JPS61711A - Magnetic head - Google Patents
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- JPS61711A JPS61711A JP12067584A JP12067584A JPS61711A JP S61711 A JPS61711 A JP S61711A JP 12067584 A JP12067584 A JP 12067584A JP 12067584 A JP12067584 A JP 12067584A JP S61711 A JPS61711 A JP S61711A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、角度及び回転方向の検出ができる磁気式ロー
タリエンコーダの磁気ヘッド、特に磁気抵抗効果合金を
磁気スケールの磁気マークの磁気を検出する磁気抵抗体
又は磁気抵抗素子として用いる磁気ヘッドに於て、基板
に蒸着等の薄膜形成手段により形成されて、磁気ヘッド
を構成する磁気抵抗体又は素子の形状又は配置構成に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic head of a magnetic rotary encoder capable of detecting an angle and a direction of rotation, and in particular a magnetoresistive element or a magnetoresistive element that detects the magnetism of a magnetic mark on a magnetic scale using a magnetoresistive alloy. The present invention relates to the shape or arrangement of a magnetoresistive body or element that is formed on a substrate by a thin film forming means such as vapor deposition, and constitutes the magnetic head.
磁気式ロータ゛リエ加−ダは、例えば、特開昭55−j
j600’7号公報や同59−7213号公報等に記載
されているように、円板状の磁気媒体の周辺部に角度コ
ードを示す磁気マークを所定の一定角度θ毎、又は所定
の一定間隔λで設けて成る磁気コード盤を回動自在に支
承すると共に、上記回動する磁気コード盤のコード記録
面に、前記磁気抵抗素子の単相ヘッドをA相及びB相と
して2個並置するか、同一基板上に磁気抵抗素子のヘッ
ドをA相とB相の2相分形成した磁気ヘッドを接触又は
微少距離隔てて対向させ、上記磁気マークを読み取る方
式のものが公知である。尚、上記の場合磁気コード盤を
固定として、磁気ヘッドを磁気コード盤の周縁に沿って
周りを回転させる形式のものがあるが、上記両者の回転
移動は相対−的なものであるから実質上同一のものであ
る。A magnetic rotary rotor adder is disclosed, for example, in Japanese Patent Application Laid-open No. 55-J.
As described in J600'7, J59-7213, etc., magnetic marks indicating angle codes are placed on the periphery of a disc-shaped magnetic medium at predetermined constant angles θ or at predetermined constant intervals. A magnetic code disk provided with λ is rotatably supported, and two single-phase heads of the magnetoresistive elements are arranged side by side as an A phase and a B phase on the code recording surface of the rotating magnetic code disk. A known method is to read the magnetic marks by making magnetic heads of two phases, A phase and B phase, of magnetoresistive elements formed on the same substrate, in contact with each other or facing each other with a slight distance between them. In the above case, there is a type in which the magnetic code board is fixed and the magnetic head is rotated along the periphery of the magnetic code board, but since the rotational movement of the two above is relative, it is practically They are the same.
然しなから、斯種の磁気式ロークリエンコーダに於ては
、磁気コード盤の機械的な回転中心と記録磁気コード(
目盛)の円の中心とが必ずしも充分一致していないため
、磁気ヘッドが記録磁気コードに対して相対的に偏芯運
動をし、検出信号に位相の揺らぎが現れ、甚だしい場合
には、検出信号の位相関係が逆転する等のコードを誤解
してしまうと云う問題点があった。However, in this type of magnetic low-return encoder, the mechanical rotation center of the magnetic code disk and the recording magnetic code (
Since the center of the circle on the scale (scale) does not necessarily coincide with the center of the circle, the magnetic head moves eccentrically relative to the recording magnetic code, causing phase fluctuations in the detection signal, and in extreme cases, the detection signal There was a problem that the code could be misunderstood, such as when the phase relationship of the code was reversed.
本発明は叙上の観点に立ってなされたものであり、本発
明の目的とするところは、上記問題点を解消した新規な
磁気式ロータリエンコーダ用磁気ヘッドを提供すること
にある。The present invention has been made based on the above-mentioned viewpoints, and an object of the present invention is to provide a novel magnetic head for a magnetic rotary encoder that solves the above-mentioned problems.
而して、本発明の要旨とするところは、四辺にそれぞれ
磁気抵抗素子から成る磁気検知部を有するホイートスト
ンブリッジ回路の各磁気検知部が、隣辺間に於て、磁気
マーク間隔(隣接するN極とS極との間隔)λの’A″
″A(但し、n = 1.2,3.−)、又はその整数
倍の位相差、例えば、n=2で2λ又はその整数倍の位
相差をもっているものを2個、各ブリッジ間の相互に対
応する磁気検知部間に於て%9′+Iλ“、例えば、前
記n=2で%λの位相差を有するようにして二相並列に
設け、両ブリッジ回路の出力電圧を比較して磁気コード
盤の磁気マークを読み取り、角度及び回転方向の検出を
する磁気ヘッドに於て、
一方のホイートストンブリッジ回路の四個の磁気検知部
AI 、A2 、A3 、A4と、これと対応する他の
一方のホイートストンブリッジ回路の四個の磁気検知部
BI、B2、B3、B4とを、磁気ヘッドの基板上に一
体に、そして、磁気マークとの相対的な移動方向(磁気
コード盤の曲率円弧方向)に順次に、例えばA、、B、
、A2、B2、A3 、B3 、Ad 、B4の如く順
次交互に配列するか、
又は、順次に、例えばB4、AI、A2、B2、B I
% Aa 、A3 、B3の順に、若しくはA、、B
1・B2・A3・A4・Bd、B3・A2の順の如く各
相の直列接続磁気検知部を交互に配列(勿論各個その磁
気検知部間の間隔や位相差は所定値に設定保った状態と
して配列)することにある。The gist of the present invention is that each magnetic detecting section of a Wheatstone bridge circuit, which has magnetic detecting sections each consisting of a magnetoresistive element on each of its four sides, has a magnetic mark interval (adjacent N) between adjacent sides. Distance between pole and S pole) 'A'' of λ
``A (however, n = 1.2, 3.-) or an integral multiple thereof, for example, when n = 2, two bridges having a phase difference of 2λ or an integral multiple thereof, are connected to each other between each bridge. %9'+Iλ'' between the magnetic sensing parts corresponding to In the magnetic head that reads the magnetic marks on the code board and detects the angle and rotation direction, four magnetic detection sections AI, A2, A3, A4 of one Wheatstone bridge circuit and the corresponding other one The four magnetic detection parts BI, B2, B3, and B4 of the Wheatstone bridge circuit are integrated on the substrate of the magnetic head, and the direction of movement relative to the magnetic mark (the direction of the arc of curvature of the magnetic code board) For example, A, ,B,
, A2, B2, A3, B3, Ad, B4, or sequentially, for example, B4, AI, A2, B2, B I
% Aa, A3, B3 in order, or A,, B
The series-connected magnetic sensing parts of each phase are arranged alternately in the order of 1, B2, A3, A4, Bd, B3, A2 (of course, the spacing and phase difference between each magnetic sensing part are maintained at predetermined values) (as an array).
以下、図面により本発明の詳細を具体的に従来公知のも
のと対比して説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be specifically explained below with reference to the drawings in comparison with conventionally known ones.
第り図は、本発明にかかる磁気式ロータリエンコーダの
磁気ヘッドの一実施例に於ける磁気検知部の配置とその
相互の回路構成を示す説明図、第、2図又は第3図は、
第1図とは別異の磁気検知部の配置とその相互の回路構
成を示す説明図、第4図は、第′5図に示したホイート
ストンブリッジ回路を構成する公知の磁気抵抗体の具体
的形状を示す説明図、
第5図は、第4図に示した従来のホイートストンブリッ
ジ型磁気ヘッドの回路構成を示す電気回路図、
第6図及び第7図は、第5図に示したホイートストンブ
リッジ回路を構成する第4図とは別異の従来の磁気抵抗
体の具体的形状を示す説明図、第8図は、第5図に示し
た回路を2組複合し、コード盤の回転方向を検出し得る
よう構成した従来公知の2相出力ホイートストンブリソ
ジ型磁気ヘッドの構成を示す電気回路図、
第9図は、第8図に示した回路の出力波形図、第10図
は、磁気コード盤の磁気マークと磁気へノドのAB相の
磁気検知部の位置関係を示す平面図・
第11図は、第10図に示した磁気ヘットの出力波形図
である。Fig. 3 is an explanatory diagram showing the arrangement of the magnetic detection parts and their mutual circuit configuration in one embodiment of the magnetic head of the magnetic rotary encoder according to the present invention.
Fig. 4 is an explanatory diagram showing the arrangement of the magnetic detection section and their mutual circuit configuration, which is different from Fig. 1. FIG. 5 is an electric circuit diagram showing the circuit configuration of the conventional Wheatstone bridge type magnetic head shown in FIG. 4. FIGS. 6 and 7 are the Wheatstone bridge shown in FIG. 5. FIG. 8 is an explanatory diagram showing the specific shape of a conventional magnetic resistance body, which is different from that shown in FIG. An electric circuit diagram showing the configuration of a conventionally known two-phase output Wheatstone bridge type magnetic head configured to enable detection, FIG. 9 is an output waveform diagram of the circuit shown in FIG. 8, and FIG. 10 is a magnetic FIG. 11 is a plan view showing the positional relationship between the magnetic mark on the code board and the AB phase magnetic sensing portion of the magnetic head. FIG. 11 is an output waveform diagram of the magnetic head shown in FIG.
先ず、第4図乃至第11図により従来公知の磁気ヘッド
の構成とその問題点に就いて説明する。First, the structure of a conventionally known magnetic head and its problems will be explained with reference to FIGS. 4 to 11.
第4図中、1は磁気コート盤の磁気マーク (目盛)ト
ラック、2は磁気ヘッドで、InAs5 InSb、I
nAs−InP、In5b−NiSbやパーマロイと言
われるF e −N i合金等の磁気抵抗効果合金から
構成された磁気抵抗素子から成る磁気検知部の形状、配
置を簡略に示したものである。而して、磁気ヘッド2は
、ホイートストンブリッジ回路を構成する磁気抵抗素子
から成る磁気検知部2a、2b、2C及び2d並びにそ
れ等を接続した入出力端子2e、2e’、2f、2g、
2hから成るものである。In Fig. 4, 1 is the magnetic mark (scale) track of the magnetically coated disk, 2 is the magnetic head, and InAs5 InSb, I
This is a simplified diagram of the shape and arrangement of a magnetic sensing portion made of a magnetoresistive element made of a magnetoresistive alloy such as nAs-InP, In5b-NiSb, or a Fe-Ni alloy called permalloy. The magnetic head 2 includes magnetic detection sections 2a, 2b, 2C, and 2d made of magnetoresistive elements constituting a Wheatstone bridge circuit, and input/output terminals 2e, 2e', 2f, 2g, and
It consists of 2 hours.
而して、磁気マークトラック1には、例えば前述の特開
昭55−146007号公報第6図等に記載の如き所謂
縁着磁方式で、媒体を紙面に直角に交互に逆方向に磁化
して設けたN極とS極の磁気マークla、lb、1a、
1bのそれぞれの隣。In the magnetic mark track 1, the medium is magnetized alternately in opposite directions at right angles to the plane of the paper, for example, by the so-called edge magnetization method as described in FIG. N and S pole magnetic marks la, lb, 1a,
Next to each of 1b.
接磁気マーク間の中7C,%線間隔がλの距離を隔て\
設けである。こ′こでλは、磁気記録波長のAに相当す
る隣接N極マークとS極マーク間の磁気マークピッチを
示すものであり、以下に記載するλも同様である。Medium 7C between the tangent marks, % line spacing is λ distance\
It is a provision. Here, λ indicates the magnetic mark pitch between adjacent N-pole marks and S-pole marks corresponding to the magnetic recording wavelength A, and the same applies to λ described below.
磁気ヘッド2の磁気検知部2a乃至2dは、トラック1
に対向して、その磁気検知部2a乃至2dのそれぞれの
中心線間隔が2λの距離を隔て一般けてあり、それぞれ
の磁気検知部2a乃至2dから一方の側に設けである5
個の端子2e乃至2hにホイートストンブリッジ回路を
構成するように通しているものである。The magnetic detecting sections 2a to 2d of the magnetic head 2 are connected to the track 1.
The magnetic sensing portions 2a to 2d are generally spaced apart by a distance of 2λ between their center lines, and are provided on one side from the magnetic sensing portions 2a to 2d.
The terminals 2e to 2h are connected to form a Wheatstone bridge circuit.
而して、端子2e及び2e′と2f間には、それぞれバ
イアス電圧■が供給される入力端子であり、端子2g及
び2hは、不平衡電圧(Vsl−V s o)の出力端
子である。The terminals 2e, 2e' and 2f are input terminals to which a bias voltage (2) is supplied, respectively, and the terminals 2g and 2h are output terminals for an unbalanced voltage (Vsl-Vso).
次に、第4図に示す磁気へノド2の作用に就いて説明す
る。Next, the action of the magnetic nozzle 2 shown in FIG. 4 will be explained.
磁気ヘッド2は、図に示した位置では、磁気検知部2a
と2Cが最高に磁化されており抵抗値が小さいが、磁気
検知部2bと2dとは硼化されておらず抵抗値が大きい
。そして、磁気へラド2がトランク1に沿って相対的に
移動し、図に示した位置から左右どちらかに〃λ移動し
た位置(図示せず)では、磁気検知部2aと20の磁化
率が最低となって抵抗値が大きくなり、磁気検知部2b
と2dが磁化されて抵抗値が小さくなる。At the position shown in the figure, the magnetic head 2 has a magnetic detection section 2a.
and 2C are the highest magnetized and have a small resistance value, but the magnetic detection parts 2b and 2d are not borated and have a large resistance value. Then, when the magnetic helad 2 moves relatively along the trunk 1 and moves by λ to the left or right from the position shown in the figure (not shown), the magnetic susceptibility of the magnetic sensing parts 2a and 20 changes. The resistance value becomes the lowest and becomes larger, and the magnetic detection part 2b
and 2d are magnetized and the resistance value decreases.
第5図中、3は前記第4図の磁気へ、ド2と等価な回路
であり、3a、3b、3C及び3dは磁気検知部2a、
2b、2c、2dの抵抗、3e、3f、3g及び3hは
前記端子2e、2e’、2f、2g及び2hに対応する
端子である。In FIG. 5, 3 is a circuit equivalent to the magnetic field 2 in FIG. 4, and 3a, 3b, 3C, and 3d are magnetic detection parts 2a
Resistors 2b, 2c, and 2d, and terminals 3e, 3f, 3g, and 3h correspond to the terminals 2e, 2e', 2f, 2g, and 2h.
而して、それぞれの磁気検知部の抵抗3a乃至3dは磁
化されていないときはいずれもや\大きな値Rであるが
これらが磁化されると減少して小さな値rとなる。Thus, the resistances 3a to 3d of the respective magnetic detection parts have a large value R when they are not magnetized, but when they are magnetized, they decrease to a small value r.
而して、第4図に示した位置では、磁気検知部2a及び
2Cが最高に磁化されていて抵抗3a、3Cの値は、い
ずれもr、磁気検知部2b及び2dの磁化の程度は最低
でその抵抗3b、3dの値はいずれもRである。In the position shown in FIG. 4, the magnetic sensing parts 2a and 2C are magnetized to the highest level, the values of the resistances 3a and 3C are both r, and the degree of magnetization of the magnetic sensing parts 2b and 2d is the lowest. The values of the resistors 3b and 3d are both R.
従って、端子3gの電圧Vslは、 V s 1=Vg + V ’ R+r 端子3hの電圧V s □は、 =Vs である。Therefore, the voltage Vsl at terminal 3g is Vs 1=Vg+V ’ R+r The voltage Vs □ of terminal 3h is =Vs It is.
磁気ヘッド2が左右いずれかに移動すると抵抗3a、3
cが増大し、同3b、3dが減少する。When the magnetic head 2 moves to the left or right, the resistors 3a, 3
c increases, and 3b and 3d decrease.
そして移動量が2λに達すると前者はR1後者はrとな
るのでVsは、
Vs−Vsl −vso = −R二r V −−−−
(2JR+r
となる。When the amount of movement reaches 2λ, the former becomes R1 and the latter becomes r, so Vs is: Vs-Vsl -vso = -R2r V -----
(It becomes 2JR+r.
これはV’sの最小値であり、磁気抵抗体2が更に同一
方向に移動を続けるとVsは増大に転し、合計移動量が
λに達すると再び弐(11で示した最大値に達するので
以下同様にしてサイン波状の信号が得られるものである
。This is the minimum value of V's, and as the magnetoresistive element 2 continues to move in the same direction, Vs will start to increase, and when the total amount of movement reaches λ, it will reach the maximum value shown in 2 (11) again. Therefore, a sine wave signal can be obtained in the same manner.
第6図は前述の磁気へノド2及びその回路3を、磁気検
知部を磁気抵抗素子として基板上に蒸着等の薄膜形成手
段により薄膜回路として形成した薄膜回路パターンの一
例を示したものであるが、該第6図の薄膜回路化された
回路パターンば、前記第4図又は第5図の磁気ヘッド2
又は回路3を単にそのま\薄膜回路化したのではなく、
先ず第一に例えば特開昭56−22961号公報に記載
の如く、薄膜磁気ヘッド回路の入出力等の各端子を全て
一方の側にあるようにして各端子のリード線取付部が磁
気ヨー1′盤の外側にあるようにすることができるよう
にすること、そして第二にリード線取付数を出来る丈少
なくなるようにすることとを考慮して考案されたもので
ある。FIG. 6 shows an example of a thin film circuit pattern in which the aforementioned magnetic nodal 2 and its circuit 3 are formed as a thin film circuit on a substrate by a thin film forming means such as vapor deposition, with the magnetic sensing portion as a magnetoresistive element. However, if the circuit pattern of FIG. 6 is made into a thin film circuit, the magnetic head 2 of FIG. 4 or FIG.
Or, rather than just converting circuit 3 into a thin film circuit,
First of all, as described in JP-A-56-22961, all of the input/output terminals of the thin film magnetic head circuit are placed on one side, and the lead wire attachment portion of each terminal is attached to the magnetic yaw 1. It was devised with the two considerations in mind: to be able to place the lead wires on the outside of the panel, and secondly to minimize the length of the lead wires to be attached.
即ち、第6図中、4は磁気検知部4a、4b、4c及び
4d、fi子4e、4f、4g及び4h。That is, in FIG. 6, 4 indicates magnetic detection sections 4a, 4b, 4c, and 4d, fi elements 4e, 4f, 4g, and 4h.
リード部41.4j及び4kから成る磁気ヘッド及び回
路である。This is a magnetic head and circuit consisting of lead parts 41.4j and 4k.
上記に於て、磁気検知部4a、4b、4c及び4dは、
前述の磁気検知部2a、2b、2c及び2d、抵抗3a
、3b、3c及び3dに対応し、又端子4e、4f、4
g及び4hは、前述の端子2e、2e′、2f、2g及
び2h、端子3e。In the above, the magnetic detection units 4a, 4b, 4c and 4d are
The aforementioned magnetic sensing sections 2a, 2b, 2c and 2d, and the resistor 3a
, 3b, 3c and 3d, and terminals 4e, 4f, 4
g and 4h are the aforementioned terminals 2e, 2e', 2f, 2g and 2h, and the terminal 3e.
3f、3g及び3hが対応するが、前述の如く端子4e
、4f、4g及び4hは一方の側にあるように形成され
ており、そしてこの磁気ヘッド及び回路4では、磁気検
知部4a乃至4dがそれぞ、れ下記に示すような中心線
間隔又は位相差を隔て\設けられており、それぞれリー
ド部41.4j及び4kを通じて4個の端子部4e乃至
4hに通じており、前記磁気ヘッド2に比べて端子が1
個少なくなるように電路を形成しているものである。3f, 3g and 3h correspond, but as mentioned above, terminal 4e
, 4f, 4g, and 4h are formed on one side, and in this magnetic head and circuit 4, the magnetic sensing portions 4a to 4d each have a center line spacing or a phase difference as shown below. are separated from each other, and are connected to four terminal parts 4e to 4h through lead parts 41.4j and 4k, respectively, and the number of terminals is smaller than that of the magnetic head 2.
The electrical circuits are formed so that the number of electrical circuits is reduced.
磁気検知部 位相差 間隔
4a〜4b ’Aλ nλ+ηλ4 b 〜4
c ’Aλ nλ+%λ4 C〜4 d
’A 71 nλ十2λ次に、第6図に示す磁
気へ・レド及び回路4の作用に就いて説明する。Magnetic detection part phase difference interval 4a~4b 'Aλ nλ+ηλ4 b ~4
c'Aλ nλ+%λ4 C~4 d
'A 71 nλ 12λ Next, the operation of the magnetic lead and circuit 4 shown in FIG. 6 will be explained.
磁気ヘッド及び回路4は、図に示した位置では、磁気検
知部4aと40が磁化されており、抵抗値が小さい値r
となっており、一方、磁気検知部4bと4dが磁化され
ておらず、抵抗値が大きな値Rとなっている。そして、
磁気ヘッド及び回路4がトラック1に沿って相対的に移
動し、図に示した位置から左右どちらかに2λ移動した
位置(図示せず)では、磁気検知部4aと40が磁化を
解除され、抵抗値が大きな値Rとなり、磁気検知部4b
と4dが磁化されて、抵抗値が小さな値rとなる。In the magnetic head and circuit 4, the magnetic sensing portions 4a and 40 are magnetized at the position shown in the figure, and the resistance value is set to a small value r.
On the other hand, the magnetic sensing portions 4b and 4d are not magnetized and have a large resistance value R. and,
The magnetic head and the circuit 4 move relatively along the track 1, and at a position (not shown) moved by 2λ to the left or right from the position shown in the figure, the magnetic sensing parts 4a and 40 are demagnetized. The resistance value becomes a large value R, and the magnetic detection section 4b
and 4d are magnetized, and the resistance value becomes a small value r.
従って、このブリッジ回路から成る磁気ヘッド及び回路
4によっても前記第4図及び第5図の磁気ヘッド2と同
様な信号が得られる。Therefore, the same signal as the magnetic head 2 of FIGS. 4 and 5 can be obtained by the magnetic head and circuit 4 made up of this bridge circuit.
第7図は、前述第4図及び第5図の磁気ヘッド2に於て
、ホイートストンブリッジ回路を構成する各辺の磁気検
知部2a、2b、2C及び2dが各1個の磁気抵抗素子
の抵抗体3a、3b、3c及び3dから構成されていた
ものを、各2個の磁気抵抗素子の抵抗体を直列に接続し
て磁気ヘッド及び回路を構成した場合の磁気マークトラ
ンク1に対する各磁気検知部5a、5al、5b、5C
15C′及び5d、54/の相対位置関係の一例を示し
たもので、第7図中、5は磁気検知部5a、5a′、5
b、5b’、5C15c’、5d及び5d′、端子5e
、5e′、5f、5g及び5hから成る磁気ヘッド及び
回路である。FIG. 7 shows that in the magnetic head 2 shown in FIGS. 4 and 5, the magnetic sensing portions 2a, 2b, 2C, and 2d on each side constituting the Wheatstone bridge circuit each have a resistance of one magnetoresistive element. Each magnetic detection unit for the magnetic mark trunk 1 is constructed by connecting the resistors of two magnetoresistive elements in series to form a magnetic head and a circuit. 5a, 5al, 5b, 5C
An example of the relative positional relationship between 15C', 5d, and 54/ is shown, and in FIG.
b, 5b', 5C15c', 5d and 5d', terminal 5e
, 5e', 5f, 5g and 5h.
このホイートストンブリッジ回路では、前述の如く、磁
気抵抗素子から成る磁気検知部の各辺が、それぞれ直列
に接続された二つの磁気検知部から成っている。5a、
5a’;5b、5 b ’ + 5 c、5c’;5d
、5d’は、それぞれ直列に接続され、第1辺、第2辺
、第3辺及び第4辺を形成する。In this Wheatstone bridge circuit, as described above, each side of the magnetic sensing section made of a magnetoresistive element is composed of two magnetic sensing sections connected in series. 5a,
5a'; 5b, 5 b' + 5 c, 5c'; 5d
, 5d' are connected in series to form a first side, a second side, a third side, and a fourth side.
而して、この磁気ヘッド及び回路5でば、磁気検知部5
a乃至5d′がそれぞれ下記に示すような中心線間隔又
は位相差を隔て一般けられており、それぞれの磁気検知
部5a乃至5a/がら5個の端子5e乃至5h4こ通じ
ているものである。Therefore, with this magnetic head and circuit 5, the magnetic detection section 5
5a to 5d' are generally spaced apart by a center line spacing or a phase difference as shown below, and the respective magnetic sensing portions 5a to 5a are connected to five terminals 5e to 5h4.
・ 磁気検知部−位相差 間隔
5a〜5a’ On λ
5 a ’ 〜5 b %λ nλ+2λ5b〜
5bl Onλ
5b′〜5c V2λ nλ+2λ5C〜5 ’c
’ On λ5 c ’ 〜5 d
’Aλ nλ+2λ5d〜5d’ Onλ
従って、磁気ヘッド及び回路5ば、図示されている状態
では、第1辺(52,5a′)と第3辺(5c、5c’
)が磁化されており、第2辺(5b、5b’)と第4辺
(5d′、5d′)とは、磁化されていない。そして、
磁気ヘッド及び回路5がトランクIに沿って相対的に移
動し、図に示した位置から左右どちらかに%λ移動する
と第1辺(5a1.5a’)と第3辺(5G、50′)
が磁化を解除され、第2辺(5b、5b′)と第4辺(
5d、5d′)が磁化される。・Magnetic detection part - phase difference interval 5a~5a' On λ5a'~5b%λ nλ+2λ5b~
5bl Onλ 5b'~5c V2λ nλ+2λ5C~5'c
'On λ5c' ~5d
'Aλ nλ+2λ5d~5d' Onλ Therefore, in the illustrated state, the magnetic head and circuit 5 have the first side (52, 5a') and the third side (5c, 5c').
) are magnetized, and the second sides (5b, 5b') and fourth sides (5d', 5d') are not magnetized. and,
When the magnetic head and circuit 5 move relatively along the trunk I and move by %λ to the left or right from the position shown in the figure, the first side (5a1.5a') and the third side (5G, 50')
is demagnetized, and the second side (5b, 5b') and the fourth side (
5d, 5d') are magnetized.
従って、この回路によっても前述と同様な信号が得られ
る。Therefore, the same signal as described above can be obtained by this circuit as well.
而して、この磁気ヘッド及び回路5のホイートストンブ
リッジ型磁気ヘッド回路では、各1辺の磁気検知部の直
列接続磁気抵抗素子数を更に増やせば各辺の抵抗値が大
きくなるので出力Vsを大きくすることができる。Therefore, in this magnetic head and the Wheatstone bridge type magnetic head circuit of circuit 5, if the number of series-connected magnetoresistive elements in the magnetic sensing portion on each side is further increased, the resistance value on each side increases, so the output Vs can be increased. can do.
Vs=R−1−3−B
又入力電圧が一定であるとすると、抵抗値が大きくなる
のでバイアス電流lが小さくなり、磁気ヘッド5の発熱
が少なくなるので消費電力が小さくなる。又磁気媒体に
放映る各記録磁気マーク信号の大きさのばらつきが平均
化されるので記録磁気マーク間の間隔の不均一が補正さ
れる等々の長所があり、従って各辺をより多素子で構成
することが行なわれている。Vs=R-1-3-B Assuming that the input voltage is constant, the resistance value increases, so the bias current l decreases, and the heat generated by the magnetic head 5 decreases, so power consumption decreases. In addition, since the variations in the size of each recorded magnetic mark signal broadcast on the magnetic medium are averaged, there are advantages such as the uneven spacing between recorded magnetic marks can be corrected. Therefore, each side can be constructed with more elements. things are being done.
第8図は、前述第4図、第6図、又は第7図の如き磁気
ヘッド2.4、又は5の磁気抵抗素子から成るホイート
ストンブリッジ型磁気ヘッドと、それらと実質上同一の
構成のホイートストンブリッジ型磁気ヘッドを前記ヘッ
ドに対してA2位相を異ならせて並設し、當用の2相出
力ホイートストンブリーソジ型磁気ヘツドとしたものの
電気回路図を示すもので、第8図中、6は抵抗6Aa、
6Ab、6’Ac及び6^dから成るA相ホイートスト
ンブリッジ回路と、同6Ba、6Bb、6Bc及び6B
dから成るB相ホイートストンブリッジ回路、及び端子
6^g、6 A、h、68g、6Bh、6e及び6fか
ら成る2相出カホイートストンブリフジ型磁気ヘツドの
電気回路で゛ある。FIG. 8 shows a Wheatstone bridge type magnetic head consisting of a magnetic head 2.4 or 5 magnetoresistive element as shown in FIG. 4, FIG. 6, or FIG. This is an electrical circuit diagram of a bridge-type magnetic head arranged in parallel with the A2 phase different from the above-mentioned head to form a two-phase output Wheatstone bridge-type magnetic head. is resistance 6Aa,
A phase Wheatstone bridge circuit consisting of 6Ab, 6'Ac and 6^d, and 6Ba, 6Bb, 6Bc and 6B
This is an electrical circuit of a two-phase output Wheatstone bridge type magnetic head consisting of a B-phase Wheatstone bridge circuit consisting of d and terminals 6g, 6A, h, 68g, 6Bh, 6e and 6f.
而して、電気回路6は、前記例えば第7図に示した単相
のホイートストンブリッジ回路3と同様に磁気検知部の
抵抗6^a、6^b、6Ac及び6Adのそれぞれの位
置間隔は、抵抗6^aの位置を、nλ (又は基準位置
としてn=0)とすると、順次に〃λ+nλ、nλ及び
2λ+nλ、(尚、抵抗6八dと6^d間の位置間隔は
nλ)である人相と、このA相と並列に全体としてAλ
位相差を設けて磁気検知部の抵抗6Ba、6Bb、6B
c及び6Bdのそれぞれの位置間隔が〃λ+nλ、nλ
及び2λ+nλ、(尚、抵抗6Bdと6Ba間の位置間
隔はnλ)であるB相とから構成する2相出力ホイ一ト
ストンブリソジ回路である。Thus, in the electric circuit 6, as in the single-phase Wheatstone bridge circuit 3 shown in FIG. Letting the position of the resistor 6^a be nλ (or n=0 as the reference position), then sequentially λ+nλ, nλ and 2λ+nλ, (the positional interval between the resistors 68d and 6^d is nλ). The physiognomy and Aλ as a whole in parallel with this A phase
The resistors 6Ba, 6Bb, 6B of the magnetic detection part are set with a phase difference.
The respective positional intervals of c and 6Bd are〃λ+nλ, nλ
and a B phase of 2λ+nλ (the positional interval between resistors 6Bd and 6Ba is nλ).
即ち、A、B各相の磁気検知部の各抵抗が、例えば前述
第4図の如く構成されていて、隣接A相とB・相間の配
置間隔が、(nλ十Xλ)で、n−〇、即ちAλであっ
たとすると、人相の抵抗6Aaに対する1也の抵抗の位
相差及び位置間隔は、次のようになる。That is, each resistor of the magnetic detection section of each phase A and B is configured as shown in FIG. 4, for example, and the arrangement interval between adjacent phases A and B is (nλ + , that is, Aλ, the phase difference and positional interval of Kazuya's resistance with respect to the human face's resistance 6Aa are as follows.
磁気検知部 抵抗6Aaに 抵抗6Aaに抵抗
対する位相差 対する間隔6^b
V2λ 2λ6 八c
Oλ6^d ’Aλ
λ+2λ6Ba Viλ λ
+2λ+×λ6Bb 、’Aλ+%λ 2
λ+Aλ6Bc ’Aλ 2λ十2λ十
’A )6Bd ’Aλ+Aλ 3λ+
Zλ而して、磁気式ロークリエンコーダに於て回転方向
を判別し得るようにするためには、第8図に示す如くA
相とB相の2相から成り、両AB相間には、各相のホイ
ートストンブリッジ各隣接抵抗間の位相差が(2+λ)
nであるから、(A(〜n)λの位置のずれがある構成
の磁気へノドとし、端子6Agと6^h、及び68gと
6Bhに通常それぞれコンバータを接続してそれぞれの
コンバータから方形波電圧信号を出力させるように構成
した場合、第9図に示す如くA相とB相の方形波出力が
%Pの位相差のある2相方形波出力となるようにする必
要がある。Magnetic detection section Resistor 6Aa Resistor 6Aa Phase difference vs. Interval 6^b
V2λ 2λ6 8c
Oλ6^d 'Aλ
λ+2λ6Ba Viλ λ
+2λ+×λ6Bb,'Aλ+%λ 2
λ+Aλ6Bc 'Aλ 2λ12λ10'A )6Bd 'Aλ+Aλ 3λ+
Zλ Therefore, in order to be able to determine the rotational direction in a magnetic rotary encoder, A as shown in FIG.
Consists of two phases, phase and B phase, and between both AB phases, there is a Wheatstone bridge for each phase.The phase difference between each adjacent resistance is (2+λ).
n, so we set up a magnetic node with a positional shift of (A(~n)λ), connect converters to terminals 6Ag and 6^h, and 68g and 6Bh, and receive a square wave from each converter. When configured to output a voltage signal, it is necessary to make the A-phase and B-phase square wave outputs two-phase square wave outputs with a phase difference of %P, as shown in FIG.
従来公知の磁気式ロークリエンコーダに於てはこの第8
図に示した回路を形成するに当って、第4図、第6図又
は第7図に示した磁気へノドを2個同一基板上に並べて
設けることにより、2相出カホイートストンブリツジ型
磁気ヘツドとしていた。In the conventionally known magnetic type rotary encoder, this eighth
In forming the circuit shown in the figure, two phase output Wheatstone bridge type magnetic I was at the head of it.
そしてこのことは、磁気ヘッド上に於ける磁気検知部の
磁気抵抗素子A相とB相との対応磁気マークに対する配
置間隔は、前述の如< (n−1−V4)λで、n=
0と言うようなことはなく、n−1で、nは成る整数に
設定されるから、即ち、A相とB相とは通常2〜3λ又
はそれ以上と可成り離隔していることが多く、それぞれ
が離隔した異なる部分の磁気マークに対応感応すべく配
置されていることによって更に促進されるものである。This means that the arrangement spacing between the A-phase and B-phase magnetoresistive elements of the magnetic sensing portion on the magnetic head and the corresponding magnetic marks is < (n-1-V4)λ, n=
There is no such thing as 0, but n is set to an integer of n-1, that is, the A phase and the B phase are often separated by a considerable distance of 2 to 3 λ or more. , each of which is arranged to be responsive to magnetic marks in different, spaced apart areas.
一方、磁気コード盤の磁気マークのトラックの中心は、
磁気コード盤を磁気マーク記録装置に取り付けて回転着
磁した時の回転中心であるから、この中心と、この磁気
コード盤を各個その磁気エンコーダの回転軸に取り付け
たときの回転中心とを完全に一致させることば不可能で
ある。従って、叙上の如く構成すると、磁気ヘッドの磁
気検知部が磁気マークに対して相対的に偏心運動をする
こと\なり、先に述べた如くコードを誤解することがあ
るという問題点が生じる。このことを第10図及び第1
1図によりその詳細を具体的に説明する。On the other hand, the center of the track of the magnetic mark on the magnetic code board is
This is the center of rotation when the magnetic code disk is attached to a magnetic mark recording device and rotated and magnetized, so this center and the center of rotation when each magnetic code disk is attached to the rotating shaft of its magnetic encoder must be completely aligned. It is impossible to match words. Therefore, with the configuration as described above, the magnetic sensing portion of the magnetic head moves eccentrically relative to the magnetic mark, which causes the problem that the code may be misunderstood as described above. This can be seen in Figures 10 and 1.
The details will be specifically explained with reference to FIG.
第10図及び第11図は、磁気コード盤の磁気マークと
磁気ヘッドのAB相の磁気検知部の位置関係を示す平面
図及びその出力波形図である。FIGS. 10 and 11 are a plan view and an output waveform diagram showing the positional relationship between the magnetic mark on the magnetic code board and the AB phase magnetic detection section of the magnetic head.
第10図中、7は中心孔7a、磁気コード面7b及び磁
気マーク7C17Cから成る磁気コード盤、8は磁気コ
ード盤7に対する磁気ヘッド9の相対的移動径路であり
、磁気ヘッド9は移動径路8に沿って9から9′まで移
動する。A相及びB相の検知部は、磁気ヘッド9で示す
位置では、9a及び9bで示す位置にあるが、位置9′
では、g a/9b’となる。In FIG. 10, 7 is a magnetic code board consisting of a center hole 7a, a magnetic code surface 7b, and a magnetic mark 7C17C, 8 is a relative moving path of the magnetic head 9 with respect to the magnetic code board 7, and the magnetic head 9 is moving along the moving path 8. 9 to 9'. The A-phase and B-phase detection parts are located at positions 9a and 9b in the magnetic head 9, but at position 9'.
Then, it becomes g a/9b'.
而して、磁気コード盤7及びその記録磁気マーク7G、
7cは第10図に図示の如く、又は前述特開昭55−1
46007号公報等に記載の如く、円板状体の磁気コー
ド盤7の外周縁に円周方向に所定の間隔(又は角度)で
、板厚方・向に貫通させて、且つ半径方向の線状に細長
く、そして磁化方向を前記円周方向隣接磁気マーク間に
於て互いに逆向きとなるように縦着磁して形成されてい
るものである。上記の如き条件下に於て、磁気ヘッドは
9で示す位置では、A相の各磁気検知部9aとB相の磁
気検知部9bとの位相差が当該部分の磁気マーク間隔λ
に対して正確に(W+n)λであり、第11図に2点鎖
線で示す如くA相とB相の方形波出力が正しく’APの
位相差のある2相方形波出力となるものとしても、位置
91では、磁気ヘッドの偏芯のため径路8に沿って測っ
た磁気マーク間隔がλとならないため位相誤差が生じる
。換言すれば、A相の磁気検知部9aとB相の磁気検知
部9bとの位相差が当該部分の磁気マークの間隔λlに
対して(%+rl)λlとならず、第11図に示す如く
人相とB相の2相方形波出力の位相差は、(×P十α)
となるため、゛エンコーダの回転方向が正しく判断でき
なくなることがある。Therefore, the magnetic code board 7 and its recorded magnetic mark 7G,
7c is as shown in FIG.
As described in Japanese Patent No. 46007, etc., the outer peripheral edge of the disk-shaped magnetic code plate 7 is made to penetrate in the plate thickness direction and direction at a predetermined interval (or angle) in the circumferential direction, and also has lines in the radial direction. The magnetic marks are elongated and longitudinally magnetized so that the directions of magnetization are opposite to each other between adjacent magnetic marks in the circumferential direction. Under the above conditions, when the magnetic head is at the position indicated by 9, the phase difference between each magnetic detection section 9a of the A phase and the magnetic detection section 9b of the B phase corresponds to the magnetic mark interval λ of the corresponding part.
Even if it is exactly (W + n) λ for , at position 91, a phase error occurs because the magnetic mark interval measured along path 8 does not equal λ due to the eccentricity of the magnetic head. In other words, the phase difference between the A-phase magnetic sensing portion 9a and the B-phase magnetic sensing portion 9b is not (%+rl)λl with respect to the interval λl between the magnetic marks in the relevant part, and as shown in FIG. The phase difference between the two-phase square wave output of the human phase and the B phase is (×P + α)
Therefore, the direction of rotation of the encoder may not be determined correctly.
そして、このようなことは、磁気マークの中心と磁気コ
ード盤の回転中心とが仮に一致している場合でも、磁気
マークの間隔がλであるべきものが、磁気コード盤の円
周方向の各部に於て、λ′とかλ“とか僅かな誤差のあ
る部分があること等によって、或いは又、磁気検知部の
磁気抵抗素子配列の中心が、−磁気マークの中心又は磁
気コード盤の中心と一致しないように、磁気コード盤に
対して磁気ヘッドが取り付けられること等によって生ず
る場合もあるkのである。In this case, even if the center of the magnetic mark and the rotation center of the magnetic cord disk coincide, the distance between the magnetic marks should be λ, but the distance between the magnetic marks and the center of rotation of the magnetic cord disk is In this case, there may be a slight error in λ' or λ'', or the center of the magnetic resistance element array of the magnetic detection part may not match the center of the magnetic mark or the center of the magnetic code board. This may also occur due to the magnetic head being attached to the magnetic code board to prevent it from occurring.
次に、本発明にかかる磁気式ロータリエンコーダの磁気
ヘッドに於ける磁気検知部の配置とその相互の回路構成
を示す第1図若しくは第2図又は第3図のそれぞれの実
施例に就いて説明する。Next, an explanation will be given of the embodiments shown in FIG. 1, FIG. 2, or FIG. 3, which show the arrangement of the magnetic detection section in the magnetic head of the magnetic rotary encoder according to the present invention and their mutual circuit configuration. do.
尚、以下では従来と共通の部分には共通の符号を付し、
重複する説明は省略する。In addition, in the following, parts common to conventional ones are given common symbols,
Duplicate explanations will be omitted.
第1図中、10はそれぞれが磁気抵抗素子から成る磁気
検知部1〇八a、10Ab、10Ac、10AdのA相
と、同じ<10Ba、10Bb、10Bc、10Bdの
B相、端子10a、10a’、10b、10b’、10
c、10c’ 、 1(ld、 10d’、10e
、10e’ 、10f、10f ’ 、10g、10g
’、10h、10h′から成る磁気ヘッドで、例えば、
特開昭59−49301号第13〜15図等で図示説明
したように、磁気ヘッド基板上に、蒸着やスパッタリン
グ等の薄膜形成技術により形成された磁気抵抗効果合金
の素子の磁気ヘッドと同様のもので、本発明により各A
、B各相の磁気検知部が磁気マーク配列方向に交互に配
列しである。In FIG. 1, 10 is the A phase of magnetic sensing portions 108a, 10Ab, 10Ac, and 10Ad, each consisting of a magnetoresistive element, the B phase of <10Ba, 10Bb, 10Bc, and 10Bd, and the terminals 10a, 10a' , 10b, 10b', 10
c, 10c', 1(ld, 10d', 10e
, 10e', 10f, 10f', 10g, 10g
', 10h, 10h', for example,
As illustrated and explained in FIGS. 13 to 15 of JP-A No. 59-49301, a magnetic head similar to that of a magnetoresistive alloy element formed on a magnetic head substrate by a thin film forming technique such as vapor deposition or sputtering. According to the present invention, each A
, B. The magnetic sensing portions of each phase are arranged alternately in the magnetic mark arrangement direction.
第1図に示す磁気ヘッド10の作用に就いて説明する。The operation of the magnetic head 10 shown in FIG. 1 will be explained.
磁気ヘッド10は、図に示した位置では、磁気検知部1
0Aaと10Acが磁化されており抵抗値が小さい値r
となっており、磁気検知部10Abと10 Adが磁化
されておらず抵抗値が大きな値Rとなっており、磁気検
知部10Ba、 10Bb、10Bc及び10 Bdが
磁化途中となっており抵抗値が中位となっているもので
ある。At the position shown in the figure, the magnetic head 10 is connected to the magnetic sensing section 1.
0Aa and 10Ac are magnetized and the resistance value is small r
The magnetic sensing parts 10Ab and 10Ad are not magnetized and have a large resistance value R, and the magnetic sensing parts 10Ba, 10Bb, 10Bc, and 10Bd are in the middle of magnetization and have a large resistance value. This is in the middle.
そして、磁気ヘッド10がトランク1に沿って相対的に
移動し、図に示した位置から右方に2λ移動した位置(
図示せず)では、磁気検知部10 Aaと10^Cが磁
化を解除される途中となって抵抗値が中位となり、磁気
検知部10Bbと10Bdが更に磁化されて抵抗値が小
さな値rとなり、磁気検知部10Baと10 Bcが磁
化を解除され抵抗値が大きな値Rとなり、磁気検知部1
0Abと10Adが磁化される途中となって抵抗値が中
位となるものである。Then, the magnetic head 10 moves relatively along the trunk 1, and moves 2λ to the right from the position shown in the figure (
(not shown), the magnetic sensing parts 10Aa and 10^C are in the process of being demagnetized and the resistance value becomes medium, and the magnetic sensing parts 10Bb and 10Bd are further magnetized and the resistance value becomes a small value r. , the magnetic sensing portions 10Ba and 10Bc are demagnetized and the resistance value becomes a large value R, and the magnetic sensing portion 1
0Ab and 10Ad are in the middle of being magnetized and have a medium resistance value.
従って、この回路によっても前述と同様な信号である磁
気ヘッドの左右の移動に応じた二種の信号が得られる。Therefore, this circuit also obtains two types of signals corresponding to the left and right movement of the magnetic head, which are the same signals as described above.
而して、磁気ヘッド10は、その磁気検知部10Aa乃
至1〇八dのA相と10 Ba乃至10BdのB相がそ
のAB相の一辺を交互にそれぞれ×λの中心線間隔で等
間隔に配置してあり、それぞれの磁気検知部10Aa乃
至10Ad、 10Ba乃至10Bdから16個の端子
10a乃至10h、10a′乃至10h′に通じて前記
第8図に示した電気口!!86と同様の構成となるよう
に電路を形成しているものである。Thus, in the magnetic head 10, the A phase of the magnetic sensing portions 10Aa to 108d and the B phase of 10Ba to 10Bd are arranged alternately on one side of the AB phase at equal intervals with a center line spacing of ×λ. The magnetic sensing portions 10Aa to 10Ad, 10Ba to 10Bd are connected to the 16 terminals 10a to 10h, 10a' to 10h' through the electric ports shown in FIG. ! The electric circuit is formed to have the same configuration as 86.
この構成は、前記公知のものと異なりA相及びB相ホイ
ートストンブリッジ回路を並置するのではなく、いわば
それを重ね合せること、換言すればそれらの磁気検知部
を交互に配置することにより、A相及びB相の磁気抵抗
体の磁気マークトラック上に占める位置の差を僅少なら
しめるようにしているので前述の誤差αを生じるという
問題点は解決されているが、この方法は端子数が多く配
線の手間が掛るためあまり実用的な構成ではない。This configuration differs from the above-mentioned known ones by not arranging the A-phase and B-phase Wheatstone bridge circuits side by side, but by overlapping them, in other words, by alternately arranging their magnetic sensing parts. Since the difference in the positions of the magnetic resistors of the phase and B phases on the magnetic mark track is minimized, the above-mentioned problem of error α is solved, but this method requires a large number of terminals and wiring. This is not a very practical configuration because it takes time and effort.
即ち、この磁気ヘッド回路をホイートストンブリッジ回
路として示すと例えば前述第8図の如く簡単な回路構成
となるが各端子10’a乃至10h及び10a′乃至1
0h′を一部を端子相互間で接続した後ζバイアス電圧
入力端子及び出力端子と接続して磁気ヘッド回路を構成
するには、前述の如く磁気検知部に止まらず前記端子部
をも基板状の薄膜回路で構成しようとすると、各磁気検
知部の両端から端子名のリード部がクロスした構成とす
ることができないからである。この場合一部に半田付け
を適用するにしても、例えば特開昭56−02
’2691号公報に記載の如く種々の阻害があるとか、
何れにしても微細構成部分のクロス配線であるから実際
上も可成り実施困難である。That is, if this magnetic head circuit is shown as a Wheatstone bridge circuit, it will have a simple circuit configuration as shown in FIG. 8, but each terminal 10'a to 10h and 10a' to
In order to configure a magnetic head circuit by connecting a part of 0h' between the terminals and then connecting it to the ζ bias voltage input terminal and output terminal, it is necessary to connect not only the magnetic sensing part but also the terminal part to the substrate as described above. This is because if an attempt is made to construct a thin film circuit using a thin film circuit, it is not possible to have a configuration in which the lead portions of the terminal names cross each other from both ends of each magnetic sensing portion. In this case, even if soldering is applied to some parts, for example, JP-A-56-02
There are various obstacles as described in '2691 publication,
In any case, it is quite difficult to implement in practice since it involves cross wiring of minute components.
尚、図示した磁気検知部10Aa乃至10Ad及び10
Ba乃至10Bdに於て、磁気検知部10Aaを図示
の一定位置とした状態で、磁気検知部10Abと10
Ad、 10 Baと10 Bc、及び10Bbと10
Bdとは、それぞれ他の組とは無関係に相互の位置を入
れ替えても、それ等は全て実質上同一のもので、又本発
明の作用効果上も実質上同一のものであるから、磁気検
知部の配列の仕方は極めて多数(72通り)あることが
明らかである。又上記は各相の磁気検知部が順次に2λ
×nの位相差を有する人相とB相とを相互に騒λの位相
差を有するように構成配置した場合であって、Aλ×n
の位相差を有する磁気検知部を組合せて構成した人相と
B相のホイートストンブリッジ回路を相互ににλの位相
差を有するように構成配置した場合等にも一当然適用で
きるものである。In addition, the illustrated magnetic detection units 10Aa to 10Ad and 10
In Ba to 10Bd, with the magnetic sensing portion 10Aa at the fixed position shown in the figure, the magnetic sensing portions 10Ab and 10
Ad, 10 Ba and 10 Bc, and 10 Bb and 10
Bd is essentially the same even if their positions are swapped regardless of the other pairs, and the effects of the present invention are also substantially the same, so magnetic detection It is clear that there are an extremely large number of ways to arrange the parts (72 ways). In addition, in the above, the magnetic detection part of each phase is sequentially 2λ
This is a case where a human face and a B phase having a phase difference of ×n are arranged so that they have a phase difference of λ, and Aλ×n
Naturally, the present invention can also be applied to a case where a human-phase and B-phase Wheatstone bridge circuit constructed by combining magnetic detection sections having a phase difference of λ is arranged so as to have a mutual phase difference of λ.
第2図中、11はこの端子数及び配線の不具合の点を改
良した磁気検知部配列とした磁気ヘッドの実施例を示す
もので、A相磁気検知部11Aa、1]Ab、11 A
c、1tAd、g相磁気検知部11 Ba111 Bb
、 11 B(,11Bd、、端子11a 、 llb
、 llc、lid、 ILe、llf、11g、l
lhから成る磁気ヘッド11である。In FIG. 2, numeral 11 shows an embodiment of a magnetic head in which the magnetic sensing section arrangement is improved in terms of the number of terminals and wiring problems.
c, 1tAd, g phase magnetic detection section 11 Ba111 Bb
, 11 B(, 11Bd,, terminal 11a, llb
, llc, lid, ILe, llf, 11g, l
This is a magnetic head 11 consisting of lh.
而して、磁気ヘッド11.では、各相内の磁気検知部間
に於て2λの位相差を有し、且つ各相間に於てAλの位
相差を有するASB相のそれぞれの磁気検知部の位置関
係が2辺づ\交互にBAABBAABとなるように、即
ち、図示実施例では磁気検知部を11Bd、11八a、
11^b、 11Bb、 11Ba、11Ad。Thus, the magnetic head 11. Then, the positional relationship of the magnetic sensing parts of the ASB phase, which has a phase difference of 2λ between the magnetic sensing parts in each phase and a phase difference of Aλ between each phase, is \alternating on two sides. In other words, in the illustrated embodiment, the magnetic sensing portions are arranged such that 11Bd, 118a, 118a,
11^b, 11Bb, 11Ba, 11Ad.
11Ac、 IIBcの順に排列すると共に、その中心
線間隔をこの図示実施例では、それぞれ下記に示す距離
にしである。尤も、この中心線間隔自体は、各検知部の
位相関係を変えない限り間隔を増又は減し得る。即ち、
それぞれにnλをプラスすることができる訳であるから
格別意味があるものではない。11Ac and IIBc, and their center lines are spaced at the distances shown below in this illustrated embodiment. However, this centerline spacing itself can be increased or decreased as long as the phase relationship of each sensing portion is not changed. That is,
Since nλ can be added to each of them, there is no particular meaning.
磁気検知部 間隔
11Bd 〜11八a l λ11Aa
〜11Ab %λ
11八b〜11Bb ’A λ11Bb
〜11Ba ’Aλ
11Ba 〜11Ad Xλ
11Ad〜11Ac、 ’Aλ11Ac〜11
Bc ’Aλ
そして、磁気検知部tlBdの一方から端子lidに通
じ、磁気検知部11 Bd及び11 Aaの他の一方か
ら共に端子11aに通じ、磁気検知部11 Aa及び1
1Abの一方から共に端子lieに通じ、磁気検知部1
1^b及び118b並びに11Ac及び11 Bcの他
の一方から共に端子11 Cに通じ、磁気検知部11
Bb及び11 Baの一方から端子11 fに通、じ、
磁気検知部11 Ba及び11 Adの他の一方から共
に端子11bに通じ、磁気検知部11 Ad及び11A
cの一方から共に端子11gに通じて前記第8図に示し
た電気回路6と同様の構成の電路を形成しているもので
ある。これを各磁気検知部11Aa、11Ab、11八
c、11Ad、11 Ba、11 Bb、11 Bc、
及び11 Bdを抵抗A1、A2、A3、A4、B1、
B2、B3及びB4に対応させ、バイアス電圧の入力端
子を■、接地端子をG、及び各A相及びB相のホイート
ストンブリッジ回路出力端子をal、B2、b。Magnetic detection part interval 11Bd ~ 118a l λ11Aa
〜11Ab %λ 118b〜11Bb 'A λ11Bb
~11Ba 'Aλ 11Ba ~11Ad Xλ 11Ad~11Ac, 'Aλ11Ac~11
Bc 'Aλ Then, one side of the magnetic sensing portions tlBd is connected to the terminal lid, and the other side of the magnetic sensing portions 11 Bd and 11 Aa are both connected to the terminal 11a, and the magnetic sensing portions 11 Aa and 1 are connected to the terminal 11a.
1Ab are both connected to the terminal lie, and the magnetic detection section 1
1^b and 118b and the other one of 11Ac and 11Bc are both connected to the terminal 11C, and the magnetic detection section 11
From one of Bb and 11 Ba to terminal 11 f,
The other one of the magnetic detection units 11 Ba and 11 Ad both communicate with the terminal 11b, and the magnetic detection units 11 Ad and 11A
An electric path having the same structure as the electric circuit 6 shown in FIG. 8 is formed from one side of the terminal c to the terminal 11g. This is connected to each magnetic detection section 11Aa, 11Ab, 118c, 11Ad, 11Ba, 11Bb, 11Bc,
and 11 Bd to resistors A1, A2, A3, A4, B1,
Corresponding to B2, B3 and B4, the bias voltage input terminal is .
及びb2として対応関係を示すと第12図の如くなる。If the correspondence relationship is shown as and b2, it will be as shown in FIG.
磁気ヘッド11は、図に示した位置では、磁気検知部1
1^aと11^Cが磁化されており抵抗値が小さい値r
となっており、磁気検知部11 Abと11 Ad′I
J<磁化されておらず抵抗値が大きな値Rとなっており
、磁気検知部11 Bd、 11 Bb、 11 Ba
及び11 Bcが磁化途中となっており抵抗値が中位と
なっているものである。そして、磁気へノド11がトラ
ック1に沿って相対的に移動し、図に示した位置から右
方にAλ移動した位置(図示せず)では、磁気検知部1
1 Aaと11Acが磁化を解除される途中となり抵抗
値が中位となり、磁気検知部11 Bdと11111b
が更に磁化されて抵抗値が小さい値rとなり、磁気検知
部11 Baと11 Bcが磁化を解除され抵抗値が大
きな値Rとなり、磁気検知部11Abと1jAdが磁化
される途中となり抵抗値が中位となるものである。At the position shown in the figure, the magnetic head 11 is connected to the magnetic sensing section 1.
1^a and 11^C are magnetized and the resistance value is small r
, the magnetic detection parts 11 Ab and 11 Ad'I
J< is not magnetized and has a large resistance value R, and the magnetic detection parts 11 Bd, 11 Bb, 11 Ba
and 11 Bc are in the middle of magnetization and have a medium resistance value. Then, the magnetic nozzle 11 moves relatively along the track 1, and at a position (not shown) moved by Aλ to the right from the position shown in the figure, the magnetic sensor 1
1 Aa and 11Ac are in the process of being demagnetized and the resistance value becomes intermediate, and the magnetic detection parts 11 Bd and 11111b
is further magnetized and the resistance value becomes a small value r, the magnetic sensing parts 11Ba and 11Bc are demagnetized and the resistance value becomes a large value R, and the magnetic sensing parts 11Ab and 1jAd are in the middle of being magnetized and the resistance value becomes medium. It is the highest rank.
従って、この回路によっても前述と同様な信号である磁
気抵抗体の左右の移動に応じた二種の信号が得られる。Therefore, this circuit also obtains two types of signals corresponding to the left and right movement of the magnetic resistor, which are the same signals as described above.
この構成は、各辺の抵抗、例えばA1が1個の磁気検知
部11 Aaから成る単相ホイー1〜ストンブリッジ回
路を2辺づ\交互に即ち、前述BAABBAABの配列
に従い、図示第2図では、B4A。In this configuration, a single-phase wheel 1 to stone bridge circuit consisting of a magnetic sensing part 11Aa with a resistor on each side, for example A1, is alternately connected on two sides, that is, in accordance with the above-mentioned BAABBAAB arrangement, as shown in FIG. , B4A.
/’12 B2.B、A、A3B3の順に配置して、A
相及びB相のホイートストンブリッジ回路を形成する磁
気ヘットの磁気マークトラック上の位置の差を僅少なら
しめたので前述の誤差αを生じるという問題点を解決す
ると共に、端子の数を最少としたので最も望ましい実施
例として推奨できるものである。/'12 B2. Arrange in the order of B, A, A3B3, and
The difference in the positions of the magnetic heads forming the phase and B phase Wheatstone bridge circuits on the magnetic mark track is minimized, which solves the problem of the error α mentioned above, and the number of terminals is minimized. This can be recommended as the most desirable embodiment.
そして、この磁気検知部11 Aa乃至1jBdの上記
BAABBAABの配列の仕方としては、上記した第2
図のもの\外に、下記の7通りがあり、何れの配列も本
発明の目的、作用効果達成上実質的に同一のものである
。The BAABBAAB of the magnetic sensing portions 11 Aa to 1jBd are arranged in accordance with the above-mentioned second method.
In addition to the arrangement shown in the figure, there are the following seven arrangements, and all of them are substantially the same in achieving the purpose, function, and effect of the present invention.
磁気検知部の配列
B4A4A3B2B、A、、A2 B5A48 IB2
A2 A I84 B3 A3Ad Bll B3
A2 AI BI B2 A3B+ At、A2 B3
B4 A4 A3B2B、A4 A3 B3
B4 A、A2 B2AHBI B2 A3 A
a B4 B3 A2A、13.I B3 A3
A、、B、B2 A2即ち、A相とB相の各相の磁気
検知部を、磁気ヘッドの基板上に於て一体に、そして磁
気マークとの相対的な移動方向に交互に配列するに当り
各相の直列接続磁気検知部を交互に配列した例で、この
ことは上記7通りの配列に於て両端の磁気検知部の端子
は、例えば第2図及び第12図に於て端子lidと11
hは端子b2であるが如く明らかである。Arrangement of magnetic detection part B4A4A3B2B, A,, A2 B5A48 IB2
A2 A I84 B3 A3Ad Bll B3
A2 AI BI B2 A3B+ At, A2 B3
B4 A4 A3B2B, A4 A3 B3
B4 A, A2 B2AHBI B2 A3 A
a B4 B3 A2A, 13. I B3 A3
A, B, B2 A2 That is, the magnetic sensing parts of each phase of A phase and B phase are arranged integrally on the substrate of the magnetic head and alternately in the direction of movement relative to the magnetic mark. This is an example in which the series-connected magnetic sensing parts of each phase are arranged alternately.This means that in the above seven arrangements, the terminals of the magnetic sensing parts at both ends are connected to the terminal lid in FIGS. 2 and 12. and 11
It is obvious that h is terminal b2.
第13図は、この第2図及び第12図の磁気ヘッドを、
前述基板上の薄膜回路として構成した一実施例のパター
ン及び配置構成を示す平面図で、外径約35鶴の永久磁
石材から成る磁気コード盤(例えば、特開昭56−29
115号公報参照)の外周縁を2000分割(隣接N極
とS極間の角度θ(間隔λ) =0.18° (#55
μm))に、コード盤の表面に直角に、且つ磁化方向が
交互に逆向きになるように縦着磁して成る上記磁気磁気
コート盤に設計されたものである。図に於て、13はガ
ラスやセラミックス等から成るか合金板上にセラミック
ス等の絶縁被膜を施して成る磁気ヘッド用基板であり、
14は該基板13上に蒸着やスパックリング等の薄膜形
成技術によって形成された磁気抵抗効果用合金、例えば
パーマロイ等の約500人程度の薄膜であり、図示する
パターンは蒸着等の薄膜形成の際のマスキングよるか、
全体に薄膜を形成した後のマスキングによるケミカルエ
ツチングやフォトエツチング等の工具を使用した数値制
御にょるスクライビング描画加工、又は上記工具の代り
にレーザービームやエレクトロンビーム等の粒子線を使
用した数値制御によるパターン描画加工によって形成さ
れるもので、記号は前記第12図に対応して付しである
。薄膜は13A部分で磁気抵抗素子から成る磁気検知部
A、乃至B4が、所定の配列順序で細い線状に並置して
残置形成され−ると共に、その他の残置薄膜部分は、充
分な幅広に形成されリード及び端子部分となっているも
のである。FIG. 13 shows the magnetic head of FIGS. 2 and 12,
This is a plan view showing the pattern and arrangement of one embodiment of the thin film circuit formed on the substrate as described above.
(see Publication No. 115) is divided into 2000 parts (angle θ (distance λ) between adjacent N and S poles = 0.18° (#55
The magnetically coated disc is designed to be vertically magnetized perpendicularly to the surface of the code disc so that the magnetization directions are alternately opposite to each other. In the figure, 13 is a magnetic head substrate made of glass, ceramics, etc., or made of an alloy plate with an insulating coating made of ceramics, etc.;
14 is a thin film of about 500 layers made of a magnetoresistive alloy such as permalloy, which is formed on the substrate 13 by a thin film forming technique such as vapor deposition or spackling. Depending on the masking of
After forming a thin film on the entire surface, chemical etching by masking, scribing drawing processing using numerical control using tools such as photo etching, or numerical control using particle beams such as laser beams and electron beams instead of the above tools. It is formed by pattern drawing processing, and the symbols are given corresponding to those in FIG. 12 above. In the thin film, the magnetic sensing parts A to B4 made of magnetoresistive elements are left in the 13A section, arranged in a thin line in a predetermined arrangement order, and the other remaining thin film parts are formed to have a sufficiently wide width. This is the lead and terminal part.
この第13図は、前記第2図に於ける各端子11a〜1
1h迄をリード線部分に於て交叉のない回路構成とした
ため基板13上の一層の薄膜回路として構成し得たもの
で、この基板13を磁気ヘッドとして前述磁気コード板
に対接させて、相対移動時に磁気マークを検知読み取る
ものである。This FIG. 13 shows each terminal 11a to 1 in FIG.
Since the circuit configuration is such that there is no crossover in the lead wire portion up to 1h, it can be constructed as a single layer thin film circuit on the substrate 13. This substrate 13 is used as a magnetic head and is brought into contact with the above-mentioned magnetic code plate. It detects and reads magnetic marks while moving.
次に、第3図の実施例に就いて説明する。Next, the embodiment shown in FIG. 3 will be explained.
第3図中、12は、A相の磁気検知部12Aa、12A
a’、12八b、 12八b’ 、 12八c112
^c′ 、 12八d、 12Ad’ 、 B相の
磁気検知部12Ba、12Ba” 、12Bb、12B
ビ、12Bc、12Bc’ 、12Bd、 12Bd’
、?a子12a、 12b、12C112d、12e
、12f、12gから成る磁気抵抗体である。In FIG. 3, 12 is an A-phase magnetic sensing portion 12Aa, 12A.
a', 128b, 128b', 128c112
^c', 128d, 12Ad', B phase magnetic detection section 12Ba, 12Ba", 12Bb, 12B
B, 12Bc, 12Bc', 12Bd, 12Bd'
,? a child 12a, 12b, 12C112d, 12e
, 12f, and 12g.
この2相ホイートストンブリツジでは、各辺が互いに直
列に接続された、従って互いに同相の二つの磁気検知部
から成っている。12Aa、12Aa’ ;12八b、
12八b’;12Ac、 +2Ac’ ; 12
Ad、 12Ad’ はそれぞれ直列に接続されると
共に、同相(位相差零)のA相ホイートストンブリッジ
の第1辺、第2辺、第3辺及び第4辺を形成する人相の
磁気検知部であり、12 Ba、 12 Ba’ ;
’ 12 Bb、12Bb’ ;12Bc、12Bc
’ ;12Bd、12 Bd’はそれぞれ直列に接続
されると共に同相のB相ホイートストンブリッジの第1
辺、第2辺、第3辺及び第4辺を形成するB相の磁気検
知部である。In this two-phase Wheatstone bridge, each side consists of two magnetic sensing sections connected in series with each other and therefore in phase with each other. 12Aa, 12Aa'; 128b,
128b'; 12Ac, +2Ac'; 12
Ad and 12Ad' are connected in series and form the first side, second side, third side, and fourth side of the A-phase Wheatstone bridge in the same phase (zero phase difference). Yes, 12 Ba, 12 Ba';
'12 Bb, 12Bb'; 12Bc, 12Bc
'; 12Bd and 12Bd' are connected in series and are the first of the B-phase Wheatstone bridges in the same phase.
This is a B-phase magnetic sensing portion forming a side, a second side, a third side, and a fourth side.
而して、磁気ヘッド12は、磁気検知部を図示のもので
ば12Ba、 12八a、 12Aa’ 、12Ba’
、12Bb、 12八b112Δb’ 、 12B
b’ 、 12Bc、 12^c、 12Ac’
、 12Bc’ 。Thus, the magnetic head 12 has magnetic sensing portions as shown in the figure: 12Ba, 128a, 12Aa', 12Ba'.
, 12Bb, 128b112Δb', 12B
b', 12Bc, 12^c, 12Ac'
, 12Bc'.
12Bd、12Ad、12^dl、1213dlの順に
排列し、その中心線間隔をそれぞれ下記に示す距離にし
であるが、前述第2図の場合と同様位相関係を変えなけ
れば、各間隔に任意のnλをプラスし得るものであるが
、本発明の目的をより良く達するには上記nの値はあま
り大きくないと言うより小さい方が良い。12Bd, 12Ad, 12^dl, and 1213dl are arranged in this order, and their center line intervals are set to the distances shown below, but as in the case of Fig. 2, if the phase relationship is not changed, each interval can be set to any nλ However, in order to better achieve the purpose of the present invention, it is better that the value of n be smaller than not so large.
磁気検知部 間隔
12[1a〜12Aa Xλ
12Aa〜12八a′ λ12Aa’
〜12Ba”Aλ
12Ba’ 〜12Bb ’Aλ
12Bb〜12八b”A λ
12Ab〜12Ab’ λ
12Ab’〜12Bb”iiλ
12Bb′〜12Bczλ
12Bc〜12八C% λ
12八c〜12Δc/ λ12八c’
〜 12Bc”A λ12Bc’ 〜12Bd
’Aλ
12Bd〜12Ad %λ
12八d〜12Ad’ λ12八d′
〜12Bd”A λ
即ち本実施例に於ては、磁気検知部12^aと12Aa
’ ;12Abと12八ビ ;12Acと12Ac’
; 12八dと12^d’ 、12Baと12Ba’
; 1213bと12Bb’ ; 12Bcと1
2Bc’ ; 12Bdと12 Bd’を、前述第7
図で説明した事由により上述の如くそれぞれ直列に接続
すると共に、A相の一辺とB相の一辺とを交互に配置し
、更に磁気検知部12Ba及び12 Aaの一端を共に
端子12aに通じ、磁気検知部!2Aa’及び12Ab
の一端を共に端子12eに通し、磁気検知部12^b’
< 12Bb’ 、12Bc及び12Acの一端を共
に端子12cに通じ、磁気検知部12Ac’及び12
Adの一端を共に端子12gに通じ、磁気検知部12A
d及び12Bdの一端を共に端子12bに通じ、磁気検
知部12 Ba’及び12 Bbの一端を共に端子12
fに通じ、磁気検知部12 Bc’及び12 Bdの一
方を共に端子12d(h)に通じ、前記第8図に示した
電気回路6と同様の電路を形成しているものである。尚
、各端子のサフィックスのフルファベソト及び信号出力
端子a 1、a 2 、b 1 、b 4の記載は前述
第2図及び第12.13図に合せである。Magnetic detection section Interval 12[1a~12Aa Xλ 12Aa~128a'λ12Aa'
~12Ba"Aλ12Ba' ~12Bb 'Aλ 12Bb~128b"A λ 12Ab~12Ab' λ 12Ab'~12Bb"iiλ 12Bb'~12Bczλ 12Bc~128C% λ 128c~12Δc/ λ128c'
~12Bc"A λ12Bc' ~12Bd
'Aλ 12Bd~12Ad %λ 128d~12Ad'λ128d'
~12Bd”A λ In other words, in this embodiment, the magnetic sensing portions 12^a and 12Aa
';12Ab and 128bi ;12Ac and 12Ac'
; 128d and 12^d', 12Ba and 12Ba'
; 1213b and 12Bb'; 12Bc and 1
2Bc'; 12Bd and 12Bd' as described in the seventh
Due to the reasons explained in the figure, they are connected in series as described above, one side of the A phase and one side of the B phase are arranged alternately, and one ends of the magnetic detection parts 12Ba and 12Aa are both connected to the terminal 12a, and the magnetic Detection part! 2Aa' and 12Ab
Both ends are passed through the terminal 12e, and the magnetic detection part 12^b'
<12Bb', 12Bc and 12Ac are connected to the terminal 12c, and the magnetic detection parts 12Ac' and 12
Both ends of Ad are connected to the terminal 12g, and the magnetic detection section 12A is connected to the terminal 12g.
d and 12Bd are both connected to the terminal 12b.
f, and one of the magnetic sensing portions 12 Bc' and 12 Bd are both connected to the terminal 12d (h), forming an electric path similar to the electric circuit 6 shown in FIG. 8 above. Incidentally, the full name suffix of each terminal and the description of the signal output terminals a 1 , a 2 , b 1 , and b 4 are in accordance with the above-mentioned FIG. 2 and FIG. 12.13.
この構成では、それぞれA、B相ホイートストンブリッ
ジ回路を構成する磁気検知部を交互に配置しであるので
誤差αを生じるという前述の問題点を解決しているもの
であり、且つ第6図に示した磁気抵抗体4と同様の効果
を得ることができるものである。This configuration solves the above-mentioned problem of causing an error α because the magnetic detection units constituting the A and B phase Wheatstone bridge circuits are arranged alternately, and is shown in FIG. The same effect as the magnetoresistive element 4 can be obtained.
次に、第3図に示す磁気ヘッド12の作用に就いて説明
する。Next, the operation of the magnetic head 12 shown in FIG. 3 will be explained.
磁気ヘッド12は、図に示した位置では、A相のホイー
トストンブリッジでは第1辺の磁気検知部12Aa、1
2八a/と第3辺の磁気検知部12^c、12^C′が
最大に磁化されて抵抗値が小さい値rとなっており、第
2辺の磁気検知部12Ab、 12Ab’と第4辺の磁
気検知部12^d、12 Ad’とは磁化されておらず
抵抗値が大きな値Rとなっているが、B相のホイートス
トンブリッジでは各辺の検知部は総てその、磁化率が中
位で従ってその抵抗値も中位となっている。In the position shown in the figure, the magnetic head 12 is connected to the magnetic sensing portions 12Aa, 1 on the first side of the A-phase Wheatstone bridge.
28a/ and the magnetic sensing parts 12^c and 12^C' on the third side are maximally magnetized and have a small resistance value r, and the magnetic sensing parts 12Ab and 12Ab' on the second side and the The magnetic sensing parts 12^d and 12 Ad' on the four sides are not magnetized and have a large resistance value R, but in the B-phase Wheatstone bridge, the sensing parts on each side all have their magnetic susceptibility. is medium, and therefore its resistance value is also medium.
そして、磁気へラド12がトランク1に沿って相対的に
移動し、図に示した位置から右方にAλ移動′した位置
(図示せず)に来ると、A相ホイートストンブリッジの
総ての磁気検知部12Aa、12Aa’、12^c、
12八C′及び12^b、 12Ab’ 、12Ad、
12^d′の磁化の程度と抵抗値が中位となり、B相
のホイートストンブリッジでは第1辺の磁気検知部(1
2Ba、12Ba’)と第3辺(12Bc、12Bc’
)が磁化の程度が最低となり抵抗値が大きなRとなり、
第2辺(12Bb、 12Bb’ ”)と第4辺(12
Bd、 12Bd’ )とは、最高に磁化されて抵抗値
が小さい値rとなるものである。Then, when the magnetic helad 12 moves relatively along the trunk 1 and reaches a position (not shown) shifted by Aλ to the right from the position shown in the figure, all the magnetic fields of the A-phase Wheatstone bridge are Detection units 12Aa, 12Aa', 12^c,
128C' and 12^b, 12Ab', 12Ad,
The degree of magnetization and resistance value of 12^d' are medium, and in the B-phase Wheatstone bridge, the magnetic sensing part on the first side (1
2Ba, 12Ba') and the third side (12Bc, 12Bc'
) has the lowest degree of magnetization and the resistance value is large R,
The second side (12Bb, 12Bb' ”) and the fourth side (12
Bd, 12Bd') is the one that is maximally magnetized and has a small resistance value r.
従って、この回路によっても磁気ヘッド12が更に移動
を続けると前記と同様なAB二相の信号が得られる。Therefore, with this circuit as well, when the magnetic head 12 continues to move further, AB two-phase signals similar to those described above can be obtained.
第14図は、前述第12図と同様に、第3図の磁気検知
部12Aa乃至12八d′及び12Ba乃至12Bd’
を抵抗A1、Al1、A2、A2′、A3、A3′、A
4、A4′、及びBl、B11、B2、B11、B3、
B3 ’ 、B4 、Bd’に対応させてホイートスト
ンブリッジ回路として示したもの、又第15図は前述第
13図と同様に前記第3図の磁気ヘッド回路を基板上に
薄膜回路として構成した一実際例のパターン及び配置構
成を示す平面図である。FIG. 14 shows magnetic sensing sections 12Aa to 128d' and 12Ba to 12Bd' in FIG. 3, similar to FIG. 12 described above.
The resistors A1, Al1, A2, A2', A3, A3', A
4, A4', and Bl, B11, B2, B11, B3,
B3', B4, and Bd' are shown as Wheatstone bridge circuits, and FIG. 15 shows an actual magnetic head circuit in which the magnetic head circuit of FIG. 3 is formed as a thin film circuit on a substrate, similar to FIG. FIG. 3 is a plan view showing an example pattern and arrangement configuration.
第】4図は、−見して第3図との対応関係が明瞭である
から説明を省略し第15図につき説明する。FIG. 4 has a clear correspondence with FIG. 3, so the explanation will be omitted and only FIG. 15 will be explained.
この第15図の磁気マークトラックの検出用ヘッドは、
前述第13図と同様に基板15上に薄膜の磁気ヘッド検
出部及び回路パターン16として形成されたものである
が、磁気コード盤の外周縁を500分、割(角度θ(間
隔λ) =0.72.’ (#200 、um) )
に縦着磁した磁気コード盤に対応設計されたものである
。The magnetic mark track detection head shown in FIG. 15 is as follows:
A thin film magnetic head detection section and a circuit pattern 16 are formed on a substrate 15 in the same manner as in FIG. .72.'(#200, um))
It is designed to be compatible with vertically magnetized magnetic code boards.
この図示実施例の場合は、一方の相のブリッジ回路に於
ける各1辺の(直列接続)抵抗、例えばA1とAl1を
、他相のブリッジ回路に於ける各1辺中の2つの抵抗、
例えばB、c!:B/とが挾んだ形で、両相の磁気検知
部が交互に配列された構成となっていれば良く、磁気検
知部の配列組合せが多数あることは、前述第2図及び第
13図の説明から既に明らかである。In the illustrated embodiment, the (series connected) resistors on each side of the bridge circuit of one phase, e.g. A1 and Al1, are replaced by the two resistors on each side of the bridge circuit of the other phase.
For example, B, c! It is sufficient that the magnetic sensing parts of both phases are arranged alternately in the shape of ``:B/'' sandwiched between them. This is already clear from the description of the figures.
又、この第3図の等価回路である第14図のブリッジ回
路に於ける各辺の抵抗、例えばAIとA 、 /を1個
の抵抗(磁気検知部)と看做して、第2図及び第13図
で説明した7通りの配列として構成することも可能であ
る。Also, assuming that the resistances on each side of the bridge circuit of FIG. 14, which is the equivalent circuit of FIG. It is also possible to configure the structure as the seven types of arrangement explained in FIG.
第16図は、他の薄膜回路パターンの実施例説明図で、
前記第13図のものが第2図の磁気検知部配列の具体例
として各個々の磁気検知部、例えば118aが、1個の
薄膜の線状抵抗Blとして形成されていたのに対し、該
各抵抗、例えばA4が、単位抵抗へ和、A4.、A42
、−”’A4’lを10個直列接続した(上記電位抵抗
は全て同相)薄膜回路パターンの抵抗A4から構成した
例として示したものである。FIG. 16 is an explanatory diagram of another example of a thin film circuit pattern,
In the case of FIG. 13, which is a specific example of the magnetic sensing section arrangement shown in FIG. 2, each individual magnetic sensing section, for example 118a, is formed as one thin film linear resistor Bl, A resistance, for example A4, sums to a unit resistance, A4. ,A42
, -'''A4'l are connected in series (the above potential resistances are all in phase) as an example of a thin film circuit pattern resistor A4.
尚、この実施例は前述第13図の場合と同様磁気コード
盤が2000分割の場合に対応する設計実施例であり、
磁気検知部(抵抗)の配列は、第13図のBa’A I
A2 B2 B IA4 、A3 B3に対して、前述
表中に記載しなかったB IA+ A2 B2 A3
B3B4の場合であって、この配列は、一方の相のブリ
ッジ回路に於ける2辺の直列抵抗A’lA2を、他方の
相の2辺の直列抵抗B1とB2間に挾むと共に他方に於
て、前記他方の相の残りの2辺の直列抵抗83B4を一
方の相の2辺の直列抵抗A3とA4間に挾み、2等両者
を並置させて各相の磁気検知部を交互に、換言すれば、
混合配列して本発明の目的とする磁気へ・ノドに構成し
たものである。尚、個々の磁気検知部A、1等について
の詳細゛については、例えば特願昭59−49301号
の第13〜15図及びその説明等を参照することができ
る。Incidentally, this embodiment is a design embodiment corresponding to the case where the magnetic cord board is divided into 2000 parts, as in the case of FIG. 13 described above.
The arrangement of the magnetic detection part (resistance) is Ba'A I in Fig. 13.
A2 B2 B IA4, A3 B3, B IA+ A2 B2 A3 not listed in the above table
In the case of B3B4, this arrangement is such that the series resistor A'lA2 on two sides of the bridge circuit of one phase is sandwiched between the series resistors B1 and B2 on the two sides of the other phase, and Then, the series resistors 83B4 on the remaining two sides of the other phase are sandwiched between the series resistors A3 and A4 on the two sides of one phase, and the two are placed side by side, and the magnetic sensing portions of each phase are alternately connected. In other words,
They are arranged in a mixed arrangement to form the magnetism which is the object of the present invention. For details of the individual magnetic sensing sections A, 1, etc., reference may be made to, for example, FIGS. 13 to 15 of Japanese Patent Application No. 59-49301 and their explanations.
尚、本発明の実施に於て、各相の4個の磁気検知部が直
接1個のホイートストンブリッジ回路を構成する必要は
な(、例えば特開昭58−35414号公報や同59−
11862号公報記載の如く、例えば第14図の抵抗A
IとA2に対し、2個の標準抵抗A。を直列接続した回
路とにより11固のホイートストンブリッジ回路を構成
し、同様に抵抗A3とA4と、標準抵抗とにより構成し
たホイートストンブリッジ回路とを組合せて、出力をコ
ンパレータ等により引き出すように構成した(B相は同
様に2個のホイートストンブリッジ回路としても良いが
、第14図そのま\でも良い。)場合の各磁気検知部の
配列の場合にも本発明は適用できるものである。In carrying out the present invention, it is not necessary for the four magnetic detection sections of each phase to directly constitute one Wheatstone bridge circuit (for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 58-35414 and No. 59-1999).
As described in Japanese Patent No. 11862, for example, resistor A in FIG.
Two standard resistors A for I and A2. An 11-piece Wheatstone bridge circuit was constructed by connecting the circuits connected in series, and a Wheatstone bridge circuit constructed by resistors A3 and A4 and a standard resistor was similarly combined, and the output was drawn out by a comparator etc. ( The B-phase may be configured with two Wheatstone bridge circuits, but the present invention can also be applied to the arrangement of the magnetic detection sections as shown in FIG. 14.
本発明は叙上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、磁気ヘッドの磁気検知部に於ける磁気抵抗素子の検
出信号の位相の揺らぎや方形波出力のα分の余分な位相
差によるコード誤解を生しることのない高精度の新規な
磁気式ロークリエンコーダの磁気へノドを提供し得るも
のである。Since the present invention is constructed as described above, when the present invention is used, it is possible to prevent the occurrence of the fluctuation in the phase of the detection signal of the magnetoresistive element in the magnetic detection section of the magnetic head or the extra phase difference of α of the square wave output. It is possible to provide a magnetic node of a novel magnetic type rotary encoder with high precision that does not cause code misunderstandings.
、向、本発明の構成は叙上の実施例に限定されるもので
はなく、各構成要素の形状、寸法等は本発明の目的の範
囲内で自由に設計変更できるものであり、本発明はそれ
らの総てを包摂するものである。However, the configuration of the present invention is not limited to the embodiments described above, and the shape, dimensions, etc. of each component can be freely changed within the scope of the purpose of the present invention. It encompasses all of them.
第1図は、本発明にかかる磁気式ロークリエンコーダの
磁気ヘット−の一実施例に於ける磁気検知部の配置とそ
の相互の回路構成を示す説明図、第2図又は第3図は、
第1図とは別異の磁気検知部の配置とその相互の回路構
成を示す説明図、第4図は、第5図に示したホイートス
トンブリッジ回路を構成する公知の磁気ヘッドの具体的
形状を示す説明図、
第5図は、第4図、第6図及び第7図に示した従来のホ
イートストンブリッジ型磁気ヘッドの回路構成を示す電
気回路図、
第6図及び第7図は、第5図に示したホイートストンブ
リッジ回路を構成する第4図とは別異の従来の磁気ヘッ
ドの具体的形状を示す説明図、第8図は、第5図に示し
た回路を2組複合し、コード盤の回転方向を検出し得る
よう構成した従来公知の2相出カポイートストンブリツ
ジ型磁気ヘツドの構成を示す電気回路図、
第9図は、第8図に示した回路の出力波形図、第10図
は、磁気コード盤の磁気マークと磁気ヘッドのAB相の
磁気検知部の位置関係を示す平面図、
第11図は、第10図に示した磁気ヘッドの出力波形図
、
第12図は、第2図の抵抗及び端子回路図、第13図は
、第2図の磁気検知部の担列をパターン化して薄膜回路
に構成した実施例平面図、第14図は、第3図の抵抗及
び端子回路図、第15図は、第3図の配列をパターン化
して薄膜回路に構成した実施例平面図、
第16図は、他の配列及びパターンの実施例平面図であ
る。
1−−−−−−−〜−−−−− )ランク1a、1b−
−ニー磁気マーク
2−−−−−−−−−−−磁気ヘット
2a〜2 d −−−−−−−−−−一磁気検知部2e
〜2 h −−−−−−〜−−−−一端子3・−一−−
−・−−−−一一−−−−−・・・・・電気回路3a〜
3d−、−−−−−−−一抵抗
3e〜3h−・−−−−−−−−m一端子4・−−−一
−−−−−−−−−−−−・−・−=磁気ヘッド4a〜
4 d −−−−−−−−−−−・磁気検知部4e〜4
h−・・−−一一一−−一端子部41〜4 k −−−
−−−−−−リード部5−−−−−−−−−−− =−
−−−磁気ヘッド5a〜5d、5 a ’ 〜5 d
’ −−−−一磁気検知部5e〜5 h −−−−−−
−−−一端子6−−−−−・−−−−−−−−一−−−
−−電気回路6 Aa〜6 Ad−−−−−−−−−A
相の抵抗6 Ba〜6 Bd−−−、−−−−−−−B
相の抵抗6八e、6 Af、 6 Be5B Bf、
6 g、 6 h −−−−一端子7−・−−−−−−
−−一−−−−−−−−−−−−磁気コード盤7 a
−−−−−−−−’−−−−−−−−一中心孔7 b
−−−−−−−−−−−−−−−−−一磁気コード面7
c −−−−−−−−−T’ −−−−−磁気マーク
8・−−−−−−−一・−−−−−−−−一−・−径路
9.9′・−−−−−・−−−−−−−一磁気ヘッド9
a、9a’−−−一・−A相の検知部9b、9 b /
−−−−−−−13相の検知部10−−−−−−−−−
−−−−−−−−、−一磁気ヘノド10Aa −10A
d−−一−−−−−A相の磁気検知部10Ba〜10B
d−−−一−−−−−B相の磁気検知部10a 〜IO
h、 IOa’ 〜10h’ −−−−一端子11−−
−−−−一〜−−−−−−−−−−−−−−−磁気ヘッ
トII Aa〜II Ad−−−−−−−−A相の磁気
検知部II Ba−11Bd−−−−−−−B相の磁気
検知部11a 〜Ilh −−−−−−−一端子12−
−−−−−−−−−−−、−−一磁気ヘノド12Aa〜
l2Ad、 +211a’ 〜12八d/ −−
−、、、、−、−−−、−、−、−−−−、。
−−−−−・−A相の磁気検知部
12 Ba−1211d、 +2 Ba’ 〜12 B
d’ −−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−B
相の磁気検知部FIG. 1 is an explanatory diagram showing the arrangement of magnetic detection sections and their mutual circuit configurations in an embodiment of the magnetic head of the magnetic type low-return encoder according to the present invention, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the arrangement of the magnetic detection sections and their mutual circuit configurations, which is different from FIG. 1, and FIG. FIG. 5 is an electric circuit diagram showing the circuit configuration of the conventional Wheatstone bridge type magnetic head shown in FIGS. 4, 6, and 7. FIG. 6 and FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram showing the specific shape of a conventional magnetic head, which is different from that shown in FIG. 4, which constitutes the Wheatstone bridge circuit shown in the figure. An electric circuit diagram showing the configuration of a conventionally known two-phase output couplet bridge type magnetic head configured to detect the direction of rotation of the disc. FIG. 9 is an output waveform diagram of the circuit shown in FIG. 8. Fig. 10 is a plan view showing the positional relationship between the magnetic mark on the magnetic code board and the AB phase magnetic detection part of the magnetic head, Fig. 11 is an output waveform diagram of the magnetic head shown in Fig. 10, Fig. 12 is a resistor and terminal circuit diagram in FIG. 2, FIG. 13 is a plan view of an example in which the array of magnetic sensing portions in FIG. 2 is patterned into a thin film circuit, and FIG. 15 is a plan view of an embodiment in which the arrangement of FIG. 3 is patterned into a thin film circuit, and FIG. 16 is a plan view of an embodiment of another arrangement and pattern. 1---------------) Rank 1a, 1b-
- Knee magnetic mark 2 ---------- Magnetic heads 2a to 2 d ------- One magnetic detection section 2e
〜2 h −−−−−−−−−−−One terminal 3・−1−−
−・−−−−11−−−−−・・Electric circuit 3a~
3d-, ----------One resistor 3e to 3h--------------m One terminal 4-----One-------------- =Magnetic head 4a~
4 d ----------- Magnetic detection section 4e~4
h-...--111--1 terminal section 41 to 4 k---
−−−−−−Lead part 5−−−−−−−−−−−−
---Magnetic heads 5a to 5d, 5a' to 5d
' -----1 magnetic detection section 5e to 5h -------
−−−One terminal 6−−−−−・−−−−−−−−1−−−
--Electric circuit 6 Aa~6 Ad---A
Phase resistance 6 Ba~6 Bd---,---B
Phase resistance 68e, 6 Af, 6 Be5B Bf,
6 g, 6 h ------One terminal 7-・-------
---1---------Magnetic code board 7 a
−−−−−−−−'−−−−−−−−One central hole 7 b
−−−−−−−−−−−−−−−−−−1 magnetic code surface 7
c --------------T' ---Magnetic mark 8・---------1・---------1-・-Route 9.9'・-- ---・----------1 magnetic head 9
a, 9a' ---1/-A phase detection section 9b, 9 b /
-----------13 phase detection section 10---------
----------, -1 magnetic henodic 10Aa -10A
d--1---A-phase magnetic detection section 10Ba to 10B
d---1---B-phase magnetic detection unit 10a ~IO
h, IOa' ~ 10h' ----- One terminal 11 --
------1 ~---------------Magnetic head II Aa~II Ad----A phase magnetic detection section II Ba-11Bd---- ---B phase magnetic detection section 11a ~ Ilh ------One terminal 12-
------------, ---One magnetic henodon 12Aa~
l2Ad, +211a' ~ 128d/ --
−,,,,−,−−−,−,−,−−−−,. -------・-A phase magnetic detection section 12 Ba-1211d, +2 Ba' ~ 12 B
d' −−−−−−−−−−−−−−−−−−B
Phase magnetic detection part
Claims (2)
の間隔(隣接するN極とS極との間隔)Xの1/2^n
の位相差を有するホイートストンブリッジ回路を、前記
磁気マーク間隔λの1/2^n^+^1の位相差をもっ
て二相並列に設け、両ブリッジ回路の出力電圧を比較し
て磁気コード盤の磁気マークを読み取り、角度及び回転
方向の検出をする磁気ヘッドに於て、一方の相のホイー
トストンブリッジ回路の四個の磁気検知部A_1、A_
2、A_3、A_4と、これと対応する他方の相のホイ
ートストンブリッジ回路の四個の磁気検知部B_1、B
_2、B_3、B_4とを、磁気ヘッドの基板上に一体
に、そして磁気マークとの相対的移動方向に、順次にA
、B、A、B、A、B、A、Bの如く両方の相の磁気検
知部を交互に配列して成る上記磁気ヘッド。(1) 1/2^n of the distance between the magnetic marks to be read (distance between adjacent N and S poles) between adjacent magnetic detection parts
Wheatstone bridge circuits having a phase difference of In the magnetic head that reads marks and detects angles and rotational directions, four magnetic detection units A_1, A_ of one phase Wheatstone bridge circuit are used.
2, A_3, A_4 and the corresponding four magnetic sensing parts B_1, B of the Wheatstone bridge circuit of the other phase.
_2, B_3, and B_4 are integrally placed on the substrate of the magnetic head, and sequentially in the direction of relative movement with the magnetic mark.
, B, A, B, A, B, A, B.
λの1/2^nの位相差を有するホイートストンブリッ
ジ回路を、前記磁気マーク間隔λの1/2^n^+^1
の位相差をもって二相並列に設け、両ブリッジ回路の出
力電圧を比較して磁気コード盤の磁気マークを読み取り
、角度及び回転方向の検出をする磁気ヘッドに於て、 一方の相のホイートストンブリッジ回路の四個の磁気検
知部A_1、A_2、A_3、A_4と、他方の相のホ
イートストンブリッジ回路の四個の磁気検知部B_1、
B_2、B_3、B_4とを、磁気ヘッドの基板上に一
体に、そして磁気マークとの相対移動方向に順次に、B
、A、A、B、B、A、A、Bの如く、一方の相のホイ
ートストンブリッジ回路に於て直列に接続された対の磁
気検知部間に他方の相の1個又は一対の磁気検知部を介
設させて配列して成る上記磁気ヘッド。(2) A Wheatstone bridge circuit having a phase difference of 1/2^n of the magnetic mark interval λ to be read between adjacent magnetic sensing parts is connected to a Wheatstone bridge circuit having a phase difference of 1/2^n^+^1 of the magnetic mark interval λ to be read.
The Wheatstone bridge circuit of one phase is installed in two phases in parallel with a phase difference of four magnetic sensing units A_1, A_2, A_3, A_4, and four magnetic sensing units B_1 of the Wheatstone bridge circuit of the other phase.
B_2, B_3, and B_4 are integrally placed on the substrate of the magnetic head, and sequentially in the direction of relative movement with the magnetic mark.
, A, A, B, B, A, A, B, in a Wheatstone bridge circuit of one phase, between a pair of magnetic sensing parts connected in series, one or a pair of magnetic sensing parts of the other phase are connected. The above-mentioned magnetic head is arranged with interposed parts.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12067584A JPS61711A (en) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12067584A JPS61711A (en) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | Magnetic head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61711A true JPS61711A (en) | 1986-01-06 |
JPH0511242B2 JPH0511242B2 (en) | 1993-02-15 |
Family
ID=14792152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12067584A Granted JPS61711A (en) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | Magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61711A (en) |
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