JPS62136437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62136437U JPS62136437U JP2381486U JP2381486U JPS62136437U JP S62136437 U JPS62136437 U JP S62136437U JP 2381486 U JP2381486 U JP 2381486U JP 2381486 U JP2381486 U JP 2381486U JP S62136437 U JPS62136437 U JP S62136437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrates
- magazine
- board
- ejector
- substrate supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は、本考案の基板抜取装置を備えた基板
供給装置を示す略平面図、第２図は、第１図に矢
印Ａ―Ａによつて示す側面図、第３図は、マガジ
ンの詳細を示す斜視図、第４図は、第１図に矢印
Ｂ―Ｂによつて示す側面図、第５図は、従来の基
板供給装置を示す平面図である。 ３：搬送装置（エレベータ）、４：マガジン、
５：供給位置、８：基板抜取装置、９：基板、１
９：取出具（押出シリンダ）、２４：移動部材（
スライドシリンダ）。
供給装置を示す略平面図、第２図は、第１図に矢
印Ａ―Ａによつて示す側面図、第３図は、マガジ
ンの詳細を示す斜視図、第４図は、第１図に矢印
Ｂ―Ｂによつて示す側面図、第５図は、従来の基
板供給装置を示す平面図である。 ３：搬送装置（エレベータ）、４：マガジン、
５：供給位置、８：基板抜取装置、９：基板、１
９：取出具（押出シリンダ）、２４：移動部材（
スライドシリンダ）。
Claims (1)
- 基板を複数列に収納したマガジンを基板の供給
位置に位置決めする搬送装置と、前記基板の供給
位置にマガジンから基板を排出する取出具と、該
取出具を前記マガジン内の各列の基板に対応した
位置に位置決めする移動部材とを設けたことを特
徴とする基板抜取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2381486U JPS62136437U (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2381486U JPS62136437U (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62136437U true JPS62136437U (ja) | 1987-08-27 |
Family
ID=30822461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2381486U Pending JPS62136437U (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62136437U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5364476A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-08 | Toshiba Corp | Slide lever for semiconductor wafer transfer device |
| JPS62167138A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-23 | Denyo Kk | シ−ト材自動供給装置 |
-
1986
- 1986-02-20 JP JP2381486U patent/JPS62136437U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5364476A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-08 | Toshiba Corp | Slide lever for semiconductor wafer transfer device |
| JPS62167138A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-23 | Denyo Kk | シ−ト材自動供給装置 |
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