JPS62140735A - 間仕切ラックと旋回テ−ブル塔載キャリヤ連動相互連動によるウエハ自動***装出装置 - Google Patents
間仕切ラックと旋回テ−ブル塔載キャリヤ連動相互連動によるウエハ自動***装出装置Info
- Publication number
- JPS62140735A JPS62140735A JP60281505A JP28150585A JPS62140735A JP S62140735 A JPS62140735 A JP S62140735A JP 60281505 A JP60281505 A JP 60281505A JP 28150585 A JP28150585 A JP 28150585A JP S62140735 A JPS62140735 A JP S62140735A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rack
- pat
- carrier
- work
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
1)産業上の利用分野
■ウェハ及びセラミックその他ラッピングと’j’+へ
nnJ&/I)#)鉾T’trKIIT7th2)従来
の技術 手動操作が大半を占めて居り自動化も形式の異なる限ら
れた特定工程間の搬送程度である。
nnJ&/I)#)鉾T’trKIIT7th2)従来
の技術 手動操作が大半を占めて居り自動化も形式の異なる限ら
れた特定工程間の搬送程度である。
3)発明が解決しようとしている問題点ラック単位装填
(出)が容易でワーク径変更段取り替えを省き長時間省
人操業と総合サイクルタイムの迅速化 4)問題点を解決するための手段 未加工ウェハを装填したラックをコンベヤ上に預けるだ
けでラッピングを完了したウェハが未加工ウェハ抽出(
挿入)後の空ラックに挿入して装出されるコンベヤライ
ンの形成と薄い破損し易いウェハを嵌装精度高くキャリ
ヤの複数個の孔に速やかに挿入する心出し機構の発見 5)実施例 ローラチェンα0のアタッチ上部に荷重支持専用ローラ
(101)を伺えた平行2連のチェノを2軸α@のスプ
ロケットホイール(11)に装架して連続運航する2列
のローラコンベヤを形成し、荷重支持ローラ(10It
)上前間隔に搭載した再先端のワーク間仕切りラック(
R1)を間仕切りピッチ毎、間欠進行とアーム(ハ)先
端パット吸着挿入(抽出)パットQυを連動させてウェ
ハ(W)(以下ワークと呼称)を1枚づつ間仕切りラッ
クに自動挿入(抽出)するに於いて、挿入(抽出)中の
ラック(R1)と待機中のラック帯(B2以降)を分離
拘束するためワーク下方の間仕切りピッチ送り用ネジ(
5)と雌ネジ(6)により移動するテーブル(7)に固
定されたラック連動用昇降ピン(A)と(B)及び固定
フレーム(9)に設けた待機ラックストップ用昇降ピン
(C)により、ラック(R1)及び(R2)の間仕切り
ラック下面の支持ローラ(IOIL)を空転させ所定位
置に停止させている。
(出)が容易でワーク径変更段取り替えを省き長時間省
人操業と総合サイクルタイムの迅速化 4)問題点を解決するための手段 未加工ウェハを装填したラックをコンベヤ上に預けるだ
けでラッピングを完了したウェハが未加工ウェハ抽出(
挿入)後の空ラックに挿入して装出されるコンベヤライ
ンの形成と薄い破損し易いウェハを嵌装精度高くキャリ
ヤの複数個の孔に速やかに挿入する心出し機構の発見 5)実施例 ローラチェンα0のアタッチ上部に荷重支持専用ローラ
(101)を伺えた平行2連のチェノを2軸α@のスプ
ロケットホイール(11)に装架して連続運航する2列
のローラコンベヤを形成し、荷重支持ローラ(10It
)上前間隔に搭載した再先端のワーク間仕切りラック(
R1)を間仕切りピッチ毎、間欠進行とアーム(ハ)先
端パット吸着挿入(抽出)パットQυを連動させてウェ
ハ(W)(以下ワークと呼称)を1枚づつ間仕切りラッ
クに自動挿入(抽出)するに於いて、挿入(抽出)中の
ラック(R1)と待機中のラック帯(B2以降)を分離
拘束するためワーク下方の間仕切りピッチ送り用ネジ(
5)と雌ネジ(6)により移動するテーブル(7)に固
定されたラック連動用昇降ピン(A)と(B)及び固定
フレーム(9)に設けた待機ラックストップ用昇降ピン
(C)により、ラック(R1)及び(R2)の間仕切り
ラック下面の支持ローラ(IOIL)を空転させ所定位
置に停止させている。
(但しラック(R1)はピン(A) (B)の下部をフ
ランジ形成とし一昇降ストロークを大きくシ、支持ロー
ラから分離して、ラック(R1)を独自支持することが
出来る。) (R2)ラックの進行方向のピン(C)により(R2)
ラック以降の間仕切りラック支持ローラを空転させて定
位置に停止させている。
ランジ形成とし一昇降ストロークを大きくシ、支持ロー
ラから分離して、ラック(R1)を独自支持することが
出来る。) (R2)ラックの進行方向のピン(C)により(R2)
ラック以降の間仕切りラック支持ローラを空転させて定
位置に停止させている。
(R1)E仕切りラック内全問仕切りピッチにワーク(
W)の抽出(挿入)を終わるとピッチ送りテーブル(7
)のラック連動(又は支持)ピン(A) (B)は沈降
し、(R1)ラックはコンベヤにより進行し、送りテー
ブル(7)はワーク挿入(抽出)開始点に早戻りし、ピ
ン(A)が浮上し、(B)は沈降し、(R2)ラック到
達を待機し、(R2)ラックは前部の溝でピン(A)と
嵌装し、ピン(B)はラック後部の溝に浮上嵌装してラ
ックの定位置をガイドする。
W)の抽出(挿入)を終わるとピッチ送りテーブル(7
)のラック連動(又は支持)ピン(A) (B)は沈降
し、(R1)ラックはコンベヤにより進行し、送りテー
ブル(7)はワーク挿入(抽出)開始点に早戻りし、ピ
ン(A)が浮上し、(B)は沈降し、(R2)ラック到
達を待機し、(R2)ラックは前部の溝でピン(A)と
嵌装し、ピン(B)はラック後部の溝に浮上嵌装してラ
ックの定位置をガイドする。
ピン(C)は(R2)ラック通過直後浮上し、ラック(
R8)以降の支持ローラを空転させてラックを停止させ
る。
R8)以降の支持ローラを空転させてラックを停止させ
る。
ラックに対するワーク(W)の挿入(抽出)はパット付
きアーム端の先端に吸着パットシυを備え、ワーク挿入
(抽出)昇降用シリンダ(イ)によりワーク下端がラッ
ク(几l)の干渉を遁れる以高でアクチェータ(2)に
より90度旋回してワーク00を水平に保持し第3図に
示す心出しテーブル(T)上に移載し、心出しフォーク
ユニットの内径を合成ゴムライニングで形成しキャリヤ
のワーク挿入孔径に加工し、心出しスライド方向をワー
ク直径+0.052を閉止限度とし、ワークの破壊圧を
予防し、フォーク各中央部に万一に備えフォークストロ
ークを異常停止させワークの圧壊を予防する近接SW(
又はセンサ)を装備している。心出しフォーク前後開閉
ガイド(ハ)(イ)により平行にスライドする心出しフ
ォーク(21A) (28B)をガイドし心出しフォー
ク開閉はシリンダα?)Qalで行なう。
きアーム端の先端に吸着パットシυを備え、ワーク挿入
(抽出)昇降用シリンダ(イ)によりワーク下端がラッ
ク(几l)の干渉を遁れる以高でアクチェータ(2)に
より90度旋回してワーク00を水平に保持し第3図に
示す心出しテーブル(T)上に移載し、心出しフォーク
ユニットの内径を合成ゴムライニングで形成しキャリヤ
のワーク挿入孔径に加工し、心出しスライド方向をワー
ク直径+0.052を閉止限度とし、ワークの破壊圧を
予防し、フォーク各中央部に万一に備えフォークストロ
ークを異常停止させワークの圧壊を予防する近接SW(
又はセンサ)を装備している。心出しフォーク前後開閉
ガイド(ハ)(イ)により平行にスライドする心出しフ
ォーク(21A) (28B)をガイドし心出しフォー
ク開閉はシリンダα?)Qalで行なう。
心出しセンサ付パットアーム0υの作動は先端の心出し
センサ(PS)装着板−の中央に吸着パット□□□を、
又センサ(PS)を装着板−と同心三種径に段取り替え
せず同時心円し出来るよう三周に12個を装備し、吸着
パット@の昇降はシリンダ(7)により行ない、アーム
のストローク調整はボールネジ(イ)をサーボモータ(
至)で駆動する。直交軸はサーボモータ付きテーブル(
ハ)により行なう。心出しセンサの中央に備えたパット
(ト)は旋回アクチェータ(ロ)により心出しテーブル
(T)の直上に達し、センサ(PS )とX−Yテーブ
ル演算によりワーク(W)とパット弼を同心険知し、降
下してワークに吸着如rぐ浦1.1ゝ lll+
1 ÷ −)’l L、(ψMY−−? L、
=1 rFh 17 +J 1)1ト吸着し、シ
リンダ(1)で上昇し、再びアクチェータ(ロ)で旋回
テーブル搭載のキャリヤ([C!のワーク孔の直上に達
しセンサ(PS)でキャリヤ孔心出しを行ないパット轍
を降下ワークを挿入装崩し、パット吸着を解除しキャリ
ヤMは連動旋回してj(仙次全部の孔にワークを挿入す
る。
センサ(PS)装着板−の中央に吸着パット□□□を、
又センサ(PS)を装着板−と同心三種径に段取り替え
せず同時心円し出来るよう三周に12個を装備し、吸着
パット@の昇降はシリンダ(7)により行ない、アーム
のストローク調整はボールネジ(イ)をサーボモータ(
至)で駆動する。直交軸はサーボモータ付きテーブル(
ハ)により行なう。心出しセンサの中央に備えたパット
(ト)は旋回アクチェータ(ロ)により心出しテーブル
(T)の直上に達し、センサ(PS )とX−Yテーブ
ル演算によりワーク(W)とパット弼を同心険知し、降
下してワークに吸着如rぐ浦1.1ゝ lll+
1 ÷ −)’l L、(ψMY−−? L、
=1 rFh 17 +J 1)1ト吸着し、シ
リンダ(1)で上昇し、再びアクチェータ(ロ)で旋回
テーブル搭載のキャリヤ([C!のワーク孔の直上に達
しセンサ(PS)でキャリヤ孔心出しを行ないパット轍
を降下ワークを挿入装崩し、パット吸着を解除しキャリ
ヤMは連動旋回してj(仙次全部の孔にワークを挿入す
る。
※ キャリヤとは0.5 ’X程度の薄い歯車でラッピ
ングマシンのドーナツ状テーブルに載ってドーナツ形テ
ーブルの中心部では駆動用サンギヤと噛み合い外方では
インターナルギヤと噛み合いキャリヤの孔にワークな嵌
装、口伝、公転してワークに複雑な運動を与えてラッピ
ング効果を高めるンH3い遊星ギヤである。
ングマシンのドーナツ状テーブルに載ってドーナツ形テ
ーブルの中心部では駆動用サンギヤと噛み合い外方では
インターナルギヤと噛み合いキャリヤの孔にワークな嵌
装、口伝、公転してワークに複雑な運動を与えてラッピ
ング効果を高めるンH3い遊星ギヤである。
6)発明の効=11毛
所期の目的を達成することが出来たのでワークの装填(
出)は完全に無人化されfこ。
出)は完全に無人化されfこ。
第1図 パットアームによるラック内ワークの吸着図
第3図 第1図の側面図
第4図 ワーク6出しユニット作動要領図第5図 ワー
クラックのピッチ送り説明図第6図 間仕切りラック断
面図 第7図 ラック及びローラ支持説明図 第8図 心出しセンサ付パットアーム説明図第9図 パ
ット及びセンサ装着板平面図(1)・・・間欠テーブル
駆動サーボモータ(2) <4)・・・プーリ
(3)・・・ベルト(5)・・・送りネジ
(6)・・・送り宙雌ネジ(7)・・・間仕切りピッチ
送りピン装着テーブル(8)・・・レール
(9)・・・フレームa0・・・ローラチェン aυ・・・スプロケットホイール 02αQ・・・プーリ α→・・・ベルト0Q
・・・モータ R1へR4・・・ラックC1
7) G8)・・・シリンダ 0gJ・・・キャ
リヤ(イ)・・・昇降シリンダ 21)・・・吸着
パット(ホ)・−・旋回アクチェータ (21) (23B)・・・心出しフォーク(ホ)(ハ
)・・・フォークガイドレール?り・・・ラック間仕切
り (ハ)・・・レバー 操作シリンダ (ハ)・・・パット 圀・・・心出しセンサ装着板 (1)・・・パット昇降シリンダ G1)−・・アーム (至)・・・アームストローク調整ネジ(至)・・・ス
ライドメタル [有]・・・サーボモータ 曽・・・直交スライドテーブル (至)・・・旋回アーム支持ポール (ト)・・・ボール(アーム)旋回アクチェータ(至)
・・・パット付きアーム
クラックのピッチ送り説明図第6図 間仕切りラック断
面図 第7図 ラック及びローラ支持説明図 第8図 心出しセンサ付パットアーム説明図第9図 パ
ット及びセンサ装着板平面図(1)・・・間欠テーブル
駆動サーボモータ(2) <4)・・・プーリ
(3)・・・ベルト(5)・・・送りネジ
(6)・・・送り宙雌ネジ(7)・・・間仕切りピッチ
送りピン装着テーブル(8)・・・レール
(9)・・・フレームa0・・・ローラチェン aυ・・・スプロケットホイール 02αQ・・・プーリ α→・・・ベルト0Q
・・・モータ R1へR4・・・ラックC1
7) G8)・・・シリンダ 0gJ・・・キャ
リヤ(イ)・・・昇降シリンダ 21)・・・吸着
パット(ホ)・−・旋回アクチェータ (21) (23B)・・・心出しフォーク(ホ)(ハ
)・・・フォークガイドレール?り・・・ラック間仕切
り (ハ)・・・レバー 操作シリンダ (ハ)・・・パット 圀・・・心出しセンサ装着板 (1)・・・パット昇降シリンダ G1)−・・アーム (至)・・・アームストローク調整ネジ(至)・・・ス
ライドメタル [有]・・・サーボモータ 曽・・・直交スライドテーブル (至)・・・旋回アーム支持ポール (ト)・・・ボール(アーム)旋回アクチェータ(至)
・・・パット付きアーム
Claims (1)
- 連続運航するコンベヤラインのローラに支持された細か
い間仕切りラックに薄いウェハを装填し、ラックとパッ
ト吸着(又はフォーク)ユニットが連動し、更に心出し
センサ付きパットアームにより段取り替えせず複数異径
のワークを同心吸着し、テーブル搭載キャリヤ旋回と連
動してキャリヤ孔に嵌装精度高く、ウェハの迅速挿入(
抽出)を特長とする間仕切りラックと旋回テーブル搭載
キャリヤ相互連動によるワーク自動挿入(抽出)装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60281505A JPS62140735A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 間仕切ラックと旋回テ−ブル塔載キャリヤ連動相互連動によるウエハ自動***装出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60281505A JPS62140735A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 間仕切ラックと旋回テ−ブル塔載キャリヤ連動相互連動によるウエハ自動***装出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62140735A true JPS62140735A (ja) | 1987-06-24 |
Family
ID=17640119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60281505A Pending JPS62140735A (ja) | 1985-12-13 | 1985-12-13 | 間仕切ラックと旋回テ−ブル塔載キャリヤ連動相互連動によるウエハ自動***装出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62140735A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0473058U (ja) * | 1990-10-30 | 1992-06-26 | ||
US5217340A (en) * | 1989-01-28 | 1993-06-08 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Wafer transfer mechanism in vertical CVD diffusion apparatus |
US6438449B2 (en) | 1999-11-29 | 2002-08-20 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate transport apparatus and transport teaching system |
US8796589B2 (en) | 2001-07-15 | 2014-08-05 | Applied Materials, Inc. | Processing system with the dual end-effector handling |
-
1985
- 1985-12-13 JP JP60281505A patent/JPS62140735A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5217340A (en) * | 1989-01-28 | 1993-06-08 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Wafer transfer mechanism in vertical CVD diffusion apparatus |
JPH0473058U (ja) * | 1990-10-30 | 1992-06-26 | ||
US6438449B2 (en) | 1999-11-29 | 2002-08-20 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate transport apparatus and transport teaching system |
US8796589B2 (en) | 2001-07-15 | 2014-08-05 | Applied Materials, Inc. | Processing system with the dual end-effector handling |
US10665476B2 (en) | 2001-07-15 | 2020-05-26 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing system, valve assembly, and processing method |
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