JPS6170779A - 光送信装置 - Google Patents

光送信装置

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JPS6170779A
JPS6170779A JP19207184A JP19207184A JPS6170779A JP S6170779 A JPS6170779 A JP S6170779A JP 19207184 A JP19207184 A JP 19207184A JP 19207184 A JP19207184 A JP 19207184A JP S6170779 A JPS6170779 A JP S6170779A
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JP
Japan
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modulation
laser
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Pending
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JP19207184A
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English (en)
Inventor
Masayuki Yamaguchi
山口 昌幸
Katsumi Emura
克己 江村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Publication of JPS6170779A publication Critical patent/JPS6170779A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/026Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
    • H01S5/0265Intensity modulators
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/06Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
    • H01S5/062Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes
    • H01S5/0625Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying the potential of the electrodes in multi-section lasers
    • H01S5/06255Controlling the frequency of the radiation
    • H01S5/06258Controlling the frequency of the radiation with DFB-structure

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈発明の技術分野〉 本発明は高速変調時にも狭いスペクトル線幅で動作する
光送信装置に関する。
〈従来技術とその問題点〉 近年、光フアイバ通信は100−以上の長距離を、ある
いは2 Gb/s以上の大容量で伝送する時代を迎えた
。ところで、光ファイバには波長の違いによって伝送速
度が異なる性質、つまり波長分散があるため、このよう
な長距離大容量の伝送を行う場合、光源に従来の複数本
の軸モードで発振するファブリペロ−型の半導体レーザ
を用い九のでは、伝送後の信号波形のパルス幅が拡がル
、符号量干渉を引き起こすという問題があつ念。そこで
、このような伝送後の波形劣化をなくすために、光源と
して一本の軸モードで発振する半導体レーザが要求され
るようになり、現在その1つとして素子内部九回折格子
を有し、その波長蓮択性を利用して単一軸モードで発振
する分布帰還型半導体レーザ(以下DFBレーザと称す
る)が開発されている。DFBレーザは高速変調時にお
いても単一軸モードで発振する九め、長距離大容量の伝
送用光源として有望であるが、最近、とのDFBレーザ
を直接変調し九時においても、単一軸モードではあるが
、変調時における活性層内キャリア密度変化に伴う屈折
率変化により、スペクトル線幅”lI” 拡tl”) 
、100 jcm、2 Gb/s  といった長距離・
大容量の伝送においては、伝送後の信号波形の劣化を引
き起こし、伝送可能距離を制限することが明らかKなっ
てきた(1984年春第3l回応用物理学関係連合講演
会講演予稿集、193頁、第19−M−8番で山中氏ら
が「高速変調時忙おけるDFBレーザの時間分解スペク
トル測定」と題して報告)。このように、今後更に長距
離大容量化していく光フアイバ通信にとり”t、DPB
レーザを直接変調した時のスペクトル線幅の拡がりが大
きな問題と麿っている。
〈発明の目的〉 本発明の目的は、高速変調時においても狭いスペクトル
線幅で動作する光送信装置を提供することKある。
〈発明の構成〉 本発明による光送信装置はレーザ領域と変調領域とを少
なくとも備えている集積型半導体レーザ素子と、前記レ
ーザ領域に一定の駆動電流を注入する電気回路と、前記
変調領域に直流の制御電流と変調電流を重畳して注入す
る電気回路とを少なくとも備え、さらに、前記レーザ領
域は活性層とこの活性層近傍に設けられた回折格子とを
少なくとも備え、前記変調領域は前記活性層に光学的に
結合している光導波路層を少なくとも備え、前記制御電
流及び変調電流の電流値は、変調電流のon時とoff
時の発振波長が同じに彦るよう定めている構成となって
いる。
(発明の原理) DFBレーザを直接変調した時の発振スペクトル線幅が
拡がる要因は大きく分けて2つある。ひとつは、発振閾
値以上にバイアス電流を設定して変調を行った場合、変
調信号電流に比例して活性層内部のキャリア密度がわず
かく変動し、それに応じて活性層とこれを狭むクラッド
層とで構成される光導波路の等側屈折率も変動するため
、変調信号のon、offに対応する発振波長がわずか
に異ることである。この場合の発振スペクトルは、長い
時間で見れば、on10ffK対応し九2つの−一りを
持つスペクトルとカリ、実効的に線幅の拡がり念ものと
々る。また、もうひとつの要因は、急激カ変調パルスの
立上り時K、活性層内部のキャリア密度も急激に上昇す
るため、キャリア密度の緩和振動が生じ、それに応じて
発振波長も揺らぐことである。この場合は、発振スペク
トルの特に裾部分が拡がることになる。実際には、DF
Bレーザを直接変調し九時のスペクトル線幅の拡がりは
、上述の2つの効果が重ったものである。
従って、本発明では発振スペクトル線幅を拡げることな
(DFBレーザを変調するために1変調信号のon、o
ff時の発振波長を一致させることと、緩和1動が生じ
ないように、レーザ部活性層に注入する電流を一定にす
るよう構成した。す力わち、レーザ領域と変調領域とが
分離した構造の集積゛型半導体レーザ素子を用いて、レ
ーザ部活性層へ注入する電流は一定とし、またレーザ部
とは別に設は念変調領域においてon、off時の発振
波長が一致するような変調を行うものであるう (実施例) 以下に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する
う 第1図は本発明の実施例である光送信装置の構成図を示
し念ものであす、集積型半導体レーザ素子と周辺電気回
路から壜っている。集積型半導体レーザ素子の構造は、
n−InP基板1の上に波長組成1.3μ寓のInGa
AsP活性層2、波長組成1.2μ馬のn−InGaA
sP光ガイド層3をエピタキシャル成長させた後、光ガ
イド層30表面のレーザ領域13と々る部分にのみ部分
的に周期約2000Xの回p−InPクラッド層4、p
”−TnGaAsPキャ7プ層5をエピタキシャル成長
させた後、レーザ領域13及び、変調領域14のキャッ
プ層5上にそれぞれ駆動電極6、変調電極7を、InP
基板1の下にはn側電極8を形成し1.駆動電極6と変
調電極7の間には、両電極間の電気的アイソレージ1ン
をよくするため忙、キャップ層5より深い溝9を形成し
九構造となっている。ま次、周辺回路は、前述のレーザ
領域13に駆動電流工dt−注入する念めの駆動用電気
回路11と、変調領域14に制御電流It及び変調信号
電流’mを注入するための変調用電気回路12からなっ
ている。
この集積型半導体レーザ素子のレーザ領域13は、回折
格子100波長選択性を利用して単一軸モードで発振す
るDFBレーザとなっている。変調領域14に変調電流
1frlを注入し、変調領域14側の位相が変化すると
、2本のDFBモード(±TB0゜モード)間での毫−
ドジャンプ等が生じ易くなる。これを防ぐために1変調
領域14側の端面にはaiNを用いて反射率3%程度の
無反射コーテイング膜15を形成した。また、この無反
射コーティング膜15f:形成することにより、変調領
域14側端面からの光をり出し効率が高く々つている。
集積型半導体レーザ素子のレーザ領域13に駆動電流I
dfr−注入すると波長1.3μm付近で単一軸モード
で発振した。また、変調領域14側に制御電流Itを注
入すると、変調領域14の損失が低下するため、変調領
域14側端面からの光出力は増大した。従って、レーザ
領域13に注入する駆動電流Idが一定の状態であって
も、変調領域14に制御電流工、に重畳して変調電流’
mを注入することにより変調領域14側端面からの光出
力は振幅変調され、被変調光16が得られた。
また、一定駆動電流Idをレーザ領域13に注入した状
態での発振波長の制御電流It依存性t−調べ九ところ
、第2図のよう彦結果が得られた。第2図は横軸に制御
電流工い縦軸に発振波長を示したグラフである。制御電
流工、を注入すると、最初発振波長が長波長側ヘシフト
する領域Iと、その後暫短波長側ヘシフトする領域■が
得られた。領域■では、制御電流工、の注入により、変
調領域14の損失が減少する几め、変調領域14側を見
た実効的危反射率が高くカリ、その結果、レーザ領域1
3側において、発振しきい値電流密度が減少し、等偏屈
折率が高くかることによる発振波長の長波長側へのシフ
トの効果が強く効いたものと思われる。
また、領域■においては、制御電流工、の注入により、
変調領域14の等偏屈折率が低下するため、変調領域1
4側の実効的々端面位相が負の方向に変化し、それKよ
る発振波長の短波長側へのシフトの効果が強く効いたも
のと思われる。この集積型半導体レーザ素子において、
第2図の領域Iど領域■の中間の点A付近を中心にして
、変調領域14にパルス信号の変調電流’mを注入すれ
ば、例えば図中B、Cの点で示されるように、on、o
ff時での波長が一致する状態が得られ、この時、発振
スペクトル線幅がほとんど拡がることのないパルス振幅
変調が可能となる。このように、本発明による光送信装
置においては、DFBレーザ領域13と変調領域14と
からなる集積型半導体レーザ素子を用いて、レーザ領域
13に一定駆動電流Idを注入すること忙よりレーザ発
振させ、変調領域14側に注入する制御電流工、の増加
に対して、発振波長が長波長側圧シフト・する領域Iと
短波長側にシフトする領域■の間の点A付近を中心にし
て、変調信号電流imを変調領域14に、加えることに
よって、発振スペクトル線@がほとんど拡がることな(
、oス変調を行えると論う特徴がある。(この場合黒人
を中心に波長の増減は対称になっているのでA点を中心
になるよう選んだが非対称であれば、変調電流のon1
0ff時に波長が同じに々るよう制御電流、変調電流を
選べばよい。) 実際に本発明による波長1.3μmの光送信装置を試作
したところ、450 Pilblt/s の高速変調時
にも約500Mflzという狭いスペクトル線幅で動作
し友。このスペクトル線幅は従来のDFBレーザを同じ
450Mbit/sで直接変調し友時の約1であり、大
幅な狭スペクトル線幅化が実現された。
尚、本発明の実施例においては、変調領域14側端面に
反射率3チの無反射コーテイング膜15全形成したが、
これi12つのDPBモード(±TEnaモード)間で
のモードジャンプが生じ々いために施したものであり、
モードジャンプが生じ力い範囲で変調を行うのであれば
、必ずしもこの無反射コーティング15を施す必要Fi
々く、ま念端面反射率も限定されない。本実施例に訃い
ては、集積型半導体レーザ素子として、制御電流工、の
増加に対し最初発振波長が長波長側にシフトする領域■
、次いで短波長側にシフトする領域■を有する素子を用
い念が、逆に制御電流!、の注入に対し、最初に領域■
が、次いで領域Iが現われるような集積型半導体レーザ
素子を用いてもよい。本実施例では、発振波長1.3μ
隅帯の光送信装置の例を示したが、発振波長はこれに限
定されず、例えば1.55μ簿でもよく、その場合には
、−例として集積型半導体レーザ素子の活性層20波長
組成を1.55μ罵、光ガイド層30波長組成を1.3
μ風、回折格子100周期を約2400Xとすればよい
。ま念、本実施例における集積型半導体レーザ素子では
、光ガイド層3f:活性層2の上に設けたが、光ガイド
層3は活性層2の下でもよく、その場合、回折格子10
けInP基板1表面に形成すればよい。また活性層2と
光ガイド層30間には薄いInP 71t−設けてもよ
い。本実施例における集積型半導体レーザ素子において
は、駆動電極6と変調電極7との間の電気的アイソレー
ジ曽ンをよくする念めに1両電極間にキャップ層5より
深い溝9を設けたが、電気的アイソレージ璽ンをよくす
る方法はこれに限らず、例えば電極間にプロトンを照射
する方法でもよい。更忙、本実施例においては、集積型
半導体レーザ素子(用いる半導体材料をInP/TnG
aAsPとし念が、半導体材料はこれに限定されず、例
えばGaAs/AjGaAsでもよい。
(発明の効果) 本発明による光送信装置は高速変調時においても、従来
のDFBレーザを直接変調した時の約1のスペクトル線
幅で動作するために、長距離大容量の光フアイバ通信用
送信装置として最適である。
特に、光ファイバの伝送損失が最も小さい波長1.55
μm帯においては、従来、スペクトル線幅の拡がりと光
ファイバの波長分散の影響により、20b i t/s
程度の高速伝送において、その伝送距離が約60K11
程度に制限されてい念が、本発明による光送信装置を用
いれば200Km程度の長距離伝送も可能になる。
【図面の簡単な説明】
fR1図は本発明の一実施例である光送信装置の構成図
であり、1 tj n−InP基板、2はInGaAs
P活性層、3はn−InGaAsP光ガイド層、4 F
ip−InPクラッド層、5はp”−InGaAsPキ
+7プ層、6は駆動電極、7は変調電極、8はn側電極
、9は電極を分離する溝、10Fi回折格子、11は駆
動用電気回路、12は変調用電気回路、13はレーザ領
域、14は変調領域、15は無反射コーテイング膜、1
6け被変調光、Idは駆動電流、I、ti制御電流、1
rrIVi変調信号電流である。ま几、第2図は、本発
明による光送信装置の動作原理を説明するもので発振波
長の制御電流工、依存性を示した図である。 夷理人弁理士 内照  晋

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. レーザ領域と変調領域とを少なくとも備えている集積型
    半導体レーザ素子と、前記レーザ領域に一定の駆動電流
    を注入する電気回路と、前記変調領域に直流の制御電流
    と変調電流を重畳して注入する電気回路とを少なくとも
    備え、さらに、前記レーザ領域は活性層とこの活性層近
    傍に設けられた回折格子とを少なくとも備え、前記変調
    領域は前記活性層に光学的に結合している光導波路層を
    少なくとも備え、前記制御電流及び変調電流の電流値は
    、変調電流のon時とoff時の発振波長が同じになる
    よう定めていることを特徴とする光送信装置。
JP19207184A 1984-09-13 1984-09-13 光送信装置 Pending JPS6170779A (ja)

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JP19207184A JPS6170779A (ja) 1984-09-13 1984-09-13 光送信装置

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63186488A (ja) * 1987-01-29 1988-08-02 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> 半導体集積発光素子
JPH0398778U (ja) * 1990-01-29 1991-10-15
KR100429531B1 (ko) * 2001-10-12 2004-05-03 삼성전자주식회사 분포귀환형 반도체 레이저
JP2022506323A (ja) * 2018-11-05 2022-01-17 華為技術有限公司 外部反射戻り光耐性レーザ

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JPH0398778U (ja) * 1990-01-29 1991-10-15
KR100429531B1 (ko) * 2001-10-12 2004-05-03 삼성전자주식회사 분포귀환형 반도체 레이저
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