JPS618893U - 試料移動装置 - Google Patents
試料移動装置Info
- Publication number
- JPS618893U JPS618893U JP9330384U JP9330384U JPS618893U JP S618893 U JPS618893 U JP S618893U JP 9330384 U JP9330384 U JP 9330384U JP 9330384 U JP9330384 U JP 9330384U JP S618893 U JPS618893 U JP S618893U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movement
- block
- moving device
- moving
- guide
- Prior art date
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- Granted
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はこの考案の一実施例による電子ビーム測長機の
試料移動装置を示す平面図、第2図はそのA−A断面図
、第3図はB−B断面図、第4図は従来の試料移動装置
を示す正面図、第5図は他の従来の試料移動装置を示す
断面図、第6図はそのC−C断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、1はベ
ース、2はX移動ガイド、3(まY移動′ガイド、5は
X移動ブロック、7はX送りねじ、11はY移動ブロッ
ク、13はY送りねじ、16は移動ベース、17はピン
、18はY方向ガイド、20はXY移動ブロック、21
はY伝達ブロック、23はX方向ガイドである。
試料移動装置を示す平面図、第2図はそのA−A断面図
、第3図はB−B断面図、第4図は従来の試料移動装置
を示す正面図、第5図は他の従来の試料移動装置を示す
断面図、第6図はそのC−C断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、1はベ
ース、2はX移動ガイド、3(まY移動′ガイド、5は
X移動ブロック、7はX送りねじ、11はY移動ブロッ
ク、13はY送りねじ、16は移動ベース、17はピン
、18はY方向ガイド、20はXY移動ブロック、21
はY伝達ブロック、23はX方向ガイドである。
Claims (4)
- (1)共通のベースに直角方向に設けられたX移動ガイ
ドおよびY移動ガイドと、これらのX移動ガイドおよび
Y移動ガイドに沿ってそれぞれ直角方向に移動するX移
動ブロックおよびY移動ブロックと、X移動ブロックに
取付けられる移動ベースにY移動ガイドと平行に設けら
れたY方向ガイドと、このY方向ガイドに沿ってY方向
に移動するXY移動ブロックと、このXY移動ブロック
のX方向の移動を許容しかつY方向に移動させるようY
移動ブ冶ツクに設けられたX方向ガイドとを備えたこと
を特徴とする試料移動装置。 - (2)X移動ブロックおよびY移動ブロックがそれぞれ
送りねじによって移動するものである実用新案登録請求
の範囲第1項記載の試料移動装置。 - (3)移動ベースがピンを支点として直交度を調整でき
るようにX移動ブロックに取付られた実用新案登録請求
の範囲第1項または第2項記載の試料移動装置。 - (4)XY移動ブロックがY伝達ブロックを介してX方
向ガイドとY方向に係合した実用新案登録2請求の範囲
第1項ないし第3項のいずれかに記載の試料移動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9330384U JPS618893U (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9330384U JPS618893U (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 試料移動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS618893U true JPS618893U (ja) | 1986-01-20 |
JPH0353195Y2 JPH0353195Y2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=30650860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9330384U Granted JPS618893U (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 試料移動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS618893U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62182498U (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-19 |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP9330384U patent/JPS618893U/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62182498U (ja) * | 1986-05-10 | 1987-11-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0353195Y2 (ja) | 1991-11-20 |
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