JPS6174862A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
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- JPS6174862A JPS6174862A JP59197998A JP19799884A JPS6174862A JP S6174862 A JPS6174862 A JP S6174862A JP 59197998 A JP59197998 A JP 59197998A JP 19799884 A JP19799884 A JP 19799884A JP S6174862 A JPS6174862 A JP S6174862A
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- JP
- Japan
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- abrasion resistant
- layer
- wear
- dot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の第11用分野〕
本発明は例えは、初θ1t/;:の発熱抵抗素子を同一
基鈑上に直綾的ζこ西装置し所望のパターンに従ってこ
の発熱析?体を挿市力P鉋してp執紙にgト合LP録さ
せ、あるいはインクリボンを介して普逆祇に1亙言r”
録さぜる什−マルヘノドに関する。
基鈑上に直綾的ζこ西装置し所望のパターンに従ってこ
の発熱析?体を挿市力P鉋してp執紙にgト合LP録さ
せ、あるいはインクリボンを介して普逆祇に1亙言r”
録さぜる什−マルヘノドに関する。
従来のサーマルヘッドは、例ズば炉3図1ζ示オような
mhlzである。1はアルミナ等のセラミックからなる
絶縁性#相、2は基板上に薄く焼成されたグレーズカラ
ス、3はTa2N等からなる005〜0311件度の逓
さの発弛折抗体層、胸は発熱ドツト部、4はA1簿から
なり金執駈抗仕滓3に電流を供給する1〜2μ程度の腟
さのΦ体層、5は5in2等からなり発熱抵抗素子3の
発熱ドツト部3aの酸化を防ぐ2 /l程度の厚さの耐
酸化層、6はTa、0.等からなり感執肚録組丈たは熱
ff1=写フイルムとの摩擦によりサーマルヘッドの表
面カ埠耗することを防ぐ3〜5μ程度の厚さの耐摩肝要
である。
mhlzである。1はアルミナ等のセラミックからなる
絶縁性#相、2は基板上に薄く焼成されたグレーズカラ
ス、3はTa2N等からなる005〜0311件度の逓
さの発弛折抗体層、胸は発熱ドツト部、4はA1簿から
なり金執駈抗仕滓3に電流を供給する1〜2μ程度の腟
さのΦ体層、5は5in2等からなり発熱抵抗素子3の
発熱ドツト部3aの酸化を防ぐ2 /l程度の厚さの耐
酸化層、6はTa、0.等からなり感執肚録組丈たは熱
ff1=写フイルムとの摩擦によりサーマルヘッドの表
面カ埠耗することを防ぐ3〜5μ程度の厚さの耐摩肝要
である。
ボ9縁性基板1上にクレーズカラス2を燈成し、その上
に発地抵抗#層3、導体層4不5V臆しフォトエノ千ン
グにまり発±hドツト部3aの一ヒ部の導体R1を置去
し、その−ト剖に稈−屏を成騨する従来の廿−マルヘノ
トの集り遣方法では、全熱ドツト胎の上世′に深さ1〜
21・の窪みかてキ、この凹部tとよf)紛M%r’
f4律や軌←写フィルムさの執伝導を悪イヒさせるとい
う虞れがあった。また間作(に感熱言1録紀゛や動献写
)−イルムのカス嬢がたまって断熱層きなり、更にM伝
道が妨けらノするな七執効土の悪いものであった。その
結果印字のかすれが発生したり、十分な印字τFlff
を得るために廿−マルヘッドlこ鍋犬t、−πを力をカ
ロンるこ吉により発熱ドツト部のp常な温II′!′上
昇を引きI′1′こしサーマルヘッドの寿命の知絹、印
字のにじみ等の印字品質のイ氏下があ))、断連印字に
適さないという欠点かあった。
に発地抵抗#層3、導体層4不5V臆しフォトエノ千ン
グにまり発±hドツト部3aの一ヒ部の導体R1を置去
し、その−ト剖に稈−屏を成騨する従来の廿−マルヘノ
トの集り遣方法では、全熱ドツト胎の上世′に深さ1〜
21・の窪みかてキ、この凹部tとよf)紛M%r’
f4律や軌←写フィルムさの執伝導を悪イヒさせるとい
う虞れがあった。また間作(に感熱言1録紀゛や動献写
)−イルムのカス嬢がたまって断熱層きなり、更にM伝
道が妨けらノするな七執効土の悪いものであった。その
結果印字のかすれが発生したり、十分な印字τFlff
を得るために廿−マルヘッドlこ鍋犬t、−πを力をカ
ロンるこ吉により発熱ドツト部のp常な温II′!′上
昇を引きI′1′こしサーマルヘッドの寿命の知絹、印
字のにじみ等の印字品質のイ氏下があ))、断連印字に
適さないという欠点かあった。
〔本発明の目的〕
本発明は、サーマルヘッドの1摩耗層を二層に形成し、
かつ外層を低酸化物、低窒化物または低炭化物とするこ
おによりフォトエッチンクを可能とし、発熱ドツト部周
辺の耐摩耗層の外層をフォトエノ千ンクでV&:P才る
ζ七Irより臂二凱ドツト部のITi′+胛粁層のρ肝
要錘くして周」部よ【]突W、シた形軟七才るこ1.I
−により、感熱言F’針紙また(オ熱ト写すボン七の凱
f道を良好にしてpIP針絋・鉱から出るカスの付着か
なく、転動Wが廃く、公転ドツト部の温度上昇をおさジ
長寿命で直婢什にiγI、た高印字品質の廿−マルヘノ
ドをsiする・ものである。
かつ外層を低酸化物、低窒化物または低炭化物とするこ
おによりフォトエッチンクを可能とし、発熱ドツト部周
辺の耐摩耗層の外層をフォトエノ千ンクでV&:P才る
ζ七Irより臂二凱ドツト部のITi′+胛粁層のρ肝
要錘くして周」部よ【]突W、シた形軟七才るこ1.I
−により、感熱言F’針紙また(オ熱ト写すボン七の凱
f道を良好にしてpIP針絋・鉱から出るカスの付着か
なく、転動Wが廃く、公転ドツト部の温度上昇をおさジ
長寿命で直婢什にiγI、た高印字品質の廿−マルヘノ
ドをsiする・ものである。
かかる目的を達成するため本発明のせ一マルヘッド(廿
、を炉絶縁性基析上ζr少7’、i’(ともIIF次発
臥用折抗体層、逆T用導体層、耐酸化層および面÷井粁
1層を積層し、かつこの積層中の一世′を除去してそこ
に断面凹状の発熱ドツトを形by してなるサーマルヘ
ッドにおいて、面十#耗層を銚伊漢性を持つ耐都耗性金
属酸化物、金属窒化物また(オ金属炭化物からなりかつ
その酸化度、窒化度または炭化度が異なる内外二層によ
り構成し、しかもその外部耐艶耗層を内部耐摩耗層より
酸化度、窒(ヒ[または炭化度が低いものにより構成し
て前記発熱ドツトにふいては凹所を泄たし5、かつ、該
凹部周辺まり突出させてY成tてt、1−る本のである
。
、を炉絶縁性基析上ζr少7’、i’(ともIIF次発
臥用折抗体層、逆T用導体層、耐酸化層および面÷井粁
1層を積層し、かつこの積層中の一世′を除去してそこ
に断面凹状の発熱ドツトを形by してなるサーマルヘ
ッドにおいて、面十#耗層を銚伊漢性を持つ耐都耗性金
属酸化物、金属窒化物また(オ金属炭化物からなりかつ
その酸化度、窒化度または炭化度が異なる内外二層によ
り構成し、しかもその外部耐艶耗層を内部耐摩耗層より
酸化度、窒(ヒ[または炭化度が低いものにより構成し
て前記発熱ドツトにふいては凹所を泄たし5、かつ、該
凹部周辺まり突出させてY成tてt、1−る本のである
。
上言i”IfF・村件昇−枳、発軌析抗付層、導体層お
よび一■・仕度は、従来す;知の廿−マルヘッドさ同−
構成て本る。−L理解されたい。ただし、同−作声効果
をスζするものであわは、デ1に従来周知の構成要素に
シト・らイ′するものて(ゴf−’:い。
よび一■・仕度は、従来す;知の廿−マルヘッドさ同−
構成て本る。−L理解されたい。ただし、同−作声効果
をスζするものであわは、デ1に従来周知の構成要素に
シト・らイ′するものて(ゴf−’:い。
二層の耐P軒層5−措成する金彫什合物としてはTa
、 8ISAl、C「、W%H,Zr、 Ti等の金用
醇化物、金お・望什物または金p炭什物である。このう
ち、列剖面十〜肝要を低酸什物、イ氏窒イト物すたは(
U″1.d什物により構成しているのは、発熱ドツト凹
所を蜘たし、かつ該凹pJr周辺より突出させてt’r
:、 b’iするのにフォトエノチンクを施すがためこ
のフォトエツチンクを高酸化度等のものよりも容易jこ
させるためである。こわらの舎監低酸化物、低窒化物ま
たはイバ炭化物の組成は、内部耐摩耗層をjr+’+
11’1.する金hX酸化物例えはTa2O,、TiC
2,5in2、ZrO2、Al2O3、窒化物例えは’
f’aN。
、 8ISAl、C「、W%H,Zr、 Ti等の金用
醇化物、金お・望什物または金p炭什物である。このう
ち、列剖面十〜肝要を低酸什物、イ氏窒イト物すたは(
U″1.d什物により構成しているのは、発熱ドツト凹
所を蜘たし、かつ該凹pJr周辺より突出させてt’r
:、 b’iするのにフォトエノチンクを施すがためこ
のフォトエツチンクを高酸化度等のものよりも容易jこ
させるためである。こわらの舎監低酸化物、低窒化物ま
たはイバ炭化物の組成は、内部耐摩耗層をjr+’+
11’1.する金hX酸化物例えはTa2O,、TiC
2,5in2、ZrO2、Al2O3、窒化物例えは’
f’aN。
TiN、Si3N、、BN、 ZrN、 AINまたは
炭化物例ズばTaC,TiC,SiC,BC,ZrC,
〜VC1そわ才りも酸化度、♀什度丈た(オ炭化度の仰
い什労的に不安定な低酸化物、但窒什物才たけ低炭化物
々なっている。従ってこtlへの低酔什物算は、内部耐
摩耗層を構成する酸イビ物、窒什物すたは炭什物さ比較
すると、内部の欠陥が多いため、櫓ビ的な強度や化学的
な安定性か悪いもの声なる。従って低酸化度、但窒什度
寸たは偵炭仕度はフォトエノチンクの容易性からめ出さ
れる。例オ(ゴ、TaOxの金和酸仕物の場合、Xか2
31−1下の低酸化fWとなる。なおこの例1rあって
は表面か金が光析を荏・ひ掛抗(i/+が計G怪Cがら
も一0定性を帯びて熱伝ψ性も高くなる。
炭化物例ズばTaC,TiC,SiC,BC,ZrC,
〜VC1そわ才りも酸化度、♀什度丈た(オ炭化度の仰
い什労的に不安定な低酸化物、但窒什物才たけ低炭化物
々なっている。従ってこtlへの低酔什物算は、内部耐
摩耗層を構成する酸イビ物、窒什物すたは炭什物さ比較
すると、内部の欠陥が多いため、櫓ビ的な強度や化学的
な安定性か悪いもの声なる。従って低酸化度、但窒什度
寸たは偵炭仕度はフォトエノチンクの容易性からめ出さ
れる。例オ(ゴ、TaOxの金和酸仕物の場合、Xか2
31−1下の低酸化fWとなる。なおこの例1rあって
は表面か金が光析を荏・ひ掛抗(i/+が計G怪Cがら
も一0定性を帯びて熱伝ψ性も高くなる。
一方、内部耐* 粋IFは、上51フォトエソ千ンクの
際の発熱ドツトの凹部周辺のバリヤ一層となるものであ
るから、化学的に安定でエラチンクレートが低い、外部
耐N粍層より高酸化度、高窒化度または高炭化度のもの
を使用する。餘11えはTa、0.、TaC、SiC、
TiN 、 Tie等である。この酸化度、窒化度ま
たは炭化度は対応する内部耐財耗がよりρい((nであ
る。例オI叶TaOxの長°合、Xが25jζ近いイ1
り昼Cる。tI′オ、゛、に、゛自1イP Il:1.
、ρ1り4什rt!′才たけ高炭什度のものは、機樟的
強昨が犬きく、F′−[E”lilの廿−マルへ7)の
使用により外部耐摩耗Wが町1.たセ“合す一コ硬庶の
廊いp部耐胛蛙WによりF!:絆かそれ払I上逆行する
こ、L G liぐ作用がある。
際の発熱ドツトの凹部周辺のバリヤ一層となるものであ
るから、化学的に安定でエラチンクレートが低い、外部
耐N粍層より高酸化度、高窒化度または高炭化度のもの
を使用する。餘11えはTa、0.、TaC、SiC、
TiN 、 Tie等である。この酸化度、窒化度ま
たは炭化度は対応する内部耐財耗がよりρい((nであ
る。例オI叶TaOxの長°合、Xが25jζ近いイ1
り昼Cる。tI′オ、゛、に、゛自1イP Il:1.
、ρ1り4什rt!′才たけ高炭什度のものは、機樟的
強昨が犬きく、F′−[E”lilの廿−マルへ7)の
使用により外部耐摩耗Wが町1.たセ“合す一コ硬庶の
廊いp部耐胛蛙WによりF!:絆かそれ払I上逆行する
こ、L G liぐ作用がある。
±計二層の耐腔粁r−の膜片は、倶才去わば飢伝導が悪
くなることからその機能を十分に発揮させるため内部#
+jI!1針一層では1〜3μが好まし、く、またII
1部耐財鼾層では2〜3μが好すしい。
くなることからその機能を十分に発揮させるため内部#
+jI!1針一層では1〜3μが好まし、く、またII
1部耐財鼾層では2〜3μが好すしい。
二層の一+!Fp皮1・を形成するには、市り絶縁性某
枦土にIII′+Iy7什/P−jてを従来法ζこ従っ
て製作した積層体に、反茫性スパッタ茫を用いて512
Ilt′Iする。そして得られた二層の耐胛耗層のうち
外部耐摩耗層の発熱ドツト周辺部をフォトエノチンクに
より除去することにより発熱ドツト周辺より外部耐摩耗
層を突出させた形のサーマルヘッドを得ることができる
。
枦土にIII′+Iy7什/P−jてを従来法ζこ従っ
て製作した積層体に、反茫性スパッタ茫を用いて512
Ilt′Iする。そして得られた二層の耐胛耗層のうち
外部耐摩耗層の発熱ドツト周辺部をフォトエノチンクに
より除去することにより発熱ドツト周辺より外部耐摩耗
層を突出させた形のサーマルヘッドを得ることができる
。
なお、外部耐摩Pt層の突出高さは、感熱記録紙や熱転
写フィルムへの枦紳を良くすA f、−メ(l〜2μが
好ましい。
写フィルムへの枦紳を良くすA f、−メ(l〜2μが
好ましい。
本発明の学割・例の一例を卯1図に示す。t、゛お竿1
図に本いて4−A述する1lii−+竪耗層を除く仙の
朴″7戚ヂ“像は〜→、3Mのイ・のさ同様てあり、舖
31シ(て対応する構成要素に(ま第3は1で付した符
号を付し、その詐[!J1は省銘することにした。
図に本いて4−A述する1lii−+竪耗層を除く仙の
朴″7戚ヂ“像は〜→、3Mのイ・のさ同様てあり、舖
31シ(て対応する構成要素に(ま第3は1で付した符
号を付し、その詐[!J1は省銘することにした。
二j曽の1捏11=層は、1〜3μの内部面+F肝要7
と2〜3μの外部[ρ「ト即P+層8とから構成さ、+
1でいる。内剖耐p肝要として(オTa、O,また(オ
TaOxと表わされるものであってXの値が25に近い
置酸化度の′1゛a酸化物が用いられ、列?fl! *
+歴耗層8さしてけTaOxてあってXの値が2.3L
、I下の似酢什度のTa酸化物が用いられている。この
ような酸化度の異なる二層のIlj′+摩耗層の形成は
、反応、性スパッタ法を用いTaまたIt T a20
5のターゲツトを用いて導入するArと0□の混合カス
の内02の分圧を耐摩耗層のスパッタ中に変化させるこ
とにより連続的?こ成膜して実施することができる。な
おO2の分圧の変什をゆるやかにするこ七により膜のa
成を除々に変イヒさせて叶き、二層の間の機種的な結合
を強くするこみも容易であるー 耳1上のようにして律られだ二層の耐磨耗層の内、外部
i+#粁屡8の発熱ドツト周辺部襲をフォトエラ千ンク
で除去するこさにより発熱ドツト上部のITt+「耗層
8aをドツト周辺部より0〜2 /7高くし、111+
:熱言1膏才だ(1熱転写フイルムへの接触を良くする
ことができる。外部社歴fI″層8け例えば酸化度が佃
いため梓樺的強度が低くなるがエラチンクレートが犬キ
くエノ千ンクによる加工性か向上するごみからよ記操作
を行ないやすい。参者のため酸イヒ度の違いにするタン
タル酸化物のエラ千ンクレート、耐腔耗性娃のグラフを
第2Mに示す。第2図中、桶川Iは’lI’aOxのX
の値を表わし、左側の縦軸(ま耐摩耗層の大きさを表わ
し、右側の縦軸はエラチンクレートの大きさを表わす。
と2〜3μの外部[ρ「ト即P+層8とから構成さ、+
1でいる。内剖耐p肝要として(オTa、O,また(オ
TaOxと表わされるものであってXの値が25に近い
置酸化度の′1゛a酸化物が用いられ、列?fl! *
+歴耗層8さしてけTaOxてあってXの値が2.3L
、I下の似酢什度のTa酸化物が用いられている。この
ような酸化度の異なる二層のIlj′+摩耗層の形成は
、反応、性スパッタ法を用いTaまたIt T a20
5のターゲツトを用いて導入するArと0□の混合カス
の内02の分圧を耐摩耗層のスパッタ中に変化させるこ
とにより連続的?こ成膜して実施することができる。な
おO2の分圧の変什をゆるやかにするこ七により膜のa
成を除々に変イヒさせて叶き、二層の間の機種的な結合
を強くするこみも容易であるー 耳1上のようにして律られだ二層の耐磨耗層の内、外部
i+#粁屡8の発熱ドツト周辺部襲をフォトエラ千ンク
で除去するこさにより発熱ドツト上部のITt+「耗層
8aをドツト周辺部より0〜2 /7高くし、111+
:熱言1膏才だ(1熱転写フイルムへの接触を良くする
ことができる。外部社歴fI″層8け例えば酸化度が佃
いため梓樺的強度が低くなるがエラチンクレートが犬キ
くエノ千ンクによる加工性か向上するごみからよ記操作
を行ないやすい。参者のため酸イヒ度の違いにするタン
タル酸化物のエラ千ンクレート、耐腔耗性娃のグラフを
第2Mに示す。第2図中、桶川Iは’lI’aOxのX
の値を表わし、左側の縦軸(ま耐摩耗層の大きさを表わ
し、右側の縦軸はエラチンクレートの大きさを表わす。
以上詐明したように本発明のサーマルヘッドによイユは
酢イヒ吸、望化#また(i屍化度の異なる/’tr望の
性質を持った内外二層の耐#肝要を述拝的に容易に形成
して、しかもフォトエノ壬ンクjrより発熱ドツト周辺
の外部lT+摩耗層を除去するこ七lこ才り発地ドツト
上部の耐摩耗層を周辺から突出させているため、この突
出部にすり廿−マルヘッドの発熱ドツト上部のlN+#
耗層と感熱記録紙すた(寸熱軒写フィルムとの熱伝涛が
良くなり、臥効率が高く小さい消費外力で十分な印?f
度をイ!することかできる上、従来のサーマルヘッドの
ようにナナな重力を加える必要かないことから発熱ドツ
ト部の湿度かイ氏くなるため印字のにじみが減り高印牢
品質でより高速な印字か可能にf(る。丈た、分動ドツ
ト部の温度か低く fjることによりヘッドの寿命を長
くすることができる。
酢イヒ吸、望化#また(i屍化度の異なる/’tr望の
性質を持った内外二層の耐#肝要を述拝的に容易に形成
して、しかもフォトエノ壬ンクjrより発熱ドツト周辺
の外部lT+摩耗層を除去するこ七lこ才り発地ドツト
上部の耐摩耗層を周辺から突出させているため、この突
出部にすり廿−マルヘッドの発熱ドツト上部のlN+#
耗層と感熱記録紙すた(寸熱軒写フィルムとの熱伝涛が
良くなり、臥効率が高く小さい消費外力で十分な印?f
度をイ!することかできる上、従来のサーマルヘッドの
ようにナナな重力を加える必要かないことから発熱ドツ
ト部の湿度かイ氏くなるため印字のにじみが減り高印牢
品質でより高速な印字か可能にf(る。丈た、分動ドツ
ト部の温度か低く fjることによりヘッドの寿命を長
くすることができる。
第1図は不発明の一実農例の廿−マルヘノトの発熱ドツ
ト付近を示す断面図であり、m 2 [gli−J不発
りの一実施例の酸化度の異なる1゛a酸化物の酊渉耗層
の酸化度に対するエラチンクレートと耐ぷ耗性能の関係
を示すグラフ、第3図(ま仇−来の@1−フルヘッドの
発核ドツトを示す断面図である。 I・・棺1牌性:#物 2・・・クレース゛カラス 3・・・析抗体層 32 ・・分動ト ット部 4・・φ体IV 5・・・耐酸仕層 6−酊9;!P層 7・・・下部面(麿料炉 8・・上部1声粁j− 8a・・発地ドツト上部の上部i′+摩耗層8b・・発
熱ドント周辺の上′M耐摩耗層特許出漁1人 アルプス
電気株式会社 第1図 第2図
ト付近を示す断面図であり、m 2 [gli−J不発
りの一実施例の酸化度の異なる1゛a酸化物の酊渉耗層
の酸化度に対するエラチンクレートと耐ぷ耗性能の関係
を示すグラフ、第3図(ま仇−来の@1−フルヘッドの
発核ドツトを示す断面図である。 I・・棺1牌性:#物 2・・・クレース゛カラス 3・・・析抗体層 32 ・・分動ト ット部 4・・φ体IV 5・・・耐酸仕層 6−酊9;!P層 7・・・下部面(麿料炉 8・・上部1声粁j− 8a・・発地ドツト上部の上部i′+摩耗層8b・・発
熱ドント周辺の上′M耐摩耗層特許出漁1人 アルプス
電気株式会社 第1図 第2図
Claims (1)
- 電気絶縁性基板上に少なくとも順次発熱用抵抗体層、通
電用導体層、耐酸化層および耐磨耗層を積層し、かつこ
の積層中の導体層の一部を除去してそこに断面凹状の発
熱ドットを形成してなるサーマルヘッドにおいて、耐磨
耗層を熱伝導性を持つ耐磨耗性金属酸化物、金属窒化物
または金属炭化物からなり、かつ、その酸化度、窒化度
または炭化度が異なる内外二層により構成し、しかもそ
の外部耐磨耗層を内部耐磨耗層より酸化度、窒化度また
は炭化度の低いものより構成して前記発熱ドットにおい
て凹所を満たしかつ、該凹所周辺より突出させて形成し
たことを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59197998A JPS6174862A (ja) | 1984-09-21 | 1984-09-21 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59197998A JPS6174862A (ja) | 1984-09-21 | 1984-09-21 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6174862A true JPS6174862A (ja) | 1986-04-17 |
Family
ID=16383809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59197998A Pending JPS6174862A (ja) | 1984-09-21 | 1984-09-21 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6174862A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009126117A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法、並びに、サーマルプリンタ |
JP2011201190A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
JP2015009471A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド、サーマルプリンタ |
-
1984
- 1984-09-21 JP JP59197998A patent/JPS6174862A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009126117A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法、並びに、サーマルプリンタ |
JP2011201190A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
JP2015009471A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド、サーマルプリンタ |
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