JPS6173049A - Leak inspecting device - Google Patents
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- JPS6173049A JPS6173049A JP19595884A JP19595884A JPS6173049A JP S6173049 A JPS6173049 A JP S6173049A JP 19595884 A JP19595884 A JP 19595884A JP 19595884 A JP19595884 A JP 19595884A JP S6173049 A JPS6173049 A JP S6173049A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は漏れ検査装置に関するもので、例えば自動車用
熱交換器、空調装装置の凝縮器、各種圧縮機等の接合不
良なとによる内部流体の漏れを検査する漏れ検査装置と
して用いて有効である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a leakage inspection device, which detects internal fluid leakage due to poor connection in, for example, automobile heat exchangers, condensers of air conditioners, and various compressors. It is effective when used as a leakage testing device to test for leakage.
(従来の技術)
従来のヘリウム漏れ検査装置は第4図に示す様な系統図
で表わされる。この系統図について説明すると、粗引ポ
ンプ14、本川ポンプ16、掃引ポンプ24、ヘリウム
質量分析器19を準備運転し、各ポンプからロークリバ
ルブ7に至るまでの配管内の真空排気を行なう。図示し
てないターンテーブル上のベルジャ1内に被検査物25
をジヨイント26でセントし、ベルジャ1に取り付けで
ある粗引バルブ3を開することにより、粗引ポンプ14
によってベルジャ1内を1〜10Torr程度まで真空
排気する。次に粗引バルブ3を閉にし、本川バルブ4を
開にして本川ポンプ16によって1O−2Torr台ま
でベルジャ1内を真空排気すると同時に、被検査物25
内は被検査物内排気用電磁弁27を開にし被検査物25
内も真空排気する。さらに、本川バルブ4および被検査
物内排気用電磁弁27を閉した後、テストバルブ5およ
びヘリウム封入用電磁弁28を開にし、被検査物25内
には検査媒体であるヘリウムガスを封入する。(Prior Art) A conventional helium leak testing device is represented by a system diagram as shown in FIG. To explain this system diagram, the roughing pump 14, the main pump 16, the sweep pump 24, and the helium mass spectrometer 19 are operated in preparation, and the piping from each pump to the low-pressure valve 7 is evacuated. An object to be inspected 25 is placed inside the bell jar 1 on a turntable (not shown).
by centering the roughing pump 14 at the joint 26 and opening the roughing valve 3 attached to the bell jar 1.
The inside of the bell jar 1 is evacuated to about 1 to 10 Torr. Next, the roughing valve 3 is closed, the Honkawa valve 4 is opened, and the inside of the bell jar 1 is evacuated to a level of 10-2 Torr by the Honkawa pump 16.
Inside, open the solenoid valve 27 for exhausting the inside of the inspected object 25.
Evacuate the inside as well. Furthermore, after closing the Honkawa valve 4 and the solenoid valve 27 for exhausting the inside of the test object, the test valve 5 and the solenoid valve 28 for filling helium are opened, and helium gas, which is a test medium, is sealed in the test object 25. do.
もし、被検査物25に漏れがあれば、被検査物25から
流出したヘリウムはベルジャ1内に洩れ、テストバルブ
5、ロークリバルブ7及びテスト配管11を介してヘリ
ウム質量分析器19内に導びかれ、質量分析器19で分
析され、被検査物25の漏れ量を指示する系統になって
いくる。If there is a leak in the test object 25, the helium flowing out from the test object 25 will leak into the bell jar 1 and be guided into the helium mass spectrometer 19 via the test valve 5, the low-liquid valve 7, and the test pipe 11. , is analyzed by the mass spectrometer 19, and becomes a system for indicating the leakage amount of the test object 25.
この様な装置で検査し、漏れが検知された場合、ロータ
リバルブ7及びテスト配管ll系内がヘリウムガスで汚
染されている。特にヘリウムガスは吸着性の性質をもっ
ている為、ヘリウム質量分析器19の持つ真空ポンプで
は排気しきれなくなり、テストバルブ5とよびヘリウム
封入用電磁弁28を閉にした後、掃引バルブ30を開に
して、ロータリバルブ7及びテスト配管11の残留ヘリ
ウムを掃引する必要がある。そして、その後テスト配管
11内の真空度チェックをビラニ真空計33で行ない、
次の検査準備を行なう機構にしである。If a leak is detected by testing with such a device, it means that the rotary valve 7 and the inside of the test piping system are contaminated with helium gas. In particular, since helium gas has adsorbent properties, the vacuum pump of the helium mass spectrometer 19 cannot exhaust the gas completely, so after closing the test valve 5 and helium filling solenoid valve 28, the sweep valve 30 is opened. Then, it is necessary to sweep out the residual helium in the rotary valve 7 and the test pipe 11. Then, the degree of vacuum inside the test pipe 11 is checked using the Virani vacuum gauge 33,
This is the mechanism that prepares for the next inspection.
さらに、被検査物25は大漏れから微少漏れまで種々あ
るが、例えば20秒間隔で、10−’Torr−1/s
ec台の漏れを検査する装置で説明すると、粗引ポンプ
14、本川ポンプ16で真空排気後、テスト配管11内
の真空度をピラニ真空計34でチェックすれば10−2
Torr−1/sec台の漏れの検出ができる。従って
、10−3〜10−7Torr −1/sec台の漏れ
を質量分析計19で検出し、かつ検出後テスト配管ll
内を掃引する必要がある。10 ’Torr −1/
sec台の漏れを検出する時間は約10秒必要であるか
ら、テスト配管11内の掃引時間は残り10秒である。Furthermore, although there are various kinds of leaks in the object 25 to be inspected, ranging from large leaks to minute leaks, for example, the test object 25 is
To explain this using a device that inspects leaks in an EC stand, after evacuation is performed using the roughing pump 14 and Honkawa pump 16, if the degree of vacuum in the test pipe 11 is checked using the Pirani vacuum gauge 34, the result is 10-2.
Leakage on the order of Torr-1/sec can be detected. Therefore, a leak on the order of 10-3 to 10-7 Torr -1/sec is detected by the mass spectrometer 19, and after detection, the test piping
It is necessary to sweep inside. 10' Torr -1/
Since it takes about 10 seconds to detect a leak in the sec unit, there are 10 seconds left to sweep the inside of the test pipe 11.
(発明が解決しようとする問題点)
しかしながら、10”−3〜1O−5Torr−1/s
ecの漏れの場合は掃引ポンプ24で15〜18秒真空
排気しないとテスト配管11内にヘリウム残留が生じ、
この残留ヘリウムを質量分析器19が検知して、良品被
検査物25を流動しても、不良品判定をしてしまう。そ
こで、従来の装置では、ヘリウム残留がなくなるまで装
置を停止させて掃引を続ける機構にしである。その為、
例えば1時間稼働中で約5分間の掃引に要する停止時間
があり、装置の稼働率が低下するという問題があったO
このことを第5図に基づいてさらに説明する。(Problem to be solved by the invention) However, 10"-3 to 1O-5Torr-1/s
In the case of an EC leak, unless the vacuum is evacuated using the sweep pump 24 for 15 to 18 seconds, helium will remain in the test pipe 11.
Even if this residual helium is detected by the mass spectrometer 19 and flows through the non-defective inspection object 25, it will be determined to be a defective product. Therefore, conventional devices have a mechanism to stop the device and continue sweeping until there is no remaining helium. For that reason,
For example, during one hour of operation, there is a stoppage time of about 5 minutes required for sweeping, which causes a problem in that the operating rate of the apparatus decreases. This will be further explained based on FIG. 5.
第5図は第4図に示した系統図を概略的に示した図で、
第1のバルブ中1aをテストするにはテストバルブ5a
を開、テストバルブ5bを閉にし、さらに掃引バルブ3
0を閉にして質量分析器19にって漏れガスを検知する
。その後、残留ガスを掃引する場合には掃引バルブ30
を開にして掃引ポンプ24により第1のベルジャ1a内
及び配管内を掃引する。次に第2のベルジャ1bのテス
トを行なうにはテストバルブ5aを閉、テストバルブ5
bを開にし、第1のベルジャ1aの場合同様にして、テ
スト及び掃引を行なう。従って、第6図からもわかるよ
うに、ベルジャ1内の被検査物の検査開始から残留ガス
の掃引終了までを1サイクルとすると、第1ベルジヤ、
第2のベルジャのテストおらび掃引は各々独立した時間
に行なわなければならず、第1のベルジャ1aをテスト
、掃引している間は、第2のベルジャは全く休止してい
る状態である。また、第6図にも示した様に、例えば1
サイクルを20秒としたら、テスト、掃引に要する時間
は10秒づつであり、掃引に要する時間が不充分となる
場合もある。尚、第6図中5a、5b、30で示される
のはテストバルブ5a、5bおよび掃引バルブ30の開
閉状態を表わす。Figure 5 is a diagram schematically showing the system diagram shown in Figure 4.
To test the first valve 1a, test valve 5a
open, close the test valve 5b, and then close the sweep valve 3.
0 is closed and the mass spectrometer 19 detects leakage gas. After that, when sweeping the residual gas, the sweep valve 30
is opened, and the inside of the first bell jar 1a and the inside of the piping are swept by the sweep pump 24. Next, to test the second bell jar 1b, close the test valve 5a,
b is opened, and the test and sweep are performed in the same manner as in the case of the first bell jar 1a. Therefore, as can be seen from FIG. 6, if one cycle is from the start of inspection of the object to be inspected in the bell jar 1 to the end of sweeping of residual gas, the first bell jar,
The testing and sweeping of the second belljar must be carried out at independent times, and while the first belljar 1a is being tested and swept, the second belljar is completely at rest. Also, as shown in Figure 6, for example, 1
If the cycle is 20 seconds, the time required for the test and sweep is 10 seconds each, and the time required for the sweep may be insufficient. Note that 5a, 5b, and 30 in FIG. 6 represent the open and closed states of the test valves 5a, 5b and the sweep valve 30.
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記問題点に鑑み、検査時間(1サイクル時間
)を変えずに掃引時間を長くし、かつ掃引のため装置停
止を行なわず残留検査媒体を掃引させることを目的とし
、次の様な構成とした。つまり、検査媒体が充填された
被検査物を収納する複数の密閉箱体と、この密閉箱体の
各−に連結されたテスト配管と、前記被検査物より前記
密閉箱体内に漏洩にた前記検査媒体が前記テスト配管に
よって導かれ、その質量を計量する質量分析器と、前記
テスト配管に接続された掃引配管と、前記密閉箱体内及
び前記テスト配管内の残留検査媒体を前記掃引配管を介
して掃引する掃引ポンプと、前記テスト配管の管路途中
で前記掃引配管との接続部よりも前記質量分析器側に設
けられ管路の開閉を行なう第1のバルブと、前記掃引配
管の管路途中に設けられ管路の開閉を行なう第2のバル
ブとを備える漏れ検査装置とした。(Means for Solving the Problems) In view of the above problems, the present invention lengthens the sweep time without changing the inspection time (1 cycle time), and sweeps the residual test medium without stopping the device for sweeping. For the purpose of this, the following structure was adopted. In other words, there are a plurality of sealed boxes that house objects to be inspected filled with test media, test pipes connected to each of the sealed boxes, and a tube that prevents leakage from the objects to be inspected into the sealed boxes. A test medium is guided by the test pipe, and a mass spectrometer for measuring the mass thereof, a sweep pipe connected to the test pipe, and a residual test medium in the sealed box and the test pipe are passed through the sweep pipe. a sweep pump that sweeps the test pipe; a first valve that is provided in the middle of the test pipe on the side closer to the mass spectrometer than the connection part with the sweep pipe and opens and closes the pipe; and a pipe line of the sweep pipe. The leak testing device is equipped with a second valve provided in the middle to open and close the pipe.
(実施例)
本発明の一実施例を第1図及び第2図に基づいて説明す
る。密閉箱体であるベルジャlは蓋1aを有し、ターン
テーブル2(第2図)の上に設置しである。さらにこの
ベルジャ1に真空用ニューマチ7クハルブよりなる粗引
バルブ3、本川バルブ4、テストバルブ5及び大気開放
バルブ6が取り付けてあり、粗引バルブ3、本川バルブ
4、テストバルブ5の各々は配管8によってロークリバ
ルブ7の外筒7aに接続しである。このロータリバルブ
7は内筒7b及び外筒7aより構成されており、Oリン
グ7Cにて両者を真空シールすることにより、粗引通路
9、本引通路lO1及び2本の第1.2テスト通路11
.12を形成している。(Example) An example of the present invention will be described based on FIGS. 1 and 2. A bell jar 1, which is a closed box, has a lid 1a and is placed on a turntable 2 (FIG. 2). Furthermore, a roughing valve 3, a Honkawa valve 4, a test valve 5, and an atmosphere release valve 6 are attached to the bell jar 1, and each of the roughing valve 3, Honkawa valve 4, and test valve 5 is made of a vacuum pneumatic 7-hole valve. is connected to the outer cylinder 7a of the low-pressure valve 7 through a pipe 8. This rotary valve 7 is composed of an inner cylinder 7b and an outer cylinder 7a, and by vacuum-sealing them with an O-ring 7C, a rough drawing passage 9, a main drawing passage lO1, and two 1.2 test passages. 11
.. 12 is formed.
第を図ではベルジャ1が4つ示されているが、そのうち
の2つのベルジャ1に設けたテストバルブ5は第1配管
8aによって第2テスト通路12に連結されており、他
の2つのベルジャ1に設たテストバルブ5も同様に第1
テスト通路11に連結されている。また、本引通路10
は第2配管8bによって各ベルジャlの本川バルブ4に
連通されており、粗引通路9は第3配管8cによって各
ベルジャ1の粗引バルブ3に連通されている。In the second figure, four bell jars 1 are shown, and the test valves 5 provided in two of the bell jars 1 are connected to the second test passage 12 by the first pipe 8a, and the Similarly, test valve 5 installed in
It is connected to the test passage 11. In addition, main passageway 10
is connected to the main valve 4 of each bell jar 1 by a second pipe 8b, and the roughing passage 9 is connected to the roughing valve 3 of each bell jar 1 by a third pipe 8c.
さらに、前記粗引通路9には第4配管4oによって例え
ばロータリポンプからなる粗引ポンプ14に連結されて
おり、この第4配管40の途中にはニューマチックバル
ブ13が配されている。前記本引通路10はニューマチ
ックバルブ15を介して、第5配管41により例えばメ
カニズムブースタポンプあるいはロークリポンプからな
る本川ポンプに接続しである。さらに、前記第1.2テ
スト配管11.12は第6.7配管42.43によフて
残留ヘリウムの質量を計る質量分析器19に接続してあ
り、第6.7配管42.43には第1バルブである第1
.2切換バルブ17.18が配されている。さらに、前
記第6.7配管42゜43の途中から掃引配管20.2
1が分岐し、各々第2のバルブである第1,2掃引切換
バルブ22.23を介して例えば拡散エジェクタポンプ
及びロークリポンプからなる掃引ポンプ24に接続しで
ある。尚、前記第1配管8 a +第1テスト通路11
.第7配管43によって第1系統のテスト配管が構成さ
れ、第1配管8a、第2テスト通路12、第6配管42
によって第2系統のテスト配、。Further, the roughing passage 9 is connected to a roughing pump 14 made of, for example, a rotary pump through a fourth pipe 4o, and a pneumatic valve 13 is disposed in the middle of this fourth pipe 40. The main feed passage 10 is connected via a pneumatic valve 15 and a fifth pipe 41 to a main pump such as a mechanism booster pump or a low-pressure pump. Further, the 1.2 test pipe 11.12 is connected to a mass spectrometer 19 that measures the mass of residual helium through the 6.7 pipe 42.43. is the first valve
.. Two switching valves 17, 18 are arranged. Furthermore, from the middle of the 6.7th pipe 42° 43, the sweep pipe 20.2
1 is branched, and connected to a sweep pump 24, which is composed of, for example, a diffusion ejector pump and a low-replacement pump, through first and second sweep switching valves 22 and 23, which are second valves, respectively. Incidentally, the first pipe 8 a + the first test passage 11
.. The seventh piping 43 constitutes a first system of test piping, in which the first piping 8a, the second test passage 12, and the sixth piping 42
According to the second system test arrangement,.
管が構成されている。tube is constructed.
前記ベルジャ1内には被検査物25をカプラ等のジヨイ
ント26で接続し、このジヨイント26は、被検査物排
気用電気弁27、ヘリウム封入用電磁弁28.窒卑封入
用電磁弁29及びヘリウム放出″21磁弁30に配管3
1aにて接続されており、さらに各電磁弁は配管31b
により回転ヘッダー32の外ffi 32 aに接続し
である。このヘッダー32は外筒32a及び32bより
構成され、各ガスの分離を行なう為にOリング32cに
て分離、シールしである。なお、回転へラダ32の内筒
32b及びロータバルブ7の内筒7bはいずれも固定側
であり、外筒32a、7aはターンテーブル2側で回転
するものである。A test object 25 is connected inside the bell jar 1 by a joint 26 such as a coupler, and this joint 26 is connected to an electric valve 27 for exhausting the test object, a solenoid valve 28 for helium filling, etc. Piping 3 to the solenoid valve 29 for nitrogen-based filling and the helium release 21 solenoid valve 30
1a, and each solenoid valve is connected to piping 31b.
This is connected to the external ffi 32a of the rotating header 32. This header 32 is composed of outer cylinders 32a and 32b, which are separated and sealed by an O-ring 32c to separate each gas. Note that the inner cylinder 32b of the rotary ladder 32 and the inner cylinder 7b of the rotor valve 7 are both fixed, and the outer cylinders 32a and 7a rotate on the turntable 2 side.
上記構成よりなる本実施例の作動を説明する。The operation of this embodiment having the above configuration will be explained.
被検査物25をジヨイント26によってベルジャl内に
配置し、蓋1aを閉じると図示してない蓋1a閉確認用
リミットスイッチからの信号で粗引バルブ3を開にし、
ベルジャ1内をロータリバルブ7を介して粗引ポンプ1
4にて真空排気する。The object to be inspected 25 is placed in the bell jar l by the joint 26, and when the lid 1a is closed, the roughing valve 3 is opened by a signal from a limit switch (not shown) for confirming that the lid 1a is closed.
Roughing pump 1 is pumped inside bell jar 1 via rotary valve 7.
Evacuate in step 4.
次に、粗引バルブ3を閉にし、本川バルブ3を開にして
、ロータリバルブ7を介し、本川ポンプ16でベルジャ
1内の真空排気を行ないベルジャl内真空度を1O−2
Torr台にまで到達させる。Next, the roughing valve 3 is closed, the Honkawa valve 3 is opened, and the inside of the bell jar 1 is evacuated by the Honkawa pump 16 via the rotary valve 7, so that the degree of vacuum inside the bell jar 1 is 1O-2.
Reach the Torr level.
この時被検査物25内は被検査物内排気用電磁弁27を
開にし、回転ヘッダー32を介して、図示してない真空
ポンプにて、真空引を行なう。この後、被検査物内排気
用電磁弁27を閉にし、ヘリウム封入電磁弁28を開に
して、回転ヘッダー32を介して被検査物25内にヘリ
ウムガスを均一に充満させる。それと同時に、本川バル
ブ4を閉にし、テストバルブ5および第1切換バルブ1
7を開にする。被検査物25から漏れたヘリウムガスは
ベルジャ1、テストバルブ5、第1配管8a。At this time, the inside of the inspected object 25 is evacuated by opening the electromagnetic valve 27 for exhausting the inside of the inspected object, and using a vacuum pump (not shown) via the rotary header 32. Thereafter, the solenoid valve 27 for exhausting the inside of the inspected object is closed, and the helium-filled solenoid valve 28 is opened to uniformly fill the inside of the inspected object 25 with helium gas via the rotary header 32. At the same time, the main valve 4 is closed, the test valve 5 and the first switching valve 1 are closed.
Open 7. Helium gas leaked from the object to be inspected 25 is transmitted to the bell jar 1, the test valve 5, and the first pipe 8a.
ロークリバルブ7、第6配管11を介して質量分析器1
9に流入し、このヘリウムガス量を分析し漏れ量を1旨
示する。次のステーションでテストバルブ5及び第1切
換バルブ7を閉にし、第1掃引切換バルブ22を開にす
ることにより、前記第2系統のテスト配管内を約20秒
間掃引する。この時、ベルジャ1内は大気開放ハルプロ
を開にし、蓋1aを開いて次の被検査物25の取付作業
を行なう―さらに、第2系統のテスト配管内を掃引して
いる時に、第2切換バルブ18を開にし、前記第1系統
のテスト配管を介して他のベルジャ1の漏れテストを同
時に行なう。The mass spectrometer 1 is connected via the low-resolution valve 7 and the sixth pipe 11.
9, the amount of helium gas is analyzed and the amount of leakage is indicated. At the next station, the test valve 5 and first switching valve 7 are closed, and the first sweep switching valve 22 is opened, thereby sweeping the inside of the test piping of the second system for about 20 seconds. At this time, the inside of the bell jar 1 is opened to the atmosphere, the HAL PRO is opened, the lid 1a is opened, and the next test object 25 is attached.Furthermore, while the inside of the test piping of the second system is being swept, the second switching The valve 18 is opened and a leakage test of other bell jars 1 is simultaneously performed via the test piping of the first system.
この作動について第3図に基づき、さらに詳細に説明す
る。This operation will be explained in more detail with reference to FIG.
第1ベルジヤ1aをテストする時、テストバルブ5a及
び第1切換バルブ17を同時に開にする。When testing the first bell gear 1a, the test valve 5a and the first switching valve 17 are opened simultaneously.
この時は、第1掃引切換バルブ22及び第2切換バルブ
18は必ず閉となっており、さらに第2系統のテスト配
管120及び、掃引配管21を掃引する為、テストバル
ブ5b及び第2掃引切換バルブ23が開となる。以上の
状態で第1系統のテスト配管110はテスト工程を、第
2系統のテスト配管120は掃引工程をサイクルタイム
一杯に使うことかできる。そして、次のサイクルでは、
第2のベルジャ1bをテストする為、上記バルブ全てが
逆動作し、第2切換バルブ18、第1掃引バルブ22が
開となり、第1切換バルブ17、第2掃引切換気バルブ
23が閉となる。第7図は各バルブの開閉状態を示す図
であり、従来例で示した第6図に相当する図である。こ
の図からもわかるように、第1のベルジャla、第2の
ベルジャ1bは常にテストか掃引を行なわれており、休
止している時はない。また、第6図と比較して1サイク
ルを従来と同じとすると、テスト及び掃引に要する時間
が倍になっている。At this time, the first sweep switching valve 22 and the second switching valve 18 are always closed, and in order to further sweep the test pipe 120 and the sweep pipe 21 of the second system, the test valve 5b and the second sweep switching valve are closed. Valve 23 is opened. In the above state, the test pipe 110 of the first system can use the test process, and the test pipe 120 of the second system can use the sweep process to the full cycle time. And in the next cycle,
In order to test the second bell jar 1b, all the above valves operate in reverse, the second switching valve 18 and the first sweep valve 22 are opened, and the first switching valve 17 and the second sweep ventilation valve 23 are closed. . FIG. 7 is a diagram showing the open and closed states of each valve, and is a diagram corresponding to FIG. 6 shown in the conventional example. As can be seen from this figure, the first bell jar la and the second bell jar 1b are constantly being tested or swept, and are never at rest. Furthermore, compared to FIG. 6, if one cycle is the same as in the conventional case, the time required for testing and sweeping has doubled.
なお、上記の一実施例ではロータリーバルブを用いるロ
ータリータイプの漏れ検査装置で説明したが、本発明で
はベルジャ固定タイプで同様な効果が得られるし、ベル
ジャ数も4個に限られるものではなく、6個、8個・・
・・・・としても良い。In addition, in the above embodiment, a rotary type leak test device using a rotary valve was explained, but in the present invention, the same effect can be obtained with a fixed bell jar type, and the number of bell jars is not limited to four. 6 pieces, 8 pieces...
It is also possible to...
(発明の効果)
以上説明した様に、本発明の漏れ検査装置を用いれば、
掃引のための装置停止を行なわず残留検査媒体を掃引さ
せることができ、かつ掃引時間を充分長くとれることで
かできる。(Effect of the invention) As explained above, if the leakage testing device of the present invention is used,
This is achieved by being able to sweep the residual test medium without stopping the device for sweeping, and by allowing a sufficiently long sweep time.
第1図は本発明実施例の系統図、第2図は実施例の全体
図、第3図は実施例の概略系統図、第1[図は従来例の
系統図、第5図は従来例の概略系統図、第6図は従来例
の各バルブ開閉状態を示す図、第7図は本発明実施例の
各バルブ開閉状態を示す図である。
l・・・ベルジャ(密閉箱体)、8a、11.43・・
・第1配管、第1テスト通路、第7配管(第1系統のテ
スト配管)、8a、12.42・・・第1配管。
第2テスト通路、第6配管(第2系統のテスト配管)、
17.18・・・切換バルブ(第1のバルブ)、19・
・・質量分析器、20.21・・・掃引配管、22゜2
3・・・掃引切換バルブ(第2のバルブ)、24・・−
掃引ポンプ、25・・・被検査物。Fig. 1 is a system diagram of the embodiment of the present invention, Fig. 2 is an overall diagram of the embodiment, Fig. 3 is a schematic system diagram of the embodiment, Fig. 1 is a system diagram of the conventional example, and Fig. 5 is the conventional example. FIG. 6 is a diagram showing the opening and closing states of each valve in the conventional example, and FIG. 7 is a diagram showing the opening and closing states of each valve in the embodiment of the present invention. l... Bell jar (sealed box body), 8a, 11.43...
- First piping, first test passage, seventh piping (first system test piping), 8a, 12.42...first piping. 2nd test passage, 6th piping (test piping of the 2nd system),
17.18...Switching valve (first valve), 19.
...Mass spectrometer, 20.21...Sweep piping, 22゜2
3...Sweep switching valve (second valve), 24...-
Sweep pump, 25...Object to be inspected.
Claims (1)
体と、この密閉箱体の各一に連結されたテスト配管と、
前記被検査物より前記密閉箱体内に漏洩した前記検査媒
体が前記テスト配管によって導かれ、その質量を計量す
る質量分析器と、前記テスト配管に接続された掃引配管
と、前記密閉箱体内及び前記テスト配管内の残留検査媒
体を前記掃引配管を介して掃引する掃引ポンプと、前記
テスト配管の管路途中で前記掃引配管との接続部よりも
前記質量分析器側に設けられ管路の開閉を行なう第1の
バルブと、前記掃引配管の管路途中に設けられ管路の開
閉を行なう第2のバルブとを備える漏れ検査装置。a plurality of sealed boxes that house test objects filled with test media; test piping connected to each of the sealed boxes;
The test medium leaked from the object to be inspected into the sealed box is guided through the test pipe, and a mass spectrometer measures the mass of the test medium, a sweep pipe connected to the test pipe, and a sweep pump that sweeps the residual test medium in the test piping through the sweep piping; and a sweep pump that is installed in the middle of the test piping closer to the mass spectrometer than the connection part with the sweep piping and that opens and closes the piping. A leakage inspection device comprising: a first valve that performs the sweeping operation; and a second valve that is provided in the middle of the sweep piping and opens and closes the pipeline.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19595884A JPS6173049A (en) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Leak inspecting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19595884A JPS6173049A (en) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Leak inspecting device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6173049A true JPS6173049A (en) | 1986-04-15 |
JPH0262166B2 JPH0262166B2 (en) | 1990-12-25 |
Family
ID=16349806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19595884A Granted JPS6173049A (en) | 1984-09-18 | 1984-09-18 | Leak inspecting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6173049A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260839U (en) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59100245U (en) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | 株式会社島津製作所 | Leak test device |
-
1984
- 1984-09-18 JP JP19595884A patent/JPS6173049A/en active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59100245U (en) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | 株式会社島津製作所 | Leak test device |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0260839U (en) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0262166B2 (en) | 1990-12-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |