JPS6182133A - センサ - Google Patents
センサInfo
- Publication number
- JPS6182133A JPS6182133A JP60133176A JP13317685A JPS6182133A JP S6182133 A JPS6182133 A JP S6182133A JP 60133176 A JP60133176 A JP 60133176A JP 13317685 A JP13317685 A JP 13317685A JP S6182133 A JPS6182133 A JP S6182133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- cannula
- sensor
- sensor according
- screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ケーシング及び少なくとも2つのダイアフラ
ムを備えたセンサであって、ダイアフラムが液体で満さ
れた容積を取囲んでいる形式のものに関する。
ムを備えたセンサであって、ダイアフラムが液体で満さ
れた容積を取囲んでいる形式のものに関する。
従来の技術
前記形式のセンサは特に圧力センサとして用いられ、こ
の場合ダイアフラム間の圧力伝達が液力的に非圧縮性の
液体を用いて行われる。簡単な圧力センサにおいてはも
っばら一方のダイアフラムが媒体に触れて、その圧力を
測定するものであるのに対して、他方のダイアフラムは
媒体から離され測定ダイアフラムを形成している。両方
のダイアフラムが異なる横断面で構成されており、これ
によって力変遺作用若しくは距離変換作用が得られる。
の場合ダイアフラム間の圧力伝達が液力的に非圧縮性の
液体を用いて行われる。簡単な圧力センサにおいてはも
っばら一方のダイアフラムが媒体に触れて、その圧力を
測定するものであるのに対して、他方のダイアフラムは
媒体から離され測定ダイアフラムを形成している。両方
のダイアフラムが異なる横断面で構成されており、これ
によって力変遺作用若しくは距離変換作用が得られる。
差圧力センサにおいては差を測定しようとする両方の圧
力がそれぞ几一方のダイアフラムに作用する。
力がそれぞ几一方のダイアフラムに作用する。
この種の公知の圧力センサにおいては、液体の注入はケ
ーシング内に設けられた注入通路を介して行われ、この
注入通路は注入の後に球体及びねじを用いてエキスパン
ダシール (Kxpande rdi chtung)若しくは類
似の形式によって閉じられる。このような手段は高訓で
かつ多くの場合使用不可能であり、特に注入箇所がダイ
アフラム間の最も高い油レベルよりも高い位置にあらね
ばならない。液体の注入はケーシングの外側から、すな
わち圧力センサをねじ込み、プレスばめ若しくは別の形
式で奴付ける箇所から行われねば−ならず、このような
箇所は組立てだ状態ではもはや得られない。さらに、注
入通路を設けた一所は測定媒体と接続しており、従つて
注入通路若しくはその閉鎖部が腐食せしめられる。多く
の場合、圧力センサのケーシングに側方の通路を取付け
ること若しくは空気封入のおそれなく液体を注入できる
ように注入通路を配置することは不可能である。
ーシング内に設けられた注入通路を介して行われ、この
注入通路は注入の後に球体及びねじを用いてエキスパン
ダシール (Kxpande rdi chtung)若しくは類
似の形式によって閉じられる。このような手段は高訓で
かつ多くの場合使用不可能であり、特に注入箇所がダイ
アフラム間の最も高い油レベルよりも高い位置にあらね
ばならない。液体の注入はケーシングの外側から、すな
わち圧力センサをねじ込み、プレスばめ若しくは別の形
式で奴付ける箇所から行われねば−ならず、このような
箇所は組立てだ状態ではもはや得られない。さらに、注
入通路を設けた一所は測定媒体と接続しており、従つて
注入通路若しくはその閉鎖部が腐食せしめられる。多く
の場合、圧力センサのケーシングに側方の通路を取付け
ること若しくは空気封入のおそれなく液体を注入できる
ように注入通路を配置することは不可能である。
発明が解決しようとする問題点
本発明の課題は、冒頭に述べた形式のセンサを改善して
、困難な組込み条件下でも申し分なく接近しかつ空気の
封入のおそれなしに液体を簡単に注入できるようにする
ことである。
、困難な組込み条件下でも申し分なく接近しかつ空気の
封入のおそれなしに液体を簡単に注入できるようにする
ことである。
問題点を解決するための手段
前記課題を解決するために本発明の手段では、液体を注
入するために1つのダイアフラムが孔を備えており、カ
ニニーレが孔の縁部に液密に結合さ几ている。
入するために1つのダイアフラムが孔を備えており、カ
ニニーレが孔の縁部に液密に結合さ几ている。
発明の効果
本発明のセンサにおいては、公知の圧力センサと原理的
に異なって、液体を注入するための機構がケーシングで
はなく、1つのダイアフラムに取付けられている。これ
は、特にカニューしを機械的に負荷されることのほとん
どないダイアフラムの中央区分に取付ける場合、ダイア
フラムの機能及び剛性をそこなうことなしに可能である
。簡単な圧力センサにおいて、カニユーレが有利には測
定媒体と接触することのないダイアフラムに取付けられ
ており、その結果カニユーレは圧力センサの測定媒体と
逆の接近しやすい側に位置し、腐食に対して保護されて
いる。本発明に基づく液体を注入する機構は、ケーシン
グの機械的な加工及び費用のかかる閉鎖部材を必要とし
ないので極めて簡単かつ安価である。重要な利点として
油注入箇所が原理的に油室の最も高い点の上側に位置し
ている。さらに付加的な利点として力若しくは距離伝達
を行う部材がカニユーレとして用いられる。
に異なって、液体を注入するための機構がケーシングで
はなく、1つのダイアフラムに取付けられている。これ
は、特にカニューしを機械的に負荷されることのほとん
どないダイアフラムの中央区分に取付ける場合、ダイア
フラムの機能及び剛性をそこなうことなしに可能である
。簡単な圧力センサにおいて、カニユーレが有利には測
定媒体と接触することのないダイアフラムに取付けられ
ており、その結果カニユーレは圧力センサの測定媒体と
逆の接近しやすい側に位置し、腐食に対して保護されて
いる。本発明に基づく液体を注入する機構は、ケーシン
グの機械的な加工及び費用のかかる閉鎖部材を必要とし
ないので極めて簡単かつ安価である。重要な利点として
油注入箇所が原理的に油室の最も高い点の上側に位置し
ている。さらに付加的な利点として力若しくは距離伝達
を行う部材がカニユーレとして用いられる。
本発明の有利な実施態様が特許請求の範囲第2項以下に
記載しである。
記載しである。
実施例
図面に示す圧力センサ10のケーシングはねじ込み片1
1として構成されている。ねじ込み片11の下側の円筒
状の部分は、おねじ12を備えていて、このおねじを以
って容器の壁のねじ孔内にねじ込まれる。容器内には測
定媒体が入っており、この測定媒体の圧力が圧力センサ
によって測定される。ねじ込み片11の上側の部分はね
じスパナを装着するための六角部13として構成されて
いる。
1として構成されている。ねじ込み片11の下側の円筒
状の部分は、おねじ12を備えていて、このおねじを以
って容器の壁のねじ孔内にねじ込まれる。容器内には測
定媒体が入っており、この測定媒体の圧力が圧力センサ
によって測定される。ねじ込み片11の上側の部分はね
じスパナを装着するための六角部13として構成されて
いる。
ねじ込み片11には軸線方向で貫通する中心の切欠き1
4が形成されている。切欠き14は直径の異なる6つの
区分15,13.17から成っている。上側の区分15
は円筒状に平滑な周壁を備えかつ上側の端面からねじ込
み片11の高さの3分の1よりも長い距離にわたって、
ひいては六角部13の高さの半分よりも長い距離にわた
って延びている。上側の区分15に続く中央の円筒状の
区分13はいくらか大きな直径を有しており、従って区
分15と13との間にリング状の肩部18が生じている
。区分13の周壁はめねじ19を備えている。区分13
は区分15よりもわずかに長い軸線方向の距離にわたっ
て延びて、従ってほぼおねじ12の半分の高さまで達し
ている。ねじ込み片11の下側の端面゛まで達する下側
の区分17はほかの各区分15.13よりも著しく小さ
な軸線方向の距離しか有していないが、区分13よりも
著しく大きな直径を有しており、従って両方の区分13
.17間にはリング状の比較的幅広い肩部20が形成さ
れている。
4が形成されている。切欠き14は直径の異なる6つの
区分15,13.17から成っている。上側の区分15
は円筒状に平滑な周壁を備えかつ上側の端面からねじ込
み片11の高さの3分の1よりも長い距離にわたって、
ひいては六角部13の高さの半分よりも長い距離にわた
って延びている。上側の区分15に続く中央の円筒状の
区分13はいくらか大きな直径を有しており、従って区
分15と13との間にリング状の肩部18が生じている
。区分13の周壁はめねじ19を備えている。区分13
は区分15よりもわずかに長い軸線方向の距離にわたっ
て延びて、従ってほぼおねじ12の半分の高さまで達し
ている。ねじ込み片11の下側の端面゛まで達する下側
の区分17はほかの各区分15.13よりも著しく小さ
な軸線方向の距離しか有していないが、区分13よりも
著しく大きな直径を有しており、従って両方の区分13
.17間にはリング状の比較的幅広い肩部20が形成さ
れている。
中央の区分13のめねじ19にはそう入体21がねじ込
まれている。そう入体21はほぼ切欠き140区分13
と17とを占めて、切欠き14から成る貫通孔を圧密に
閉鎖している。
まれている。そう入体21はほぼ切欠き140区分13
と17とを占めて、切欠き14から成る貫通孔を圧密に
閉鎖している。
そう入体21はほぼねじソケット22とこのねじソケッ
ト22内にねじ込まれた油受容部23から成っている。
ト22内にねじ込まれた油受容部23から成っている。
ねじソケット22は円筒形の周壁24と直径方向の分離
壁25とを有しており、分離壁25はねじソケットの中
空の内室を等しくない2つの区分に分割している。分離
壁25にはねじソケット22の軸線に対して同心的に中
心の孔26が形成されている。さらに分離壁25の下面
には孔26に対して同心的に、鰯千円筒形の切欠き2γ
が形成されている。切欠き2γは中央に円筒形の凹所2
8を有している。
壁25とを有しており、分離壁25はねじソケットの中
空の内室を等しくない2つの区分に分割している。分離
壁25にはねじソケット22の軸線に対して同心的に中
心の孔26が形成されている。さらに分離壁25の下面
には孔26に対して同心的に、鰯千円筒形の切欠き2γ
が形成されている。切欠き2γは中央に円筒形の凹所2
8を有している。
切欠き27の直径は分離壁25の下側の縁部の周囲を環
状に延びるわずかな幅のリング状の肩部29が形成され
る程度の大きさである。ねじソケット22の周壁24の
、肩部29から下方へ延びる内面はめねじ30を備えて
いる。周壁24の外面は全高さにわたってねじ込み片の
区分13のめねじ19にねじ込み可能なおねじ31を備
えている。
状に延びるわずかな幅のリング状の肩部29が形成され
る程度の大きさである。ねじソケット22の周壁24の
、肩部29から下方へ延びる内面はめねじ30を備えて
いる。周壁24の外面は全高さにわたってねじ込み片の
区分13のめねじ19にねじ込み可能なおねじ31を備
えている。
油受容部23はほぼ、波形の2つのダイアフラム32.
33とその間に配置された中間部材34から成っている
。中間部材34は内実な金属部分であり、この金属部分
は直径の異なる円筒形の2つの区分35.36(第2図
)を有している。中間部材340円筒形の下側の区分3
5は周面及び高さを中央の切欠き14の下側の区分1γ
に適合させられている6上方に続く直径の小さい円筒形
の区分36はおねじ37を有しており、このおねじがね
じソケット22のめねじ30内にねじ込み可能である。
33とその間に配置された中間部材34から成っている
。中間部材34は内実な金属部分であり、この金属部分
は直径の異なる円筒形の2つの区分35.36(第2図
)を有している。中間部材340円筒形の下側の区分3
5は周面及び高さを中央の切欠き14の下側の区分1γ
に適合させられている6上方に続く直径の小さい円筒形
の区分36はおねじ37を有しており、このおねじがね
じソケット22のめねじ30内にねじ込み可能である。
中間部材34の、容器の内部に向かう下側の端面には扁
平な切欠き38が形成されている。
平な切欠き38が形成されている。
波形のダイアフラム32は扁平な切欠き38内に配置さ
れかつ圧密に切欠きの縁部で中間部材34に溶着されて
いる。切欠き38は波形のダイアフラム32の形に合わ
されており、その結果ダイアフラム32と扁平な切欠き
38の底部との間にすべての箇所で挟い中間室39が形
成される。
れかつ圧密に切欠きの縁部で中間部材34に溶着されて
いる。切欠き38は波形のダイアフラム32の形に合わ
されており、その結果ダイアフラム32と扁平な切欠き
38の底部との間にすべての箇所で挟い中間室39が形
成される。
中間部材34のねじソケット22に向いた端面の周囲に
リング状の挟い肩部40が形成されている。この肩部4
0はねじソケットの肩部29に相対し、扁平な円筒形の
切欠き41を取囲んでいる。切欠き41の中央には円筒
形の凹所42が形成されている。この凹所42はねじソ
ケットの凹所28に相対し、凹所28とほぼ同じ直径を
有している。中間部材34の中央には中間部材を貫通す
る通路43が形成されており、この通路は中間部材の下
側の扁平な切欠き38と上側の凹所42とを接続してい
る。
リング状の挟い肩部40が形成されている。この肩部4
0はねじソケットの肩部29に相対し、扁平な円筒形の
切欠き41を取囲んでいる。切欠き41の中央には円筒
形の凹所42が形成されている。この凹所42はねじソ
ケットの凹所28に相対し、凹所28とほぼ同じ直径を
有している。中間部材34の中央には中間部材を貫通す
る通路43が形成されており、この通路は中間部材の下
側の扁平な切欠き38と上側の凹所42とを接続してい
る。
波形のダイアフラム33の縁部はねじソケット22の肩
部29と中間部材34の肩部40との間に位置し、ねじ
ソケットと中間部材との相互のねじ込みによって圧密に
締込まれている。
部29と中間部材34の肩部40との間に位置し、ねじ
ソケットと中間部材との相互のねじ込みによって圧密に
締込まれている。
ダイアフラム33の波形部分は扁平な切欠き27と41
とによって形成された中空室内に位置しており、第空室
はダイアフラムの行程運動を受容するために十分に大き
く規定されている。
とによって形成された中空室内に位置しており、第空室
はダイアフラムの行程運動を受容するために十分に大き
く規定されている。
切欠き2T及び41は、中間部材34の下側の切欠き3
8の場合のように、ダイアフラム33 ′の形に適合
させられてよい。いずれの場合にも、ダイアフラム33
と扁平な切欠き41の底部との間にはもっばら挟い中間
室44が形成されている。
8の場合のように、ダイアフラム33 ′の形に適合
させられてよい。いずれの場合にも、ダイアフラム33
と扁平な切欠き41の底部との間にはもっばら挟い中間
室44が形成されている。
ダイアフラム33の中央には円形の孔45が形成されて
おり、この孔にカニユーレ46が差はめられている。カ
ニユーレ46は金属小管によって形成されており、金属
小管の下側の端部にはグレート状のつば4γが一体成形
されている。つば47は、組立てた状態では中間部材3
4の凹所42内に位置し、凹所42をほぼ満たしており
、その結果凹所42の壁とプレート状のつば47との間
に挟い中間室48が形成される。
おり、この孔にカニユーレ46が差はめられている。カ
ニユーレ46は金属小管によって形成されており、金属
小管の下側の端部にはグレート状のつば4γが一体成形
されている。つば47は、組立てた状態では中間部材3
4の凹所42内に位置し、凹所42をほぼ満たしており
、その結果凹所42の壁とプレート状のつば47との間
に挟い中間室48が形成される。
つば47の上側はダイアフラム33の内側の平らなリン
グ状の区分、いわゆる”アイ”の下側に接着されている
。上方からカニユーレ46を通して押込まれたリング4
9がダイアフラム34の逆の側に接着されている。リン
グ49は組込まれた状態では分離壁25の凹所28によ
って受容される。著しく挟いはめ合いでダイアフラム3
3の孔45内にかん合するカニユーレ46は、その表面
の精密な加工に関連してダイアフラム33に極めて確実
Kかつ十分に圧密に取付けられる。つば47とこれに対
向するリング49とによってダイアフラムの中央の区分
、いわゆる゛°アイ″は補強され、もはやダイアフラム
の弾性的な部分に属さない。
グ状の区分、いわゆる”アイ”の下側に接着されている
。上方からカニユーレ46を通して押込まれたリング4
9がダイアフラム34の逆の側に接着されている。リン
グ49は組込まれた状態では分離壁25の凹所28によ
って受容される。著しく挟いはめ合いでダイアフラム3
3の孔45内にかん合するカニユーレ46は、その表面
の精密な加工に関連してダイアフラム33に極めて確実
Kかつ十分に圧密に取付けられる。つば47とこれに対
向するリング49とによってダイアフラムの中央の区分
、いわゆる゛°アイ″は補強され、もはやダイアフラム
の弾性的な部分に属さない。
カニユーレ46は分離壁25の孔26によって案内され
、圧力センサ10の組込まれた状態(第1図)でねじソ
ケット22を趨えて中央の切欠き14の上側の区分15
内に突入する長さである。カニユーレ46の上側の端部
は押しつぶしによって圧密((閉じられている。
、圧力センサ10の組込まれた状態(第1図)でねじソ
ケット22を趨えて中央の切欠き14の上側の区分15
内に突入する長さである。カニユーレ46の上側の端部
は押しつぶしによって圧密((閉じられている。
両方のダイアフラム32.33、中間部材34及びカニ
ユーレ46によって閉じられた容積は非圧縮性の液体5
0で完全に満されている。
ユーレ46によって閉じられた容積は非圧縮性の液体5
0で完全に満されている。
液体50は両方の・lイアフラム32.33間の圧力伝
達に役立つ。ダイアフラム32は容器内に存在する測定
媒体と接触し、その圧力を検出する。測定媒体からlイ
アフラム32に生ぜしめられる圧力は液体50によって
ダイアフラム33に伝達される。ダイアフラム33はカ
ニユーレ46を介してカセンサ若しくは距離センサ(図
示せず)に接続されており、カゼンサ若しくは距離セン
サはダイアフラム33に生じる力若しくはダイアクラム
の変位に比例する信号な発生させる。従って、この信号
は容器内に作用する圧力を示している。
達に役立つ。ダイアフラム32は容器内に存在する測定
媒体と接触し、その圧力を検出する。測定媒体からlイ
アフラム32に生ぜしめられる圧力は液体50によって
ダイアフラム33に伝達される。ダイアフラム33はカ
ニユーレ46を介してカセンサ若しくは距離センサ(図
示せず)に接続されており、カゼンサ若しくは距離セン
サはダイアフラム33に生じる力若しくはダイアクラム
の変位に比例する信号な発生させる。従って、この信号
は容器内に作用する圧力を示している。
液体50は、そう入体50は、そう入体21を完全に組
込んだ場合に始めて注入される。この注入は空気を封入
しないように行われねばならない。これは、注入管及び
力若しくは距離伝達部材(押棒)の2重の機能を生ぜし
めるカニユーレによって可能になる。
込んだ場合に始めて注入される。この注入は空気を封入
しないように行われねばならない。これは、注入管及び
力若しくは距離伝達部材(押棒)の2重の機能を生ぜし
めるカニユーレによって可能になる。
実施例として示した圧力センサの組立ては特に簡単かつ
安価に行われる。まず、両方のダイアフラム・構成ユニ
ットが準備される。ダイアフラム32が中間部材34内
にはめ込まれ、ダイアフラム32の縁部が扁平な切欠き
38の周囲に溶着される。上側の端部をまだ開いている
カニユーレ46がダイアフラム33の孔45を通して差
込まれ、次いでつば47及びリング49がダイアフラム
33と接着される。次いで、カニユーレ46が分離壁2
5の孔26を通して、ダイアフラム33の縁部を肩部に
当接させるまで差込まれる。続いて、中間部材34がお
ねじ37を以ってねじソケット22のめねじ30内((
ねじ込まれ、これによってダイアフラム33の縁部が肩
部29と40との間に圧密に緊定される。次いで、液体
50がカニユーレ46の上側の開いた端部から、中間室
39.44.48、軸線方向の通路43及びカニユーレ
46の中空の内部によって形成された容積を完全に満す
まで注入される。これは真空下で行われる。まず、そう
入体21がカニユーレ46の開いた端部を上方に、すな
わち取囲まれた容積の最も高い場所に位置させるように
、特殊な装置に保持される。次いで、装置が真空にされ
、液体が注入さnる。液体がカニユーレ46の上側の端
部に達すると、装置の閉じられていた室が開かれ、カニ
ユーレ46が圧密に閉じられる。これは、図面に示すよ
うに押しつぶしによって行われるか、若しくははんだ付
け、溶接、接着又は閉鎖栓の差込みによって行われる。
安価に行われる。まず、両方のダイアフラム・構成ユニ
ットが準備される。ダイアフラム32が中間部材34内
にはめ込まれ、ダイアフラム32の縁部が扁平な切欠き
38の周囲に溶着される。上側の端部をまだ開いている
カニユーレ46がダイアフラム33の孔45を通して差
込まれ、次いでつば47及びリング49がダイアフラム
33と接着される。次いで、カニユーレ46が分離壁2
5の孔26を通して、ダイアフラム33の縁部を肩部に
当接させるまで差込まれる。続いて、中間部材34がお
ねじ37を以ってねじソケット22のめねじ30内((
ねじ込まれ、これによってダイアフラム33の縁部が肩
部29と40との間に圧密に緊定される。次いで、液体
50がカニユーレ46の上側の開いた端部から、中間室
39.44.48、軸線方向の通路43及びカニユーレ
46の中空の内部によって形成された容積を完全に満す
まで注入される。これは真空下で行われる。まず、そう
入体21がカニユーレ46の開いた端部を上方に、すな
わち取囲まれた容積の最も高い場所に位置させるように
、特殊な装置に保持される。次いで、装置が真空にされ
、液体が注入さnる。液体がカニユーレ46の上側の端
部に達すると、装置の閉じられていた室が開かれ、カニ
ユーレ46が圧密に閉じられる。これは、図面に示すよ
うに押しつぶしによって行われるか、若しくははんだ付
け、溶接、接着又は閉鎖栓の差込みによって行われる。
前述のようにして形成されたそう入体21は、最終的に
おねじ31を以ってねじ込み片11内にねじ込まれ、こ
れによって圧力センサ10が完成され、第1図に示す最
終的な形を取る。
おねじ31を以ってねじ込み片11内にねじ込まれ、こ
れによって圧力センサ10が完成され、第1図に示す最
終的な形を取る。
カニユーレ46は圧力センサの保護された箇所に位置し
ていて、測定媒体に触れることなく、従って腐食作用を
有する媒体の圧力の測定に圧力センサを使用する場合に
も腐食の危険にさらされない。
ていて、測定媒体に触れることなく、従って腐食作用を
有する媒体の圧力の測定に圧力センサを使用する場合に
も腐食の危険にさらされない。
本発明はもちろん種々の形式で実施される。
カニユーレ46が接着の代りに適当な形式で、例えばは
んだ付け又は溶接などによってダイアフラム33に取付
けられる。
んだ付け又は溶接などによってダイアフラム33に取付
けられる。
力若しくは距離伝達部材としてカニユーレ46の使用は
有利であるが、測定値(力若しくは距離)の伝達を別の
形式で行う場合にはカニユーレを注入管として設けると
よい。
有利であるが、測定値(力若しくは距離)の伝達を別の
形式で行う場合にはカニユーレを注入管として設けると
よい。
圧力センサの図示の構造は、もちろんケーシングの形及
び用いられるダイアフラムの数に無関係である。図示の
構造は、例えば2つより多いダイアフラムを閉じられた
容積内の液体と接触させる差圧力センサにも用いられる
。
び用いられるダイアフラムの数に無関係である。図示の
構造は、例えば2つより多いダイアフラムを閉じられた
容積内の液体と接触させる差圧力センサにも用いられる
。
第1図は本発明の実施例の縦断面図、第2図は第1図の
実施例の組立て前の縦断面図である。
実施例の組立て前の縦断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ケーシング及び少なくとも2つのダイアフラムを備
えたセンサであって、ダイアフラムが液体で満された容
積を取囲んでいる形式のものにおいて、液体(50)を
注入するために1つのダイアフラム(33)が孔(45
)を備えており、カニユーレ(46)が孔(45)の縁
部に液密に結合されていることを特徴とするセンサ。 2、カニユーレ(46)が力伝達部材若しくは距離伝達
部材としてダイアフラム(33)と力センサ若しくは距
離センサとを接続するために用いられている特許請求の
範囲第1項記載のセンサ。 3、孔(45)がダイアフラム(33)の中央区分に形
成されている特許請求の範囲第1項又は第2項記載のセ
ンサ。 4、カニユーレ(46)が金属小管によって構成されて
いる特許請求の範囲第1項から第3項までのいずれか1
項記載のセンサ。 5、カニユーレ(46)がリング状のつば(47)を有
しており、つばがダイアフラム(33)に密接に結合さ
れている特許請求の範囲第1項から第4項までのいずれ
か1項記載のセンサ。 6、ダイアフラム(33)の、つば(47)と逆の側で
カニユーレ(46)に差はめられたリング(49)がダ
イアフラム(33)と密接に結合されている特許請求の
範囲第5項記載のセンサ。 7、カニユーレ(46)が接着、はんだ付け若しくは溶
接によってダイアフラム(33)と結合されている特許
請求の範囲第1項から第6項までのいずれか1項記載の
センサ。 8、カニユーレ(46)が押しつぶし、はんだ付け若し
くは溶接によって閉じられている特許請求の範囲第1項
から第7項までのいずれか1項記載のセンサ。 9、ケーシングが容器壁のねじ孔内にねじ込むためのね
じ(12)を備えたねじ込み片(11)として構成され
ている特許請求の範囲第1項から第8項までのいずれか
1項記載のセンサ。 10、両方のダイアフラム(32、33)が扁平な切欠
き(38、41)を有する中間部材 (34)の両側に配置されており、各切欠き内にそれぞ
れダイアフラム(32、33)が挟い中間室(39、4
4)を形成するように圧密に固定されており、両方の切
欠き(38、41)が通路(43)によって互いに接続
されている特許請求の範囲第9項記載のセンサ。 11、少なくとも1つのダイアフラム(32)がその縁
部に沿って中間部材(34)に溶接されている特許請求
の範囲第10項記載のセンサ。 12、そう入体(21)がねじソケット(22)を有し
ており、このねじソケット内に中間部材(34)がねじ
込まれており、容器と反対側のダイアフラムの縁部が中
間部材(34)とねじソケット(22)との間に緊定さ
れている特許請求の範囲第10項又は第11項記載のセ
ンサ。 13、ねじソケット(22)がねじ込み片(11)にね
じ込まれている特許請求の範囲第12項記載のセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE3422945.0 | 1984-06-20 | ||
DE3422945A DE3422945C2 (de) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | Sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0445062B2 JPH0445062B2 (ja) | 1992-07-23 |
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Country Status (9)
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FR (1) | FR2566529B1 (ja) |
GB (1) | GB2160651B (ja) |
IT (1) | IT1185100B (ja) |
NL (1) | NL8501598A (ja) |
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