JPS6174862A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS6174862A JPS6174862A JP59197998A JP19799884A JPS6174862A JP S6174862 A JPS6174862 A JP S6174862A JP 59197998 A JP59197998 A JP 59197998A JP 19799884 A JP19799884 A JP 19799884A JP S6174862 A JPS6174862 A JP S6174862A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistant layer
- abrasion resistant
- layer
- wear
- dot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の第１１用分野〕
本発明は例えは、初θ１ｔ／；：の発熱抵抗素子を同一
基鈑上に直綾的ζこ西装置し所望のパターンに従ってこ
の発熱析？体を挿市力Ｐ鉋してｐ執紙にｇト合ＬＰ録さ
せ、あるいはインクリボンを介して普逆祇に１亙言ｒ”
録さぜる什−マルヘノドに関する。
基鈑上に直綾的ζこ西装置し所望のパターンに従ってこ
の発熱析？体を挿市力Ｐ鉋してｐ執紙にｇト合ＬＰ録さ
せ、あるいはインクリボンを介して普逆祇に１亙言ｒ”
録さぜる什−マルヘノドに関する。
従来のサーマルヘッドは、例ズば炉３図１ζ示オような
ｍｈｌｚである。１はアルミナ等のセラミックからなる
絶縁性＃相、２は基板上に薄く焼成されたグレーズカラ
ス、３はＴａ２Ｎ等からなる００５〜０３１１件度の逓
さの発弛折抗体層、胸は発熱ドツト部、４はＡ１簿から
なり金執駈抗仕滓３に電流を供給する１〜２μ程度の腟
さのΦ体層、５は５ｉｎ２等からなり発熱抵抗素子３の
発熱ドツト部３ａの酸化を防ぐ２ ／ｌ程度の厚さの耐
酸化層、６はＴａ、０．等からなり感執肚録組丈たは熱
ｆｆ１＝写フイルムとの摩擦によりサーマルヘッドの表
面カ埠耗することを防ぐ３〜５μ程度の厚さの耐摩肝要
である。
ｍｈｌｚである。１はアルミナ等のセラミックからなる
絶縁性＃相、２は基板上に薄く焼成されたグレーズカラ
ス、３はＴａ２Ｎ等からなる００５〜０３１１件度の逓
さの発弛折抗体層、胸は発熱ドツト部、４はＡ１簿から
なり金執駈抗仕滓３に電流を供給する１〜２μ程度の腟
さのΦ体層、５は５ｉｎ２等からなり発熱抵抗素子３の
発熱ドツト部３ａの酸化を防ぐ２ ／ｌ程度の厚さの耐
酸化層、６はＴａ、０．等からなり感執肚録組丈たは熱
ｆｆ１＝写フイルムとの摩擦によりサーマルヘッドの表
面カ埠耗することを防ぐ３〜５μ程度の厚さの耐摩肝要
である。
ボ９縁性基板１上にクレーズカラス２を燈成し、その上
に発地抵抗＃層３、導体層４不５Ｖ臆しフォトエノ千ン
グにまり発±ｈドツト部３ａの一ヒ部の導体Ｒ１を置去
し、その−ト剖に稈−屏を成騨する従来の廿−マルヘノ
トの集り遣方法では、全熱ドツト胎の上世′に深さ１〜
２１・の窪みかてキ、この凹部ｔとよｆ）紛Ｍ％ｒ’
ｆ４律や軌←写フィルムさの執伝導を悪イヒさせるとい
う虞れがあった。また間作（に感熱言１録紀゛や動献写
）−イルムのカス嬢がたまって断熱層きなり、更にＭ伝
道が妨けらノするな七執効土の悪いものであった。その
結果印字のかすれが発生したり、十分な印字τＦｌｆｆ
を得るために廿−マルヘッドｌこ鍋犬ｔ、−πを力をカ
ロンるこ吉により発熱ドツト部のｐ常な温ＩＩ′！′上
昇を引きＩ′１′こしサーマルヘッドの寿命の知絹、印
字のにじみ等の印字品質のイ氏下があ））、断連印字に
適さないという欠点かあった。
に発地抵抗＃層３、導体層４不５Ｖ臆しフォトエノ千ン
グにまり発±ｈドツト部３ａの一ヒ部の導体Ｒ１を置去
し、その−ト剖に稈−屏を成騨する従来の廿−マルヘノ
トの集り遣方法では、全熱ドツト胎の上世′に深さ１〜
２１・の窪みかてキ、この凹部ｔとよｆ）紛Ｍ％ｒ’
ｆ４律や軌←写フィルムさの執伝導を悪イヒさせるとい
う虞れがあった。また間作（に感熱言１録紀゛や動献写
）−イルムのカス嬢がたまって断熱層きなり、更にＭ伝
道が妨けらノするな七執効土の悪いものであった。その
結果印字のかすれが発生したり、十分な印字τＦｌｆｆ
を得るために廿−マルヘッドｌこ鍋犬ｔ、−πを力をカ
ロンるこ吉により発熱ドツト部のｐ常な温ＩＩ′！′上
昇を引きＩ′１′こしサーマルヘッドの寿命の知絹、印
字のにじみ等の印字品質のイ氏下があ））、断連印字に
適さないという欠点かあった。
〔本発明の目的〕
本発明は、サーマルヘッドの１摩耗層を二層に形成し、
かつ外層を低酸化物、低窒化物または低炭化物とするこ
おによりフォトエッチンクを可能とし、発熱ドツト部周
辺の耐摩耗層の外層をフォトエノ千ンクでＶ＆：Ｐ才る
ζ七Ｉｒより臂二凱ドツト部のＩＴｉ′＋胛粁層のρ肝
要錘くして周」部よ【］突Ｗ、シた形軟七才るこ１．Ｉ
−により、感熱言Ｆ’針紙また（オ熱ト写すボン七の凱
ｆ道を良好にしてｐＩＰ針絋・鉱から出るカスの付着か
なく、転動Ｗが廃く、公転ドツト部の温度上昇をおさジ
長寿命で直婢什にｉγＩ、た高印字品質の廿−マルヘノ
ドをｓｉする・ものである。
かつ外層を低酸化物、低窒化物または低炭化物とするこ
おによりフォトエッチンクを可能とし、発熱ドツト部周
辺の耐摩耗層の外層をフォトエノ千ンクでＶ＆：Ｐ才る
ζ七Ｉｒより臂二凱ドツト部のＩＴｉ′＋胛粁層のρ肝
要錘くして周」部よ【］突Ｗ、シた形軟七才るこ１．Ｉ
−により、感熱言Ｆ’針紙また（オ熱ト写すボン七の凱
ｆ道を良好にしてｐＩＰ針絋・鉱から出るカスの付着か
なく、転動Ｗが廃く、公転ドツト部の温度上昇をおさジ
長寿命で直婢什にｉγＩ、た高印字品質の廿−マルヘノ
ドをｓｉする・ものである。
かかる目的を達成するため本発明のせ一マルヘッド（廿
、を炉絶縁性基析上ζｒ少７’、ｉ’（ともＩＩＦ次発
臥用折抗体層、逆Ｔ用導体層、耐酸化層および面÷井粁
１層を積層し、かつこの積層中の一世′を除去してそこ
に断面凹状の発熱ドツトを形ｂｙ してなるサーマルヘ
ッドにおいて、面十＃耗層を銚伊漢性を持つ耐都耗性金
属酸化物、金属窒化物また（オ金属炭化物からなりかつ
その酸化度、窒化度または炭化度が異なる内外二層によ
り構成し、しかもその外部耐艶耗層を内部耐摩耗層より
酸化度、窒（ヒ［または炭化度が低いものにより構成し
て前記発熱ドツトにふいては凹所を泄たし５、かつ、該
凹部周辺まり突出させてＹ成ｔてｔ、１−る本のである
。
、を炉絶縁性基析上ζｒ少７’、ｉ’（ともＩＩＦ次発
臥用折抗体層、逆Ｔ用導体層、耐酸化層および面÷井粁
１層を積層し、かつこの積層中の一世′を除去してそこ
に断面凹状の発熱ドツトを形ｂｙ してなるサーマルヘ
ッドにおいて、面十＃耗層を銚伊漢性を持つ耐都耗性金
属酸化物、金属窒化物また（オ金属炭化物からなりかつ
その酸化度、窒化度または炭化度が異なる内外二層によ
り構成し、しかもその外部耐艶耗層を内部耐摩耗層より
酸化度、窒（ヒ［または炭化度が低いものにより構成し
て前記発熱ドツトにふいては凹所を泄たし５、かつ、該
凹部周辺まり突出させてＹ成ｔてｔ、１−る本のである
。
上言ｉ”ＩｆＦ・村件昇−枳、発軌析抗付層、導体層お
よび一■・仕度は、従来す；知の廿−マルヘッドさ同−
構成て本る。−Ｌ理解されたい。ただし、同−作声効果
をスζするものであわは、デ１に従来周知の構成要素に
シト・らイ′するものて（ゴｆ−’：い。
よび一■・仕度は、従来す；知の廿−マルヘッドさ同−
構成て本る。−Ｌ理解されたい。ただし、同−作声効果
をスζするものであわは、デ１に従来周知の構成要素に
シト・らイ′するものて（ゴｆ−’：い。
二層の耐Ｐ軒層５−措成する金彫什合物としてはＴａ
、 ８ＩＳＡｌ、Ｃ「、Ｗ％Ｈ，Ｚｒ、 Ｔｉ等の金用
醇化物、金お・望什物または金ｐ炭什物である。このう
ち、列剖面十〜肝要を低酸什物、イ氏窒イト物すたは（
Ｕ″１．ｄ什物により構成しているのは、発熱ドツト凹
所を蜘たし、かつ該凹ｐＪｒ周辺より突出させてｔ’ｒ
：、 ｂ’ｉするのにフォトエノチンクを施すがためこ
のフォトエツチンクを高酸化度等のものよりも容易ｊこ
させるためである。こわらの舎監低酸化物、低窒化物ま
たはイバ炭化物の組成は、内部耐摩耗層をｊｒ＋’＋
１１’１．する金ｈＸ酸化物例えはＴａ２Ｏ，、ＴｉＣ
２，５ｉｎ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３、窒化物例えは’
ｆ’ａＮ。
、 ８ＩＳＡｌ、Ｃ「、Ｗ％Ｈ，Ｚｒ、 Ｔｉ等の金用
醇化物、金お・望什物または金ｐ炭什物である。このう
ち、列剖面十〜肝要を低酸什物、イ氏窒イト物すたは（
Ｕ″１．ｄ什物により構成しているのは、発熱ドツト凹
所を蜘たし、かつ該凹ｐＪｒ周辺より突出させてｔ’ｒ
：、 ｂ’ｉするのにフォトエノチンクを施すがためこ
のフォトエツチンクを高酸化度等のものよりも容易ｊこ
させるためである。こわらの舎監低酸化物、低窒化物ま
たはイバ炭化物の組成は、内部耐摩耗層をｊｒ＋’＋
１１’１．する金ｈＸ酸化物例えはＴａ２Ｏ，、ＴｉＣ
２，５ｉｎ２、ＺｒＯ２、Ａｌ２Ｏ３、窒化物例えは’
ｆ’ａＮ。
ＴｉＮ、Ｓｉ３Ｎ、、ＢＮ、 ＺｒＮ、 ＡＩＮまたは
炭化物例ズばＴａＣ，ＴｉＣ，ＳｉＣ，ＢＣ，ＺｒＣ，
〜ＶＣ１そわ才りも酸化度、♀什度丈た（オ炭化度の仰
い什労的に不安定な低酸化物、但窒什物才たけ低炭化物
々なっている。従ってこｔｌへの低酔什物算は、内部耐
摩耗層を構成する酸イビ物、窒什物すたは炭什物さ比較
すると、内部の欠陥が多いため、櫓ビ的な強度や化学的
な安定性か悪いもの声なる。従って低酸化度、但窒什度
寸たは偵炭仕度はフォトエノチンクの容易性からめ出さ
れる。例オ（ゴ、ＴａＯｘの金和酸仕物の場合、Ｘか２
３１−１下の低酸化ｆＷとなる。なおこの例１ｒあって
は表面か金が光析を荏・ひ掛抗（ｉ／＋が計Ｇ怪Ｃがら
も一０定性を帯びて熱伝ψ性も高くなる。
炭化物例ズばＴａＣ，ＴｉＣ，ＳｉＣ，ＢＣ，ＺｒＣ，
〜ＶＣ１そわ才りも酸化度、♀什度丈た（オ炭化度の仰
い什労的に不安定な低酸化物、但窒什物才たけ低炭化物
々なっている。従ってこｔｌへの低酔什物算は、内部耐
摩耗層を構成する酸イビ物、窒什物すたは炭什物さ比較
すると、内部の欠陥が多いため、櫓ビ的な強度や化学的
な安定性か悪いもの声なる。従って低酸化度、但窒什度
寸たは偵炭仕度はフォトエノチンクの容易性からめ出さ
れる。例オ（ゴ、ＴａＯｘの金和酸仕物の場合、Ｘか２
３１−１下の低酸化ｆＷとなる。なおこの例１ｒあって
は表面か金が光析を荏・ひ掛抗（ｉ／＋が計Ｇ怪Ｃがら
も一０定性を帯びて熱伝ψ性も高くなる。
一方、内部耐＊ 粋ＩＦは、上５１フォトエソ千ンクの
際の発熱ドツトの凹部周辺のバリヤ一層となるものであ
るから、化学的に安定でエラチンクレートが低い、外部
耐Ｎ粍層より高酸化度、高窒化度または高炭化度のもの
を使用する。餘１１えはＴａ、０．、ＴａＣ、ＳｉＣ、
ＴｉＮ 、 Ｔｉｅ等である。この酸化度、窒化度ま
たは炭化度は対応する内部耐財耗がよりρい（（ｎであ
る。例オＩ叶ＴａＯｘの長°合、Ｘが２５ｊζ近いイ１
り昼Ｃる。ｔＩ′オ、゛、に、゛自１イＰ Ｉｌ：１．
、ρ１り４什ｒｔ！′才たけ高炭什度のものは、機樟的
強昨が犬きく、Ｆ′−［Ｅ”ｌｉｌの廿−マルへ７）の
使用により外部耐摩耗Ｗが町１．たセ“合す一コ硬庶の
廊いｐ部耐胛蛙ＷによりＦ！：絆かそれ払Ｉ上逆行する
こ、Ｌ Ｇ ｌｉぐ作用がある。
際の発熱ドツトの凹部周辺のバリヤ一層となるものであ
るから、化学的に安定でエラチンクレートが低い、外部
耐Ｎ粍層より高酸化度、高窒化度または高炭化度のもの
を使用する。餘１１えはＴａ、０．、ＴａＣ、ＳｉＣ、
ＴｉＮ 、 Ｔｉｅ等である。この酸化度、窒化度ま
たは炭化度は対応する内部耐財耗がよりρい（（ｎであ
る。例オＩ叶ＴａＯｘの長°合、Ｘが２５ｊζ近いイ１
り昼Ｃる。ｔＩ′オ、゛、に、゛自１イＰ Ｉｌ：１．
、ρ１り４什ｒｔ！′才たけ高炭什度のものは、機樟的
強昨が犬きく、Ｆ′−［Ｅ”ｌｉｌの廿−マルへ７）の
使用により外部耐摩耗Ｗが町１．たセ“合す一コ硬庶の
廊いｐ部耐胛蛙ＷによりＦ！：絆かそれ払Ｉ上逆行する
こ、Ｌ Ｇ ｌｉぐ作用がある。
±計二層の耐腔粁ｒ−の膜片は、倶才去わば飢伝導が悪
くなることからその機能を十分に発揮させるため内部＃
＋ｊＩ！１針一層では１〜３μが好まし、く、またＩＩ
１部耐財鼾層では２〜３μが好すしい。
くなることからその機能を十分に発揮させるため内部＃
＋ｊＩ！１針一層では１〜３μが好まし、く、またＩＩ
１部耐財鼾層では２〜３μが好すしい。
二層の一＋！Ｆｐ皮１・を形成するには、市り絶縁性某
枦土にＩＩＩ′＋Ｉｙ７什／Ｐ−ｊてを従来法ζこ従っ
て製作した積層体に、反茫性スパッタ茫を用いて５１２
Ｉｌｔ′Ｉする。そして得られた二層の耐胛耗層のうち
外部耐摩耗層の発熱ドツト周辺部をフォトエノチンクに
より除去することにより発熱ドツト周辺より外部耐摩耗
層を突出させた形のサーマルヘッドを得ることができる
。
枦土にＩＩＩ′＋Ｉｙ７什／Ｐ−ｊてを従来法ζこ従っ
て製作した積層体に、反茫性スパッタ茫を用いて５１２
Ｉｌｔ′Ｉする。そして得られた二層の耐胛耗層のうち
外部耐摩耗層の発熱ドツト周辺部をフォトエノチンクに
より除去することにより発熱ドツト周辺より外部耐摩耗
層を突出させた形のサーマルヘッドを得ることができる
。
なお、外部耐摩Ｐｔ層の突出高さは、感熱記録紙や熱転
写フィルムへの枦紳を良くすＡ ｆ、−メ（ｌ〜２μが
好ましい。
写フィルムへの枦紳を良くすＡ ｆ、−メ（ｌ〜２μが
好ましい。
本発明の学割・例の一例を卯１図に示す。ｔ、゛お竿１
図に本いて４−Ａ述する１ｌｉｉ−＋竪耗層を除く仙の
朴″７戚ヂ“像は〜→、３Ｍのイ・のさ同様てあり、舖
３１シ（て対応する構成要素に（ま第３は１で付した符
号を付し、その詐［！Ｊ１は省銘することにした。
図に本いて４−Ａ述する１ｌｉｉ−＋竪耗層を除く仙の
朴″７戚ヂ“像は〜→、３Ｍのイ・のさ同様てあり、舖
３１シ（て対応する構成要素に（ま第３は１で付した符
号を付し、その詐［！Ｊ１は省銘することにした。
二ｊ曽の１捏１１＝層は、１〜３μの内部面＋Ｆ肝要７
と２〜３μの外部［ρ「ト即Ｐ＋層８とから構成さ、＋
１でいる。内剖耐ｐ肝要として（オＴａ、Ｏ，また（オ
ＴａＯｘと表わされるものであってＸの値が２５に近い
置酸化度の′１゛ａ酸化物が用いられ、列？ｆｌ！ ＊
＋歴耗層８さしてけＴａＯｘてあってＸの値が２．３Ｌ
、Ｉ下の似酢什度のＴａ酸化物が用いられている。この
ような酸化度の異なる二層のＩｌｊ′＋摩耗層の形成は
、反応、性スパッタ法を用いＴａまたＩｔ Ｔ ａ２０
５のターゲツトを用いて導入するＡｒと０□の混合カス
の内０２の分圧を耐摩耗層のスパッタ中に変化させるこ
とにより連続的？こ成膜して実施することができる。な
おＯ２の分圧の変什をゆるやかにするこ七により膜のａ
成を除々に変イヒさせて叶き、二層の間の機種的な結合
を強くするこみも容易であるー 耳１上のようにして律られだ二層の耐磨耗層の内、外部
ｉ＋＃粁屡８の発熱ドツト周辺部襲をフォトエラ千ンク
で除去するこさにより発熱ドツト上部のＩＴｔ＋「耗層
８ａをドツト周辺部より０〜２ ／７高くし、１１１＋
：熱言１膏才だ（１熱転写フイルムへの接触を良くする
ことができる。外部社歴ｆＩ″層８け例えば酸化度が佃
いため梓樺的強度が低くなるがエラチンクレートが犬キ
くエノ千ンクによる加工性か向上するごみからよ記操作
を行ないやすい。参者のため酸イヒ度の違いにするタン
タル酸化物のエラ千ンクレート、耐腔耗性娃のグラフを
第２Ｍに示す。第２図中、桶川Ｉは’ｌＩ’ａＯｘのＸ
の値を表わし、左側の縦軸（ま耐摩耗層の大きさを表わ
し、右側の縦軸はエラチンクレートの大きさを表わす。
と２〜３μの外部［ρ「ト即Ｐ＋層８とから構成さ、＋
１でいる。内剖耐ｐ肝要として（オＴａ、Ｏ，また（オ
ＴａＯｘと表わされるものであってＸの値が２５に近い
置酸化度の′１゛ａ酸化物が用いられ、列？ｆｌ！ ＊
＋歴耗層８さしてけＴａＯｘてあってＸの値が２．３Ｌ
、Ｉ下の似酢什度のＴａ酸化物が用いられている。この
ような酸化度の異なる二層のＩｌｊ′＋摩耗層の形成は
、反応、性スパッタ法を用いＴａまたＩｔ Ｔ ａ２０
５のターゲツトを用いて導入するＡｒと０□の混合カス
の内０２の分圧を耐摩耗層のスパッタ中に変化させるこ
とにより連続的？こ成膜して実施することができる。な
おＯ２の分圧の変什をゆるやかにするこ七により膜のａ
成を除々に変イヒさせて叶き、二層の間の機種的な結合
を強くするこみも容易であるー 耳１上のようにして律られだ二層の耐磨耗層の内、外部
ｉ＋＃粁屡８の発熱ドツト周辺部襲をフォトエラ千ンク
で除去するこさにより発熱ドツト上部のＩＴｔ＋「耗層
８ａをドツト周辺部より０〜２ ／７高くし、１１１＋
：熱言１膏才だ（１熱転写フイルムへの接触を良くする
ことができる。外部社歴ｆＩ″層８け例えば酸化度が佃
いため梓樺的強度が低くなるがエラチンクレートが犬キ
くエノ千ンクによる加工性か向上するごみからよ記操作
を行ないやすい。参者のため酸イヒ度の違いにするタン
タル酸化物のエラ千ンクレート、耐腔耗性娃のグラフを
第２Ｍに示す。第２図中、桶川Ｉは’ｌＩ’ａＯｘのＸ
の値を表わし、左側の縦軸（ま耐摩耗層の大きさを表わ
し、右側の縦軸はエラチンクレートの大きさを表わす。
以上詐明したように本発明のサーマルヘッドによイユは
酢イヒ吸、望化＃また（ｉ屍化度の異なる／’ｔｒ望の
性質を持った内外二層の耐＃肝要を述拝的に容易に形成
して、しかもフォトエノ壬ンクｊｒより発熱ドツト周辺
の外部ｌＴ＋摩耗層を除去するこ七ｌこ才り発地ドツト
上部の耐摩耗層を周辺から突出させているため、この突
出部にすり廿−マルヘッドの発熱ドツト上部のｌＮ＋＃
耗層と感熱記録紙すた（寸熱軒写フィルムとの熱伝涛が
良くなり、臥効率が高く小さい消費外力で十分な印？ｆ
度をイ！することかできる上、従来のサーマルヘッドの
ようにナナな重力を加える必要かないことから発熱ドツ
ト部の湿度かイ氏くなるため印字のにじみが減り高印牢
品質でより高速な印字か可能にｆ（る。丈た、分動ドツ
ト部の温度か低く ｆｊることによりヘッドの寿命を長
くすることができる。
酢イヒ吸、望化＃また（ｉ屍化度の異なる／’ｔｒ望の
性質を持った内外二層の耐＃肝要を述拝的に容易に形成
して、しかもフォトエノ壬ンクｊｒより発熱ドツト周辺
の外部ｌＴ＋摩耗層を除去するこ七ｌこ才り発地ドツト
上部の耐摩耗層を周辺から突出させているため、この突
出部にすり廿−マルヘッドの発熱ドツト上部のｌＮ＋＃
耗層と感熱記録紙すた（寸熱軒写フィルムとの熱伝涛が
良くなり、臥効率が高く小さい消費外力で十分な印？ｆ
度をイ！することかできる上、従来のサーマルヘッドの
ようにナナな重力を加える必要かないことから発熱ドツ
ト部の湿度かイ氏くなるため印字のにじみが減り高印牢
品質でより高速な印字か可能にｆ（る。丈た、分動ドツ
ト部の温度か低く ｆｊることによりヘッドの寿命を長
くすることができる。
第１図は不発明の一実農例の廿−マルヘノトの発熱ドツ
ト付近を示す断面図であり、ｍ ２ ［ｇｌｉ−Ｊ不発
りの一実施例の酸化度の異なる１゛ａ酸化物の酊渉耗層
の酸化度に対するエラチンクレートと耐ぷ耗性能の関係
を示すグラフ、第３図（ま仇−来の＠１−フルヘッドの
発核ドツトを示す断面図である。 Ｉ・・棺１牌性：＃物 ２・・・クレース゛カラス ３・・・析抗体層 ３２ ・・分動ト ット部 ４・・φ体ＩＶ ５・・・耐酸仕層 ６−酊９；！Ｐ層 ７・・・下部面（麿料炉 ８・・上部１声粁ｊ− ８ａ・・発地ドツト上部の上部ｉ′＋摩耗層８ｂ・・発
熱ドント周辺の上′Ｍ耐摩耗層特許出漁１人 アルプス
電気株式会社 第１図 第２図
ト付近を示す断面図であり、ｍ ２ ［ｇｌｉ−Ｊ不発
りの一実施例の酸化度の異なる１゛ａ酸化物の酊渉耗層
の酸化度に対するエラチンクレートと耐ぷ耗性能の関係
を示すグラフ、第３図（ま仇−来の＠１−フルヘッドの
発核ドツトを示す断面図である。 Ｉ・・棺１牌性：＃物 ２・・・クレース゛カラス ３・・・析抗体層 ３２ ・・分動ト ット部 ４・・φ体ＩＶ ５・・・耐酸仕層 ６−酊９；！Ｐ層 ７・・・下部面（麿料炉 ８・・上部１声粁ｊ− ８ａ・・発地ドツト上部の上部ｉ′＋摩耗層８ｂ・・発
熱ドント周辺の上′Ｍ耐摩耗層特許出漁１人 アルプス
電気株式会社 第１図 第２図
Claims (1)
- 電気絶縁性基板上に少なくとも順次発熱用抵抗体層、通
電用導体層、耐酸化層および耐磨耗層を積層し、かつこ
の積層中の導体層の一部を除去してそこに断面凹状の発
熱ドットを形成してなるサーマルヘッドにおいて、耐磨
耗層を熱伝導性を持つ耐磨耗性金属酸化物、金属窒化物
または金属炭化物からなり、かつ、その酸化度、窒化度
または炭化度が異なる内外二層により構成し、しかもそ
の外部耐磨耗層を内部耐磨耗層より酸化度、窒化度また
は炭化度の低いものより構成して前記発熱ドットにおい
て凹所を満たしかつ、該凹所周辺より突出させて形成し
たことを特徴とするサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197998A JPS6174862A (ja) | 1984-09-21 | 1984-09-21 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197998A JPS6174862A (ja) | 1984-09-21 | 1984-09-21 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6174862A true JPS6174862A (ja) | 1986-04-17 |
Family
ID=16383809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59197998A Pending JPS6174862A (ja) | 1984-09-21 | 1984-09-21 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6174862A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009126117A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法、並びに、サーマルプリンタ |
| JP2011201190A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| JP2015009471A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド、サーマルプリンタ |
-
1984
- 1984-09-21 JP JP59197998A patent/JPS6174862A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009126117A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法、並びに、サーマルプリンタ |
| JP2011201190A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| JP2015009471A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッド、サーマルプリンタ |
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