JPS619608U - アクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本考案の一実施例を示す概括図、第３
図は本考案の一実施例を示す断面図、第４図は部分断面
図、第５図は他の弁を示す断面図、第６図、第７図は従
来のものを示す概括図である。 ２０・・・カバー、２１・・・ハウジング、２３・・・
ダイアフラム（圧力応動部材）、２４・・・圧力室、２
７・・・リターンスプリング、２８・・・第１大気ポー
ト、２９・・・第２大気ポート、３０・・・圧力通路、
３１・・・圧カポート、３２．３２’・・・弁（開閉手
段）、４０・・・コントロールバルブ（第１の電磁開閉
手段）、４１・・・ＩＪ ＩＪ−スバルブ（第２の電磁
開閉手段）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一端開口のハウジングとカバーとで形成される部屋に圧
   力応動部材を設け、その圧力応動部材の片側に圧力が制
   御される気密的な圧力室を形成すると共にその圧力によ
   ってリターンスプリングの付勢力に抗して作用出力を得
   るアクチュエータにおいて、前記圧力室に大気を導入す
   る第１大気ポート及び第２大気ポートと、前記圧力室に
   圧力を導入する圧力ポートと、前記第１大気ポートと前
   記圧力ポートを交互に開閉する第１の電磁開閉手段と、
   前記第２大気ポートを開閉する第２の電磁開閉手段と、
   前記圧力ポートへ圧力を導入する圧力通路の途中に設け
   られて前記第２の電磁開閉手段が前記第２大気ポートを
   開放するとき圧力通路を閉塞する開閉手段とを備えたこ
   とを特徴とするアクチュエータ。