JPS6179535U - - Google Patents

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JPS6179535U
JPS6179535U JP16430384U JP16430384U JPS6179535U JP S6179535 U JPS6179535 U JP S6179535U JP 16430384 U JP16430384 U JP 16430384U JP 16430384 U JP16430384 U JP 16430384U JP S6179535 U JPS6179535 U JP S6179535U
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JP
Japan
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cradle
carrier
semiconductor material
wall portion
opening
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JP16430384U
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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一例によるクレイドルの斜視
図、第２図は他の側から見た斜視図、第３図はキ
ヤリヤの一例の斜視図、第４図はクレイドルの背
面部の横断面図、第５図は本考案のクレイドルの
横断面図、そして第６図は従来のクレイドルを示
す第４図に類似の断面図である。 図中、１…前面開口部、２…背面、５…側壁、
１２…段部、１３…傾斜壁部分、１４…開口、２
０…キヤリヤ、２２…キヤリヤの脚部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体材料を収めたキヤリヤを受け入れて
    水切乾燥装置の所定位置に設置されるクレイドル
    において、前記クレイドルの背面にはその間に前
    記キヤリヤの脚部を受け入れるため互に平行で前
    記背面に直角の一対の段部が設けられ、且つ両側
    の各側壁の前面開口部の縁との間に傾斜した壁部
    分が設けられ、前記壁部分には開口が形成されて
    いることを特徴とする半導体材料のキヤリヤ用ク
    レイドル。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項に記載のク
    レイドルにおいて、前記壁部分に形成された開口
    は長手方向に延びる長孔である半導体材料のキヤ
    リヤ用クレイドル。
JP1984164303U 1984-10-30 1984-10-30 Expired JPH0452993Y2 (ja)

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JP1984164303U JPH0452993Y2 (ja) 1984-10-30 1984-10-30

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JP1984164303U JPH0452993Y2 (ja) 1984-10-30 1984-10-30

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Publication Number Publication Date
JPS6179535U true JPS6179535U (ja) 1986-05-27
JPH0452993Y2 JPH0452993Y2 (ja) 1992-12-14

Family

ID=30722166

Family Applications (1)

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JP1984164303U Expired JPH0452993Y2 (ja) 1984-10-30 1984-10-30

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JP (1) JPH0452993Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013135127A (ja) * 2011-12-27 2013-07-08 Shindengen Electric Mfg Co Ltd クレイドル、半導体ウェーハの水切り方法及び半導体装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5660596A (en) * 1979-10-23 1981-05-25 Mitsubishi Electric Corp Centrifugal hydroextractor
JPS5954925U (ja) * 1982-10-01 1984-04-10 東邦化成株式会社 ウエ−ハ用回転乾燥装置

Patent Citations (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5660596A (en) * 1979-10-23 1981-05-25 Mitsubishi Electric Corp Centrifugal hydroextractor
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JP2013135127A (ja) * 2011-12-27 2013-07-08 Shindengen Electric Mfg Co Ltd クレイドル、半導体ウェーハの水切り方法及び半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0452993Y2 (ja) 1992-12-14

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