JPS6173049A - Leak inspecting device - Google Patents
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- JPS6173049A JPS6173049A JP19595884A JP19595884A JPS6173049A JP S6173049 A JPS6173049 A JP S6173049A JP 19595884 A JP19595884 A JP 19595884A JP 19595884 A JP19595884 A JP 19595884A JP S6173049 A JPS6173049 A JP S6173049A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は漏れ検査装置に関するもので、例えば自動車用
熱交換器、空調装装置の凝縮器、各種圧縮機等の接合不
良なとによる内部流体の漏れを検査する漏れ検査装置と
して用いて有効である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a leakage inspection device, which detects internal fluid leakage due to poor connection in, for example, automobile heat exchangers, condensers of air conditioners, and various compressors. It is effective when used as a leakage testing device to test for leakage.
（従来の技術）
従来のヘリウム漏れ検査装置は第４図に示す様な系統図
で表わされる。この系統図について説明すると、粗引ポ
ンプ１４、本川ポンプ１６、掃引ポンプ２４、ヘリウム
質量分析器１９を準備運転し、各ポンプからロークリバ
ルブ７に至るまでの配管内の真空排気を行なう。図示し
てないターンテーブル上のベルジャ１内に被検査物２５
をジヨイント２６でセントし、ベルジャ１に取り付けで
ある粗引バルブ３を開することにより、粗引ポンプ１４
によってベルジャ１内を１〜１０Ｔｏｒｒ程度まで真空
排気する。次に粗引バルブ３を閉にし、本川バルブ４を
開にして本川ポンプ１６によって１Ｏ−２Ｔｏｒｒ台ま
でベルジャ１内を真空排気すると同時に、被検査物２５
内は被検査物内排気用電磁弁２７を開にし被検査物２５
内も真空排気する。さらに、本川バルブ４および被検査
物内排気用電磁弁２７を閉した後、テストバルブ５およ
びヘリウム封入用電磁弁２８を開にし、被検査物２５内
には検査媒体であるヘリウムガスを封入する。(Prior Art) A conventional helium leak testing device is represented by a system diagram as shown in FIG. To explain this system diagram, the roughing pump 14, the main pump 16, the sweep pump 24, and the helium mass spectrometer 19 are operated in preparation, and the piping from each pump to the low-pressure valve 7 is evacuated. An object to be inspected 25 is placed inside the bell jar 1 on a turntable (not shown).
by centering the roughing pump 14 at the joint 26 and opening the roughing valve 3 attached to the bell jar 1.
The inside of the bell jar 1 is evacuated to about 1 to 10 Torr. Next, the roughing valve 3 is closed, the Honkawa valve 4 is opened, and the inside of the bell jar 1 is evacuated to a level of 10-2 Torr by the Honkawa pump 16.
Inside, open the solenoid valve 27 for exhausting the inside of the inspected object 25.
Evacuate the inside as well. Furthermore, after closing the Honkawa valve 4 and the solenoid valve 27 for exhausting the inside of the test object, the test valve 5 and the solenoid valve 28 for filling helium are opened, and helium gas, which is a test medium, is sealed in the test object 25. do.
もし、被検査物２５に漏れがあれば、被検査物２５から
流出したヘリウムはベルジャ１内に洩れ、テストバルブ
５、ロークリバルブ７及びテスト配管１１を介してヘリ
ウム質量分析器１９内に導びかれ、質量分析器１９で分
析され、被検査物２５の漏れ量を指示する系統になって
いくる。If there is a leak in the test object 25, the helium flowing out from the test object 25 will leak into the bell jar 1 and be guided into the helium mass spectrometer 19 via the test valve 5, the low-liquid valve 7, and the test pipe 11. , is analyzed by the mass spectrometer 19, and becomes a system for indicating the leakage amount of the test object 25.
この様な装置で検査し、漏れが検知された場合、ロータ
リバルブ７及びテスト配管ｌｌ系内がヘリウムガスで汚
染されている。特にヘリウムガスは吸着性の性質をもっ
ている為、ヘリウム質量分析器１９の持つ真空ポンプで
は排気しきれなくなり、テストバルブ５とよびヘリウム
封入用電磁弁２８を閉にした後、掃引バルブ３０を開に
して、ロータリバルブ７及びテスト配管１１の残留ヘリ
ウムを掃引する必要がある。そして、その後テスト配管
１１内の真空度チェックをビラニ真空計３３で行ない、
次の検査準備を行なう機構にしである。If a leak is detected by testing with such a device, it means that the rotary valve 7 and the inside of the test piping system are contaminated with helium gas. In particular, since helium gas has adsorbent properties, the vacuum pump of the helium mass spectrometer 19 cannot exhaust the gas completely, so after closing the test valve 5 and helium filling solenoid valve 28, the sweep valve 30 is opened. Then, it is necessary to sweep out the residual helium in the rotary valve 7 and the test pipe 11. Then, the degree of vacuum inside the test pipe 11 is checked using the Virani vacuum gauge 33,
This is the mechanism that prepares for the next inspection.
さらに、被検査物２５は大漏れから微少漏れまで種々あ
るが、例えば２０秒間隔で、１０−’Ｔｏｒｒ−１／ｓ
ｅｃ台の漏れを検査する装置で説明すると、粗引ポンプ
１４、本川ポンプ１６で真空排気後、テスト配管１１内
の真空度をピラニ真空計３４でチェックすれば１０−２
Ｔｏｒｒ−１／ｓｅｃ台の漏れの検出ができる。従って
、１０−３〜１０−７Ｔｏｒｒ −１／ｓｅｃ台の漏れ
を質量分析計１９で検出し、かつ検出後テスト配管ｌｌ
内を掃引する必要がある。１０ ’Ｔｏｒｒ −１／
ｓｅｃ台の漏れを検出する時間は約１０秒必要であるか
ら、テスト配管１１内の掃引時間は残り１０秒である。Furthermore, although there are various kinds of leaks in the object 25 to be inspected, ranging from large leaks to minute leaks, for example, the test object 25 is
To explain this using a device that inspects leaks in an EC stand, after evacuation is performed using the roughing pump 14 and Honkawa pump 16, if the degree of vacuum in the test pipe 11 is checked using the Pirani vacuum gauge 34, the result is 10-2.
Leakage on the order of Torr-1/sec can be detected. Therefore, a leak on the order of 10-3 to 10-7 Torr -1/sec is detected by the mass spectrometer 19, and after detection, the test piping
It is necessary to sweep inside. 10' Torr -1/
Since it takes about 10 seconds to detect a leak in the sec unit, there are 10 seconds left to sweep the inside of the test pipe 11.
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、１０”−３〜１Ｏ−５Ｔｏｒｒ−１／ｓ
ｅｃの漏れの場合は掃引ポンプ２４で１５〜１８秒真空
排気しないとテスト配管１１内にヘリウム残留が生じ、
この残留ヘリウムを質量分析器１９が検知して、良品被
検査物２５を流動しても、不良品判定をしてしまう。そ
こで、従来の装置では、ヘリウム残留がなくなるまで装
置を停止させて掃引を続ける機構にしである。その為、
例えば１時間稼働中で約５分間の掃引に要する停止時間
があり、装置の稼働率が低下するという問題があったＯ
このことを第５図に基づいてさらに説明する。(Problem to be solved by the invention) However, 10"-3 to 1O-5Torr-1/s
In the case of an EC leak, unless the vacuum is evacuated using the sweep pump 24 for 15 to 18 seconds, helium will remain in the test pipe 11.
Even if this residual helium is detected by the mass spectrometer 19 and flows through the non-defective inspection object 25, it will be determined to be a defective product. Therefore, conventional devices have a mechanism to stop the device and continue sweeping until there is no remaining helium. For that reason,
For example, during one hour of operation, there is a stoppage time of about 5 minutes required for sweeping, which causes a problem in that the operating rate of the apparatus decreases. This will be further explained based on FIG. 5.
第５図は第４図に示した系統図を概略的に示した図で、
第１のバルブ中１ａをテストするにはテストバルブ５ａ
を開、テストバルブ５ｂを閉にし、さらに掃引バルブ３
０を閉にして質量分析器１９にって漏れガスを検知する
。その後、残留ガスを掃引する場合には掃引バルブ３０
を開にして掃引ポンプ２４により第１のベルジャ１ａ内
及び配管内を掃引する。次に第２のベルジャ１ｂのテス
トを行なうにはテストバルブ５ａを閉、テストバルブ５
ｂを開にし、第１のベルジャ１ａの場合同様にして、テ
スト及び掃引を行なう。従って、第６図からもわかるよ
うに、ベルジャ１内の被検査物の検査開始から残留ガス
の掃引終了までを１サイクルとすると、第１ベルジヤ、
第２のベルジャのテストおらび掃引は各々独立した時間
に行なわなければならず、第１のベルジャ１ａをテスト
、掃引している間は、第２のベルジャは全く休止してい
る状態である。また、第６図にも示した様に、例えば１
サイクルを２０秒としたら、テスト、掃引に要する時間
は１０秒づつであり、掃引に要する時間が不充分となる
場合もある。尚、第６図中５ａ、５ｂ、３０で示される
のはテストバルブ５ａ、５ｂおよび掃引バルブ３０の開
閉状態を表わす。Figure 5 is a diagram schematically showing the system diagram shown in Figure 4.
To test the first valve 1a, test valve 5a
open, close the test valve 5b, and then close the sweep valve 3.
0 is closed and the mass spectrometer 19 detects leakage gas. After that, when sweeping the residual gas, the sweep valve 30
is opened, and the inside of the first bell jar 1a and the inside of the piping are swept by the sweep pump 24. Next, to test the second bell jar 1b, close the test valve 5a,
b is opened, and the test and sweep are performed in the same manner as in the case of the first bell jar 1a. Therefore, as can be seen from FIG. 6, if one cycle is from the start of inspection of the object to be inspected in the bell jar 1 to the end of sweeping of residual gas, the first bell jar,
The testing and sweeping of the second belljar must be carried out at independent times, and while the first belljar 1a is being tested and swept, the second belljar is completely at rest. Also, as shown in Figure 6, for example, 1
If the cycle is 20 seconds, the time required for the test and sweep is 10 seconds each, and the time required for the sweep may be insufficient. Note that 5a, 5b, and 30 in FIG. 6 represent the open and closed states of the test valves 5a, 5b and the sweep valve 30.
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点に鑑み、検査時間（１サイクル時間
）を変えずに掃引時間を長くし、かつ掃引のため装置停
止を行なわず残留検査媒体を掃引させることを目的とし
、次の様な構成とした。つまり、検査媒体が充填された
被検査物を収納する複数の密閉箱体と、この密閉箱体の
各−に連結されたテスト配管と、前記被検査物より前記
密閉箱体内に漏洩にた前記検査媒体が前記テスト配管に
よって導かれ、その質量を計量する質量分析器と、前記
テスト配管に接続された掃引配管と、前記密閉箱体内及
び前記テスト配管内の残留検査媒体を前記掃引配管を介
して掃引する掃引ポンプと、前記テスト配管の管路途中
で前記掃引配管との接続部よりも前記質量分析器側に設
けられ管路の開閉を行なう第１のバルブと、前記掃引配
管の管路途中に設けられ管路の開閉を行なう第２のバル
ブとを備える漏れ検査装置とした。(Means for Solving the Problems) In view of the above problems, the present invention lengthens the sweep time without changing the inspection time (1 cycle time), and sweeps the residual test medium without stopping the device for sweeping. For the purpose of this, the following structure was adopted. In other words, there are a plurality of sealed boxes that house objects to be inspected filled with test media, test pipes connected to each of the sealed boxes, and a tube that prevents leakage from the objects to be inspected into the sealed boxes. A test medium is guided by the test pipe, and a mass spectrometer for measuring the mass thereof, a sweep pipe connected to the test pipe, and a residual test medium in the sealed box and the test pipe are passed through the sweep pipe. a sweep pump that sweeps the test pipe; a first valve that is provided in the middle of the test pipe on the side closer to the mass spectrometer than the connection part with the sweep pipe and opens and closes the pipe; and a pipe line of the sweep pipe. The leak testing device is equipped with a second valve provided in the middle to open and close the pipe.
（実施例）
本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて説明す
る。密閉箱体であるベルジャｌは蓋１ａを有し、ターン
テーブル２（第２図）の上に設置しである。さらにこの
ベルジャ１に真空用ニューマチ７クハルブよりなる粗引
バルブ３、本川バルブ４、テストバルブ５及び大気開放
バルブ６が取り付けてあり、粗引バルブ３、本川バルブ
４、テストバルブ５の各々は配管８によってロークリバ
ルブ７の外筒７ａに接続しである。このロータリバルブ
７は内筒７ｂ及び外筒７ａより構成されており、Ｏリン
グ７Ｃにて両者を真空シールすることにより、粗引通路
９、本引通路ｌＯ１及び２本の第１．２テスト通路１１
．１２を形成している。(Example) An example of the present invention will be described based on FIGS. 1 and 2. A bell jar 1, which is a closed box, has a lid 1a and is placed on a turntable 2 (FIG. 2). Furthermore, a roughing valve 3, a Honkawa valve 4, a test valve 5, and an atmosphere release valve 6 are attached to the bell jar 1, and each of the roughing valve 3, Honkawa valve 4, and test valve 5 is made of a vacuum pneumatic 7-hole valve. is connected to the outer cylinder 7a of the low-pressure valve 7 through a pipe 8. This rotary valve 7 is composed of an inner cylinder 7b and an outer cylinder 7a, and by vacuum-sealing them with an O-ring 7C, a rough drawing passage 9, a main drawing passage lO1, and two 1.2 test passages. 11
．． 12 is formed.
第を図ではベルジャ１が４つ示されているが、そのうち
の２つのベルジャ１に設けたテストバルブ５は第１配管
８ａによって第２テスト通路１２に連結されており、他
の２つのベルジャ１に設たテストバルブ５も同様に第１
テスト通路１１に連結されている。また、本引通路１０
は第２配管８ｂによって各ベルジャｌの本川バルブ４に
連通されており、粗引通路９は第３配管８ｃによって各
ベルジャ１の粗引バルブ３に連通されている。In the second figure, four bell jars 1 are shown, and the test valves 5 provided in two of the bell jars 1 are connected to the second test passage 12 by the first pipe 8a, and the Similarly, test valve 5 installed in
It is connected to the test passage 11. In addition, main passageway 10
is connected to the main valve 4 of each bell jar 1 by a second pipe 8b, and the roughing passage 9 is connected to the roughing valve 3 of each bell jar 1 by a third pipe 8c.
さらに、前記粗引通路９には第４配管４ｏによって例え
ばロータリポンプからなる粗引ポンプ１４に連結されて
おり、この第４配管４０の途中にはニューマチックバル
ブ１３が配されている。前記本引通路１０はニューマチ
ックバルブ１５を介して、第５配管４１により例えばメ
カニズムブースタポンプあるいはロークリポンプからな
る本川ポンプに接続しである。さらに、前記第１．２テ
スト配管１１．１２は第６．７配管４２．４３によフて
残留ヘリウムの質量を計る質量分析器１９に接続してあ
り、第６．７配管４２．４３には第１バルブである第１
．２切換バルブ１７．１８が配されている。さらに、前
記第６．７配管４２゜４３の途中から掃引配管２０．２
１が分岐し、各々第２のバルブである第１，２掃引切換
バルブ２２．２３を介して例えば拡散エジェクタポンプ
及びロークリポンプからなる掃引ポンプ２４に接続しで
ある。尚、前記第１配管８ ａ ＋第１テスト通路１１
．第７配管４３によって第１系統のテスト配管が構成さ
れ、第１配管８ａ、第２テスト通路１２、第６配管４２
によって第２系統のテスト配、。Further, the roughing passage 9 is connected to a roughing pump 14 made of, for example, a rotary pump through a fourth pipe 4o, and a pneumatic valve 13 is disposed in the middle of this fourth pipe 40. The main feed passage 10 is connected via a pneumatic valve 15 and a fifth pipe 41 to a main pump such as a mechanism booster pump or a low-pressure pump. Further, the 1.2 test pipe 11.12 is connected to a mass spectrometer 19 that measures the mass of residual helium through the 6.7 pipe 42.43. is the first valve
．． Two switching valves 17, 18 are arranged. Furthermore, from the middle of the 6.7th pipe 42° 43, the sweep pipe 20.2
1 is branched, and connected to a sweep pump 24, which is composed of, for example, a diffusion ejector pump and a low-replacement pump, through first and second sweep switching valves 22 and 23, which are second valves, respectively. Incidentally, the first pipe 8 a + the first test passage 11
．． The seventh piping 43 constitutes a first system of test piping, in which the first piping 8a, the second test passage 12, and the sixth piping 42
According to the second system test arrangement,.
管が構成されている。tube is constructed.
前記ベルジャ１内には被検査物２５をカプラ等のジヨイ
ント２６で接続し、このジヨイント２６は、被検査物排
気用電気弁２７、ヘリウム封入用電磁弁２８．窒卑封入
用電磁弁２９及びヘリウム放出″２１磁弁３０に配管３
１ａにて接続されており、さらに各電磁弁は配管３１ｂ
により回転ヘッダー３２の外ｆｆｉ ３２ ａに接続し
である。このヘッダー３２は外筒３２ａ及び３２ｂより
構成され、各ガスの分離を行なう為にＯリング３２ｃに
て分離、シールしである。なお、回転へラダ３２の内筒
３２ｂ及びロータバルブ７の内筒７ｂはいずれも固定側
であり、外筒３２ａ、７ａはターンテーブル２側で回転
するものである。A test object 25 is connected inside the bell jar 1 by a joint 26 such as a coupler, and this joint 26 is connected to an electric valve 27 for exhausting the test object, a solenoid valve 28 for helium filling, etc. Piping 3 to the solenoid valve 29 for nitrogen-based filling and the helium release 21 solenoid valve 30
1a, and each solenoid valve is connected to piping 31b.
This is connected to the external ffi 32a of the rotating header 32. This header 32 is composed of outer cylinders 32a and 32b, which are separated and sealed by an O-ring 32c to separate each gas. Note that the inner cylinder 32b of the rotary ladder 32 and the inner cylinder 7b of the rotor valve 7 are both fixed, and the outer cylinders 32a and 7a rotate on the turntable 2 side.
上記構成よりなる本実施例の作動を説明する。The operation of this embodiment having the above configuration will be explained.
被検査物２５をジヨイント２６によってベルジャｌ内に
配置し、蓋１ａを閉じると図示してない蓋１ａ閉確認用
リミットスイッチからの信号で粗引バルブ３を開にし、
ベルジャ１内をロータリバルブ７を介して粗引ポンプ１
４にて真空排気する。The object to be inspected 25 is placed in the bell jar l by the joint 26, and when the lid 1a is closed, the roughing valve 3 is opened by a signal from a limit switch (not shown) for confirming that the lid 1a is closed.
Roughing pump 1 is pumped inside bell jar 1 via rotary valve 7.
Evacuate in step 4.
次に、粗引バルブ３を閉にし、本川バルブ３を開にして
、ロータリバルブ７を介し、本川ポンプ１６でベルジャ
１内の真空排気を行ないベルジャｌ内真空度を１Ｏ−２
Ｔｏｒｒ台にまで到達させる。Next, the roughing valve 3 is closed, the Honkawa valve 3 is opened, and the inside of the bell jar 1 is evacuated by the Honkawa pump 16 via the rotary valve 7, so that the degree of vacuum inside the bell jar 1 is 1O-2.
Reach the Torr level.
この時被検査物２５内は被検査物内排気用電磁弁２７を
開にし、回転ヘッダー３２を介して、図示してない真空
ポンプにて、真空引を行なう。この後、被検査物内排気
用電磁弁２７を閉にし、ヘリウム封入電磁弁２８を開に
して、回転ヘッダー３２を介して被検査物２５内にヘリ
ウムガスを均一に充満させる。それと同時に、本川バル
ブ４を閉にし、テストバルブ５および第１切換バルブ１
７を開にする。被検査物２５から漏れたヘリウムガスは
ベルジャ１、テストバルブ５、第１配管８ａ。At this time, the inside of the inspected object 25 is evacuated by opening the electromagnetic valve 27 for exhausting the inside of the inspected object, and using a vacuum pump (not shown) via the rotary header 32. Thereafter, the solenoid valve 27 for exhausting the inside of the inspected object is closed, and the helium-filled solenoid valve 28 is opened to uniformly fill the inside of the inspected object 25 with helium gas via the rotary header 32. At the same time, the main valve 4 is closed, the test valve 5 and the first switching valve 1 are closed.
Open 7. Helium gas leaked from the object to be inspected 25 is transmitted to the bell jar 1, the test valve 5, and the first pipe 8a.
ロークリバルブ７、第６配管１１を介して質量分析器１
９に流入し、このヘリウムガス量を分析し漏れ量を１旨
示する。次のステーションでテストバルブ５及び第１切
換バルブ７を閉にし、第１掃引切換バルブ２２を開にす
ることにより、前記第２系統のテスト配管内を約２０秒
間掃引する。この時、ベルジャ１内は大気開放ハルプロ
を開にし、蓋１ａを開いて次の被検査物２５の取付作業
を行なう―さらに、第２系統のテスト配管内を掃引して
いる時に、第２切換バルブ１８を開にし、前記第１系統
のテスト配管を介して他のベルジャ１の漏れテストを同
時に行なう。The mass spectrometer 1 is connected via the low-resolution valve 7 and the sixth pipe 11.
9, the amount of helium gas is analyzed and the amount of leakage is indicated. At the next station, the test valve 5 and first switching valve 7 are closed, and the first sweep switching valve 22 is opened, thereby sweeping the inside of the test piping of the second system for about 20 seconds. At this time, the inside of the bell jar 1 is opened to the atmosphere, the HAL PRO is opened, the lid 1a is opened, and the next test object 25 is attached.Furthermore, while the inside of the test piping of the second system is being swept, the second switching The valve 18 is opened and a leakage test of other bell jars 1 is simultaneously performed via the test piping of the first system.
この作動について第３図に基づき、さらに詳細に説明す
る。This operation will be explained in more detail with reference to FIG.
第１ベルジヤ１ａをテストする時、テストバルブ５ａ及
び第１切換バルブ１７を同時に開にする。When testing the first bell gear 1a, the test valve 5a and the first switching valve 17 are opened simultaneously.
この時は、第１掃引切換バルブ２２及び第２切換バルブ
１８は必ず閉となっており、さらに第２系統のテスト配
管１２０及び、掃引配管２１を掃引する為、テストバル
ブ５ｂ及び第２掃引切換バルブ２３が開となる。以上の
状態で第１系統のテスト配管１１０はテスト工程を、第
２系統のテスト配管１２０は掃引工程をサイクルタイム
一杯に使うことかできる。そして、次のサイクルでは、
第２のベルジャ１ｂをテストする為、上記バルブ全てが
逆動作し、第２切換バルブ１８、第１掃引バルブ２２が
開となり、第１切換バルブ１７、第２掃引切換気バルブ
２３が閉となる。第７図は各バルブの開閉状態を示す図
であり、従来例で示した第６図に相当する図である。こ
の図からもわかるように、第１のベルジャｌａ、第２の
ベルジャ１ｂは常にテストか掃引を行なわれており、休
止している時はない。また、第６図と比較して１サイク
ルを従来と同じとすると、テスト及び掃引に要する時間
が倍になっている。At this time, the first sweep switching valve 22 and the second switching valve 18 are always closed, and in order to further sweep the test pipe 120 and the sweep pipe 21 of the second system, the test valve 5b and the second sweep switching valve are closed. Valve 23 is opened. In the above state, the test pipe 110 of the first system can use the test process, and the test pipe 120 of the second system can use the sweep process to the full cycle time. And in the next cycle,
In order to test the second bell jar 1b, all the above valves operate in reverse, the second switching valve 18 and the first sweep valve 22 are opened, and the first switching valve 17 and the second sweep ventilation valve 23 are closed. . FIG. 7 is a diagram showing the open and closed states of each valve, and is a diagram corresponding to FIG. 6 shown in the conventional example. As can be seen from this figure, the first bell jar la and the second bell jar 1b are constantly being tested or swept, and are never at rest. Furthermore, compared to FIG. 6, if one cycle is the same as in the conventional case, the time required for testing and sweeping has doubled.
なお、上記の一実施例ではロータリーバルブを用いるロ
ータリータイプの漏れ検査装置で説明したが、本発明で
はベルジャ固定タイプで同様な効果が得られるし、ベル
ジャ数も４個に限られるものではなく、６個、８個・・
・・・・としても良い。In addition, in the above embodiment, a rotary type leak test device using a rotary valve was explained, but in the present invention, the same effect can be obtained with a fixed bell jar type, and the number of bell jars is not limited to four. 6 pieces, 8 pieces...
It is also possible to...
（発明の効果）
以上説明した様に、本発明の漏れ検査装置を用いれば、
掃引のための装置停止を行なわず残留検査媒体を掃引さ
せることができ、かつ掃引時間を充分長くとれることで
かできる。(Effect of the invention) As explained above, if the leakage testing device of the present invention is used,
This is achieved by being able to sweep the residual test medium without stopping the device for sweeping, and by allowing a sufficiently long sweep time.
第１図は本発明実施例の系統図、第２図は実施例の全体
図、第３図は実施例の概略系統図、第１［図は従来例の
系統図、第５図は従来例の概略系統図、第６図は従来例
の各バルブ開閉状態を示す図、第７図は本発明実施例の
各バルブ開閉状態を示す図である。
ｌ・・・ベルジャ（密閉箱体）、８ａ、１１．４３・・
・第１配管、第１テスト通路、第７配管（第１系統のテ
スト配管）、８ａ、１２．４２・・・第１配管。
第２テスト通路、第６配管（第２系統のテスト配管）、
１７．１８・・・切換バルブ（第１のバルブ）、１９・
・・質量分析器、２０．２１・・・掃引配管、２２゜２
３・・・掃引切換バルブ（第２のバルブ）、２４・・−
掃引ポンプ、２５・・・被検査物。Fig. 1 is a system diagram of the embodiment of the present invention, Fig. 2 is an overall diagram of the embodiment, Fig. 3 is a schematic system diagram of the embodiment, Fig. 1 is a system diagram of the conventional example, and Fig. 5 is the conventional example. FIG. 6 is a diagram showing the opening and closing states of each valve in the conventional example, and FIG. 7 is a diagram showing the opening and closing states of each valve in the embodiment of the present invention. l... Bell jar (sealed box body), 8a, 11.43...
- First piping, first test passage, seventh piping (first system test piping), 8a, 12.42...first piping. 2nd test passage, 6th piping (test piping of the 2nd system),
17.18...Switching valve (first valve), 19.
...Mass spectrometer, 20.21...Sweep piping, 22゜2
3...Sweep switching valve (second valve), 24...-
Sweep pump, 25...Object to be inspected.
Claims (1)
体と、この密閉箱体の各一に連結されたテスト配管と、
前記被検査物より前記密閉箱体内に漏洩した前記検査媒
体が前記テスト配管によって導かれ、その質量を計量す
る質量分析器と、前記テスト配管に接続された掃引配管
と、前記密閉箱体内及び前記テスト配管内の残留検査媒
体を前記掃引配管を介して掃引する掃引ポンプと、前記
テスト配管の管路途中で前記掃引配管との接続部よりも
前記質量分析器側に設けられ管路の開閉を行なう第１の
バルブと、前記掃引配管の管路途中に設けられ管路の開
閉を行なう第２のバルブとを備える漏れ検査装置。a plurality of sealed boxes that house test objects filled with test media; test piping connected to each of the sealed boxes;
The test medium leaked from the object to be inspected into the sealed box is guided through the test pipe, and a mass spectrometer measures the mass of the test medium, a sweep pipe connected to the test pipe, and a sweep pump that sweeps the residual test medium in the test piping through the sweep piping; and a sweep pump that is installed in the middle of the test piping closer to the mass spectrometer than the connection part with the sweep piping and that opens and closes the piping. A leakage inspection device comprising: a first valve that performs the sweeping operation; and a second valve that is provided in the middle of the sweep piping and opens and closes the pipeline.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19595884A JPS6173049A (en) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Leak inspecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19595884A JPS6173049A (en) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Leak inspecting device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6173049A true JPS6173049A (en) | 1986-04-15 |
| JPH0262166B2 JPH0262166B2 (en) | 1990-12-25 |
Family
ID=16349806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19595884A Granted JPS6173049A (en) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Leak inspecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6173049A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0260839U (en) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100245U (en) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | 株式会社島津製作所 | Leak test device |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP19595884A patent/JPS6173049A/en active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100245U (en) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | 株式会社島津製作所 | Leak test device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0260839U (en) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0262166B2 (en) | 1990-12-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |