JPS62127758U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62127758U JPS62127758U JP1986014380U JP1438086U JPS62127758U JP S62127758 U JPS62127758 U JP S62127758U JP 1986014380 U JP1986014380 U JP 1986014380U JP 1438086 U JP1438086 U JP 1438086U JP S62127758 U JPS62127758 U JP S62127758U
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- JP
- Japan
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- polishing
- polishing sheet
- attached
- serving
- sheet
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 15
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の実施例に係るドレス装置を装
着した研磨盤の要部平面図、第２図は第１図のＡ
―Ａ線断面図、第３図はドレス用チツプの要部拡
大断面図である。 １…内枠、３…外枠、６…研磨面、８…研磨シ
ート、９…ドレツサー本体、１１…ドレス用チツ
プ、１３…接当部、δ…間隔。
着した研磨盤の要部平面図、第２図は第１図のＡ
―Ａ線断面図、第３図はドレス用チツプの要部拡
大断面図である。 １…内枠、３…外枠、６…研磨面、８…研磨シ
ート、９…ドレツサー本体、１１…ドレス用チツ
プ、１３…接当部、δ…間隔。
Claims (1)
- 太陽歯車とされた内枠１と、内歯車とされた外
枠３と、これら内外枠１，３に噛合されて遊星運
動する遊星歯車とされたキヤリアと、キヤリアの
少なくとも一方の側面に対向する研磨面６と、研
磨面６に取付けられる研磨シート８とを備え、遊
星運動をするキヤリアに取付けられる被加工物と
研磨シート８との間に砥粒が供給され、該砥粒に
より被加工物が研磨される研磨盤に装着されるド
レス装置であつて、前記内外枠１，３に噛合され
て遊星運動をする遊星歯車とされたドレツサー本
体９と、このドレツサー本体９の前記研磨シート
８との対向側面に取付けられる研磨シートのドレ
ス用チツプ１１とを備え、このチツプ１１の研磨
シート８との接当部１３が、同一円上に間隔δを
おいて配置される複数の円弧上にあるものとされ
ていることを特徴とする研磨盤の研磨シートのド
レス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986014380U JPS62127758U (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986014380U JPS62127758U (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62127758U true JPS62127758U (ja) | 1987-08-13 |
Family
ID=30804313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986014380U Pending JPS62127758U (ja) | 1986-02-03 | 1986-02-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62127758U (ja) |
-
1986
- 1986-02-03 JP JP1986014380U patent/JPS62127758U/ja active Pending