dust, bacteria, viruses, etc., increases its weight, becomes detached from the object, and is sucked into the vacuum cleaner by the air flow, cleaning the room.

第１３図は本発明のもう１つのタイプの掃除機に・関す
るものであって、掃除と同時に室内の空調機能をも兼備
した高性能掃除機に関するものである。FIG. 13 relates to another type of vacuum cleaner according to the present invention, which is a high-performance vacuum cleaner that has both cleaning and indoor air conditioning functions.

第１３図を参照されたい、第１３図に示される掃除機は
第１２図との関連において示されている。冷凍機Ｒを付
設し、冷凍サイクルにおける加温、冷却システムを有効
に利用することによって、第１２図の装置において排出
される空気を除湿し、且つ温度コントロールも同時に行
なうことのできる改良型掃除機である。（なお第１３図
において、図面簡素化のために、第１２図と相違する部
分にのみ参照番号を付し、且つバルブ３２８は図示しな
かった。）容器、すなわちサイクロン３０３の円筒部３
３１の内壁には冷凍機Ｒの蒸発管３３０がラセン状その
他適宜の形態で配設されている。蒸発管３３０と噴射ノ
ズル３１３との位置関係は、噴射ノズル３１３からの水
が蒸発管３３０に対して噴霧又は噴射状態で吹き付けら
れるように、配置しておく、噴霧又は噴射された水は冷
媒を通した蒸発管３３０と接触して冷却され、入口３０
８から入ってきた空気も同じく蒸発管３３０に接し、あ
るいは上記によって熱交換された冷水と接して、結局冷
却されるので、サイクロン３０３は熱交換用サイクロン
の働きもすることになる。冷媒、特に高温冷媒（約１℃
〜−５℃）は矢印Ｃの方向、すなわち冷凍機Ｒ→冷却供
給管３０９→蒸発管３３０→冷却排出管３１０→冷凍機
の順序で循環させられる。Referring to FIG. 13, the vacuum cleaner shown in FIG. 13 is shown in relation to FIG. An improved vacuum cleaner that can dehumidify the air discharged from the device shown in Fig. 12 and control the temperature at the same time by attaching a refrigerator R and effectively utilizing the heating and cooling system in the refrigeration cycle. It is. (In FIG. 13, in order to simplify the drawing, only reference numbers are given to parts that are different from those in FIG. 12, and the valve 328 is not shown.)
On the inner wall of 31, an evaporation pipe 330 of the refrigerator R is arranged in a spiral shape or other suitable shape. The positional relationship between the evaporation pipe 330 and the injection nozzle 313 is such that the water from the injection nozzle 313 is sprayed or sprayed onto the evaporation pipe 330.The sprayed or sprayed water contains refrigerant. The inlet 30 is cooled by contacting the evaporation tube 330 passed through
The air coming in from 8 also comes into contact with the evaporation tube 330 or with the cold water heat exchanged as described above, and is eventually cooled, so the cyclone 303 also functions as a heat exchange cyclone. Refrigerants, especially high temperature refrigerants (approximately 1°C
-5° C.) is circulated in the direction of arrow C, that is, in the order of refrigerator R → cooling supply pipe 309 → evaporation pipe 330 → cooling discharge pipe 310 → refrigerator.

３０４は加熱調湿チャンバであり、該チャンバ３０４は
熱交換用サイクロン３０３の外周に配置されている０図
面では、熱交換用サイクロン３０３の出口管３１１から
排出された空気を下方に送り出すための環状空気通路３
１５がチャンバ３０４とサイクロン３０３との間に配置
されている。更に、環状空気通路３１５と加熱調湿チャ
ンバ３０４との間は断熱筒状体３０２によって仕切られ
ており、熱交換用サイクロン３０３及び環状空気通路３
１５と加熱調湿チャンバ３０４との間での熱の伝導を阻
止している。加熱調湿チャンバ３０４には換気扇３３４
が設けられ、加熱調湿空気を別室に送ることができるよ
うになっている。加熱調湿チャンバ３０４及び熱交換用
サイクロン３０３には内部の洗浄のために洗浄管を設け
てもよい、加熱調湿チャンバ３０４内には加熱管３１８
が配置されており、加熱管３１８は冷凍機Ｒ′の放熱管
からなる加熱源に加熱供給管３１９及び加熱排出管３２
０を介して連絡されている。矢印Ａは空気の流れ方向を
示し、矢印Ｂは冷却水の流れ方向を示し、矢印Ｃは冷媒
の流れ方向を示し、矢印りは加熱流体の流れ方向を示す
。304 is a heating and humidity control chamber, and the chamber 304 is arranged around the outer periphery of the heat exchange cyclone 303. In the drawing, the chamber 304 is an annular chamber for sending the air discharged from the outlet pipe 311 of the heat exchange cyclone 303 downward. air passage 3
15 is located between chamber 304 and cyclone 303. Furthermore, the annular air passage 315 and the heating and humidity control chamber 304 are partitioned by a heat insulating cylindrical body 302, and the heat exchange cyclone 303 and the annular air passage 3
15 and the heating and humidity control chamber 304. A ventilation fan 334 is provided in the heating and humidity control chamber 304.
is installed so that heated and humidified air can be sent to a separate room. A cleaning pipe may be provided in the heating and humidity control chamber 304 and the heat exchange cyclone 303 for cleaning the inside.A heating pipe 318 is provided in the heating and humidity control chamber 304
are arranged, and the heating pipe 318 is connected to the heat source consisting of the heat dissipation pipe of the refrigerator R′, and the heating supply pipe 319 and the heating discharge pipe 32
0. Arrow A indicates the flow direction of air, arrow B indicates the flow direction of cooling water, arrow C indicates the flow direction of coolant, and arrow mark indicates the flow direction of heating fluid.

加熱管３１８の加熱源としては、電気ヒータ、ガスヒー
タ、スチーム等を別途適宜使用できるが、冷凍機Ｒ′の
放熱部を利用すれば、冷凍機１台で冷却と加熱とが同時
に実施でき、非常に経済的であるのみでなく、掃除機自
体をコンパクトにすることができる。As the heating source for the heating tube 318, an electric heater, gas heater, steam, etc. can be used separately as appropriate, but if the heat radiation section of the refrigerator R' is used, cooling and heating can be performed simultaneously with one refrigerator, which can be used in an emergency. Not only is it economical, but the vacuum cleaner itself can be made compact.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は、水噴射装置の１実施例を図示したものであり
、第２図は第１図の装置の中央部を切断したときの断面
図であり、第３図は、除水滴のサイクロンであり、第４
図は、水噴射装置の別の装置を図示したものであり、第
５図は第４図の装置の上部横断面図であり、第６図は第
４図の装置の中央部を切断したときの断面図であり、そ
して第７図は、実際の半導体製造工場において適用した
場合のトータルシステムを模式的に図示したものである
。また、第８図は超微細水滴製造装置のあとにつけるこ
とのできる熱交換器を示す図で、第９図はその上部横断
面図である。 １．４０・・・水噴射装置 ３．４５・・・ノズル ４３・・・超微細水滴浮遊気体出口管 ５０・・・除滴サイクロン ６０・・・エアーシャワールーム ７０・・・超クリーンルーム １００・・・熱交換器 第１Ｏ図は本発明による清浄化装置の概略図であり、第
１１図はこれを室内に取り付けたときの概略図である。 ２０１・・・除塵菌空調装置 ２０２・・・断熱筒状体 ２０３・・・熱交換用サイクロン（水噴射装置）２０４
・・・加熱調湿チャンバ ２０６・・・ファン ２１１・・・出口管 ２１３・・・噴射ノズル ２１９・・・加熱供給管 ２３０・・・蒸発管 Ｒ・・・ヒートポンプ 第１２図は本発明による清浄化装置の一実施例を示す概
略図であり、第１３図はその改良実施例を図示したもの
である。 ３０１・・・清浄化装置 ３０２・・・壁ないし断熱筒状体 ３０３・・・（熱交換用）サイクロン ３０４・・・（加熱調湿）チャンバ ３０６・・・ファン ３１１・・・出口管 ３１３・・・噴射ノズル ３３０・・・蒸発管 Ｒ′・・・冷凍機 代理人　弁理士　戸　１）親　男 第　　１　　　図 窮　２［２１ ↑ 第４図 第　７　３Fig. 1 shows one embodiment of the water injection device, Fig. 2 is a sectional view taken through the center of the device in Fig. 1, and Fig. 3 shows a cyclone of water removal droplets. and the fourth
The figures illustrate another device of the water injection device; FIG. 5 is a cross-sectional view of the upper part of the device shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the device shown in FIG. FIG. 7 schematically shows a total system when applied in an actual semiconductor manufacturing factory. Moreover, FIG. 8 is a diagram showing a heat exchanger that can be attached after the ultrafine water droplet production apparatus, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the upper part thereof. 1.40...Water injection device 3.45...Nozzle 43...Ultra-fine water droplet suspended gas outlet pipe 50...Drop removal cyclone 60...Air shower room 70...Ultra clean room 100...・Heat Exchanger FIG. 1O is a schematic diagram of the cleaning device according to the present invention, and FIG. 11 is a schematic diagram of this when it is installed indoors. 201... Dust removal bacteria air conditioner 202... Heat insulating cylindrical body 203... Heat exchange cyclone (water injection device) 204
... Heating and humidity control chamber 206 ... Fan 211 ... Outlet pipe 213 ... Injection nozzle 219 ... Heating supply pipe 230 ... Evaporation pipe R ... Heat pump FIG. 12 shows a cleaning system according to the present invention FIG. 13 is a schematic diagram showing an embodiment of the converting device, and FIG. 13 shows an improved embodiment thereof. 301...Cleaning device 302...Wall or heat insulating cylindrical body 303...(heat exchange) cyclone 304...(heating and humidity control) chamber 306...fan 311...outlet pipe 313... ... Injection nozzle 330 ... Evaporation pipe R' ... Refrigerator agent Patent attorney Door 1) Parent Male No. 1 Figure 2 [21 ↑ Figure 4 Figure 7 3

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] （１）室内の空気を吸引し、該空気を水噴射装置に送り
、該水噴射装置内では噴射管に多数設けられた直径０．
２〜８ｍｍ、好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルからゲ
ージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ＾２、好ましくは０．
５〜２．５ｋｇ／ｃｍ＾２で水を噴射させ、ノズルから
１０〜１５０ｃｍはなれた側部に衝突させてきわめて多
数の超微細水滴を発生させ、粒径０．５ミクロン以下の
超微細水滴を１立方フィート当り２００万個以上、好ま
しくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個以
上含有する空気を得、得られた超微細水滴含有空気を前
記室内に送入することを特徴とする室内清浄化方法。(1) Air in the room is sucked and the air is sent to a water injection device.In the water injection device, a large number of injection pipes with a diameter of 0.
A gauge pressure of 0.3 to 5.5 kg/cm^2, preferably 0.5 kg/cm^2 from a nozzle of 2 to 8 mm, preferably 0.5 to 3 mm.
Water is injected at 5 to 2.5 kg/cm^2 and collides with the side 10 to 150 cm away from the nozzle to generate an extremely large number of ultra-fine water droplets, which produce ultra-fine water droplets with a particle size of 0.5 microns or less. An indoor room characterized by obtaining air containing at least 2 million water droplets, preferably at least 5 million water droplets, more preferably at least 10 million water droplets per cubic foot, and introducing the obtained air containing ultrafine water droplets into the room. Cleaning method. （２）室内の空気吸引管、及び水噴射装置内の中心部に
設置した噴射管の周囲に多数設けられた直径０．２〜８
ｍｍ好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルからゲージ圧０
．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ＾２、好ましくは０．５〜２．
５ｋｇ／ｃｍ＾２で水を噴射させ、ノズルから１０〜１
５０ｃｍはなれた水噴射装置内部の側部に衝突させてき
わめて多数の超微細水滴を発生させ、ここに空気導入管
より空気を送り、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴
を１立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５０
０万個以上、より好ましくは１０００万個以上含有する
空気を得る超微細水滴製造装置、及び、超微細水滴含有
空気送出管からなる室内清浄化装置。(2) Many diameters of 0.2 to 8 installed around the indoor air suction pipe and the injection pipe installed in the center of the water injection device.
Gauge pressure 0 from a nozzle of mm preferably 0.5 to 3 mm
．． 3-5.5 kg/cm^2, preferably 0.5-2.
Spray water at 5kg/cm^2 and spray from the nozzle with 10~1
A very large number of ultra-fine water droplets are generated by colliding with the side of the inside of the water injection device 50 cm apart, and air is sent here from the air introduction pipe to produce ultra-fine water droplets with a particle size of 0.5 microns or less per cubic foot. 2 million or more, preferably 50
An apparatus for producing ultrafine water droplets that produces air containing 00,000 or more, more preferably 10,000,000 or more, and an indoor cleaning apparatus comprising an air delivery pipe containing ultrafine water droplets.