JPS6193829A - 活性化装置 - Google Patents
活性化装置Info
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- JPS6193829A JPS6193829A JP21700084A JP21700084A JPS6193829A JP S6193829 A JPS6193829 A JP S6193829A JP 21700084 A JP21700084 A JP 21700084A JP 21700084 A JP21700084 A JP 21700084A JP S6193829 A JPS6193829 A JP S6193829A
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- Japan
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- electrode
- ion extraction
- high voltage
- voltage power
- excitation
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T19/00—Devices providing for corona discharge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野〕
この発明は、物体の表面を活性化させる活性化装置に関
する。
する。
粉粒体、フィルム、各種成形物等物体の表面を活性化さ
せ、親水性、親媒性、親油性あるいは易分散性等を付与
するかまたは向上させるに当たり、プラズマ中のイオン
を被処理物体に照射する方法がある。
せ、親水性、親媒性、親油性あるいは易分散性等を付与
するかまたは向上させるに当たり、プラズマ中のイオン
を被処理物体に照射する方法がある。
そのような方法を実現する装置として、第1図fatに
みるようなものが開発された。このものは、平板状の対
向筒ifと、第1図(blの平面図にみるような長い切
欠3aを多数有する平板状(メツシュ状)の励起電極3
の間に誘電体2が介在されて両電極1.3に交流高電圧
電源4が接続されており、励起電極3と、空間5をはさ
んでこれに対向するイオン引出電極6とが直流高電圧電
源7で接続されている構造であった。このものは、各種
気体雰囲気下において励起電極3の表面に面状のプラズ
マが発生するようになっている。他方、励起電極3とイ
オン引出電極6との間には、励起電極3からイオン引出
電極6へ電子が向かう電界が生じている。そのため、励
起電極3表面に発生したプラズマの中から°−”イオン
のみが引き出され、励起電極3とイオン引出電極6との
間に挿入された物体8が、励起電極3例の表面に“−°
イオンによる活性化作用を受けるようになっていた。
みるようなものが開発された。このものは、平板状の対
向筒ifと、第1図(blの平面図にみるような長い切
欠3aを多数有する平板状(メツシュ状)の励起電極3
の間に誘電体2が介在されて両電極1.3に交流高電圧
電源4が接続されており、励起電極3と、空間5をはさ
んでこれに対向するイオン引出電極6とが直流高電圧電
源7で接続されている構造であった。このものは、各種
気体雰囲気下において励起電極3の表面に面状のプラズ
マが発生するようになっている。他方、励起電極3とイ
オン引出電極6との間には、励起電極3からイオン引出
電極6へ電子が向かう電界が生じている。そのため、励
起電極3表面に発生したプラズマの中から°−”イオン
のみが引き出され、励起電極3とイオン引出電極6との
間に挿入された物体8が、励起電極3例の表面に“−°
イオンによる活性化作用を受けるようになっていた。
しかしながら、このものは、イオン引出111M6表面
に傷があったりすると、励起電極3からのイオン引出し
が局部的になり、物体の活性化が局部に集中してしまう
という恐れがあった。また、励起′ll極3を構成して
いる導体微粒子が、放電によって物体8表面に付着した
り、物体8内に混入したりして、物体8に所望の活性化
が得られなくなってしまうという恐れもあった。
に傷があったりすると、励起電極3からのイオン引出し
が局部的になり、物体の活性化が局部に集中してしまう
という恐れがあった。また、励起′ll極3を構成して
いる導体微粒子が、放電によって物体8表面に付着した
り、物体8内に混入したりして、物体8に所望の活性化
が得られなくなってしまうという恐れもあった。
そこで、この発明は、物体に所望の活性化が得られる活
性化装置を提供することを目的とする。
性化装置を提供することを目的とする。
[発明の開示〕
発明者らは、上記の目的を達成するために97゜検討を
重ね、この発明を完成した。
重ね、この発明を完成した。
この発明は、間に誘電体を介在させた板状の対向電極と
板状の励起電極とが交流高電圧電源に接続されていて、
前記励起電極が板状のイオン引出電極と空間を介して対
向するとともに高電圧電源で接続されており、励起電極
とイオン引出電極との間の前記空間に発生した放電状態
下に挿入された被処理物体が活性化されるようになって
いる活性化装置であって、前記空間内において少なくと
も一方の電極と被処理物体との間に電極面を覆うように
して誘電性材料が介在されていることを特徴とする活性
化装置をその要旨とする。以下、これを、その実施例を
あられす図面に基づいて詳しく説明する。
板状の励起電極とが交流高電圧電源に接続されていて、
前記励起電極が板状のイオン引出電極と空間を介して対
向するとともに高電圧電源で接続されており、励起電極
とイオン引出電極との間の前記空間に発生した放電状態
下に挿入された被処理物体が活性化されるようになって
いる活性化装置であって、前記空間内において少なくと
も一方の電極と被処理物体との間に電極面を覆うように
して誘電性材料が介在されていることを特徴とする活性
化装置をその要旨とする。以下、これを、その実施例を
あられす図面に基づいて詳しく説明する。
第2図にみるように、間に誘電体10を介在させた平板
状の対向電極9と、第3図の平面図にみるような長い切
欠11aを幅方向に多数有する板状(メツシュ状)の励
起電極11とが交流高電圧電源4に接続されている。励
起電極11は、処理空間12および平板状の誘電性材料
(ライナ) 13を介して板状のイオン引出電極14と
対向している。誘電性材料13は、前記処理空間12に
挿入される被処理物体8とイオン引出電極14との間に
介在されており、イオン引出電4i14の電極面を覆っ
ている。励起電極11とイオン引出′21極14とは直
流高電圧電源7で接続されている。
状の対向電極9と、第3図の平面図にみるような長い切
欠11aを幅方向に多数有する板状(メツシュ状)の励
起電極11とが交流高電圧電源4に接続されている。励
起電極11は、処理空間12および平板状の誘電性材料
(ライナ) 13を介して板状のイオン引出電極14と
対向している。誘電性材料13は、前記処理空間12に
挿入される被処理物体8とイオン引出電極14との間に
介在されており、イオン引出電4i14の電極面を覆っ
ている。励起電極11とイオン引出′21極14とは直
流高電圧電源7で接続されている。
このような装置は、活性の内容により、真空状態下また
は、酸素ガス、窒素ガス等各種の気体雰囲気下で使用さ
れる。また、高温、低温、高圧。
は、酸素ガス、窒素ガス等各種の気体雰囲気下で使用さ
れる。また、高温、低温、高圧。
低圧等各種環境条件下で使用される。使用にあたっては
、第2図にみるように、励起電極11とイオン引出電極
14との間の処理空間12に被処理物体8を挿入させる
。対向電極9と励起電極11との間に交流高電圧を印加
すると、励起電極11の表面で空間12内の気体が電離
してプラズマが発生する。処理空間12では、励起電極
11からイオン引出電極14に電子が向かう電界が生じ
ている。そのため、物体8は、励起電極1111Jの表
面が前記プラズマ中の1−”イオンで活性化される。前
述したように、物体8とイオン引出電極14との間には
、誘電性材料13が介在されイオン引出電+i14の電
極面を覆っている。そのため、励起電極11で発生した
プラズマイオンが局部的に集中することがないので、物
体8の噛部等局部に活性化が集中するようなことがない
のである。
、第2図にみるように、励起電極11とイオン引出電極
14との間の処理空間12に被処理物体8を挿入させる
。対向電極9と励起電極11との間に交流高電圧を印加
すると、励起電極11の表面で空間12内の気体が電離
してプラズマが発生する。処理空間12では、励起電極
11からイオン引出電極14に電子が向かう電界が生じ
ている。そのため、物体8は、励起電極1111Jの表
面が前記プラズマ中の1−”イオンで活性化される。前
述したように、物体8とイオン引出電極14との間には
、誘電性材料13が介在されイオン引出電+i14の電
極面を覆っている。そのため、励起電極11で発生した
プラズマイオンが局部的に集中することがないので、物
体8の噛部等局部に活性化が集中するようなことがない
のである。
なお、この実施例では、励起電極とイオン引出電極とに
、励起電極を陰極としイオン引出@掻を陽極とするよう
直流高電圧電源が使用されていた。
、励起電極を陰極としイオン引出@掻を陽極とするよう
直流高電圧電源が使用されていた。
しかし、その電源の代わりに、実施例とは極性を逆にし
た直流高電圧電源7a(第4図(a)に図示)や交流高
電圧電源4a(第4図(b)に図示)を使用したり、第
4図(C)または第4図(dlにみるように、交流高電
圧11fi4aと直流高電圧電源7(または?a)を重
畳した電源を使用したりしても構わない0図中、4は対
向電極と励起電極とに接続されている交流高電圧電源で
ある。また、前記実施例では、イオン引出電極が平板状
のものであった。
た直流高電圧電源7a(第4図(a)に図示)や交流高
電圧電源4a(第4図(b)に図示)を使用したり、第
4図(C)または第4図(dlにみるように、交流高電
圧11fi4aと直流高電圧電源7(または?a)を重
畳した電源を使用したりしても構わない0図中、4は対
向電極と励起電極とに接続されている交流高電圧電源で
ある。また、前記実施例では、イオン引出電極が平板状
のものであった。
しかし、代わりに、第5図にみるように、励起電極11
と同形状のもの、すなわち長い切欠14aを幅方向に多
数有する板状のイオン引出電極14′が使用されても良
い、それにより、処理空間12内の電界が適度に集中さ
れる。
と同形状のもの、すなわち長い切欠14aを幅方向に多
数有する板状のイオン引出電極14′が使用されても良
い、それにより、処理空間12内の電界が適度に集中さ
れる。
第6図および第7図は、この発明にかかる活性化装置の
それぞれ異なる実施例をあられす、これらの装置は、第
2図に示す装置とほぼ同じ構造をしているので、図面上
、同じ構成部分については同じ符号を付し、説明を省略
する。
それぞれ異なる実施例をあられす、これらの装置は、第
2図に示す装置とほぼ同じ構造をしているので、図面上
、同じ構成部分については同じ符号を付し、説明を省略
する。
第6図に示す装置は、平板状の誘電性材料(ライナ)1
5が、処理空間12に挿入される被処理物体8と励起電
極11との間に介在されている。
5が、処理空間12に挿入される被処理物体8と励起電
極11との間に介在されている。
この誘電性材料15は、励起電極11の電極面を覆って
いる。そのため、引出しイオンの局部的集中を防止する
のみでなく、励起電極11が放電や機械的摩耗によって
発生させる導体微粒子が、被処理物体8に付着したり混
入したりすることを防止するという効果もある。
いる。そのため、引出しイオンの局部的集中を防止する
のみでなく、励起電極11が放電や機械的摩耗によって
発生させる導体微粒子が、被処理物体8に付着したり混
入したりすることを防止するという効果もある。
第7図に示す装置は、処理空間12に挿入される被処理
物体8と、励起i!極11およびイオン引出電極14の
両電極との間にそれぞれ平板状の誘電性材料(ライナ)
15.13が介在されている、このようにして、活性化
作用の局部集中を防止するとともに、導体微粒子が被処
理物体8に付着したり混入したりすることも防止するよ
うにしても良い。
物体8と、励起i!極11およびイオン引出電極14の
両電極との間にそれぞれ平板状の誘電性材料(ライナ)
15.13が介在されている、このようにして、活性化
作用の局部集中を防止するとともに、導体微粒子が被処
理物体8に付着したり混入したりすることも防止するよ
うにしても良い。
88図に示す装置は、第6図の装置における平板状のイ
オン引出電極14の代わりに、長い切欠14aを幅方向
に多数有する板状(メツシュ状)のイオン引出電極14
′が使用されたものである、それにより、処理空間12
に適度な電界の集中が与えられる。勿論、第6図の装置
と同様の効果が得られる。
オン引出電極14の代わりに、長い切欠14aを幅方向
に多数有する板状(メツシュ状)のイオン引出電極14
′が使用されたものである、それにより、処理空間12
に適度な電界の集中が与えられる。勿論、第6図の装置
と同様の効果が得られる。
第9図に示す装置は、第7図の装置における平板状のイ
オン引出電極14の代わりに、長い切欠14aを幅方向
に多数有する板状のイオン引出電極14′が使用された
ちのである。それにより、処理空間12に適度な電界の
集中が与えられる。
オン引出電極14の代わりに、長い切欠14aを幅方向
に多数有する板状のイオン引出電極14′が使用された
ちのである。それにより、処理空間12に適度な電界の
集中が与えられる。
勿論、第7図の装置と同様の効果が得られる。
第5図ないし第9図の装置において、励起電極11とイ
オン引出電極14(または14′)とが、第2図の装置
と同様の直流筋電圧電:f!A7で接続されていた。こ
れらの装置においても、前記直流高電圧?llt源7の
代わりに、第4図(a)〜(dlに示すような各種高電
圧電源が使用され得る。
オン引出電極14(または14′)とが、第2図の装置
と同様の直流筋電圧電:f!A7で接続されていた。こ
れらの装置においても、前記直流高電圧?llt源7の
代わりに、第4図(a)〜(dlに示すような各種高電
圧電源が使用され得る。
第10図ないし第15図は、これまでに図面に基づいて
説明した各種実施例において、交流高電圧?iR4を、
励起電極11とイオン引出電橿工4、 (または14′
)との間の高電圧ii源に共用するようにした装置を示
す、これにより、処理空間12に、励起1!極一対向電
極間と同期した電界が形成されるため、励起1!極11
からのイオン照射率が向上する。
説明した各種実施例において、交流高電圧?iR4を、
励起電極11とイオン引出電橿工4、 (または14′
)との間の高電圧ii源に共用するようにした装置を示
す、これにより、処理空間12に、励起1!極一対向電
極間と同期した電界が形成されるため、励起1!極11
からのイオン照射率が向上する。
第16図はこの発明にかかる活性化装置のさらに別の実
施例をあられしている。このものは、第5図の装置にお
けるイオン引出電極14′に対して、処理空間12とは
反対側の面に誘電体16を介して平板状の第2の対向電
極17が設置されていて、イオン引出電極14′と第2
の対向電極17とが交流高電圧電源4bで接続されてい
る。これにより、誘電性材料13の表面に沿いイオン引
出電極14′から沿面放電が発生するので、イオン引出
型+ffi 14 ’の処理空間12と面する個所にお
いても気体が励起されて面状のプラズマが発生する。し
かも、プラズマ中の特定イオンは、直流高電圧電源7が
作り出す電界により、処理空間12に引き出される。そ
のため、処理空間12に挿入された被処理物体8は、イ
オン引出電極14′と面する面においてもプラズマによ
る活性化処理がなされる。この場合、イオン引出電極1
4’と面する被処理物体8表面に対してプラズマをより
効率良く付与するため、誘電性材料13の厚みをできる
だけ薄くすることが好ましい0例えば、イオン引出電極
14′表面に薄(コーティングするようにしても良い、
この装置は、第5図の装置と同様、被処理物体の局部的
な活性化が防止されるようになっている。なお、第5図
と同じ構成部分については図面に同じ符号を付し、説明
を省略した。
施例をあられしている。このものは、第5図の装置にお
けるイオン引出電極14′に対して、処理空間12とは
反対側の面に誘電体16を介して平板状の第2の対向電
極17が設置されていて、イオン引出電極14′と第2
の対向電極17とが交流高電圧電源4bで接続されてい
る。これにより、誘電性材料13の表面に沿いイオン引
出電極14′から沿面放電が発生するので、イオン引出
型+ffi 14 ’の処理空間12と面する個所にお
いても気体が励起されて面状のプラズマが発生する。し
かも、プラズマ中の特定イオンは、直流高電圧電源7が
作り出す電界により、処理空間12に引き出される。そ
のため、処理空間12に挿入された被処理物体8は、イ
オン引出電極14′と面する面においてもプラズマによ
る活性化処理がなされる。この場合、イオン引出電極1
4’と面する被処理物体8表面に対してプラズマをより
効率良く付与するため、誘電性材料13の厚みをできる
だけ薄くすることが好ましい0例えば、イオン引出電極
14′表面に薄(コーティングするようにしても良い、
この装置は、第5図の装置と同様、被処理物体の局部的
な活性化が防止されるようになっている。なお、第5図
と同じ構成部分については図面に同じ符号を付し、説明
を省略した。
第17図に示す装置は、第16図の装置における処理空
間12内において、そこに挿入された被処理物体8と励
起電極11との間に平板状の誘電性材料15が介在され
ているものである。誘電性材料工5は、励起電極11の
電極面を覆っており、放電や機械的摩耗によって励起電
極11表面から発生する導体微粒子が被処理物体8に付
着したり混入したりすることを防止する11 iJ電性
材料15は、処理空間12の電界をあまり弱めることの
ないように、厚みができるだけ薄くなっていることが好
ましい、1例えば、励起電極11表面に薄くコーティン
グするようにしても良い、この装置でも、第16図の装
置と同様、イオン引出電極14′の処理空間12と面す
る個所においても気体が励起されて面状のプラズマが発
生する。そのため、被処理物体8は、イオン引出電極1
4’と面する面においてもプラズマによる活性化処理が
なされる。また、この装置は、第7v!Jの装置と同様
、活性化作用の局部集中が防止されるとともに、導体微
粒子が被処理物体8に付着したり混入したりすることも
防止される。なお、第16図と同じ構成部分については
図面に同じ符号を付し、説明を省略した。
間12内において、そこに挿入された被処理物体8と励
起電極11との間に平板状の誘電性材料15が介在され
ているものである。誘電性材料工5は、励起電極11の
電極面を覆っており、放電や機械的摩耗によって励起電
極11表面から発生する導体微粒子が被処理物体8に付
着したり混入したりすることを防止する11 iJ電性
材料15は、処理空間12の電界をあまり弱めることの
ないように、厚みができるだけ薄くなっていることが好
ましい、1例えば、励起電極11表面に薄くコーティン
グするようにしても良い、この装置でも、第16図の装
置と同様、イオン引出電極14′の処理空間12と面す
る個所においても気体が励起されて面状のプラズマが発
生する。そのため、被処理物体8は、イオン引出電極1
4’と面する面においてもプラズマによる活性化処理が
なされる。また、この装置は、第7v!Jの装置と同様
、活性化作用の局部集中が防止されるとともに、導体微
粒子が被処理物体8に付着したり混入したりすることも
防止される。なお、第16図と同じ構成部分については
図面に同じ符号を付し、説明を省略した。
第16図または第17図に示す装置において、励起電極
11とイオン引出電極14′とが接続されている直流高
電圧電源70代わりに、第4図(83〜rb)に示すよ
うな各種高電圧電源が使用され得る第18図および第1
9図はそれぞれ、第16図に示す装置および第17図に
示す装置と電源を異にする装置をあられす、これら装置
では、イオン引出電極14’と第2の対向電極17とが
接続されている交流高電圧電源が、対向1i極9と励起
電極11とが接続されている交流高電圧電R4との共用
になっている。すなわち、励起電極11と第2の対向電
極17とが接続され、イオン引出電極14′と対向電極
9とがt!続されることによって、交流高電圧電源をひ
とつに減らしているのである。これらの装置においても
、励起電極11とイオン引出電極14′とが接続されて
いる直流筋電圧電217ii7の代わりに、第4図(a
)〜Fdlに示すような各種高電圧電源が使用され得る
。
11とイオン引出電極14′とが接続されている直流高
電圧電源70代わりに、第4図(83〜rb)に示すよ
うな各種高電圧電源が使用され得る第18図および第1
9図はそれぞれ、第16図に示す装置および第17図に
示す装置と電源を異にする装置をあられす、これら装置
では、イオン引出電極14’と第2の対向電極17とが
接続されている交流高電圧電源が、対向1i極9と励起
電極11とが接続されている交流高電圧電R4との共用
になっている。すなわち、励起電極11と第2の対向電
極17とが接続され、イオン引出電極14′と対向電極
9とがt!続されることによって、交流高電圧電源をひ
とつに減らしているのである。これらの装置においても
、励起電極11とイオン引出電極14′とが接続されて
いる直流筋電圧電217ii7の代わりに、第4図(a
)〜Fdlに示すような各種高電圧電源が使用され得る
。
第20TyJおよび第21図はそれぞれ、第18図に示
す装置および第19図に示す装置と電源を異にする装置
をあられす、これら装置では、励起電極11とイオン引
出電極14′とが接続されている高電圧電源が、励起電
極11と対向電極9とが接続されている交流高電圧電源
4との共用になっている。すなわち、励起電極11と第
2の対向電極17とが接続され、同時に交流高電圧電R
4に接続されているのである。これにより、処理空間1
2に、交流高電圧電源4と同期した電界が形成されるた
め、励起電極11からのイオン照射率が向上する。
す装置および第19図に示す装置と電源を異にする装置
をあられす、これら装置では、励起電極11とイオン引
出電極14′とが接続されている高電圧電源が、励起電
極11と対向電極9とが接続されている交流高電圧電源
4との共用になっている。すなわち、励起電極11と第
2の対向電極17とが接続され、同時に交流高電圧電R
4に接続されているのである。これにより、処理空間1
2に、交流高電圧電源4と同期した電界が形成されるた
め、励起電極11からのイオン照射率が向上する。
この発明にかかる活性化装置を構成する励起電極および
イオン引出電極には、実施例では、長い切欠を幅方向に
多数有する形状のものがあった。
イオン引出電極には、実施例では、長い切欠を幅方向に
多数有する形状のものがあった。
このように、被処理物体に面する面が曲率の小さい凹凸
面に形成されていれば、処理空間に対して適度な電界の
集中が与えられるため好ましい、そのような形状として
、他に、ストリップ状(細長い一片からなる形状、その
ような片や細長い切欠とから形成されり板状、スリット
状)、ブラシ状等がある。しかし、励起i!極は平板状
であっても構わない。
面に形成されていれば、処理空間に対して適度な電界の
集中が与えられるため好ましい、そのような形状として
、他に、ストリップ状(細長い一片からなる形状、その
ような片や細長い切欠とから形成されり板状、スリット
状)、ブラシ状等がある。しかし、励起i!極は平板状
であっても構わない。
以上のように、この発明にかかる活性化装置は、間に誘
電体を介在させた板状の対向電極と板状の励起TL極と
が交流高電圧電源に接続されていて、前記励起電極が板
状のイオン引出電極と空間を介して対向するとともに高
電圧電源で接続されており、励起電極とイオン引出電極
との間の前記空間に発生した放電状態下に挿入された被
処理物体が活性化されるようになっている活性化装置で
あって、前記空間内において少なくとも一方の電憚と被
処理物体との間に電極面を覆うようにして誘電性材料が
介在されていることを特徴としている、したがって、励
起1を極と被処理物体との間に誘電性材料が介在された
場合には、励起電極から発生する導体微粒子が被処理物
体に付着したり混入したりすることが防止されるという
効果がもたらされる。また、イオン引出電極と被処理物
体との間に誘電性材料が介在された場合には、物体の局
部に活性化が集中するようなことがなく、物体表面全域
にわたって活性化がなされるという効果がもたらされる
。すなわち、被処理物体が挿入される空間内においてそ
の空間を形成する少なくとも一方の電極と被処理物体と
の間に?l!極面を覆うようにして誘電性材料が介在さ
れているので、被処理物体に所望の活性化が得られると
いう効果がもたらされるのである。
電体を介在させた板状の対向電極と板状の励起TL極と
が交流高電圧電源に接続されていて、前記励起電極が板
状のイオン引出電極と空間を介して対向するとともに高
電圧電源で接続されており、励起電極とイオン引出電極
との間の前記空間に発生した放電状態下に挿入された被
処理物体が活性化されるようになっている活性化装置で
あって、前記空間内において少なくとも一方の電憚と被
処理物体との間に電極面を覆うようにして誘電性材料が
介在されていることを特徴としている、したがって、励
起1を極と被処理物体との間に誘電性材料が介在された
場合には、励起電極から発生する導体微粒子が被処理物
体に付着したり混入したりすることが防止されるという
効果がもたらされる。また、イオン引出電極と被処理物
体との間に誘電性材料が介在された場合には、物体の局
部に活性化が集中するようなことがなく、物体表面全域
にわたって活性化がなされるという効果がもたらされる
。すなわち、被処理物体が挿入される空間内においてそ
の空間を形成する少なくとも一方の電極と被処理物体と
の間に?l!極面を覆うようにして誘電性材料が介在さ
れているので、被処理物体に所望の活性化が得られると
いう効果がもたらされるのである。
第1図(a3は活性化装置の従来例をあられす正面図、
同図(blは前記活性化装置を構成する励起電極をあら
れす平面図、第2図はこの発明にかかる活性化装置の一
実施例をあられす正面図、第3図は第2図の活性化装置
を構成する励起電極をあられす平面図、第4図tat〜
(d)はこの発明にかかる活性化装置を構成する電源の
それぞれ異なる態様をあられす図面、第5図ないし第2
1図はこの発明にかかる活性化装置のそれぞれ異なる実
施例をあられす正面図である。 4.4a、4b・・・交流高電圧電源 7.7a・・・
直流高電圧電源 8・・・被処理物体 9・・・対向m
ff510.16・・・誘電体 11・・・励起電極
12・・・処理空間 13.15・・・誘電性材料 1
4.14′・・・イオン引出電極 17・・・第2の対
向電橿第1図(a) 第1図(b) 第2図 第3図 第4図 (a) (b) (c) (d)7
7a i5図 第8図 第10図 第11図 第14図 第17図 第18図 第19図 第20図
同図(blは前記活性化装置を構成する励起電極をあら
れす平面図、第2図はこの発明にかかる活性化装置の一
実施例をあられす正面図、第3図は第2図の活性化装置
を構成する励起電極をあられす平面図、第4図tat〜
(d)はこの発明にかかる活性化装置を構成する電源の
それぞれ異なる態様をあられす図面、第5図ないし第2
1図はこの発明にかかる活性化装置のそれぞれ異なる実
施例をあられす正面図である。 4.4a、4b・・・交流高電圧電源 7.7a・・・
直流高電圧電源 8・・・被処理物体 9・・・対向m
ff510.16・・・誘電体 11・・・励起電極
12・・・処理空間 13.15・・・誘電性材料 1
4.14′・・・イオン引出電極 17・・・第2の対
向電橿第1図(a) 第1図(b) 第2図 第3図 第4図 (a) (b) (c) (d)7
7a i5図 第8図 第10図 第11図 第14図 第17図 第18図 第19図 第20図
Claims (6)
- (1)間に誘電体を介在させた板状の対向電極と板状の
励起電極とが交流高電圧電源に接続されていて、前記励
起電極が板状のイオン引出電極と空間を介して対向する
とともに高電圧電源で接続されており、励起電極とイオ
ン引出電極との間の前記空間に発生した放電状態下に挿
入された被処理物体が活性化されるようになつている活
性化装置であつて、前記空間内において少なくとも一方
の電極と被処理物体との間に電極面を覆うようにして誘
電性材料が介在されていることを特徴とする活性化装置
。 - (2)イオン引出電極の被処理物体が挿入される空間と
は反対側に、誘電体を介して板状の第2の対向電極が設
置されていて、イオン引出電極と前記第2の対向電極と
が交流高電圧電源で接続されている特許請求の範囲第1
項記載の活性化装置。 - (3)イオン引出電極と第2の対向電極とが接続されて
いる交流高電圧電源が、励起電極と対向電極とが接続さ
れている交流高電圧電源との共用である特許請求の範囲
第2項記載の活性化装置。 - (4)励起電極とイオン引出電極とが接続されている高
電圧電源が、励起電極と対向電極とが接続されている交
流高電圧電源との共用である特許請求の範囲第1項ない
し第3項のいずれかに記載の活性化装置。 - (5)励起電極が、長い切欠を幅方向に複数個有する板
状のものである特許請求の範囲第1項ないし第4項のい
ずれかに記載の活性化装置。 - (6)イオン引出電極が、長い切欠を幅方向に複数個有
する板状のものである特許請求の範囲第1項ないし第5
項のいずれかに記載の活性化装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21700084A JPS6193829A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 活性化装置 |
CA000492963A CA1276908C (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Excitation apparatus with discharge between opposing electrodes separated by dielectric member |
EP85307422A EP0178907A3 (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Activation apparatus and method |
AU48595/85A AU582590B2 (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Activation apparatus |
AU18567/88A AU601856B2 (en) | 1984-10-15 | 1988-06-30 | Activation method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21700084A JPS6193829A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 活性化装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6193829A true JPS6193829A (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=16697243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21700084A Pending JPS6193829A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 活性化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6193829A (ja) |
-
1984
- 1984-10-15 JP JP21700084A patent/JPS6193829A/ja active Pending
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