JPS62115401A - 色分離フイルタ−の製造方法 - Google Patents
色分離フイルタ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS62115401A JPS62115401A JP60256424A JP25642485A JPS62115401A JP S62115401 A JPS62115401 A JP S62115401A JP 60256424 A JP60256424 A JP 60256424A JP 25642485 A JP25642485 A JP 25642485A JP S62115401 A JPS62115401 A JP S62115401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- colored
- color
- substrate
- mosaic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000004040 coloring Methods 0.000 abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 47
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P ammonium dichromate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O JOSWYUNQBRPBDN-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14685—Process for coatings or optical elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は色分離フィルターの製造方法に関するものであ
る。
る。
カラーテレビ用撮像管もしくはカラー固体撮像装置もし
くはカラー液晶表示セル等に用いる色分離フィルターは
一般に幾つかの異なる色のドツト状あるいはモザイク状
あるいはストライプ状のフィルタ一層を基板上に形成す
る。形成方法としては、一段に基板上に着色可能な樹脂
膜をスピンナーにより形成後１つの色に対応するドツト
又はモザイク形状のパターンニノグ及び着色を行い前記
樹脂膜を選択的に着色する。これらの工程を繰返すこと
により複数の異なる色の着色領域を形成する。この場合
、前記樹脂膜として、着色層の樹脂膜をスピンナー塗布
することも可能である。
くはカラー液晶表示セル等に用いる色分離フィルターは
一般に幾つかの異なる色のドツト状あるいはモザイク状
あるいはストライプ状のフィルタ一層を基板上に形成す
る。形成方法としては、一段に基板上に着色可能な樹脂
膜をスピンナーにより形成後１つの色に対応するドツト
又はモザイク形状のパターンニノグ及び着色を行い前記
樹脂膜を選択的に着色する。これらの工程を繰返すこと
により複数の異なる色の着色領域を形成する。この場合
、前記樹脂膜として、着色層の樹脂膜をスピンナー塗布
することも可能である。
このような方法において、例えば、赤、緑、青の３色を
モザイク状に形成する場合を第１図に従って説明する。
モザイク状に形成する場合を第１図に従って説明する。
第１図は、従来例により基板上に３色の着色層をモザイ
ク状に形成する場合の断面図である。
ク状に形成する場合の断面図である。
第１図（ａ）の如（、基板２上に樹脂層１をスピンナー
塗布形成する。次に第１図（ｂ）の如（，１つの色に対
応するドツト又はモザイク状に樹脂層１ａを残してパタ
ーンニングする。次に第１図（Ｃ）の如（パターンユン
グ後の樹脂層１ａを赤に着色することにより赤着色層３
を形成する。
塗布形成する。次に第１図（ｂ）の如（，１つの色に対
応するドツト又はモザイク状に樹脂層１ａを残してパタ
ーンニングする。次に第１図（Ｃ）の如（パターンユン
グ後の樹脂層１ａを赤に着色することにより赤着色層３
を形成する。
前記第１図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）、を２回繰返し、第
１図（ｃ）の着色剤を緑、青に変えることにより第１図
（ｄ）の如く、赤着色層６、緑着色層４、青着色層５の
モザイクフィルターが形成される。第２図は形成後の平
面図である。
１図（ｃ）の着色剤を緑、青に変えることにより第１図
（ｄ）の如く、赤着色層６、緑着色層４、青着色層５の
モザイクフィルターが形成される。第２図は形成後の平
面図である。
しかしながら、この方法の欠点としては、１色目の着色
層の形状効果により、２色目の樹脂層をスピンナー塗布
する場合、前記着色層６が障害物となって第３図の如く
、基板の回転中心（Ａ）からパターン配列方向に沿った
線（Ｂ）の左右で膜厚の差が生じ、膜厚差が著しい場合
には、着色後に色むらを生じるなどの問題があった。特
に、透明電極上に形成して、液晶セル用の色分離フィル
ターとして用いる場合は、前記の膜厚むら、色むらが表
示品質を著しく低下させるものである。
層の形状効果により、２色目の樹脂層をスピンナー塗布
する場合、前記着色層６が障害物となって第３図の如く
、基板の回転中心（Ａ）からパターン配列方向に沿った
線（Ｂ）の左右で膜厚の差が生じ、膜厚差が著しい場合
には、着色後に色むらを生じるなどの問題があった。特
に、透明電極上に形成して、液晶セル用の色分離フィル
ターとして用いる場合は、前記の膜厚むら、色むらが表
示品質を著しく低下させるものである。
本発明の目的は、スピンナー塗布法によって生じる膜厚
むら、色むらのない色分離フィルターの製造方法を提供
することである。
むら、色むらのない色分離フィルターの製造方法を提供
することである。
本発明の特徴は、前記の色分離フィルターの製造方法に
おいて、一色目の着色工程において、着色最小単位領域
の境界部に着色層を形成するζ大である。
おいて、一色目の着色工程において、着色最小単位領域
の境界部に着色層を形成するζ大である。
以下本発明について詳細に説明する。
第４図は、本発明により基板上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、
青（Ｂ）の３色の着色層をモザイク状に形成する場合の
断面図である。第４図（ａ）の如く、基板２上に樹脂層
１をスピンナー塗布形成する。次に第４図（ｂ）の如く
、１色目に対応するモザイク状の樹脂層１ａと、２色目
及び３色目のモザイクに於ける着色最小単位領域の境界
部に枠状の樹脂層１ｂをパターンニングする。次に第４
図（Ｃ）の如くパターン配列方向の樹脂層を赤に着色す
ることによって赤着色層３を形成すると同時に枠層６ａ
を形成する。
青（Ｂ）の３色の着色層をモザイク状に形成する場合の
断面図である。第４図（ａ）の如く、基板２上に樹脂層
１をスピンナー塗布形成する。次に第４図（ｂ）の如く
、１色目に対応するモザイク状の樹脂層１ａと、２色目
及び３色目のモザイクに於ける着色最小単位領域の境界
部に枠状の樹脂層１ｂをパターンニングする。次に第４
図（Ｃ）の如くパターン配列方向の樹脂層を赤に着色す
ることによって赤着色層３を形成すると同時に枠層６ａ
を形成する。
第４図（ａ）、（ｂ）、（Ｃ）の工程を２回、操返し、
第４図（Ｃ）の着色剤を緑、青に変えることにより、第
４図（ｄ）の如く、赤着色層６、緑着色層４、青着色層
５のモザイクフィルターが形成される。第５図は形成後
の平面図である。前記赤着色層６の形成時に緑着色層４
と青着色層５の境界部に形成された枠層３ａによって基
板２上の各着色最小単位領域に於ける形状条件が同じに
なるため、２回目以後のスピンナー塗布による樹脂表面
形状が基板内で均一となり、各着色層の膜厚むらが生じ
なくなる。
第４図（Ｃ）の着色剤を緑、青に変えることにより、第
４図（ｄ）の如く、赤着色層６、緑着色層４、青着色層
５のモザイクフィルターが形成される。第５図は形成後
の平面図である。前記赤着色層６の形成時に緑着色層４
と青着色層５の境界部に形成された枠層３ａによって基
板２上の各着色最小単位領域に於ける形状条件が同じに
なるため、２回目以後のスピンナー塗布による樹脂表面
形状が基板内で均一となり、各着色層の膜厚むらが生じ
なくなる。
第６図は本実施例に用いた露光マスクの平面図であり、
第７図は第６図のマスクにより製造された色分離フィル
ターの断面図である。
第７図は第６図のマスクにより製造された色分離フィル
ターの断面図である。
６は２色目からの各モザイクの着色最小単位領域を規制
する遮光部で、１辺がＬｌの四角形状を有し、７は１色
目のモザイクをパターン化するための透明部で、同じ（
１辺Ｌ１の四角形状、８は前記枠層６ａをパターン化す
るための透明部で、巾がＬ２のライン形状となっている
。
する遮光部で、１辺がＬｌの四角形状を有し、７は１色
目のモザイクをパターン化するための透明部で、同じ（
１辺Ｌ１の四角形状、８は前記枠層６ａをパターン化す
るための透明部で、巾がＬ２のライン形状となっている
。
次に上記露光マスクを用（・て第５図に示す色分離フィ
ルターを作成するための工程を説明する。
ルターを作成するための工程を説明する。
まず前記基板２としてソーダガラスを用し・、この基板
２の全面にゼラチンと重クロム酸アンモニウムから成る
水性感光液を０８μの膜厚となるごど（スペンナーによ
り塗布し乾燥させろことにより樹脂層１を形成する。次
に樹脂層１上に露光マスクをセットし、露光、現像する
ことにより露光マスクの透明部７及び透明部８に対応す
る樹脂膜が露光され、第４図（ｂ）に示すごと（１色目
の樹脂層１ａと枠状の樹脂層１ｂがパターン化されろ。
２の全面にゼラチンと重クロム酸アンモニウムから成る
水性感光液を０８μの膜厚となるごど（スペンナーによ
り塗布し乾燥させろことにより樹脂層１を形成する。次
に樹脂層１上に露光マスクをセットし、露光、現像する
ことにより露光マスクの透明部７及び透明部８に対応す
る樹脂膜が露光され、第４図（ｂ）に示すごと（１色目
の樹脂層１ａと枠状の樹脂層１ｂがパターン化されろ。
次にパターン化された樹脂層に赤色の染色及び防染を行
うことによって第５図及び第７図に綱目で示すごとく赤
着色層３と枠層３ａが形成される。
うことによって第５図及び第７図に綱目で示すごとく赤
着色層３と枠層３ａが形成される。
以上が１色目のフィルター形成工程である。
次に露光マスクをｌピッチＬｓ （Ｌ＋ ＋ Ｉ、２
）だけ横に移動させ、前記１色目のフィルター形成
工程と同様の工程を行うとともに緑色の染色を行うこと
によって第５図及び第７図に縦縞で示すごとく緑着色層
４と枠層４ａが形成されろ。さらに露光マスクを１ピツ
チ横に移動させてフィルター形成工程を行−・、かつ青
色の染色を行うこと（てよって第５図及び第７図に横縞
で示すごとく、青着色層５と枠層５ａが形成される。
）だけ横に移動させ、前記１色目のフィルター形成
工程と同様の工程を行うとともに緑色の染色を行うこと
によって第５図及び第７図に縦縞で示すごとく緑着色層
４と枠層４ａが形成されろ。さらに露光マスクを１ピツ
チ横に移動させてフィルター形成工程を行−・、かつ青
色の染色を行うこと（てよって第５図及び第７図に横縞
で示すごとく、青着色層５と枠層５ａが形成される。
そして上記光、緑、青の各フィルター形成工程を前記露
光マスクを１ピツチづつ移動させながら繰り返すことに
よって必要な面積を有する色分離フィルターを製造する
ことができる。
光マスクを１ピツチづつ移動させながら繰り返すことに
よって必要な面積を有する色分離フィルターを製造する
ことができる。
そして前述のごとく、１色目のフィルター形成工程に於
いて、基板２の全面に枠層３ａが形成されるため、この
形状効果によって２色目からの樹脂膜の厚さは均−如な
るが、第７図に示すごとく、枠層は３ａ、４ａ、５ａの
３層構造となり、しかも各枠層６ａ、４ａ、５ａが各々
、赤、緑、青に着色されているため、枠層部の色彩は黒
色のストライプとな委。
いて、基板２の全面に枠層３ａが形成されるため、この
形状効果によって２色目からの樹脂膜の厚さは均−如な
るが、第７図に示すごとく、枠層は３ａ、４ａ、５ａの
３層構造となり、しかも各枠層６ａ、４ａ、５ａが各々
、赤、緑、青に着色されているため、枠層部の色彩は黒
色のストライプとな委。
すなわち、本実施例に於ける製造方法は、１枚のマスク
によって色むらのない３色の色分離フィルターを形成す
ることが出来るとともに、３色の色フィルター間を黒色
の枠によって区切ることが出来るため、ブラックストラ
イプとしての効果ももたせることが出来るものである。
によって色むらのない３色の色分離フィルターを形成す
ることが出来るとともに、３色の色フィルター間を黒色
の枠によって区切ることが出来るため、ブラックストラ
イプとしての効果ももたせることが出来るものである。
又本実施例に於（・て用いた赤、緑、青の各染色組成は
下記の通りである。
下記の通りである。
〔赤色〕 カヤノールシーリングレッドＲ８：１部、酢
酸：１部、水：１００部、 〔緑色〕 ブリリアントインブルー：１部、スミノール
イエローＭＲ：０．７部、 酢酸＝３部、水＝１００部、 〔青色〕 カヤノールサイアニン６Ｂ＝１部酢酸：３部
、水：１００部。
酸：１部、水：１００部、 〔緑色〕 ブリリアントインブルー：１部、スミノール
イエローＭＲ：０．７部、 酢酸＝３部、水＝１００部、 〔青色〕 カヤノールサイアニン６Ｂ＝１部酢酸：３部
、水：１００部。
以上の説明で明らかなように、本発明によればスピンナ
ー塗布法を用いて製造する色分離フィルターにおいて、
膜厚及び着色状態を基板内で均一にすることが可能とな
った。
ー塗布法を用いて製造する色分離フィルターにおいて、
膜厚及び着色状態を基板内で均一にすることが可能とな
った。
尚、本発明は、着色された樹脂膜を基板に形成し、パタ
ーンユング後の着色工程を除いた色分離フィルターの製
造方法にも適用可能である。
ーンユング後の着色工程を除いた色分離フィルターの製
造方法にも適用可能である。
第１図は従来技術による色分離フィルター形成工程の断
面図、第２図は形成後の平面図である。 第３図は従来技術により形成したフィルターの膜厚むら
が生じる様子を示した平面図である。 第４図は本発明による色分離フィルター形成工程の断面
図、第５図は形成後の平面図である。 第６図は本発明の実施例で用いた露光マスクの平面図、
第７図は第６図のマスクにより製造された色分離フィル
ターの断面図である。 １・・・・・・樹脂層、 ２・・・・・・基板、 ６・・・・・・赤着色層、 ４・・・・・・緑着色層、 ５・・・・・・青着色層、 ６ａ、４ａ、５ａ・・・・・・枠層。 第１図 第 ２ 図 第 ３ 図 ７′ 第４［４ 第５図
面図、第２図は形成後の平面図である。 第３図は従来技術により形成したフィルターの膜厚むら
が生じる様子を示した平面図である。 第４図は本発明による色分離フィルター形成工程の断面
図、第５図は形成後の平面図である。 第６図は本発明の実施例で用いた露光マスクの平面図、
第７図は第６図のマスクにより製造された色分離フィル
ターの断面図である。 １・・・・・・樹脂層、 ２・・・・・・基板、 ６・・・・・・赤着色層、 ４・・・・・・緑着色層、 ５・・・・・・青着色層、 ６ａ、４ａ、５ａ・・・・・・枠層。 第１図 第 ２ 図 第 ３ 図 ７′ 第４［４ 第５図
Claims (1)
- 基板上にスピンナーを用いて樹脂膜を形成し、該樹脂膜
をパターンニングによってモザイクパターン化する工程
を繰り返すことによって複数の異なる色の着色領域を形
成する色分離フィルターの製造方法に於いて、一色目の
パターンニング工程にて、２色目以後の着色領域に対す
る枠パターンを同時形成したことを特徴とする色分離フ
ィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60256424A JPS62115401A (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 | 色分離フイルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60256424A JPS62115401A (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 | 色分離フイルタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62115401A true JPS62115401A (ja) | 1987-05-27 |
Family
ID=17292471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60256424A Pending JPS62115401A (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 | 色分離フイルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62115401A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011009420A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Fujifilm Corp | 撮像素子の製造方法及び撮像素子 |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP60256424A patent/JPS62115401A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011009420A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | Fujifilm Corp | 撮像素子の製造方法及び撮像素子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4673253A (en) | Method of making a liquid crystal display with color filters | |
| JPS614020A (ja) | マルチカラ−液晶表示装置 | |
| JPS629301A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JP2998826B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPS61245106A (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPH0220119B2 (ja) | ||
| KR100701671B1 (ko) | 컬러필터 제조방법 | |
| JP2007034250A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS62115401A (ja) | 色分離フイルタ−の製造方法 | |
| JPS6111703A (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPH0443562B2 (ja) | ||
| JPH0439603A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH06109912A (ja) | カラーフィルタ基板 | |
| JPH0954209A (ja) | カラーフィルタの形成方法 | |
| JP2590858B2 (ja) | カラーフイルター | |
| JPS62196603A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPH0694912A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH0345903A (ja) | 色分離フィルターの製造方法 | |
| JPS62153904A (ja) | 液晶表示体用カラ−フイルタの製造法 | |
| JPH0437717A (ja) | 透明電極付カラーフィルタおよびその製造方法 | |
| JP2575497B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH0327015A (ja) | カラー液晶用基板の製造方法 | |
| JPS61295502A (ja) | カラ−フイルタの製法 | |
| JPH04242704A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH06281807A (ja) | カラーフィルターの製造方法 |