JPS6211536A - 有機金属バブラ−容器 - Google Patents
有機金属バブラ−容器Info
- Publication number
- JPS6211536A JPS6211536A JP15201885A JP15201885A JPS6211536A JP S6211536 A JPS6211536 A JP S6211536A JP 15201885 A JP15201885 A JP 15201885A JP 15201885 A JP15201885 A JP 15201885A JP S6211536 A JPS6211536 A JP S6211536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic metal
- chamber
- container
- pressure
- organometallic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J7/00—Apparatus for generating gases
- B01J7/02—Apparatus for generating gases by wet methods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/008—Feed or outlet control devices
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は有機金属分解成長法（以下ＭＤＣＶＤ法という
）等に用いる有機金属バブラー容器に関するものである
。
）等に用いる有機金属バブラー容器に関するものである
。
ＭＯＣＶＤ法は半導体デバイス作製上よく用いられる結
晶成長手段の１つであり、有機金属バブラー容器はその
成長装置の重要な部品の１つである。
晶成長手段の１つであり、有機金属バブラー容器はその
成長装置の重要な部品の１つである。
従来の有機金属バブラー容器の一例を第３図に示す、従
来の有機金属バブラー容器本体１１は１室で構成され、
その中に有機金属１２が装填され、容器本体１１の内部
には有機金ｇｔｚの液面下に達するディッピングチュー
ブ１３を有している。そのディッピングチューブ１３の
上端はバルブ１４を介して容器外部に延設されている。
来の有機金属バブラー容器本体１１は１室で構成され、
その中に有機金属１２が装填され、容器本体１１の内部
には有機金ｇｔｚの液面下に達するディッピングチュー
ブ１３を有している。そのディッピングチューブ１３の
上端はバルブ１４を介して容器外部に延設されている。
また容器本体１１の上部空間に連通させたチューブ１５
が容器外部に延設されており、チューブ１５にもバルブ
１６が介装されている。第２図は有機金属バブラー容器
が装置に接続、されたときの配管系統図の一例である。
が容器外部に延設されており、チューブ１５にもバルブ
１６が介装されている。第２図は有機金属バブラー容器
が装置に接続、されたときの配管系統図の一例である。
再現性の高い結晶成長を行うためには容器本体上部１の
各チューブ１３ 、１５に接続された配管ＰＩ −Ｐｘ
−Ｐｓへの有機原料の逆流の防止を行う必要があり、
容器本体１１０入口と出口の圧力関係を常に入口側が出
口側より低くならないようにいかなるときも操作せねば
ならない、また有機金ｌ！４は空気中で自然発火し非常
に激しく燃える。そのため有機金属バブラー容器を取り
はずすとき配管Ｐ１〜Ｐｇに逆流した有機金属が存在す
ると空気に触れて発火燃焼し非常に危険である。
各チューブ１３ 、１５に接続された配管ＰＩ −Ｐｘ
−Ｐｓへの有機原料の逆流の防止を行う必要があり、
容器本体１１０入口と出口の圧力関係を常に入口側が出
口側より低くならないようにいかなるときも操作せねば
ならない、また有機金ｌ！４は空気中で自然発火し非常
に激しく燃える。そのため有機金属バブラー容器を取り
はずすとき配管Ｐ１〜Ｐｇに逆流した有機金属が存在す
ると空気に触れて発火燃焼し非常に危険である。
もつとも、有機金属を配管中に逆流させなければ問題が
起こらないが、バルブは人間が操作するものであシ、操
作ミスが起こる可能性はある。また容器本体１１の上部
の配管Ｐ１〜Ｐ、を真空に引くことは操作上しばしばあ
るがその際、第３図のディッピングチューブ１３に連結
されているバルブ１４が開閉を重ねた事により出ながれ
を生じていると有機金属は容易に逆流してしまい、再現
性の高い結晶成長の生成を阻害するし、これが有機金属
バブラー容器を取りはずす際であれば非常に危険である
・ 本発明の目的はいかなるときでも有機金属バブラー容器
内部の有機金属が装置配管へ逆流しない構造を有する有
機金属バブラー容器の構造を提供することにある。
起こらないが、バルブは人間が操作するものであシ、操
作ミスが起こる可能性はある。また容器本体１１の上部
の配管Ｐ１〜Ｐ、を真空に引くことは操作上しばしばあ
るがその際、第３図のディッピングチューブ１３に連結
されているバルブ１４が開閉を重ねた事により出ながれ
を生じていると有機金属は容易に逆流してしまい、再現
性の高い結晶成長の生成を阻害するし、これが有機金属
バブラー容器を取りはずす際であれば非常に危険である
・ 本発明の目的はいかなるときでも有機金属バブラー容器
内部の有機金属が装置配管へ逆流しない構造を有する有
機金属バブラー容器の構造を提供することにある。
本発明は容器内を２室に区画して各々の室にディッピン
グチューブを内装し、両ディッピングチューブを少なく
とも容器内に充填すべき有機金属の液面より高い位置に
て互いに連通させ、両室の上部空間に連通させたチュー
ブを容器外へ延設して各チューブにバルブを介装し、前
記２室の一方の室にのみ有機金属を充填することを特徴
とする有機金属バブラー容器である。
グチューブを内装し、両ディッピングチューブを少なく
とも容器内に充填すべき有機金属の液面より高い位置に
て互いに連通させ、両室の上部空間に連通させたチュー
ブを容器外へ延設して各チューブにバルブを介装し、前
記２室の一方の室にのみ有機金属を充填することを特徴
とする有機金属バブラー容器である。
以下に本発明の実施例を示す。
第１図は本発明の有機金属バブラー容器の断面図である
。容器の形状は円筒でも角柱でもよい。
。容器の形状は円筒でも角柱でもよい。
容器本体１の内部は中央の仕切シ２によシ２室Ａ。
Ｂに区画されておフ、前記２室の各々には仕切り２を通
じて互いに連通させたディッピングチューブ３，３Ｂが
挿入されている。そのディッピングチューブ３Ａｒ ３
ｎは容器本体１内に充填すべき有機金属１０の液面よ
シ高い部分の仕切り２を通して連結され、両室Ａ、Ｈの
底部近くに延びて開口させたものである。一方、各室Ａ
、Ｂには各々室内の上部空間に連通させたチューブ４
Ａ Ｉ ４ Ｂを延設し、各チューブ４Ａ、４Ｂには各
々バルブ５Ａ、５Ｂが介装されている。有機金属６は前
記２室Ａ、Ｂの内の一室例えばＢ室にのみ装填する。有
機金属６が装填された側の上部パルプ５Ｂが出口バルブ
となり他方が入口のバルブとなる。
じて互いに連通させたディッピングチューブ３，３Ｂが
挿入されている。そのディッピングチューブ３Ａｒ ３
ｎは容器本体１内に充填すべき有機金属１０の液面よ
シ高い部分の仕切り２を通して連結され、両室Ａ、Ｈの
底部近くに延びて開口させたものである。一方、各室Ａ
、Ｂには各々室内の上部空間に連通させたチューブ４
Ａ Ｉ ４ Ｂを延設し、各チューブ４Ａ、４Ｂには各
々バルブ５Ａ、５Ｂが介装されている。有機金属６は前
記２室Ａ、Ｂの内の一室例えばＢ室にのみ装填する。有
機金属６が装填された側の上部パルプ５Ｂが出口バルブ
となり他方が入口のバルブとなる。
本発明の有機金属バブラー容器を第２図と同様に装置の
配管に接続する。そのとき入口側が出口側の圧力より低
くなると有機金属６はＢ室よりＡ室に移るが、しかしＡ
室のバルブ５Ａを通り上部配管へ逆流することはなくＡ
室の下部に溜まる。再び入口側の圧力を出口側よシ高く
すればディッピングチューブ３Ａ、３Ｂｆｃ通してＢ室
へもどる。この際多少の有機金属６はＡ室に残存するが
、ディッピングチューブ３Ａの先端と容器底面との距離
を極力小さくすれば残存量は非常に少量であり、Ａ室に
残存する有機原料が結晶成長に悪影響を及ぼすことはな
く、通常の操作でキャリアガスの流れに乗り、これが蒸
気となって短時間で消滅する・（発明の効果〕 以上のように本発明によるときには操作上の誤りやバル
ブの出たかれ等、が原因となって入口側が出口側に比較
して低圧になってもバブラー上部配管への逆流はなく、
かつ容易に入口側圧力を出口側圧力より高くすることに
より有機金属バブラー容器内部を通常状態に復帰させる
ことができる。
配管に接続する。そのとき入口側が出口側の圧力より低
くなると有機金属６はＢ室よりＡ室に移るが、しかしＡ
室のバルブ５Ａを通り上部配管へ逆流することはなくＡ
室の下部に溜まる。再び入口側の圧力を出口側よシ高く
すればディッピングチューブ３Ａ、３Ｂｆｃ通してＢ室
へもどる。この際多少の有機金属６はＡ室に残存するが
、ディッピングチューブ３Ａの先端と容器底面との距離
を極力小さくすれば残存量は非常に少量であり、Ａ室に
残存する有機原料が結晶成長に悪影響を及ぼすことはな
く、通常の操作でキャリアガスの流れに乗り、これが蒸
気となって短時間で消滅する・（発明の効果〕 以上のように本発明によるときには操作上の誤りやバル
ブの出たかれ等、が原因となって入口側が出口側に比較
して低圧になってもバブラー上部配管への逆流はなく、
かつ容易に入口側圧力を出口側圧力より高くすることに
より有機金属バブラー容器内部を通常状態に復帰させる
ことができる。
以上のように本発明の有機金属バブラー容器逆流防止が
でき安全性が高い。
でき安全性が高い。
第１図は本発明の有機金属バブラー容器の断面図、第２
図は有機金属バブラー容器を装置に接続されたときの配
管系統図の一例を示す図、第３図は従来の有機金属バブ
ラー容器の断面図である。 １・・・容器本体、２・・・仕切り、３Ａ、３Ｂ・・・
ディッピングチューブ、４Ａ＃４Ｂ・・・チューブ、５
Ａ、５Ｂ・・・バルブ、６・・・有機金属、Ａ、Ｂ・・
・室 特許出願人 日本電気株式会社 第２図
図は有機金属バブラー容器を装置に接続されたときの配
管系統図の一例を示す図、第３図は従来の有機金属バブ
ラー容器の断面図である。 １・・・容器本体、２・・・仕切り、３Ａ、３Ｂ・・・
ディッピングチューブ、４Ａ＃４Ｂ・・・チューブ、５
Ａ、５Ｂ・・・バルブ、６・・・有機金属、Ａ、Ｂ・・
・室 特許出願人 日本電気株式会社 第２図
Claims (1)
- （１）容器内を２室に区画して各々の室にデイツピング
チユーブを内装し、両デイツピングチユーブを少なくと
も容器内に充填すべき有機金属の液面より高い位置にて
互いに連通させ、両室の上部空間に連通させたチユーブ
を容器外へ延設して各チユーブにバルブを介装し、前記
２室の一方の室にのみ有機金属を充填することを特徴と
する有機金属バブラー容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15201885A JPS6211536A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 有機金属バブラ−容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15201885A JPS6211536A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 有機金属バブラ−容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6211536A true JPS6211536A (ja) | 1987-01-20 |
Family
ID=15531258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15201885A Pending JPS6211536A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 有機金属バブラ−容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6211536A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8170404B2 (en) | 2004-05-20 | 2012-05-01 | Akzo Nobel N.V. | Bubbler for constant vapor delivery of a solid chemical |
-
1985
- 1985-07-09 JP JP15201885A patent/JPS6211536A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8170404B2 (en) | 2004-05-20 | 2012-05-01 | Akzo Nobel N.V. | Bubbler for constant vapor delivery of a solid chemical |
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