JPS6175244A - X-ray spectrometer - Google Patents
X-ray spectrometerInfo
- Publication number
- JPS6175244A JPS6175244A JP59197638A JP19763884A JPS6175244A JP S6175244 A JPS6175244 A JP S6175244A JP 59197638 A JP59197638 A JP 59197638A JP 19763884 A JP19763884 A JP 19763884A JP S6175244 A JPS6175244 A JP S6175244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- rays
- crystal
- slit means
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
- G01N23/2076—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions for spectrometry, i.e. using an analysing crystal, e.g. for measuring X-ray fluorescence spectrum of a sample with wavelength-dispersion, i.e. WDXFS
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、Ｘ線マイクロアナライザー等用のＸ線分光装
置に関し、特に、分光結晶として２方向に曲率を有する
分光結晶を用いたＸ線分光装置に関する。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to an X-ray spectrometer for an X-ray microanalyzer, etc., and in particular, to an X-ray spectrometer using a spectroscopic crystal having curvature in two directions as a spectroscopic crystal. Regarding equipment.
［従来技ｖＦＩ］
第６図はＸ線マイクロアナライザーに使用されているＸ
線分光装置を示しており、１は試料である。該試料１に
電子線２が照射されると試料の電子線照射部分からＸ線
３が発生する。該Ｘ線３はローランド円４上に配置され
た分光結晶５に入射し、Ｘ線の波長に応じて回折される
。該回折Ｘ線の内断定波長のＸ線６はローランド円４上
の点７に集光されるが、該集光点７に集光されたＸ線の
みを取り出すために、長方形状のスリットを形成するス
リット手段８が配置されている。該スリット手段８を通
過したＸ線は検出器９によって検出される。[Conventional technology vFI] Figure 6 shows the X-ray microanalyzer used in
A line spectrometer is shown, and 1 is a sample. When the sample 1 is irradiated with the electron beam 2, X-rays 3 are generated from the electron beam irradiated portion of the sample. The X-rays 3 are incident on the spectroscopic crystal 5 arranged on the Rowland circle 4, and are diffracted according to the wavelength of the X-rays. The X-rays 6 of the internally defined wavelength of the diffracted X-rays are focused at a point 7 on the Rowland circle 4, but in order to extract only the X-rays focused at the focusing point 7, a rectangular slit is formed. Forming slit means 8 are arranged. The X-rays passing through the slit means 8 are detected by a detector 9.
上述した構成において、分光結晶５を図中点線で示した
ライン１０上を直線的に移動させると共に、該結晶５の
位置に応じてローランド円４を仮想的に移動させ、スリ
ット手段８を試料１のＸ線発生点Ｇと分光結晶５との間
の距離と該結晶５とスリット手段８との間の距離が等し
い状態でローランド円上に移動させれば、次々と異なっ
た波長のＸ線を検出することができる。In the above-mentioned configuration, the spectroscopic crystal 5 is moved linearly on the line 10 shown by the dotted line in the figure, and the Rowland circle 4 is virtually moved according to the position of the crystal 5, and the slit means 8 is moved to the sample 1. If the distance between the X-ray generation point G and the spectroscopic crystal 5 is equal to the distance between the crystal 5 and the slit means 8, and the crystal is moved on the Rowland circle, X-rays of different wavelengths will be emitted one after another. can be detected.
［発明が解決しようとする問題点］
上述した分光結晶５として、２方向に曲率を有する結晶
を使用した場合、第７図に示す如く集光ｘｍｘの形状は
、Ｘ線発生部と分光結晶５との間の距離（分光結晶５と
スリット手段８の間の距離）Ｌに応じて変化する。図中
Ｏは分光結晶５の中心であり、距離りがＬｏ （＝ｒ
／ｓｉｎθ）に等しい場合に回折Ｘ線は点状に集光し、
距離りがＬｏから離れるに従ってより細長く集光される
ことになる。尚、上記ｒは分光結晶５の幅方向（第６図
中紙面に垂直方向）の曲率半径、θは分光結晶５へのＸ
線の入射角である。このようにＬの変化に応じてＸ線の
集光長さは変化するにもかかわらず、スリット手段８が
形成するスリットの長手方向の長さく紙面に垂直な方向
の長さ）は一定となっているため、カットすべきバック
グラウンドノイズもスリット手段を通過して検出され、
検出信号のＳＮ比は悪化する。[Problems to be Solved by the Invention] When a crystal having curvature in two directions is used as the above-mentioned spectroscopic crystal 5, the shape of the condensing light xmx as shown in FIG. (distance between the spectroscopic crystal 5 and the slit means 8). O in the figure is the center of the spectroscopic crystal 5, and the distance is Lo (=r
/sinθ), the diffracted X-rays are focused into a point,
As the distance increases from Lo, the light becomes narrower and more condensed. In addition, the above r is the radius of curvature of the spectroscopic crystal 5 in the width direction (direction perpendicular to the plane of the paper in FIG. 6), and θ is the X to the spectroscopic crystal 5.
is the angle of incidence of the line. Although the focused length of the X-rays changes in accordance with the change in L, the length in the longitudinal direction of the slit formed by the slit means 8 (the length in the direction perpendicular to the plane of the paper) remains constant. Therefore, the background noise that should be cut passes through the slit means and is detected.
The SN ratio of the detection signal deteriorates.
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、ＳＮ比
の良好なＸ線分光装置を提供することを目的としている
。The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to provide an X-ray spectrometer with a good signal-to-noise ratio.
［問題点を解決するための手段］
本発明に基づくＸ線分光装置は、２方向に曲率を有する
分光結晶と、該分光結晶によって分光されたＸ線を制限
する細長いスリットを形成するためのスリット手段と、
該試料上のＸ線発生点と分光結晶との間の距離と該分光
結晶と該スリット手段との間の距離とが等しい状態で該
分光結晶と該スリット手段を移動させ、Ｘ線の分光を行
うようにしたＸ線分光装置において、該スリット手段は
、少なくともスリットの長手方向の長さを変え得るよう
に構成されていることを特徴としている。[Means for Solving the Problems] An X-ray spectrometer based on the present invention includes a spectroscopic crystal having curvature in two directions, and a slit for forming an elongated slit that limits the X-rays separated by the spectroscopic crystal. means and
The spectroscopic crystal and the slit means are moved in a state where the distance between the X-ray generation point on the sample and the spectroscopic crystal is equal to the distance between the spectroscopic crystal and the slit means, and the spectroscopy of the X-rays is performed. The X-ray spectrometer is characterized in that the slit means is configured such that at least the length of the slit in the longitudinal direction can be changed.
［作用］
２方向に曲率を有する分光結晶によって回折されたＸ線
は、スリット手段によって形成されるスリットにより制
限されるが、試料のＸ線発生部と分光結晶との間の距離
の変化に応じて、該スリットの長手方向の長さは調整さ
れる。その結果、集光された所望波長の回折Ｘ線のみを
該スリットを通過させることができ、バックグラウンド
ノイズを該スリット手段によってカットすることができ
る。[Function] The X-rays diffracted by the spectroscopic crystal having curvature in two directions are restricted by the slit formed by the slit means, but depending on the change in the distance between the X-ray generating part of the sample and the spectroscopic crystal. Thus, the length of the slit in the longitudinal direction is adjusted. As a result, only the focused diffracted X-rays of the desired wavelength can pass through the slit, and background noise can be cut by the slit means.
［実施例１ 以下、本発明の実施例を添附図面に基づいて詳述する。[Example 1 Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第１図は、本発明に基づくスリット手段１１の一例を示
しており、このスリット手段１１は第６図のスリット手
段８に代えて使用される。該スリット手段１１は、長方
形のスリット１２が穿たれたスリット板１３とスリット
１２の長手方向の長さを規制するための一対の規制板１
４．１５とより成る。該規制板１４．１５は、スリット
１２の中心Ｓに対して図中矢印方向に対称的に移動し得
るように構成されている。FIG. 1 shows an example of a slit means 11 according to the invention, which is used in place of the slit means 8 of FIG. The slit means 11 includes a slit plate 13 having a rectangular slit 12 and a pair of regulation plates 1 for regulating the length of the slit 12 in the longitudinal direction.
4.15. The regulating plates 14, 15 are configured to be able to move symmetrically in the direction of the arrow in the figure with respect to the center S of the slit 12.
上述した毎き構成において、試料１と分光結晶５との間
の距離りがＬｏに近付いた場合、第７図に示す如く、集
光されるＸ線の長手方向の長さは短くなるため、該規制
板１４．１５とを互いに接近させれば、該規制板の端部
間の距離は該集光Ｘ線の長さと等しくされる。又、距離
りがＬＯから離された状態でＸ線分光を行う場合には、
該規制板１４．１５は離され、その端部間の距離は、し
に応じた集光Ｘ線の長さと等しくされる。その結果、該
スリット手段１１は、集光された所望の回折Ｘ線以外の
散乱Ｘ線等のノイズ成分を効率的にカットすることがで
き、検出信号のＳＮ比を高くすることができる。In the above-described configuration, when the distance between the sample 1 and the spectroscopic crystal 5 approaches Lo, the length of the focused X-ray in the longitudinal direction becomes shorter, as shown in FIG. When the regulating plates 14 and 15 are brought close to each other, the distance between the ends of the regulating plates is made equal to the length of the focused X-ray. Also, when performing X-ray spectroscopy at a distance away from the LO,
The regulating plates 14,15 are separated and the distance between their ends is made equal to the length of the focused X-rays depending on the distance. As a result, the slit means 11 can efficiently cut out noise components such as scattered X-rays other than the desired focused diffracted X-rays, and can increase the SN ratio of the detection signal.
第２図は、第６図における分光結晶５の法線Ｎを通る、
紙面に垂直な平面ＰへのＸ線発生点Ｇと集光点７の投影
図である。ここで、ａを距離りの平面Ｐへの投影とし、
ｂをａ点から発生したＸ線が第６図の紙面に垂直な方向
（第２図では紙面に水平な方向）に集光される点の距離
とし、分光結晶５の長手方向く第６図の紙面に水平な方
向）の曲率半径を２Ｒ（ローランド円の半径をＲ）、結
晶５の幅方向（第６図の紙面に垂直な方向）の曲率半径
をｒとすれば、次の式が導かれる。FIG. 2 passes through the normal N of the spectroscopic crystal 5 in FIG.
It is a projection view of an X-ray generation point G and a convergence point 7 onto a plane P perpendicular to the plane of the paper. Here, let a be the projection of the distance onto the plane P,
Let b be the distance of the point where the X-rays generated from point a are focused in the direction perpendicular to the plane of the paper in Fig. 6 (in the direction horizontal to the plane of the paper in Fig. 2), and If the radius of curvature in the direction horizontal to the paper in Figure 6 is 2R (the radius of the Roland circle is R), and the radius of curvature in the width direction of the crystal 5 (direction perpendicular to the paper in Figure 6) is r, then the following equation is obtained. be guided.
ａ ＝ Ｌ Ｓｉｎ θ＝Ｌ２ ／２Ｒ１／ａ＋１
／ｂ＝２／ｒ
２ｈを分光結晶５の長手方向の長さ、２Ｈを第６図の集
光点７におけるＸ線の第６図の紙面に垂直方向の長さと
すれば、
）−１／ｈ＝ （ｂ−ａ＞／ｂ
−２ｚ−’Ｌ＞
ヒ
＝２（１−一上一・Ｌ” ）
ＺＲ・ｒ
となる。従って、
Ｈ４＝；２ｈ・（１−」−化１〉
２Ｒ・ヒ
となり、Ｌが変化した場合には、この式に基づいてスリ
ットの長手方向の長さを調節すれば良い。a = L Sin θ=L2 /2R1/a+1
/b=2/r If 2h is the length of the spectroscopic crystal 5 in the longitudinal direction, and 2H is the length of the X-ray at the converging point 7 in FIG. 6 in the direction perpendicular to the plane of the paper in FIG. 6, then )-1/ h= (ba-a>/b -2z-'L>Hi=2(1-1-1-1-L") ZR-r. Therefore, H4=;2h-(1-"-C1> 2R) - If L changes due to H, the length of the slit in the longitudinal direction may be adjusted based on this formula.
尚、上述した実施例において、規制板１４．１５は手動
で調整されるが、この規制板１４．１５を距離りの変化
に応じて自動的に移動させることは有効である。又、固
定スリット板１３に穿たれたスリット１２の形状を長方
形ではなく、集光Ｘ線が湾曲しているので、第３図に示
す如く、この湾曲Ｘ線に応じた曲線状の端部を有した形
状としても良い。In the above-described embodiment, the regulation plate 14.15 is manually adjusted, but it is effective to automatically move the regulation plate 14.15 according to changes in distance. In addition, since the shape of the slit 12 formed in the fixed slit plate 13 is not rectangular, but the condensed X-ray is curved, the slit 12 formed in the fixed slit plate 13 has a curved end according to the curved X-ray as shown in FIG. It is also possible to have a shape with
第４図は他の実施例を示しており、スリット手段２１は
第１．第２．第３の補助スリット手段２２．２３．２４
より構成されている。該第１と第２の補助スリット手段
２２．２３は、夫々第５図（ａ）；（ｂ）に示す如く、
湾曲した端部を有する一対の規制板２５，２６，２７．
２８より成っているが、該２種の規制板の湾曲の向きは
互いに反対の向きにされている。該第３の補助スリット
手段２４は、第１図に示した規制板１４．１５と同様に
スリットの長手方向の艮ざを規制するためのものである
。この第１．第２．第３の補助スリット手段の各規υＩ
板は形成されるスリットの中心に対して対称的に移動さ
せ得る。FIG. 4 shows another embodiment, in which the slit means 21 is the first. Second. Third auxiliary slit means 22.23.24
It is composed of The first and second auxiliary slit means 22,23 are as shown in FIGS. 5(a) and 5(b), respectively.
A pair of regulating plates 25, 26, 27, each having a curved end.
28, the two types of regulating plates are curved in opposite directions. The third auxiliary slit means 24 is for regulating the length of the slit in the longitudinal direction, similar to the regulating plate 14.15 shown in FIG. This first. Second. Each regulation υI of the third auxiliary slit means
The plate can be moved symmetrically with respect to the center of the slit being formed.
この実施例においては、距離りがＬｏより短い場合には
、第１の補助スリット手段２２の規制板２５．２６の間
の距離が狭くされ、第２の補助スリット手段２３の規制
板２７．２８の間の距離が広くされ、該規制板２５．２
６によってＸ線の幅方向の長さが制限される。一方、距
ｔ！ｎＬがＬｏより長い場合には、第１の補助スリット
手段２２の規制板２５．２６の間の距離が広くされ、第
２の補助スリット手段２３の規制板２７．２８の間の距
離が狭くされ、該規制板２７．２８によってＸ線の幅方
向の長さが制限される。従って、この実施例では、集光
Ｘ線の湾曲の方向がＬｏを境に異なっていることを考直
し、距離Ｌｏを境に異なった補助スリット手段を用いる
ようにしているため、集光されたＸ線の形状に略等しい
スリットが常に形成され、効率良く所望のＸ線のみを検
出することができる。In this embodiment, when the distance is shorter than Lo, the distance between the regulating plates 25, 26 of the first auxiliary slit means 22 is narrowed, and the regulating plates 27, 28 of the second auxiliary slit means 23 are narrowed. The distance between the regulation plates 25.2 and 25.2 is increased.
6 limits the length of the X-ray in the width direction. On the other hand, distance t! When nL is longer than Lo, the distance between the regulating plates 25.26 of the first auxiliary slit means 22 is widened, and the distance between the regulating plates 27.28 of the second auxiliary slit means 23 is narrowed. , the length of the X-ray in the width direction is limited by the regulating plates 27 and 28. Therefore, in this embodiment, the fact that the direction of curvature of the focused X-rays differs with the distance Lo as the border is reconsidered, and different auxiliary slit means are used with the distance Lo as the border. A slit approximately equal to the shape of the X-ray is always formed, and only desired X-rays can be efficiently detected.
［効果］
以上詳述した如く、本発明においては、ローランド円上
に配置したスリット手段が形成するスリットの長手方向
の長さを任意に調整することができるため、バックグラ
ウンドノイズを略カットし、所望の回折Ｘ線を効率良く
スリットを通過させて検出することができ、ＳＮ比の良
い検出信号を得ることができる。[Effect] As detailed above, in the present invention, since the length in the longitudinal direction of the slit formed by the slit means arranged on the Rowland circle can be arbitrarily adjusted, background noise can be substantially cut, Desired diffracted X-rays can be efficiently passed through the slit and detected, and a detection signal with a good signal-to-noise ratio can be obtained.
第１図は本発明に基づくスリット手段の一例を示す図、
第２図は、第６図における分光結晶５の法線Ｎを通る、
紙面に垂直な平面ＰへのＸ線発生点Ｇと集光点７の投影
図、第３図はスリット形状を示す図、第４図は本発明の
他の実施例を示す図、第５図は第４図の実施例に使用さ
れる補助スリット手段の規制板の形状を示す図、第６図
はＸ線分光装置の全体構成を示す図、第７図は回折ｘｍ
の集光の様子を示す図である。
１・・・試料 ２・・・電子線３・・・Ｘ線
４・・・ローランド円５・・・分光結晶
６・・・Ｘ線
８．１１・・・スリット手段
９・・・検出器
１３・・・スリット板
１４．１５・・・規制板FIG. 1 is a diagram showing an example of a slit means based on the present invention;
FIG. 2 passes through the normal N of the spectroscopic crystal 5 in FIG.
A projection view of the X-ray generation point G and the condensing point 7 on a plane P perpendicular to the paper surface, FIG. 3 is a view showing the slit shape, FIG. 4 is a view showing another embodiment of the present invention, and FIG. is a diagram showing the shape of the regulating plate of the auxiliary slit means used in the embodiment of FIG. 4, FIG. 6 is a diagram showing the overall configuration of the X-ray spectrometer, and FIG.
FIG. 2 is a diagram showing how light is focused. 1... Sample 2... Electron beam 3... X-ray
4... Roland circle 5... Spectroscopic crystal
6...X-ray 8.11...Slit means 9...Detector 13...Slit plate 14.15...Regulation plate
Claims (3)
よって分光されたＸ線を制限する細長いスリットを形成
するためのスリット手段と、該試料上のＸ線発生点と分
光結晶との間の距離と該分光結晶と該スリット手段との
間の距離とが等しい状態で該分光結晶と該スリット手段
を移動させ、Ｘ線の分光を行うようにしたＸ線分光装置
において、該スリット手段は、少なくともスリットの長
手方向の長さを変え得るように構成されていることを特
徴とするＸ線分光装置。(1) A spectroscopic crystal having curvature in two directions, a slit means for forming an elongated slit that restricts the X-rays separated by the spectroscopic crystal, and a space between the X-ray generation point on the sample and the spectroscopic crystal. In the X-ray spectrometer, the spectroscopy crystal and the slit means are moved in a state where the distance between the spectrometer crystal and the slit means is equal to the distance between the spectrometer crystal and the slit means to perform X-ray spectroscopy. An X-ray spectrometer, characterized in that it is configured such that at least the length of the slit in the longitudinal direction can be changed.
範囲第１項記載のＸ線分光装置。(2) The X-ray spectrometer according to claim 1, wherein the end of the slit is curved.
方向の長さを制限する第１と第２の補助スリット手段と
、Ｘ線の長手方向の長さを制限する第３の補助スリット
手段とを有しており、夫々の補助スリット手段は、対向
する２枚のスリット板より構成され、第１と第２の補助
スリット手段のスリット板の端部は夫々湾曲しており、
第１と第２の補助スリット手段のスリット板の湾曲の向
きは互いに反対の向きにされ、夫々の２枚のスリット板
の間隔は、独立して変え得るように構成されている特許
請求の範囲第１項記載のＸ線分光装置。(3) The slit means includes first and second auxiliary slit means that limit the length in the width direction of the X-rays passing through the slit, and a third auxiliary slit means that limits the length in the longitudinal direction of the X-rays. each auxiliary slit means is composed of two opposing slit plates, the ends of the slit plates of the first and second auxiliary slit means are each curved,
The slit plates of the first and second auxiliary slit means are curved in opposite directions, and the distance between the two slit plates can be changed independently. The X-ray spectrometer according to item 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197638A JPS6175244A (en) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | X-ray spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197638A JPS6175244A (en) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | X-ray spectrometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6175244A true JPS6175244A (en) | 1986-04-17 |
| JPH0524479B2 JPH0524479B2 (en) | 1993-04-07 |
Family
ID=16377812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59197638A Granted JPS6175244A (en) | 1984-09-20 | 1984-09-20 | X-ray spectrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6175244A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006519393A (en) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | オスミック、インコーポレイテッド | X-ray optical system with adjustable convergence |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5484794A (en) * | 1977-12-19 | 1979-07-05 | Jeol Ltd | Xxray spectroscope |
| JPS54137091U (en) * | 1978-03-16 | 1979-09-22 |
-
1984
- 1984-09-20 JP JP59197638A patent/JPS6175244A/en active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5484794A (en) * | 1977-12-19 | 1979-07-05 | Jeol Ltd | Xxray spectroscope |
| JPS54137091U (en) * | 1978-03-16 | 1979-09-22 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006519393A (en) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | オスミック、インコーポレイテッド | X-ray optical system with adjustable convergence |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0524479B2 (en) | 1993-04-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7864922B2 (en) | Wavelength-dispersive X-ray spectrometer | |
| US6665372B2 (en) | X-ray diffractometer | |
| US2922331A (en) | Spectroscopic device | |
| Johnson et al. | Normal incidence grating spectrometer designed for inverse photoemission studies in the range 10–30 eV | |
| US5790628A (en) | X-ray spectroscope | |
| JP2002189004A (en) | X-ray analyzer | |
| Osborn et al. | Two new optical designs for soft x‐ray spectrometers using variable‐line‐space gratings | |
| JPS6175244A (en) | X-ray spectrometer | |
| US4786174A (en) | Polychromator | |
| JP5484737B2 (en) | Soft X-ray spectrometer | |
| US5008910A (en) | X-ray analysis apparatus comprising a saggitally curved analysis crystal | |
| US4271353A (en) | X-ray spectroscope | |
| JP2004333131A (en) | Total reflection fluorescence xafs measuring apparatus | |
| Namba et al. | A compact vacuum-ultraviolet beamline for synchrotron radiation photoelectron spectroscopy combined with an ion-scattering spectrometer, SORIS | |
| JP2666871B2 (en) | X-ray monochromator | |
| JP3411705B2 (en) | X-ray analyzer | |
| US6650728B2 (en) | Apparatus and method for the analysis of atomic and molecular elements by wavelength dispersive X-ray spectrometric devices | |
| JPH08128975A (en) | X-ray analyzing device | |
| US3469098A (en) | X-ray analyzing element | |
| JPH0772298A (en) | X-ray spectroscope and x-ray spectroscopic element | |
| JP2955142B2 (en) | Total reflection X-ray fluorescence analyzer | |
| JP3323670B2 (en) | Radiation spectrometer | |
| JP3673849B2 (en) | Total reflection X-ray fluorescence analyzer | |
| JPH04140619A (en) | Spectroscope | |
| JPH06109662A (en) | X-ray analyzer |